JP2009129547A - 電界放出型電子源およびそれを用いた電子線応用装置 - Google Patents
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Abstract
耐久性,歩留まり,電子線放出性能の高い電界放出型電子源を提供する。また、それを用いた電子線応用装置を提供する。
【解決手段】
電極に接続する炭素からなるフィラメント部分と、該フィラメント部分の中心に一体形成された円錐状あるいは角錘状の炭素からなる中実の突起部分から構成される電子源において、少なくとも該突起先端部分の最表面をグラファイト層にすることにある。更には、本発明の電界放出型電子源を各種電子線応用装置に適用することである。少なくとも先端最表面がグラファイト層である中実の突起部分から構成される電子源であり、電界放出部位である前記突起部分の先端形状が制御され、グラファイト層の欠陥が少なく、耐久性,電子放出性能に優れる。
【選択図】図1
Description
2 突起部分
3 グラファイト層
4 電界放出型電子源
5 電極
6 引出電極
7 加速電極
8 引出電極電源
9 加速電極電源
10 加熱電源
11 電界放出型電子銃
12 アライメントコイル
13 コンデンサレンズ
14 非点補正コイル
15 偏向,走査コイル
16 対物レンズ
17 対物レンズ絞り
18 試料
19 試料ステージ
20 二次電子検出器
21 排気系
22 ブランキング電極
Claims (8)
- 炭素よりなり、電極に接続されるフィラメント部と、該フィラメント部に一体として形成された突起部とを有する電子源であって、前記突起部の先端は円錐形状または角錘形状を有し、前記突起部の最先端部にグラファイト層を有することを特徴とする電子源。
- 請求項1に記載の電子源において、
前記突起部分の最先端の曲率半径が、10nm以上100nm以下であることを特徴とする電子源。 - 請求項1または2に記載の電子源において、
前記突起部分の先端の開き角が、100°以上130°以下であることを特徴とする電子源。 - 炭素よりなり、電極に接続されるフィラメント部と、該フィラメント部に一体として形成された突起部とを有し、前記突起部の最先端部にグラファイト層を有する電子源の製造方法であって、
フィラメント部と突起部とを有する炭素材の突起部に炭素膜を形成し、
前記炭素材をグラファイト化温度に加熱することを特徴とする電子源の製造方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載された電子源と、前記電子源を加熱する加熱装置と、前記突起部より電子を電界放出させる引出装置と、電界放出された電子を加速させる加速装置とを有することを特徴とする電界放出型電子銃。
- 請求項5に記載された電界放出型電子銃と、前記電界放出型電子銃より放出された電子線が照射される位置に配置された試料ステージと、前記電界放出型電子銃より放出され、試料に照射されて得られる電子線を検出する電子線検出器とを有することを特徴とする電界放出型電子顕微鏡。
- 請求項6に記載された電界放出型電子顕微鏡であって、前記電子線検出器は試料より発生する二次電子を検出する二次電子線検出器であり、前記二次電子線検出器より得られる情報により試料の寸法を計測することを特徴とする電界放出型電子顕微鏡。
- 請求項5に記載された電界放出型電子銃と、前記電界放出型電子銃より放出された電子線が照射される位置に形成された試料ステージと、電子線をON/OFFしながら、試料上で電子線を偏向,走査する機構と、を有することを特徴とする電子線描画装置。
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