JPS6358514A - 回転機を内蔵した真空容器の真空度制御装置 - Google Patents
回転機を内蔵した真空容器の真空度制御装置Info
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- JPS6358514A JPS6358514A JP61201786A JP20178686A JPS6358514A JP S6358514 A JPS6358514 A JP S6358514A JP 61201786 A JP61201786 A JP 61201786A JP 20178686 A JP20178686 A JP 20178686A JP S6358514 A JPS6358514 A JP S6358514A
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Classifications
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/16—Mechanical energy storage, e.g. flywheels or pressurised fluids
Landscapes
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は内部にフライホイールを含む回転機を内蔵し
た真空容器内の真空度制御装置に関し、特に交換可能な
ゲッターポンプを用いて所定の真空度を維持する真空容
器内の真空度制御装置に関するものである。
た真空容器内の真空度制御装置に関し、特に交換可能な
ゲッターポンプを用いて所定の真空度を維持する真空容
器内の真空度制御装置に関するものである。
(従来の技術)
第5図は従来のフライホイールを含む回転機を内蔵した
真空容器の真空度制御装置を示すブロック図、第6図は
第5図の装置のシーケンス制御図、第7図は真空容器内
の圧力と風損との関係を示すグラフである。
真空容器の真空度制御装置を示すブロック図、第6図は
第5図の装置のシーケンス制御図、第7図は真空容器内
の圧力と風損との関係を示すグラフである。
図において(1)は風損をなくすため完全密封された真
空の容器、(2)は真空容器(1)内に固定された固定
子で鉄心とコイルからなっている。(3)は固定子(2
)の中心部に挿通された釉で、上部軸受(4)と下部軸
受(5)との間に支持されている。(6)は軸(3)に
固定されたフライホイール、(7)はフライホイール(
6)に一体に取付けられた永久磁石からなる回転子て、
これら軸(3)、フライホイール(6)、回転子(7)
及び固定子(2)により、永久1a石式発TL電動機を
構成している。
空の容器、(2)は真空容器(1)内に固定された固定
子で鉄心とコイルからなっている。(3)は固定子(2
)の中心部に挿通された釉で、上部軸受(4)と下部軸
受(5)との間に支持されている。(6)は軸(3)に
固定されたフライホイール、(7)はフライホイール(
6)に一体に取付けられた永久磁石からなる回転子て、
これら軸(3)、フライホイール(6)、回転子(7)
及び固定子(2)により、永久1a石式発TL電動機を
構成している。
上記のように構成した発電電動機は、常時は固定子(2
)に電力を供給して回転子(7)及びフライホイール(
6)を回転し、フライホイール(6)に回転エネルギー
を蓄積しておく。停電等により固定子(2)に供給され
ていた電力がOFFになると、フライホイール(6)に
蓄積されていた回転エネルギーによって回転子(7)を
回転し、これにより出力を得るようにしたものである。
)に電力を供給して回転子(7)及びフライホイール(
6)を回転し、フライホイール(6)に回転エネルギー
を蓄積しておく。停電等により固定子(2)に供給され
ていた電力がOFFになると、フライホイール(6)に
蓄積されていた回転エネルギーによって回転子(7)を
回転し、これにより出力を得るようにしたものである。
このような発電電動機においては、フライホイール(6
)の風損をなくし効率を高めるため、容器内を真空に保
持している。
)の風損をなくし効率を高めるため、容器内を真空に保
持している。
(8)は真空容器(1)に取付けられ、容器の内部圧力
、つまり真空度を測定する真空測定子である。
、つまり真空度を測定する真空測定子である。
αQは真空容器(1)の排気系の配管であり、この配管
GOは真空容器(1)を主電磁バルブ(10と配管(I
[lI+を大気中に開放するためのリーク用電磁バルブ
(5)とを介して真空ポンプO■に接続している。0句
は真空ポンプ03の油が配管洞内に逆流するのを防止す
るためのオイルトラップである。
GOは真空容器(1)を主電磁バルブ(10と配管(I
[lI+を大気中に開放するためのリーク用電磁バルブ
(5)とを介して真空ポンプO■に接続している。0句
は真空ポンプ03の油が配管洞内に逆流するのを防止す
るためのオイルトラップである。
(15)は発電電動機(9)の人出カラインに設けられ
た切換スイッチ、(1日)は真空測定子(8)からの人
力信号に基ついて主電磁バルブ(11)、リーク用7j
、1バルブαz1真空ポンプ0■、切換スイッチ(15
)のそれぞれをシーケンス制御するための真空排気制御
手段で1ちる。□□□は発電電動機(9)に電気制動を
かけるための電気制御手段(制動用抵抗器)であり、こ
の制動用抵抗器α9は切換スイッチ(15)を介して電
源系統の人出カラインに接続されている。
た切換スイッチ、(1日)は真空測定子(8)からの人
力信号に基ついて主電磁バルブ(11)、リーク用7j
、1バルブαz1真空ポンプ0■、切換スイッチ(15
)のそれぞれをシーケンス制御するための真空排気制御
手段で1ちる。□□□は発電電動機(9)に電気制動を
かけるための電気制御手段(制動用抵抗器)であり、こ
の制動用抵抗器α9は切換スイッチ(15)を介して電
源系統の人出カラインに接続されている。
従って、真空排気制御手段(1日)は第7図に示すよう
な真空容器の内部圧力と風損との関係から求められた第
6図のシーケンス制御機能を有する。すなわち、第7図
における真空容器の内部圧力(Torr)と風損との関
係において、第6図中の真空圧上限設定値■1と真空圧
下限設定値■2とを求め、内部圧力(Torr)が真空
圧下限設定値V2に到達した時点A1と、その時照A、
から一定時間Tを経過した時点りとの間を第7図におけ
る内部圧力0,1〜1.0Torrの間の真空ポンプN
H−島領域とし、かつ同図の内部Tカ1.0〜10To
rrの間を真空圧異常判断領域として第6図中の真空圧
下限設定値V2−\の圧力到達時点A2から真空圧上限
設定値■1への圧力到達時点(真空ポンプO■の停止時
点)Cまでの間に設定する。また、真空ポンプ稼働領域
における圧力到達時点A1からの主電磁バルブ(11)
のタイムラグtls前記真空ポンプθつの停止時点D、
この停止時点りからのリーク用電磁バルブα2のタイム
ラグ12,13.真空容器(1)内の圧力が上限設定値
に達したときに発TL電動機(9)に電気制動をかける
時点Cのそれぞれが予め設定されている。
な真空容器の内部圧力と風損との関係から求められた第
6図のシーケンス制御機能を有する。すなわち、第7図
における真空容器の内部圧力(Torr)と風損との関
係において、第6図中の真空圧上限設定値■1と真空圧
下限設定値■2とを求め、内部圧力(Torr)が真空
圧下限設定値V2に到達した時点A1と、その時照A、
から一定時間Tを経過した時点りとの間を第7図におけ
る内部圧力0,1〜1.0Torrの間の真空ポンプN
H−島領域とし、かつ同図の内部Tカ1.0〜10To
rrの間を真空圧異常判断領域として第6図中の真空圧
下限設定値V2−\の圧力到達時点A2から真空圧上限
設定値■1への圧力到達時点(真空ポンプO■の停止時
点)Cまでの間に設定する。また、真空ポンプ稼働領域
における圧力到達時点A1からの主電磁バルブ(11)
のタイムラグtls前記真空ポンプθつの停止時点D、
この停止時点りからのリーク用電磁バルブα2のタイム
ラグ12,13.真空容器(1)内の圧力が上限設定値
に達したときに発TL電動機(9)に電気制動をかける
時点Cのそれぞれが予め設定されている。
つぎに、動作を説明する。発電電動機(9)が運転され
ると、真空容器(1)の内部の真空圧か真空測定子(8
)により検出され、その検出値が真空容器(1)内の圧
力上昇により下限設定値■2に達すると、その時点A1
で真空排気制御手段(18)が真空ポンプθつに運転指
令信号を出力し、これによって真空ポンプQつが運車云
される。
ると、真空容器(1)の内部の真空圧か真空測定子(8
)により検出され、その検出値が真空容器(1)内の圧
力上昇により下限設定値■2に達すると、その時点A1
で真空排気制御手段(18)が真空ポンプθつに運転指
令信号を出力し、これによって真空ポンプQつが運車云
される。
ついで、真空排気制御手段(1日)は、前記A1時点か
らのタイムラグt1を経て主電磁バルブ(11)の開信
号を出力することにより主電磁バルブ(1わが開く。こ
のため真空ポンプlj急による吸引力で真空容器(1)
内の圧力が低下する。なお、この場合におけるt、の犬
きざは配管θ■内が充分排気される時間であって数秒か
ら約1分の間で設定される。
らのタイムラグt1を経て主電磁バルブ(11)の開信
号を出力することにより主電磁バルブ(1わが開く。こ
のため真空ポンプlj急による吸引力で真空容器(1)
内の圧力が低下する。なお、この場合におけるt、の犬
きざは配管θ■内が充分排気される時間であって数秒か
ら約1分の間で設定される。
真空ポンプαつが運転され真空容器(1)の内部か排気
されて圧力が下がってくる(真空度向上)と、真空ポン
プαつが自動釣に停止する。このT時間の意味は充分そ
の間に真空容器(1)の排気が出来る時間で1分から2
4時間以内で設定される。真空ポンプ(Jツが停止する
と同時に主電磁バルブ(11)も閉じる。続いてt2時
間経過後リーク用電磁バルブ′jzがt3時間だけ開か
れ配管oQ内を大気圧に戻す。
されて圧力が下がってくる(真空度向上)と、真空ポン
プαつが自動釣に停止する。このT時間の意味は充分そ
の間に真空容器(1)の排気が出来る時間で1分から2
4時間以内で設定される。真空ポンプ(Jツが停止する
と同時に主電磁バルブ(11)も閉じる。続いてt2時
間経過後リーク用電磁バルブ′jzがt3時間だけ開か
れ配管oQ内を大気圧に戻す。
なお、t2の時間は主74’bnバルブか完全に閉しる
までの時間で約1秒〜5程度度で設定される。
までの時間で約1秒〜5程度度で設定される。
t3の時間は配管内の圧力を大気圧に戻すため時間で、
1秒から30秒程度に設定される。主電磁バルブ(11
)が閉じてポンプa印が停止してからは真空容器(1)
内の圧力は、若干のリークや内部材料のアウトガスによ
って次第に上昇していく。そして、下限設定値v2に達
すると前述の通り、再び真空ポンプ03が1時間運転さ
れ真空容器(1)内の圧力が低下する。
1秒から30秒程度に設定される。主電磁バルブ(11
)が閉じてポンプa印が停止してからは真空容器(1)
内の圧力は、若干のリークや内部材料のアウトガスによ
って次第に上昇していく。そして、下限設定値v2に達
すると前述の通り、再び真空ポンプ03が1時間運転さ
れ真空容器(1)内の圧力が低下する。
すなわち、真空容器(1)内の圧力が真空圧下限設定値
■2に達する毎に以上の動作を繰り返して行わせること
により真空度が制御される。
■2に達する毎に以上の動作を繰り返して行わせること
により真空度が制御される。
次に、圧力が下限設定値V2に達したA2の時点で真空
ポンプの不具合、バルブの不具合などで、圧力低下が(
排気)うまくできなかった場合、真空容器(1)内の圧
力はさらに上B L、て行と圧力の限界V、(C点)に
達すると、真空排気制御手段(18)は切換スイッチ(
1つに動作指令信号を出力し、切換スイッチ(+5)に
より制動抵抗を接続し、発電電動機(9)を停止させる
。つまり、フライホイール(6)を停止させる。
ポンプの不具合、バルブの不具合などで、圧力低下が(
排気)うまくできなかった場合、真空容器(1)内の圧
力はさらに上B L、て行と圧力の限界V、(C点)に
達すると、真空排気制御手段(18)は切換スイッチ(
1つに動作指令信号を出力し、切換スイッチ(+5)に
より制動抵抗を接続し、発電電動機(9)を停止させる
。つまり、フライホイール(6)を停止させる。
なお、真空圧上限設定値V1でフライホイール(6)を
停止させるのは、フライホイール(6)の回転にともな
う風損が圧力上昇とともに増大し、フライホイール(6
)の温度が上昇し、フライホイールの機械的強度が低下
するからである。
停止させるのは、フライホイール(6)の回転にともな
う風損が圧力上昇とともに増大し、フライホイール(6
)の温度が上昇し、フライホイールの機械的強度が低下
するからである。
(発明が解決しようとする問題点)
上記のような従来の回転機を内蔵した真空容器の真空度
制御装置ては、真空排気装置として真空ポンプを使って
いるが、真空ポンプとしてj±、−般にロータリーポン
プや拡散ポンプ等か使用されており、ポンプか大型であ
るためスペースをとり設置に制限がある。したがって、
装置がコンパクトにまとめられない。排気にオイルミス
トが含まれ、クリーンでない。と言う問題点を有してい
る。
制御装置ては、真空排気装置として真空ポンプを使って
いるが、真空ポンプとしてj±、−般にロータリーポン
プや拡散ポンプ等か使用されており、ポンプか大型であ
るためスペースをとり設置に制限がある。したがって、
装置がコンパクトにまとめられない。排気にオイルミス
トが含まれ、クリーンでない。と言う問題点を有してい
る。
そこで、真空容器内にゲッターポンプを配置して排気す
ることが考えられる。しかしゲッターポンプは寿命が短
い。容器が小さいので多くのゲッターポンプが必要であ
る。
ることが考えられる。しかしゲッターポンプは寿命が短
い。容器が小さいので多くのゲッターポンプが必要であ
る。
また、ゲッターポンプを少なくするためには初期の脱ガ
スが必要となる。したがって、脱ガスの設備が必要とな
り、装置の製造工程上困難をともなう。と言う問題点を
有している。
スが必要となる。したがって、脱ガスの設備が必要とな
り、装置の製造工程上困難をともなう。と言う問題点を
有している。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、ゲッターポンプをカセット式として、ゲッターポ
ンプを交換可能にした回転機を内蔵した真空容器の真空
度制御装置を得ることを目的とする。
ので、ゲッターポンプをカセット式として、ゲッターポ
ンプを交換可能にした回転機を内蔵した真空容器の真空
度制御装置を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る回転機を内蔵した真空容器の真空度制御
装置は、前記真空容器の外部に着脱可能に設けられ、か
つ前記真空容器の内部と連通しているゲッターポンプと
、前記真空容器内の真空度を測定する真空測定子と、こ
の真空測定子の測定値が予め設定された第1の値になっ
た時ゲッターポンプ交換報知信号を出す報知信号出力機
能及び前記ゲッターポンプ交換報知信号が出た後真空圧
が低下することなく前記測定値が予め設定された第2の
値になった時前記回転機を停止させる制動手段制御機能
を有している真空排気制御手段とを設けて真空容器内の
真空度を制御するものである。
装置は、前記真空容器の外部に着脱可能に設けられ、か
つ前記真空容器の内部と連通しているゲッターポンプと
、前記真空容器内の真空度を測定する真空測定子と、こ
の真空測定子の測定値が予め設定された第1の値になっ
た時ゲッターポンプ交換報知信号を出す報知信号出力機
能及び前記ゲッターポンプ交換報知信号が出た後真空圧
が低下することなく前記測定値が予め設定された第2の
値になった時前記回転機を停止させる制動手段制御機能
を有している真空排気制御手段とを設けて真空容器内の
真空度を制御するものである。
(作用)
この発明においては、ゲッターポンプをカセット式とし
交換可能にしたから、ゲッターポンプの欠点が解消され
、その長所を生かすことができる。したがって、真空ポ
ンプを使わなくてよいから、フライホイールを含む回転
機の設置スペースが小さくなる。また、排気がクリーン
となる。
交換可能にしたから、ゲッターポンプの欠点が解消され
、その長所を生かすことができる。したがって、真空ポ
ンプを使わなくてよいから、フライホイールを含む回転
機の設置スペースが小さくなる。また、排気がクリーン
となる。
(実施例)
第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第2図
はこの発明の一実施例のシーケンス制御図、第3図はこ
の発明の他の実施例のシーケンス制御図、第4図はこの
発明の一実h〜例におけるゲッターポンプを示す説明図
である。
はこの発明の一実施例のシーケンス制御図、第3図はこ
の発明の他の実施例のシーケンス制御図、第4図はこの
発明の一実h〜例におけるゲッターポンプを示す説明図
である。
第1図〜第4図において、第5図、第6図と同一符号の
部分は同一部分を示し、21)はカセット式ゲッターポ
ンプで、詳細は後述する。数は締め切り装置で、真空容
器(1)の内部とゲッターポンプ(社)との連通部分を
開閉する装置である。なお、締め切り装置(社)は真空
容器(1)に固定されている。器は真空排気制御手段0
8)から出力されるゲッターポンプ交換報知信号で、例
えば接点の開閉による信号である。24)はケッターボ
ンブ交換報知イ言号ωの人力によって吹鳴するブザー、
Q匂は外部信号で、遠隔地でブザーや表示灯を点灯させ
るための信号である。
部分は同一部分を示し、21)はカセット式ゲッターポ
ンプで、詳細は後述する。数は締め切り装置で、真空容
器(1)の内部とゲッターポンプ(社)との連通部分を
開閉する装置である。なお、締め切り装置(社)は真空
容器(1)に固定されている。器は真空排気制御手段0
8)から出力されるゲッターポンプ交換報知信号で、例
えば接点の開閉による信号である。24)はケッターボ
ンブ交換報知イ言号ωの人力によって吹鳴するブザー、
Q匂は外部信号で、遠隔地でブザーや表示灯を点灯させ
るための信号である。
第4図において、(31)はフランジ継手で、カセット
式ゲツターボンブシDを締め切り装置(3)に固定する
継手である。((資)はゲッターポンプ本体で、カセッ
ト式ゲッターポンプ/2vの内部に固定されている。(
至)はハーメチック端子、(34)は予備排気口、(5
)は予備排気口締め切り装置である。
式ゲツターボンブシDを締め切り装置(3)に固定する
継手である。((資)はゲッターポンプ本体で、カセッ
ト式ゲッターポンプ/2vの内部に固定されている。(
至)はハーメチック端子、(34)は予備排気口、(5
)は予備排気口締め切り装置である。
次に、第2図により動作を説明する。
先づ、カセット式ゲッターポンプ21)をフランジ継手
(3υにより締め切り装置(資)に固定する。なお、こ
の時締め切り装置−は閉じである。次に、予備排気口締
め切り装置(至)を開いて予備排気口例からゲッターポ
ンプ121)の内部を排気した後、締め切り装置(5)
を閉じておく。
(3υにより締め切り装置(資)に固定する。なお、こ
の時締め切り装置−は閉じである。次に、予備排気口締
め切り装置(至)を開いて予備排気口例からゲッターポ
ンプ121)の内部を排気した後、締め切り装置(5)
を閉じておく。
ゲッターポンプ21)の取付けが完了したら、締め切り
装置(社)を開き真空排気制御手段08)からゲッター
ポンプ21)に一定時間Tだけ通電(ON)L、、真空
容器(1)内の圧力を低下させる。つまり真空度を上昇
させる。時間の経過とともに真空容器(1)の圧力が上
昇し真空圧下成膜定地V2になったらゲツターボンブシ
υを一定時間TだけONする。この動作を繰り返して真
空度を成る範囲の変動で維持する。
装置(社)を開き真空排気制御手段08)からゲッター
ポンプ21)に一定時間Tだけ通電(ON)L、、真空
容器(1)内の圧力を低下させる。つまり真空度を上昇
させる。時間の経過とともに真空容器(1)の圧力が上
昇し真空圧下成膜定地V2になったらゲツターボンブシ
υを一定時間TだけONする。この動作を繰り返して真
空度を成る範囲の変動で維持する。
次に、ゲッターポンプ21)を1時間だけONしても、
ゲッターポンプ6!υの劣化により真空度が上昇せず、
真空容器(1)内の圧力がB点に達したら、真空排気制
御手段a印はゲッターポンプ交換報知信号(至)を出力
し、ブザー製が吹鳴する。そこで、この警報を聞いたら
劣化したゲッターポンプ21)を新しいものに交換し、
前述の手順で新しいゲッターポンプに通電し、排気を行
なう。もしも、その後も真空圧が低下することなく、圧
力が0点に達すると、真空排気制御手段QE11は切換
スイッチ(+51に動作指令信号を出力し、切換スイッ
チ(151により制動抵抗を接続し、発電電動機(9)
を停止させる。つまり、フライホイールを停止させる。
ゲッターポンプ6!υの劣化により真空度が上昇せず、
真空容器(1)内の圧力がB点に達したら、真空排気制
御手段a印はゲッターポンプ交換報知信号(至)を出力
し、ブザー製が吹鳴する。そこで、この警報を聞いたら
劣化したゲッターポンプ21)を新しいものに交換し、
前述の手順で新しいゲッターポンプに通電し、排気を行
なう。もしも、その後も真空圧が低下することなく、圧
力が0点に達すると、真空排気制御手段QE11は切換
スイッチ(+51に動作指令信号を出力し、切換スイッ
チ(151により制動抵抗を接続し、発電電動機(9)
を停止させる。つまり、フライホイールを停止させる。
第3図は他の実施例を示し、図のD点でゲッターポンプ
Qυを新しく取付けて、連続ONt、ておく、次第にゲ
ッターポンプ(社)の能力が低下し、圧力は上昇してく
る。圧力がv2、つまりA点に達したら、真空排気制御
手段a印はゲッターポンプ交換報知信号−を出力し、ブ
ザー関が吹口1するので、ゲッターポンプ2υを交換す
る。もしも、報知化号器出力後も真空圧が低下すること
なく、圧力が0点に達すると、真空排気制御手段(18
)の動作により、前記第一実施例と同様に、フライホイ
ール(6ンを停止させる。
Qυを新しく取付けて、連続ONt、ておく、次第にゲ
ッターポンプ(社)の能力が低下し、圧力は上昇してく
る。圧力がv2、つまりA点に達したら、真空排気制御
手段a印はゲッターポンプ交換報知信号−を出力し、ブ
ザー関が吹口1するので、ゲッターポンプ2υを交換す
る。もしも、報知化号器出力後も真空圧が低下すること
なく、圧力が0点に達すると、真空排気制御手段(18
)の動作により、前記第一実施例と同様に、フライホイ
ール(6ンを停止させる。
この発明は以上説明したとおり、ゲッターポンプをカセ
ット式とし交換可能にしたから、ゲッターポンプの欠点
が解消され、その長所を生かすことかできる。したがっ
て、真空ポンプを使わなくてよいから、フライホイール
を含む回転機の設置スペースが小さくなる。また、排気
がクリーンとなる。
ット式とし交換可能にしたから、ゲッターポンプの欠点
が解消され、その長所を生かすことかできる。したがっ
て、真空ポンプを使わなくてよいから、フライホイール
を含む回転機の設置スペースが小さくなる。また、排気
がクリーンとなる。
第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第2図
はこの発明の一実施例のシーケンス制御図、第3図はこ
の発明の他の実施例のシーケンス制御図、第4図はこの
発明の一実施例におけるゲッターポンプを示す説明図、
第5図は従来のフライホイールを含む回転機を内蔵した
真空容器の真空度制御装置を示すブロック図、第6図は
第5図の装置のシーケンス制御図、第7図は真空容器内
の圧力と風損との関係を示すグラフである。 図中、(1)は真空容器、(6)はフライホイール、(
9)は発電電動機(回転機)、θ功は真空ポンプ、aω
は真空排気制御手段、(社)ゲッターポンプ、器はゲッ
ターポンプ交換報知信号、+24)はブザー、(5)は
外部信号である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第1図 第3図 第4図 第5図 第7図 五カCTOrr)2
はこの発明の一実施例のシーケンス制御図、第3図はこ
の発明の他の実施例のシーケンス制御図、第4図はこの
発明の一実施例におけるゲッターポンプを示す説明図、
第5図は従来のフライホイールを含む回転機を内蔵した
真空容器の真空度制御装置を示すブロック図、第6図は
第5図の装置のシーケンス制御図、第7図は真空容器内
の圧力と風損との関係を示すグラフである。 図中、(1)は真空容器、(6)はフライホイール、(
9)は発電電動機(回転機)、θ功は真空ポンプ、aω
は真空排気制御手段、(社)ゲッターポンプ、器はゲッ
ターポンプ交換報知信号、+24)はブザー、(5)は
外部信号である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第1図 第3図 第4図 第5図 第7図 五カCTOrr)2
Claims (1)
- (1)フライホイールを含む回転機を内蔵した真空容器
の真空度を制御する真空度制御装置において、前記真空
容器の外部に着脱可能に設けられ、かつ前記真空容器の
内部と連通しているゲッターポンプと、前記真空容器内
の真空度を測定する真空測定子と、この真空測定子の測
定値が予め設定された第1の値になった時ゲッターポン
プ交換報知信号を出す報知信号出力機能及び前記ゲッタ
ーポンプ交換報知信号が出た後真空圧が低下することな
く前記測定値が予め設定された第2の値になった時前記
回転機を停止させる制動手段制御機能を有している真空
排気制御手段とを備えた回転機を内蔵した真空容器の真
空度制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61201786A JPS6358514A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 回転機を内蔵した真空容器の真空度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61201786A JPS6358514A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 回転機を内蔵した真空容器の真空度制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6358514A true JPS6358514A (ja) | 1988-03-14 |
Family
ID=16446910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61201786A Pending JPS6358514A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 回転機を内蔵した真空容器の真空度制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6358514A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996005646A3 (en) * | 1994-08-08 | 1996-06-06 | British Nuclear Fuels Plc | An energy storage and conversion apparatus |
JP2002324663A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Toshiba Corp | 電場発光ランプとその製造方法 |
GB2535794A (en) * | 2015-02-27 | 2016-08-31 | Flybrid Automotive Ltd | Vacuum management system |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP61201786A patent/JPS6358514A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996005646A3 (en) * | 1994-08-08 | 1996-06-06 | British Nuclear Fuels Plc | An energy storage and conversion apparatus |
EP0821463A3 (en) * | 1994-08-08 | 1998-03-04 | British Nuclear Fuels PLC | An energy storage and conversion apparatus |
EP0821462A3 (en) * | 1994-08-08 | 1998-03-04 | British Nuclear Fuels PLC | An energy storage and conversion apparatus |
EP0821464A3 (en) * | 1994-08-08 | 1998-06-24 | British Nuclear Fuels PLC | An energy storage and conversion apparatus |
JP2002324663A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Toshiba Corp | 電場発光ランプとその製造方法 |
GB2535794A (en) * | 2015-02-27 | 2016-08-31 | Flybrid Automotive Ltd | Vacuum management system |
GB2535794B (en) * | 2015-02-27 | 2018-07-18 | Flybrid Automotive Ltd | Vacuum management system |
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