JPH05231368A - 真空ポンプの運転制御方式 - Google Patents
真空ポンプの運転制御方式Info
- Publication number
- JPH05231368A JPH05231368A JP19482191A JP19482191A JPH05231368A JP H05231368 A JPH05231368 A JP H05231368A JP 19482191 A JP19482191 A JP 19482191A JP 19482191 A JP19482191 A JP 19482191A JP H05231368 A JPH05231368 A JP H05231368A
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- Japan
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- pressure
- vacuum pump
- valve
- open
- opening
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- Pending
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で大気引き時の一時的な負荷増大
に対処できる真空ポンプの運転制御方式を提供するこ
と。 【構成】 真空チャンバー１の出口にメインバルブ２を
通して真空ポンプ４の吸込口を接続し、該真空ポンプ４
を起動運転することにより、真空チャンバー１内を真空
状態にする真空ポンプの運転制御方式において、真空ポ
ンプ４の吸込口に接続され配管８に開閉バルブ３を設け
ると共に、該開閉バルブ３をバイパスする絞り機構５を
設け、メインバルブ２の開閉状態と開閉バルブ３の直前
の配管８の内圧又は真空ポンプ４の吸込圧と吐出圧の差
圧又は真空ポンプ４の吸込圧と中間圧の差圧の状態か
ら、開閉バルブ３の開度を制御する。
に対処できる真空ポンプの運転制御方式を提供するこ
と。 【構成】 真空チャンバー１の出口にメインバルブ２を
通して真空ポンプ４の吸込口を接続し、該真空ポンプ４
を起動運転することにより、真空チャンバー１内を真空
状態にする真空ポンプの運転制御方式において、真空ポ
ンプ４の吸込口に接続され配管８に開閉バルブ３を設け
ると共に、該開閉バルブ３をバイパスする絞り機構５を
設け、メインバルブ２の開閉状態と開閉バルブ３の直前
の配管８の内圧又は真空ポンプ４の吸込圧と吐出圧の差
圧又は真空ポンプ４の吸込圧と中間圧の差圧の状態か
ら、開閉バルブ３の開度を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプの運転制御方
式に関し、特にスクリュー真空ポンプ等の真空ポンプの
大気引き時の負荷を軽減する真空ポンプ運転制御方式に
関するものである。
式に関し、特にスクリュー真空ポンプ等の真空ポンプの
大気引き時の負荷を軽減する真空ポンプ運転制御方式に
関するものである。
【０００２】真空チャンバーに接続した真空ポンプを起
動運転し、該真空チャンバー内部を大気圧の状態から真
空状態にする場合、大気状態からの排気、所謂大気引き
時は真空ポンプの負荷が大きく過負荷状態になる。これ
を避けるため従来、種々の運転方法が提案されている。
下記はその例を示す。
動運転し、該真空チャンバー内部を大気圧の状態から真
空状態にする場合、大気状態からの排気、所謂大気引き
時は真空ポンプの負荷が大きく過負荷状態になる。これ
を避けるため従来、種々の運転方法が提案されている。
下記はその例を示す。
【０００３】（１）大気引き時に真空ポンプの回転速度
（単位時間当りの回転数）を下げ、大気引き時の過負荷
状態を避ける方法。 （２）真空ポンプを前段と後段の２段に分け、大気引き
時に後段のポンプのみを運転し、所定の圧力以下になっ
たら前段のポンプを運転する方法。
（単位時間当りの回転数）を下げ、大気引き時の過負荷
状態を避ける方法。 （２）真空ポンプを前段と後段の２段に分け、大気引き
時に後段のポンプのみを運転し、所定の圧力以下になっ
たら前段のポンプを運転する方法。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記（１）の大気引き
時に真空ポンプの回転速度を下げる方法は、ポンプを駆
動するモータを可変速運転する必要があり、インバータ
等を具備する可変速制御装置が必要になり、設備が複雑
で且つ高価なものとなる。また、上記（２）の真空ポン
プを前段と後段の２段に分け大気引きの時に後段ポンプ
のみ運転する方法は、前段ポンプが大気引き時に起動停
止を繰り返すため、真空ポンプの寿命が短くなる。
時に真空ポンプの回転速度を下げる方法は、ポンプを駆
動するモータを可変速運転する必要があり、インバータ
等を具備する可変速制御装置が必要になり、設備が複雑
で且つ高価なものとなる。また、上記（２）の真空ポン
プを前段と後段の２段に分け大気引きの時に後段ポンプ
のみ運転する方法は、前段ポンプが大気引き時に起動停
止を繰り返すため、真空ポンプの寿命が短くなる。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、簡単な構成で大気引き時の一時的な負荷の増大に対
処できる真空ポンプの運転制御方式を提供することを目
的とする。
で、簡単な構成で大気引き時の一時的な負荷の増大に対
処できる真空ポンプの運転制御方式を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、真空対象物にメインバルブを通して真空ポン
プの吸込口を接続し、該真空ポンプを起動運転すること
により、真空対象物内を真空状態にする真空ポンプの運
転制御方式において、前記真空ポンプの吸込口に接続さ
れ配管に開閉バルブを設けると共に、該開閉バルブをバ
イパスする絞り機構を設け、メインバルブの開閉状態と
開閉バルブ直前の配管内圧Ｐ又は該配管内圧Ｐと吐出圧
の差圧又は配管内圧Ｐと吐出圧の圧力比又は配管内圧Ｐ
と中間圧の差圧又は吸込圧と中間圧（多段真空ポンプの
真空側ポンプと大気側ポンプの接続口の圧力）の比の状
態から、前記開閉弁の開度を制御することを特徴とす
る。
本発明は、真空対象物にメインバルブを通して真空ポン
プの吸込口を接続し、該真空ポンプを起動運転すること
により、真空対象物内を真空状態にする真空ポンプの運
転制御方式において、前記真空ポンプの吸込口に接続さ
れ配管に開閉バルブを設けると共に、該開閉バルブをバ
イパスする絞り機構を設け、メインバルブの開閉状態と
開閉バルブ直前の配管内圧Ｐ又は該配管内圧Ｐと吐出圧
の差圧又は配管内圧Ｐと吐出圧の圧力比又は配管内圧Ｐ
と中間圧の差圧又は吸込圧と中間圧（多段真空ポンプの
真空側ポンプと大気側ポンプの接続口の圧力）の比の状
態から、前記開閉弁の開度を制御することを特徴とす
る。
【０００７】また、メインバルブが全閉のときは、開閉
バルブを全閉とし、メインバルブが開のときは、開閉バ
ルブ直前の配管内圧Ｐとの関係において下記のように制
御する。 配管内圧Ｐと所定の設定圧力Ｐｓｅｔの関係が、Ｐ＞
Ｐｓｅｔの場合は閉、Ｐ≦Ｐｓｅｔの場合は開、 配管内圧Ｐと吐出圧の差圧ΔＰと所定の設定差圧ΔＰ
ｓｅｔの関係が、ΔＰ＞ΔＰｓｅｔの場合は開、ΔＰ≦
ΔＰｓｅｔの場合閉、 配管内圧Ｐと中間圧との差圧ΔＰと所定の設定差圧Δ
Ｐｓｅｔの関係が、ΔＰ＞ΔＰｓｅｔの場合は開、ΔＰ
≦ΔＰｓｅｔの場合閉、 配管内圧Ｐと吐出圧Ｐ’或いは中間圧Ｐ”との圧力比
εｐ＝Ｐ’／Ｐ或いはＰ”／Ｐと所定の設定比εｐｓｅ
ｔの関係が、εｐ＞εｐｓｅｔの場合は開、εｐ≦εｐ
ｓｅｔの場合は閉。
バルブを全閉とし、メインバルブが開のときは、開閉バ
ルブ直前の配管内圧Ｐとの関係において下記のように制
御する。 配管内圧Ｐと所定の設定圧力Ｐｓｅｔの関係が、Ｐ＞
Ｐｓｅｔの場合は閉、Ｐ≦Ｐｓｅｔの場合は開、 配管内圧Ｐと吐出圧の差圧ΔＰと所定の設定差圧ΔＰ
ｓｅｔの関係が、ΔＰ＞ΔＰｓｅｔの場合は開、ΔＰ≦
ΔＰｓｅｔの場合閉、 配管内圧Ｐと中間圧との差圧ΔＰと所定の設定差圧Δ
Ｐｓｅｔの関係が、ΔＰ＞ΔＰｓｅｔの場合は開、ΔＰ
≦ΔＰｓｅｔの場合閉、 配管内圧Ｐと吐出圧Ｐ’或いは中間圧Ｐ”との圧力比
εｐ＝Ｐ’／Ｐ或いはＰ”／Ｐと所定の設定比εｐｓｅ
ｔの関係が、εｐ＞εｐｓｅｔの場合は開、εｐ≦εｐ
ｓｅｔの場合は閉。
【０００８】
【作用】上記の如く、メインバルブの開閉状態と開閉バ
ルブ直前の配管内圧状態とから、開閉弁の開度を制御す
るから、大気引き時に真空ポンプが過負荷状態にならな
いように運転制御することができる。
ルブ直前の配管内圧状態とから、開閉弁の開度を制御す
るから、大気引き時に真空ポンプが過負荷状態にならな
いように運転制御することができる。
【０００９】また、メインバルブが全閉のときは、開閉
バルブを全閉とし、メインバルブが開のときは、開閉バ
ルブ直前の配管内圧が所定の圧力より低くなったときに
開閉弁を開とすることにより、同じく大気引き時に真空
ポンプとの過負荷状態にならないように運転制御するこ
とができる。
バルブを全閉とし、メインバルブが開のときは、開閉バ
ルブ直前の配管内圧が所定の圧力より低くなったときに
開閉弁を開とすることにより、同じく大気引き時に真空
ポンプとの過負荷状態にならないように運転制御するこ
とができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の真空ポンプの運転制御方式を適用
する装置の構成を示す図である。図において、１はチャ
ンバーであり、該チャンバー１の出口にはメインバルブ
２及び開閉バルブ３を介して真空ポンプ４の吸込が接続
されている。開閉バルブ３の両端の配管８には該開閉バ
ルブ３をバイパスする絞り機構５が設けられている。６
は前記開閉バルブ３の直前の配管８の内部圧力を検出す
る圧力センサである。該圧力センサ６の出力は制御装置
７に接続されている。該制御装置７は後述するように開
閉バルブ３及びメインバルブ２の開閉及び開度を制御で
きるようになっている。
する。図１は本発明の真空ポンプの運転制御方式を適用
する装置の構成を示す図である。図において、１はチャ
ンバーであり、該チャンバー１の出口にはメインバルブ
２及び開閉バルブ３を介して真空ポンプ４の吸込が接続
されている。開閉バルブ３の両端の配管８には該開閉バ
ルブ３をバイパスする絞り機構５が設けられている。６
は前記開閉バルブ３の直前の配管８の内部圧力を検出す
る圧力センサである。該圧力センサ６の出力は制御装置
７に接続されている。該制御装置７は後述するように開
閉バルブ３及びメインバルブ２の開閉及び開度を制御で
きるようになっている。
【００１１】上記構成の装置において、前記開閉バルブ
３が閉じているときは絞り機構５を介してガスが真空ポ
ンプ４に流入する。この絞り機構５により、真空ポンプ
４の吸込口での圧力を下げる。前記制御装置７はメイン
バルブ２の開閉状態と圧力センサ６で検出した開閉バル
ブ３の直前の配管８の内圧状態により開閉バルブ３の開
度を制御する。例えば、メインバルブ２が全閉のときは
開閉バルブ３を全閉とし、メインバルブ２が開のとは、
開閉バルブ３直前の配管８の内圧が所定の圧力より低く
なったときに開閉バルブ３を開とする。
３が閉じているときは絞り機構５を介してガスが真空ポ
ンプ４に流入する。この絞り機構５により、真空ポンプ
４の吸込口での圧力を下げる。前記制御装置７はメイン
バルブ２の開閉状態と圧力センサ６で検出した開閉バル
ブ３の直前の配管８の内圧状態により開閉バルブ３の開
度を制御する。例えば、メインバルブ２が全閉のときは
開閉バルブ３を全閉とし、メインバルブ２が開のとは、
開閉バルブ３直前の配管８の内圧が所定の圧力より低く
なったときに開閉バルブ３を開とする。
【００１２】図２は前記開閉バルブ３の操作処理フロー
を示す図である。開閉バルブ３の操作は図示するよう
に、メインバルブ１が開状態にあるか閉状態にあるかを
判断し（ステップＳＴ１）、閉状態である場合は開閉バ
ルブを閉じ（ステップＳＴ２）、開状態にある場合、開
閉バルブ３の直前の配管８の内圧Ｐが設定圧力Ｐｓｅｔ
以上か否かを判断し（ステップＳＴ３）、内圧Ｐが設定
圧力Ｐｓｅｔ以上である場合は開閉バルブを閉じたまま
の状態とし（ステップＳＴ２）、内圧Ｐが設定圧力Ｐｓ
ｅｔ以下である場合は開閉バルブ３を開く（ステップＳ
Ｔ４）。
を示す図である。開閉バルブ３の操作は図示するよう
に、メインバルブ１が開状態にあるか閉状態にあるかを
判断し（ステップＳＴ１）、閉状態である場合は開閉バ
ルブを閉じ（ステップＳＴ２）、開状態にある場合、開
閉バルブ３の直前の配管８の内圧Ｐが設定圧力Ｐｓｅｔ
以上か否かを判断し（ステップＳＴ３）、内圧Ｐが設定
圧力Ｐｓｅｔ以上である場合は開閉バルブを閉じたまま
の状態とし（ステップＳＴ２）、内圧Ｐが設定圧力Ｐｓ
ｅｔ以下である場合は開閉バルブ３を開く（ステップＳ
Ｔ４）。
【００１３】図３は設定圧力Ｐｓｅｔの設定例を示す図
である。メインバルブ２が開の場合は、開閉バルブ直前
の配管内圧Ｐと設定圧Ｐｓｅｔとを比較して開閉バルブ
３の開度状態を決定する。メインバルブ２が開の場合で
チャンバー１が大気開放された時、或いはチャンバー１
内に多量のガスを流し込んだ時はチャンバー１内圧は急
激に上昇する。この場合は真空ポンプ４の過負荷防止の
ため、開閉バルブ３を閉じる必要がある。
である。メインバルブ２が開の場合は、開閉バルブ直前
の配管内圧Ｐと設定圧Ｐｓｅｔとを比較して開閉バルブ
３の開度状態を決定する。メインバルブ２が開の場合で
チャンバー１が大気開放された時、或いはチャンバー１
内に多量のガスを流し込んだ時はチャンバー１内圧は急
激に上昇する。この場合は真空ポンプ４の過負荷防止の
ため、開閉バルブ３を閉じる必要がある。
【００１４】圧力センサ６及び制御装置７の遅れ、開閉
バルブ３の開→閉への動作遅れあり、この遅れのため、
設定圧力Ｐｓｅｔ１で開閉バルブを閉じるアルゴリズム
にしておいても、実際の圧力は設定圧力Ｐｓｅｔ１以上
に上昇してしまう。この制御応答の遅れによる圧力上昇
を考えて、設定圧力Ｐｓｅｔ１は真空ポンプ４の過負荷
限界の圧力より低目に設定する。一方、設定圧力Ｐｓｅ
ｔ２はポンプ過負荷限界圧力と同一又は僅かに低目に設
定する。設定圧力Ｐｓｅｔ１と設定圧力Ｐｓｅｔ２の間
に圧力差を設けることにより、内圧Ｐの小さい変動で開
閉動作する防止することもできる。
バルブ３の開→閉への動作遅れあり、この遅れのため、
設定圧力Ｐｓｅｔ１で開閉バルブを閉じるアルゴリズム
にしておいても、実際の圧力は設定圧力Ｐｓｅｔ１以上
に上昇してしまう。この制御応答の遅れによる圧力上昇
を考えて、設定圧力Ｐｓｅｔ１は真空ポンプ４の過負荷
限界の圧力より低目に設定する。一方、設定圧力Ｐｓｅ
ｔ２はポンプ過負荷限界圧力と同一又は僅かに低目に設
定する。設定圧力Ｐｓｅｔ１と設定圧力Ｐｓｅｔ２の間
に圧力差を設けることにより、内圧Ｐの小さい変動で開
閉動作する防止することもできる。
【００１５】なお、上記実施例では、開閉バルブ３の直
前の配管８の内圧Ｐを検出し、これと設定圧力Ｐｓｅｔ
を比較し開閉バルブ３を制御する方法を示したが、これ
に限定される真空ポンプ４の吸込圧と吐出圧の差圧、又
は真空ポンプの吸込圧と中間圧の差圧を検出し、これと
設定圧力Ｐｓｅｔを比較し開閉バルブ３を制御するよう
にしてもよい。
前の配管８の内圧Ｐを検出し、これと設定圧力Ｐｓｅｔ
を比較し開閉バルブ３を制御する方法を示したが、これ
に限定される真空ポンプ４の吸込圧と吐出圧の差圧、又
は真空ポンプの吸込圧と中間圧の差圧を検出し、これと
設定圧力Ｐｓｅｔを比較し開閉バルブ３を制御するよう
にしてもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、簡
単な構成で大気引き時の一時的な負荷増大に対処できる
真空ポンプの運転制御方式を提供できるという優れた効
果が得られる。
単な構成で大気引き時の一時的な負荷増大に対処できる
真空ポンプの運転制御方式を提供できるという優れた効
果が得られる。
【図１】本発明の真空ポンプの運転制御方式を適用する
装置の構成を示す図である。
装置の構成を示す図である。
【図２】開閉バルブの操作処理フローを示す図である。
【図３】設定圧力Ｐｓｅｔの設定状態を示す図である。
１ チャンバー ２ メインバルブ ３ 開閉バルブ ４ 真空ポンプ ５ 絞り機構 ６ 圧力センサ ７ 制御装置 ８ 配管
Claims (2)
- 【請求項１】 真空対象物にメインバルブを通して真空
ポンプの吸込口を接続し、該真空ポンプを起動運転する
ことにより、真空対象物内を真空状態にする真空ポンプ
の運転制御方式において、 前記真空ポンプの吸込口に接続され配管に開閉バルブを
設けると共に、該開閉バルブをバイパスする絞り機構を
設け、 前記メインバルブの開閉状態と前記開閉バルブ直前の配
管内圧Ｐ又は該配管内圧Ｐと吐出圧の差圧又は前記配管
内圧Ｐと吐出圧の圧力比又は前記配管圧力Ｐと中間圧の
差圧又は吸込圧と中間圧（多段真空ポンプの真空側ポン
プと大気側ポンプの接続口の圧力）の比の状態から、前
記開閉弁の開度を制御することを特徴とする真空ポンプ
の運転制御方式。 - 【請求項２】 前記メインバルブが全閉のときは、前記
開閉バルブを全閉とし、前記メインバルブが開のとき
は、前記開閉バルブ直前の配管内圧Ｐとの関係において
下記のように制御することを特徴とする請求項１記載の
真空ポンプの運転制御方式。 配管内圧Ｐと所定の設定圧力Ｐｓｅｔの関係が、Ｐ＞
Ｐｓｅｔの場合は閉、Ｐ≦Ｐｓｅｔの場合は開、 配管内圧Ｐと吐出圧の差圧ΔＰと所定の設定差圧ΔＰ
ｓｅｔの関係が、ΔＰ＞ΔＰｓｅｔの場合は開、ΔＰ≦
ΔＰｓｅｔの場合は閉、 配管内圧Ｐと中間圧との差圧ΔＰと所定の設定差圧Δ
Ｐｓｅｔの関係が、ΔＰ＞ΔＰｓｅｔの場合は開、ΔＰ
≦ΔＰｓｅｔの場合は閉、 配管内圧Ｐと吐出圧Ｐ’或いは中間圧Ｐ”との圧力比
εｐ＝Ｐ’／Ｐ或いはＰ”／Ｐと所定の設定比εｐｓｅ
ｔの関係が、εｐ＞εｐｓｅｔの場合は開、εｐ≦εｐ
ｓｅｔの場合は閉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19482191A JPH05231368A (ja) | 1991-07-09 | 1991-07-09 | 真空ポンプの運転制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19482191A JPH05231368A (ja) | 1991-07-09 | 1991-07-09 | 真空ポンプの運転制御方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05231368A true JPH05231368A (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=16330816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19482191A Pending JPH05231368A (ja) | 1991-07-09 | 1991-07-09 | 真空ポンプの運転制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05231368A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010107452A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Yamatake Corp | 密閉容器のリーク検出システム及びリーク検出方法 |
| JP2012102967A (ja) * | 2010-11-12 | 2012-05-31 | Mitsubishi Electric Corp | スクリュー冷凍機 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4329256Y1 (ja) * | 1965-08-20 | 1968-12-02 |
-
1991
- 1991-07-09 JP JP19482191A patent/JPH05231368A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4329256Y1 (ja) * | 1965-08-20 | 1968-12-02 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010107452A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Yamatake Corp | 密閉容器のリーク検出システム及びリーク検出方法 |
| JP2012102967A (ja) * | 2010-11-12 | 2012-05-31 | Mitsubishi Electric Corp | スクリュー冷凍機 |
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