CN220619092U - 用于pvd工作腔的脱气装置 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种用于PVD沉积腔的脱气装置，包括：脱气主管和压力调节管；脱气主管上设有主管控制阀；压力调节管包括外管和位于外管中的内管；外管的吸气端连接PVD工作腔的脱气口，出气端连通脱气主管；内管包括大开度内管和小开度内管；大开度内管包括相对的第一开口端和第二开口端，第一开口端为外管的吸气端，第二开口端向外管的出气端方向延伸，且第二开口端悬空；小开度内管包括相对的第三开口端和第四开口端，第三开口端连通大开度内管，第四开口端向外管的出气端延伸，且第四开口端悬空；压力调节管上还设有大开度阀和小开度阀；大开度阀控制大开度内管的开或关；小开度阀控制小开度内管的开或关。
Description
技术领域
本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种用于PVD沉积腔的脱气装置。
背景技术
在半导体集成电路制造过程中，物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)工艺由于其工艺简单、耗材少、成膜均匀致密等特点经常被用到半导体器件膜层沉积过程中。
相关技术在进行PVD工艺前，需对PVD工作腔进行脱气和充氩气处理以促进达成PVD工作腔的目标工艺压力、去除PVD工作腔中的水气和杂质。
但是相关技术中的用于PVD工作腔的脱气装置以标准抽速对PVD工作腔进行脱气，无法调节抽速。
发明内容
本申请提供了一种用于PVD工作腔的脱气装置，可以解决相关技术中脱气装置抽速不可调的问题。
为了解决背景技术中所述的技术问题，本申请提供一种用于PVD工作腔的脱气装置，所述用于PVD工作腔的脱气装置包括：脱气主管和压力调节管；
所述脱气主管上设有主管控制阀；
所述压力调节管包括外管和位于所述外管中的内管；
所述外管的吸气端连接PVD工作腔的脱气口，出气端连通脱气主管；
所述内管包括大开度内管和小开度内管；
所述大开度内管包括相对的第一开口端和第二开口端，所述第一开口端为所述外管的吸气端，所述第二开口端向所述外管的出气端方向延伸，且所述第二开口端悬空；
所述小开度内管包括相对的第三开口端和第四开口端，所述第三开口端连通所述大开度内管，所述第四开口端向所述外管的出气端延伸，且所述第四开口端悬空；
所述压力调节管上还设有大开度阀和小开度阀；
所述大开度阀控制所述大开度内管的开或关；
所述小开度阀控制所述小开度内管的开或关。
可选地，所述脱气主管还连接测漏装置。
可选地，所述测漏装置包括T型连接结构和测漏机；
所述T型连接结构包括连接管和设于所述连接管上的检测管，所述连接管的一端连通所述脱气主管，另一端设有测漏开关阀；
所述检测管的一端连通所述连接管，另一端连接测漏机。
可选地，所述连接管与所述脱气主管连通的位置位于所述主管控制阀的出气侧；
所述压力调节管与所述脱气主管连通的位置位于所述主管控制阀的进气侧。
可选地，所述连接管的一端通过第一紧固抱箍固定在所述脱气主管上；
所述检测管的另一端通过第二紧固抱箍连接测漏机。
可选地，所述大开度内管的管径大于小开度内管的管径。
可选地，所述大开度阀通过第一伸缩丝杆连接大开度封闭件，通过所述第一伸缩丝杆的伸缩带动所述大开度封闭件堵塞或打开所述大开度内管。
可选地，所述小开度阀通过第二伸缩丝杆连接小开度封闭件，通过所述第二伸缩丝杆的伸缩带动所述小开度封闭件堵塞或打开所述小开度内管。
可选地，所述脱气主管的一端连通所述压力调节管，另一端连接真空泵。
本申请技术方案，至少包括如下优点：通过主管控制阀开度能够影响压力调节管的脱气速率，主管控制阀开度越大，对压力调节管的脱气速率越大。通过控制主管控制阀、小开度阀和大开度阀能够在保护脱气装置上器件的基础上实现对PVD工作腔脱气速率的控制。
附图说明
为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了本申请一实施例提供的用于PVD工作腔的脱气装置结构示意图；
图2示出了压力调节管部分在大开度阀打开时的放大结构示意图；
图3示出了压力调节管部分在小开度阀打开时的放大结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电气连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
图1示出了本申请一实施例提供的用于PVD工作腔的脱气装置结构示意图，图2示出了压力调节管部分在大开度阀打开时的放大结构示意图，图3示出了压力调节管部分在小开度阀打开时的放大结构示意图。参照图1、图2和图3，该用于PVD工作腔的脱气装置包括：脱气主管110和压力调节管120。
所述脱气主管110上设有主管控制阀230。可选地，该主管控制阀230可以为蝶阀。
该压力调节管120包括外管和位于所述外管中的内管。
所述外管的吸气端121连接PVD工作腔的脱气口，出气端122连通脱气主管110。
所述内管包括大开度内管150和小开度内管160。
所述大开度内管150包括相对的第一开口端和第二开口端152，所述第一开口端为所述外管的吸气端121，所述第二开口端152向所述外管的出气端122方向延伸，且所述第二开口端152悬空。
所述小开度内管160包括相对的第三开口端161和第四开口端162，所述第三开口端161连通所述大开度内管150，所述第四开口端162向所述外管的出气端122延伸，且所述第四开口端162悬空。
所述压力调节管120上还设有大开度阀130和小开度阀140。
所述大开度阀130控制所述大开度内管150的开或关。
所述小开度阀140控制所述小开度内管160的开或关。
可以理解的是，本申请一方面通过主管控制阀230开度能够影响压力调节管120的脱气速率，主管控制阀230开度越大，对压力调节管120的脱气速率越大。当小开度内管160打开、大开度内管150关闭时，脱气主管110通过小开度内管160对PVD工作腔以较小速率进行脱气操作，从而在开始进行脱气操作的瞬间能够保护脱气装置上的器件，避免器件因较大压差而出现故障；当小开度内管160关闭、大开度内管150打开时，脱气主管110通过大开度内管150对PVD工作腔以较大速率进行脱气操作，从而在脱气操作的过程中能够以高效地对PVD工作腔进行脱气。
通过控制主管控制阀230、小开度阀140和大开度阀130能够在保护脱气装置上器件的基础上实现对PVD工作腔脱气速率的控制。通过调节主管控制阀230的开度从而控制PVD工作腔的工艺压力，以便能更好地满足工艺要求。
继续参照图1，所述脱气主管110的一端连通所述压力调节管120，另一端连接真空泵。本实施例中的用于PVD工作腔的脱气装置还可以包括测漏装置，所述测漏装置包括测漏机和T型连接结构240；所述T型连接结构240包括连接管241和设于所述连接管241上的检测管243，所述连接管241的一端连通所述脱气主管110，另一端设有测漏开关阀242。所述检测管243的一端连通所述连接管241，另一端连接测漏机。
可选地，所述压力调节管120与所述脱气主管110连通的位置位于所述主管控制阀230的进气侧。
所述连接管241的一端通过第一紧固抱箍251固定在所述脱气主管110上；所述检测管243的另一端通过第二紧固抱箍252连接测漏机。
该测漏机用于通过该T型连接结构240检测脱气主管110和压力调节管120是否漏气，在检测是否漏气是需要打开主管控制阀230和测漏开关阀242，关闭小开度阀140和大开度阀130。
继续参照图3，从图3中可以看出大开度内管150的管径大于小开度内管160的管径。
所述大开度阀130通过第一伸缩丝杆连接大开度封闭件131，通过所述第一伸缩丝杆的伸缩带动所述大开度封闭件131堵塞或打开所述大开度内管150的第二端。
所述小开度阀140通过第二伸缩丝杆连接小开度封闭件141，通过所述第二伸缩丝杆的伸缩带动所述小开度封闭件141堵塞或打开所述小开度内管160。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本申请创造的保护范围之中。
Claims (9)
1.一种用于PVD工作腔的脱气装置，其特征在于，所述用于PVD工作腔的脱气装置包括：脱气主管和压力调节管；
所述脱气主管上设有主管控制阀；
所述压力调节管包括外管和位于所述外管中的内管；
所述外管的吸气端连接PVD工作腔的脱气口，出气端连通脱气主管；
所述内管包括大开度内管和小开度内管；
所述大开度内管包括相对的第一开口端和第二开口端，所述第一开口端为所述外管的吸气端，所述第二开口端向所述外管的出气端方向延伸，且所述第二开口端悬空；
所述小开度内管包括相对的第三开口端和第四开口端，所述第三开口端连通所述大开度内管，所述第四开口端向所述外管的出气端延伸，且所述第四开口端悬空；
所述压力调节管上还设有大开度阀和小开度阀；
所述大开度阀控制所述大开度内管的开或关；
所述小开度阀控制所述小开度内管的开或关。
2.如权利要求1所述的用于PVD工作腔的脱气装置，其特征在于，所述脱气主管还连接测漏装置。
3.如权利要求2所述的用于PVD工作腔的脱气装置，其特征在于，所述测漏装置包括T型连接结构和测漏机；
所述T型连接结构包括连接管和设于所述连接管上的检测管，所述连接管的一端连通所述脱气主管，另一端设有测漏开关阀；
所述检测管的一端连通所述连接管，另一端连接测漏机。
4.如权利要求3所述的用于PVD工作腔的脱气装置，其特征在于，所述连接管与所述脱气主管连通的位置位于所述主管控制阀的出气侧；
所述压力调节管与所述脱气主管连通的位置位于所述主管控制阀的进气侧。
5.如权利要求3所述的用于PVD工作腔的脱气装置，其特征在于，所述连接管的一端通过第一紧固抱箍固定在所述脱气主管上；
所述检测管的另一端通过第二紧固抱箍连接测漏机。
6.如权利要求1所述的PVD工作腔的脱气装置，其特征在于，所述大开度内管的管径大于小开度内管的管径。
7.如权利要求1所述的PVD工作腔的脱气装置，其特征在于，所述大开度阀通过第一伸缩丝杆连接大开度封闭件，通过所述第一伸缩丝杆的伸缩带动所述大开度封闭件堵塞或打开所述大开度内管。
8.如权利要求1所述的PVD工作腔的脱气装置，其特征在于，所述小开度阀通过第二伸缩丝杆连接小开度封闭件，通过所述第二伸缩丝杆的伸缩带动所述小开度封闭件堵塞或打开所述小开度内管。
9.如权利要求1所述的PVD工作腔的脱气装置，其特征在于，所述脱气主管的一端连通所述压力调节管，另一端连接真空泵。
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