JP2009030595A - 真空排気装置および真空排気方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構成で装置コストの低減が容易な真空排気装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１０１と油回転真空ポンプ１１０との間に、直列状に一対の第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２を設ける。第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２間に真空度を測定する真空計１４０を設ける。制御手段により、第一開閉バルブ１２１を開状態とし測定した真空チャンバ１０１内の真空度を記憶後、第一開閉バルブ１２１を閉状態とし、第二開閉バルブ１２２を開状態として測定した油回転真空ポンプ１１０側の真空度を取得し、第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２を開状態とし、駆動する油回転真空ポンプ１１０にて真空排気する。１つの真空計１４０でも、油回転真空ポンプ１１０からの油や油蒸気などが真空チャンバ１０１へ流入する不都合を防止しつつ真空度を測定できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、油回転真空ポンプを用いて真空容器内を真空に排気する真空排気装置および真空排気方法に関する。

従来、走査型電子顕微鏡や宇宙環境試験装置などの高真空度を必要する真空容器内を、油回転ポンプを用いて真空排気する各種の真空排気装置が知られている。
そして、従来の真空排気装置では、油回転ポンプの油や油蒸気などが真空容器内に逆流する不都合を防止している（例えば、特許文献１または特許文献２参照）。

特許文献１に記載のものは、入口弁を介して真空容器に接続し真空容器内を高真空に排気するターボ分子ポンプに、油回転ポンプを直列に接続している。そして、真空容器内の真空度を測定する容器真空計と、ターボ分子ポンプの真空容器側の真空度を測定する排気真空計とを設けている。そして、容器真空計と排気真空計との測定値に応じて、制御手段により、ターボ分子ポンプおよび油回転ポンプの駆動や、排気弁および入口弁の開閉を制御する構成が採られている。
しかしながら、この特許文献１に記載のものでは、高価な２つの真空計を用いるので、装置コストの低減が得られにくいおそれがある。

特許文献２に記載のものは、走査型電子顕微鏡における試料を観察する観察室に、仕切弁を介して大気と真空とを繰り返させる予備室を連結している。また、観察室に荒引き配管用バルブを介して連結する油回転ポンプを、予備室荒引き配管用バルブを介して予備室にも連結している。そして、予備室と予備室荒引き配管用バルブとの間に、真空計と微小のガスを導入する構成とを設ける構成が採られている。
しかしながら、この特許文献２に記載のものでは、弁の開閉操作の不備や、予備室内が油回転ポンプの能力を超えた高真空の時などとなる場合など、油回転ポンプの油や油蒸気が予備室に逆流するおそれがある。また、別途ガスを流通させる構成が必要となるとともに、観察中にガスを常時排気することとなり、装置構成の簡略化や観察コストの低減が図りにくいおそれがある。

特開平５−４４６４３号公報 特開２００３−１５７７８６号公報

上述したように、上記特許文献１および特許文献２に記載のような従来の真空排気装置では、装置構成の簡略化および装置コストの低減が図りにくいという問題がある。

本発明の目的は、このような点に鑑みて、簡単な構成で装置コストの低減が容易な真空排気装置および真空排気方法を提供する。

本発明に記載の真空排気装置は、真空容器に接続され前記真空容器内を真空に排気する真空排気装置であって、前記真空容器に接続され前記真空容器内を真空に排気する油回転真空ポンプと、前記真空容器および前記油回転真空ポンプ間に直列状に設けられた一対の開閉バルブと、これら開閉バルブ間に位置して設けられ真空度を測定する真空計と、を具備したことを特徴とする。
この発明では、真空容器とこの真空容器内を真空に排気する油回転真空ポンプとの間に、直列状に一対の開閉バルブを設け、これら開閉バルブ間に真空度を測定する真空計を設けている。そして、真空容器側に接続する一方の開閉バルブのみを開状態とすることで真空容器内の真空度を測定でき、油回転真空ポンプ側に接続する他方の開閉バルブのみを開状態とすることで油回転真空ポンプ側の真空度を測定でき、双方を開状態とすることで真空容器内を真空に排気しつつ真空に排気している真空度の状態を測定できる。
このことにより、１つの真空計でも、油回転真空ポンプからの油や油蒸気などが真空容器へ流入する不都合を防止しつつ、適切な真空度の測定ができ、構成の簡略が得られ装置コストを容易に低減できる。

そして、本発明では、請求項１に記載の真空排気装置であって、前記真空計にて測定する真空度に基づいて、前記一対の開閉バルブの開閉状態を制御する制御手段を具備した構成とすることが好ましい。
この発明では、制御手段により、真空計にて測定した真空度に基づいて、一対の開閉バルブの開閉状態を制御する。
このことにより、作業者による誤操作などにより油回転真空ポンプからの油や油蒸気などが真空容器へ流入するなどの不都合を防止できるとともに、自動的に開閉バルブが開閉されるので、真空に排気する作業性を向上できる。

また、本発明では、請求項１または請求項２に記載の真空排気装置であって、前記制御手段は、前記油回転真空ポンプが駆動されると、前記真空容器側に接続する前記一方の開閉バルブを所定期間で開状態として前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度に関する容器真空度データを記憶し、前記一方の開閉バルブを閉状態とした後に前記油回転真空ポンプ側に接続する前記他方の開閉バルブを開状態として前記真空計により測定する前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データを取得し、この油回転真空ポンプ側の真空度を取得した後に前記記憶した容器真空度データと前記真空計により測定する前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データとを比較して、前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データの真空度の度合いが前記記憶した真空容器内の真空度の度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、前記一対の開閉バルブを開状態とする真空排気処理の制御をする構成とすることが好ましい。
この発明では、制御手段により、油回転真空ポンプが駆動されると、真空排気処理の制御をする。すなわち、制御手段は、真空容器側に接続する一方の開閉バルブを開状態として真空計により測定した真空容器内の真空度に関する容器真空度データを取得して記憶した後、一方の開閉バルブを閉状態とし、油回転真空ポンプ側に接続する他方の開閉バルブを開状態として真空計により測定する油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データを取得する。この後、制御手段は、記憶した容器真空度データと真空計により測定する油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データとを比較して、油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データの真空度の度合いが記憶した真空容器内の真空度の度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、一対の開閉バルブを開状態として、駆動する油回転真空ポンプにて真空容器内を真空に排気させる。
このことにより、油回転真空ポンプからの油や油蒸気などが真空容器へ流入するなどの不都合を生じることなく、１つの真空計で適切に真空容器内を真空に排気できる。
ここで、油回転真空ポンプの駆動は、手動により駆動開始されたことを例えば電力供給や電源スイッチの操作などにより認識したり、油回転真空ポンプの駆動を要求する旨のスイッチ操作などによる設定入力を認識して自動的に油回転真空ポンプを駆動開始させたりするなど、自動または手動を問わない。

そして、本発明では、請求項３に記載の真空排気装置であって、前記制御手段は、前記真空計により測定されて取得する前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空データを取得する際の前記他方の開閉バルブの開状態を所定期間とする構成とすることが好ましい。
この発明では、制御手段により、他方の開閉バルブを所定期間で開状態として、真空計により測定されて取得する油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空データを取得する。すなわち、油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空データを取得した後に、他方の開閉バルブを一旦閉状態とし、この後に一対の開閉バルブを開状態として、駆動する油回転真空ポンプにて真空容器内を真空に排気させる。
このことにより、油回転ポンプ側の真空度と真空容器側の真空度の度合いの高低を一対の開閉バルブと真空計の簡単な構成で容易に認識することが可能となり、以降の両開閉バルブを同時に開いても、真空容器にとって有害な油や油蒸気を含んだ油回転真空ポンプ側の空気が真空容器側に流入することを防止できる。

また、本発明では、請求項３または請求項４に記載の真空排気装置であって、前記制御手段は、前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空データを取得した後に前記一対の開閉バルブを開状態として前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度が所定の真空度となったことを認識すると、前記他方の開閉バルブを閉状態とする構成とすることが好ましい。
この発明では、制御手段により、油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空データを取得した後に一対の開閉バルブを開状態として真空容器内を真空に排気させ、真空計により測定する真空容器データの値である真空容器内の真空度が例えばあらかじめ設定した閾値などの所定の真空度となったことを認識すると、他方の開閉バルブを閉状態とする。
このことにより、油回転真空ポンプの駆動を停止しても、油回転真空ポンプからの油や油蒸気などが真空容器へ流入するなどの不都合を生じることなく、真空計による真空状態の監視をしつつ真空容器内の真空状態の維持を長期化できる。また、油回転真空ポンプの駆動停止による真空容器内を真空状態に維持するための運転コストを低減できる。さらに、例えば、真空容器を利用する精密機器における較正などの際に、油回転真空ポンプの駆動による振動により較正操作が煩雑となったり、較正精度が低下したりするなどの不都合を、油回転真空ポンプの駆動停止により防止することもできる。

さらに、本発明では、請求項５に記載の真空排気装置であって、前記制御手段は、前記真空容器内の真空度が所定の真空度となった後に前記他方の開閉バルブを閉状態とする制御の後に前記油回転真空ポンプの駆動停止を可能とする構成とすることが好ましい。
この発明では、制御手段により、真空容器内の真空度が所定の真空度となった後に他方の開閉バルブを閉状態とする制御の後、油回転真空ポンプの駆動停止を可能、例えば自動的に駆動停止させる制御もしくは手動による停止操作に応じて供給電力を遮断可能とする制御などをする。
このことにより、真空容器と油回転真空ポンプとが連通する状態での油回転真空ポンプの停止による油回転真空ポンプからの油や油蒸気などが真空容器へ流入するなどの不都合を確実に防止できる。

また、本発明では、請求項５または請求項６に記載の真空排気装置であって、前記制御手段は、前記真空容器内の真空度の度合いが低下したことにより停止している前記油回転真空ポンプが駆動されると、前記一方の開閉バルブが開状態で前記他方の開閉バルブが閉状態での前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度に関する容器真空度データを記憶し、この容器真空度データを記憶した後に前記一方の開閉バルブを閉状態とした後に前記他方の開閉バルブを開状態とし、前記記憶した容器真空度データと前記真空計により逐次測定する前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データとを比較して、前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データの真空度の度合いが前記記憶した真空容器内の真空度の度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、前記一方の開閉バルブを開状態とする真空再排気処理の制御をする構成とすることが好ましい。
この発明では、真空容器内の真空度の度合いが低下すなわち徐々に大気圧に近づく状態となって停止している油回転真空ポンプを駆動させる際、制御手段により、真空再排気処理の制御をする。すなわち、制御手段は、一方の開閉バルブが開状態で他方の開閉バルブが閉状態での真空計により測定する真空容器内の真空度に関する容器真空度データを記憶した後、一方の開閉バルブを閉状態としてから他方の開閉バルブを開状態として真空計により油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データを逐次測定して取得し、記憶した真空容器内の真空度に関する容器真空度データと、逐次測定して取得する油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データとを比較する。そして、制御手段は、真空計により逐次測定する油回転真空ポンプ側の真空度の度合いが、あらかじめ記憶した真空容器内の真空度の度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、一方の開閉バルブを開状態として、一対の開閉バルブが開状態となることで、駆動する油回転真空ポンプにて真空容器内を真空に再排気させる。
このことにより、再排気の場合でも、油回転真空ポンプからの油や油蒸気などが真空容器へ流入するなどの不都合を生じることなく、１つの真空計で適切に真空容器内を真空に排気できる。

そして、本発明では、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の真空排気装置であって、前記真空容器およびこの真空容器側に接続する前記一方の開閉バルブ間に分岐形成され、開放により前記真空容器および前記一方の開閉バルブ間を大気圧にリークさせるリークバルブを備えたリーク部を具備した構成とすることが好ましい。
この発明では、真空容器とこの真空容器側に接続する一方の開閉バルブとの間に、開放により真空容器および一方の開閉バルブ間を大気圧にリークさせるリークバルブを備えたリーク部を分岐形成する。
このことにより、真空容器内を真空状態から大気圧状態に戻す場合、一方の開閉バルブを開状態にした後にリークバルブを開状態にすることにより、真空容器側と他方の開閉バルブとの間は大気圧状態となる。この後に他方の開閉バルブを開状態とすると、大気圧状態となっている真空容器側の空気が油回転真空ポンプ側に流入するので、この後に油回転真空ポンプを停止すればよい。このため、真空容器並びに真空計へ、有害な油や油蒸気を含んだ油回転真空ポンプ側の空気が他方の開閉バルブを介して流入することを防止できる。したがって、簡単な構成で容易な処理により良好に真空容器内を大気圧状態に戻すことができる。

さらに、本発明では、請求項７に記載の真空排気装置であって、前記制御手段は、前記油回転真空ポンプ側に接続する前記他方の開閉バルブを閉状態とした後に前記リークバルブを開状態とし、前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度がほぼ大気圧になったことを認識すると、前記油回転真空ポンプを駆動停止し、前記他方の開閉バルブを開状態とするリーク処理の制御をする構成とすることが好ましい。
この発明では、制御手段によるリーク処理の制御として、他方の開閉バルブを閉状態とした後にリークバルブを開状態とする。例えば手動によるリークバルブの開放処理あるいは制御手段によるリークバルブの自動的な開放処理などを実施する。さらに、制御手段は、真空計により測定する真空容器内の真空度がほぼ大気圧になったことを認識すると、他方の開閉バルブを開状態として油回転真空ポンプ側を大気圧にリークさせる。そして、制御手段は、油回転真空ポンプを駆動停止する。例えば自動的に駆動停止させる制御もしくは手動による停止操作に応じて供給電力を遮断可能とする制御などをする。
このことにより、真空容器内を大気圧にリークさせる場合でも、油回転真空ポンプからの油や油蒸気などが真空容器へ流入するなどの不都合を生じることなく、１つの真空計で適切に真空容器内を大気圧にリークできる。

また、本発明では、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の真空排気装置であって、前記一対の開閉バルブ間に分岐形成され、開放により前記一対の開閉バルブ間を大気圧にリークさせるリークバルブを備えたリーク部を具備した構成とすることが好ましい。
この発明では、一対の開閉バルブ間に、開放により一対の開閉バルブ間を大気圧にリークさせるリークバルブを備えたリーク部を分岐形成する。
このことにより、真空容器内を真空状態から大気圧状態に戻す場合、一方の開閉バルブを開状態にした後にリークバルブを開状態にすることにより、真空容器側と他方の開閉バルブとの間は大気圧状態となる。この後に他方の開閉バルブを開状態とすると、大気圧状態となっている真空容器側の空気が油回転真空ポンプ側に流入するので、この後に油回転真空ポンプを停止すればよい。このため、真空容器並びに真空計へ、有害な油や油蒸気を含んだ油回転真空ポンプ側の空気が他方の開閉バルブを介して流入することを防止できる。したがって、簡単な構成で容易な処理により良好に真空容器内を大気圧状態に戻すことができる。

さらに、本発明では、請求項１０に記載の真空排気装置であって、前記制御手段は、前記油回転真空ポンプ側に接続する前記他方の開閉バルブを閉状態とした後に前記リークバルブを開状態可能とするとともに、前記真空容器側に接続する前記一方の開閉バルブを開状態可能とし、前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度がほぼ大気圧になったことを認識すると、前記他方の開閉バルブを開状態可能とするリーク処理の制御をする構成とすることが好ましい。
この発明では、制御手段によるリーク処理の制御として、他方の開閉バルブを閉状態とした後にリークバルブを開状態可能、例えば手動によるリークバルブの開放処理あるいは制御手段によるリークバルブの自動的な開放処理などを実施する。さらに、制御手段は、一方の開閉バルブを開状態可能、例えば手動による開放処理あるいは制御手段による自動的な開放処理などを実施する。そして、制御手段は、真空計により測定する真空容器内の真空度がほぼ大気圧にあったことを認識すると、他方の開閉バルブを開状態可能、例えば手動による開放処理あるいは制御手段による自動的な開放処理などを実施し、油回転真空ポンプ側を大気圧にリークさせる。
このことにより、真空容器内を大気圧にリークさせる場合でも、油回転真空ポンプからの油や油蒸気などが真空容器へ流入するなどの不都合を生じることなく、１つの真空計で適切に真空容器内を大気圧にリークできる。

本発明に記載の真空排気方法は、真空容器に接続され前記真空容器内を真空に排気する真空排気方法であって、直列状に接続する一対の開閉バルブを介して前記真空容器内を真空に排気する油回転真空ポンプと、前記一対の開閉バルブ間に位置して設けられた真空度を測定する真空計とを用い、前記油回転真空ポンプが駆動されると、前記真空容器側に接続する前記一方の開閉バルブを所定期間で開状態として前記真空計により測定する真空度に関する容器真空度データを記憶する真空容器真空度記憶工程と、この真空容器真空度記憶工程の後に、前記一方の開閉バルブを閉状態とした後に前記油回転真空ポンプ側に接続する前記他方の開閉バルブを開状態として前記真空計により測定する真空度に関するポンプ真空度データを取得する油回転真空ポンプ真空度取得工程と、この油回転真空ポンプ真空度取得工程の後に、前記一対の開閉バルブを開状態として前記駆動する油回転真空ポンプにて前記真空容器内を真空に排気する真空排気工程と、を実施することを特徴とする。
この発明では、油回転真空ポンプが駆動されると、真空容器真空度記憶工程を実施する。すなわち、真空容器側に接続する一方の開閉バルブを所定期間で開状態、油回転ポンプ側に接続する他方の開閉バルブを同期間で閉状態として真空計により測定する真空度を、真空容器内の真空度に関する容器真空度データとして取得して記憶する。この真空容器真空度記憶工程の後、油回転真空ポンプ真空度取得工程を実施する。すなわち、一方の開閉バルブを閉状態とした後に油回転真空ポンプ側に接続する他方の開閉バルブを開状態として、真空計により測定する真空度を、油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データとして取得する。この油回転真空ポンプ真空度取得工程の後、真空排気工程を実施する。すなわち、一対の開閉バルブを開状態として、駆動する油回転真空ポンプにて真空容器内を真空に排気する。
このことにより、油回転真空ポンプからの油や油蒸気などが真空容器へ流入するなどの不都合を生じることなく、１つの真空計で適切に真空容器内を真空に排気することができ、装置構成を簡略化できる。

以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
なお、本実施形態では、本発明の真空排気装置として、例えば光学式干渉計に適用する構成を例示するが、真空に排気される各種真空容器を備えた構成に適用できる。
図１は、本実施形態における真空排気装置の概略構成を示すブロック図である。

〔真空排気装置の構成〕
図１において、１００真空排気装置で、この真空排気装置１００は、例えば図示しない光学式干渉計に利用されるもので、光学式干渉計のレーザ光の干渉部を構成する真空容器としての真空チャンバ１０１内を真空に排気する装置である。
この真空排気装置１００は、油回転真空ポンプ１１０、排気配管１２０、リーク部としてのリーク管１３０、真空計１４０、および、図示しない制御手段と、を備えている。

油回転真空ポンプ１１０は、排気配管１２０を介して真空チャンバ１０１に接続されている。そして、油回転真空ポンプ１１０は、駆動により真空チャンバ１０１から排気配管１２０を介して排気し、真空チャンバ１０１内を真空にする。
この油回転真空ポンプ１１０の駆動としては、例えば電源スイッチにより図示しない電力供給部から供給される電力により起動する手動、あるいはスイッチ操作を認識した制御手段により電力供給部から電力を供給させて駆動制御する自動など、いずれの駆動方法を利用できる。

排気配管１２０には、例えば耐圧配管などが用いられ、一端側が真空チャンバ１０１に接続され他端側が油回転真空ポンプ１１０に接続されている。そして、この排気配管１２０には、直列状に対をなす一方の開閉バルブである第一開閉バルブ１２１および他方の開閉バルブである第二開閉バルブ１２２が設けられている。なお、これら第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２は、真空チャンバ１０１側に位置する開閉バルブを第一開閉バルブ１２１、油回転真空ポンプ１１０側に位置する開閉バルブを第二開閉バルブ１２２とする。
これら第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２は、例えば、制御手段により開閉される電磁開閉式のもので、制御手段にて開閉可能で、制御手段への電力供給が遮断された際に自動的に閉状態となるいわゆるノーマルクローズバルブなどが利用可能である。

リーク部としてのリーク管１３０は、排気配管１２０と同様に、例えば耐圧配管などが用いられ、一端側が排気配管１２０における真空チャンバ１０１と第二開閉バルブ１２２との間に分岐する状態に接続され、他端側は大気に開放する自由端となっている。
そして、このリーク管１３０には、リークバルブ１３１が設けられている。このリークバルブ１３１の開放すなわち開状態とすることで、排気配管１２０における真空チャンバ１０１と第二開閉バルブ１２２との間が大気圧にリークする。

真空計１４０は、例えば電離真空計やピラニー真空計など、例えば光学式干渉計におけるレーザ光の空気屈折による悪影響を生じない真空度を測定できる各種の真空計を利用できる。
この真空計１４０は、排気配管１２０における第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２間に位置して配設され、この位置の真空度を測定する。そして、真空計１４０は、制御手段に接続され、測定した真空度に対応するデータを制御手段へ出力する。

制御手段は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）などを備え、真空チャンバ１０１を真空に排気あるいは真空チャンバ１０１内の大気圧へのリークなど、真空計１４０で測定する真空度に基づいて、第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２の開閉を制御する。
具体的には、制御手段は、真空排気処理、真空再排気処理、および、リーク処理などを実施する。なお、制御手段は、例えば内部クロックなどの基準パルスに基づいて、真空計１４０で測定する真空度に関する真空度データを取得する。すなわち、制御手段は、真空計１４０で測定し出力される真空度に関する真空度データが入力されると、適宜演算のためにキャッシュメモリなどに記憶する。

真空排気処理では、真空チャンバ１０１内の真空排気を要求する真空排気処理を要求する信号を認識した制御手段が、第一開閉バルブ１２１を開状態として排気配管１２０を介して連通する真空チャンバ１０１内の真空度を真空計１４０により測定して出力される真空度データを容器真空度データとして取得し、ＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶手段に記憶する。この後、第一開閉バルブ１２１を閉状態とし、第二開閉バルブ１２２を開状態として排気配管１２０を介して連通する油回転真空ポンプ１１０側の真空度を真空計１４０により測定して出力される真空度データをポンプ真空度データとして取得する。なお、真空排気処理を要求する信号としては、後述するが、制御装置からの制御信号の認識、油回転真空ポンプ１１０の起動の認識などが例示できる。
そして、制御手段は、第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２を開状態として、排気配管１２０を介して真空チャンバ１０１および油回転真空ポンプ１１０を連通させ、駆動する油回転真空ポンプ１１０にて真空チャンバ１０１内を真空に排気させる。そして、制御手段は、真空計１４０にて逐次測定する真空チャンバ１０１内の真空度があらかじめ設定された閾値である真空度に到達したことを認識すると、油回転真空ポンプ１１０の駆動を停止しても真空チャンバ１０１内の真空度を、真空計１４０にて監視しつつ維持できるように、第二開閉バルブ１２２を閉状態として、処理を終了する。

また、真空再排気処理では、真空チャンバ１０１内の真空度の度合いが低下して、停止している油回転真空ポンプ１１０が駆動され、制御手段が真空チャンバ１０１内の真空再排気を要求する真空再排気処理を要求する信号を認識すると、第一開閉バルブ１２１が開状態で第二開閉バルブ１２２が閉状態であることを認識して、排気配管１２０を介して連通する真空チャンバ１０１内の真空度を真空計１４０により測定して記憶する。なお、制御手段は、第一開閉バルブ１２１が開状態で第二開閉バルブ１２２が閉状態でないことを認識すると、第一開閉バルブ１２１が開状態で第二開閉バルブ１２２が閉状態に切り替える。
そして、真空チャンバ１０１の真空度を記憶した後、第一開閉バルブ１２１を閉状態としてから第二開閉バルブ１２２を開状態として真空計１４０により油回転真空ポンプ１１０側の真空度を逐次測定し、記憶した真空チャンバ１０１内の真空度と、逐次測定する油回転真空ポンプ１１０側の真空度とを比較する。そして、制御手段は、真空計１４０により逐次測定する油回転真空ポンプ１１０側の真空度の度合いが、あらかじめ記憶した真空チャンバ１０１内の真空度の度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、第一開閉バルブ１２１を開状態とする。この第一開閉バルブ１２１の開状態の設定により、第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２が開状態となって真空チャンバ１０１および油回転真空ポンプ１１０を連通させ、駆動する油回転真空ポンプ１１０にて真空チャンバ１０１内を真空に再排気させる。

さらに、リーク処理では、第二開閉バルブ１２２を閉状態とした後にリークバルブ１３１を開状態可能、例えば手動によるリークバルブ１３１の開放処理あるいは制御手段によるリークバルブ１３１の自動的な開放処理などを実施する。
さらに、制御手段は、真空計１４０により測定する真空チャンバ１０１内の真空度がほぼ大気圧になったことを認識すると、第二開閉バルブ１２２を開状態とする。この第二開閉バルブ１２２の開状態の設定により、油回転真空ポンプ１１０側が大気圧にリークする。
そして、制御手段は、油回転真空ポンプ１１０の駆動停止を可能、例えば上述したように自動的に駆動停止させる制御もしくは手動による停止操作に応じて供給電力を遮断可能とする制御などをする。
すなわち、まず第二開閉バルブ１２２を開いた後に油回転真空ポンプ１１０を停止することで、確実に油や油蒸気を含む空気にて汚染されることを防止できる。

また、制御手段には、例えば光学式干渉計全体の動作を設定・制御する例えばパーソナルコンピュータなどの制御装置が接続される。そして、制御手段は、作業者である光学式干渉計の利用者が制御装置における入力操作可能なキーボードなどの入力操作に応じた各種設定信号に基づく各種の制御信号を認識すると、光学式干渉計全体を動作制御する。

〔真空排気装置の動作〕
次に、上記真空排気装置１００の動作について、図面を参照して説明する。

（真空排気処理）
以下、真空排気装置１００の動作として、真空排気処理の動作について、図面を参照して説明する。
なお、本実施形態では、油回転真空ポンプ１１０は、利用者による手動操作により駆動および停止する構成を例示するが、例えば真空排気処理を要求する旨の入力操作により、制御手段が自動的に油回転真空ポンプ１１０を駆動あるいは停止させる構成としてもよい。
図２は、真空排気処理における動作を示すタイミングチャートで、（Ａ）は真空チャンバ１０１内の真空圧Ｐｖｃを示すグラフ、（Ｂ）は油回転真空ポンプ１１０における真空圧Ｐｖｐを示すグラフ、（Ｃ）はトリガ信号を示す波形図、（Ｄ）は第一開閉バルブ１２１の開閉を示す波形図、（Ｅ）は第二開閉バルブ１２２の開閉を示す波形図、（Ｆ）は真空計１４０で測定する真空度を読み取るタイミングを示す波形図である。

まず、例えば、光学式干渉計を利用する利用者が、油回転真空ポンプ１１０の電源を投入して駆動させるとともに、光学干渉計における真空チャンバ１０１内の真空排気を実施するために、真空排気処理を要求する旨の入力操作を制御手段で実施することにより、図２（Ｃ）に示すように、制御手段から真空排気処理の要求に関する制御信号が出力される。
この制御信号を認識した制御手段は、図２（Ｄ）に示すように、第一開閉バルブ１２１を所定期間で開状態とする。なお、この第一開閉バルブ１２１の開状態の設定の際、第二開閉バルブ１２２およびリークバルブ１３１が閉状態か否かを判断し、閉状態でない場合には、あらかじめ第二開閉バルブ１２２およびリークバルブ１３１を閉状態とする。また、リークバルブ１３１の閉状態は、制御手段により、自動的に閉状態に切替制御したり、利用者により手動で閉状態に切り替えさせる報知に基づいて切り替えられたことを認識したりするなど、自動および手動のいずれの方法でもよい。なお、手動の場合には、リークバルブ１３１が閉状態に切り替えられたことを認識した場合にのみ、真空排気処理に移行する構成とすることが好ましい。そして、第一開閉バルブ１２１の開状態により、排気配管１２０は、真空チャンバ１０１に連通する状態となる。

さらに、制御手段は、第一開閉バルブ１２１の開状態への切り替え制御の後、図２（Ｆ）に示すように、真空計１４０で測定する真空度に関するデータを取得する動作を実施するトリガ信号となる基準パルスの発振を開始する。そして、第一開閉バルブ１２１が開状態で基準パルスが発振された際、制御手段は、真空計１４０で測定する真空度に関する真空度データを取得、すなわち真空チャンバ１０１に連通する排気配管１２０の真空圧である真空度Ｐｖｃの測定により得られた容器真空度データを取得し、図示しない記憶手段に記憶する真空容器真空度記憶工程を実施する（図２（Ａ）参照）。
この真空容器真空度記憶工程の後、制御手段は、図２（Ｅ）に示すように、第一開閉バルブ１２１が閉じられてから第二開閉バルブ１２２を所定時間で開状態とする。この第二開閉バルブ１２２の開状態により、排気配管１２０は、油回転真空ポンプ１１０に連通する状態となる。この状態で、制御手段は、基準パルスが発振された際に、真空計１４０で測定する真空度に関する真空度データを取得、すなわち油回転真空ポンプ１１０に連通する排気配管１２０の真空圧である真空度Ｐｖｐの測定により得られたポンプ真空度データを取得し、記憶手段に記憶する油回転真空ポンプ真空度取得工程を実施する（図２（Ｂ）参照）。

この油回転真空ポンプ真空度取得工程の後、制御手段は、真空容器真空度記憶工程で記憶された容器真空度データと油回転真空ポンプ真空度取得工程で記憶されたポンプ真空度データとを比較し、油回転真空ポンプ１１０側の真空度に関するポンプ真空度データの真空度の度合いが真空チャンバ１０１の真空度の度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、第一開閉バルブ１２１を開状態とする。なお、この油回転真空ポンプ真空度取得工程の後の処理として、真空計１４０の測定による真空度の度合いの確認のため、例えば第二開閉バルブ１２２が一旦閉状態となってから、第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２を開状態としてもよい。
この第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２の開状態により、排気配管１２０を介して油回転真空ポンプ１１０および真空チャンバ１０１が連通する状態となる。そして、駆動する油回転真空ポンプ１１０にて、真空チャンバ１０１内が真空に排気される。この真空排気の際、制御手段は、基準パルス毎に真空計１４０から真空データを取得し、あらかじめ設定された目標値の真空度Ｐｍ、例えば０．１Ｐａに到達したか否かを判断する。そして、真空チャンバ１０１内があらかじめ設定された目標の閾値である真空度Ｐｍに到達したことを認識すると（図２（Ａ），（Ｂ）参照）、真空チャンバ１０１を利用した計測や観察などを実施可能とする。
なお、目標の真空度Ｐｍに到達したことを認識した場合、第二開閉バルブ１２２を閉状態として、油回転真空ポンプ１１０の停止を可能として、真空排気処理を完了させてもよい。この構成によれば、油回転真空ポンプ１１０への不要な電力供給を防止でき、省エネルギ化が容易に得られる。また、この真空排気処理において、真空チャンバ１０１内が目標の真空度Ｐｍに到達した後に第二開閉バルブ１２２を閉状態としたが、第二開閉バルブ１２２を閉状態としなくてもよい。

（真空再排気処理）
次に、真空排気装置１００の動作として、真空再排気処理の動作について、図面を参照して説明する。
なお、この真空再排気処理では、真空チャンバ１０１が真空排気された後に油回転真空ポンプ１１０の駆動が停止された状態で、真空チャンバ１０１内の真空度の度合いが低下して、停止している油回転真空ポンプ１１０を駆動して再び真空排気する処理を例示する。また、上述したように、油回転真空ポンプ１１０は、利用者による手動操作により駆動および停止する構成を例示するが、例えば真空排気処理を要求する旨の入力操作により、制御手段が自動的に油回転真空ポンプ１１０を駆動あるいは停止させる構成としてもよい。
図３は、真空再排気処理における動作を示すタイミングチャートで、（Ａ）は真空チャンバ１０１内の真空圧Ｐｖｃを示すグラフ、（Ｂ）は油回転真空ポンプ１１０における真空圧Ｐｖｐを示すグラフ、（Ｃ）はトリガ信号を示す波形図、（Ｄ）は第一開閉バルブ１２１の開閉を示す波形図、（Ｅ）は第二開閉バルブ１２２の開閉を示す波形図、（Ｆ）は真空計１４０で測定する真空度を読み取るタイミングを示す波形図である。

まず、例えば、光学式干渉計を利用する利用者が、油回転真空ポンプ１１０の電源を投入して駆動させるとともに、光学干渉計における真空チャンバ内の真空再排気を実施するために、真空再排気処理を要求する旨の入力操作を制御手段で実施することにより、図３（Ｃ）に示すように、制御手段から真空再排気処理の要求に関する制御信号が出力される。この制御信号を認識した制御手段は、第一開閉バルブ１２１が開状態で第二開閉バルブ１２２が閉状態であることを認識して、図３（Ａ），（Ｆ）に示すように、基準パルスに対応して、真空計１４０で測定する真空度に関する真空度データを取得、すなわち真空チャンバ１０１に連通する排気配管１２０の真空度Ｐｖｃの測定により得られた容器真空度データを取得し、図示しない記憶手段に記憶する。ここで、第一開閉バルブ１２１が開状態、および、第二開閉バルブ１２２が閉状態でない場合には、制御手段は、第一開閉バルブ１２１を開状態で第二開閉バルブ１２２を閉状態にする。
そして、真空チャンバ１０１の真空度を記憶した後、第一開閉バルブ１２１を閉状態（図３（Ｄ）参照）としてから第二開閉バルブ１２２を開状態（図３（Ｅ）参照）とする。この状態で、制御手段は、基準パルスに対応して、真空計１４０で測定する真空度に関する真空度データを取得、すなわち油回転真空ポンプ１１０に連通する排気配管１２０の真空度Ｐｖｐの測定により得られたポンプ真空度データを逐次取得する。さらに、制御手段は、逐次取得した油回転真空ポンプ１１０の真空度Ｐｖｐと、先に取得して記憶した真空チャンバ１０１の真空度Ｐｖｃとを比較する。そして、制御手段は、真空計１４０により逐次測定する油回転真空ポンプ１１０側の真空度Ｐｖｐの度合いが、あらかじめ記憶した真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃの度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、第一開閉バルブ１２１を開状態とする。
なお、この第一開閉バルブ１２１の開状態の制御の際、上述したように、例えば第二開閉バルブ１２２を一旦閉状態とした後に第一開閉バルブ１２１を開状態とし、再び第二開閉バルブ１２２を開状態としてもよい。
この第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２の開状態により、真空チャンバ１０１および油回転真空ポンプ１１０が連通し、駆動する油回転真空ポンプ１１０により真空チャンバ１０１内が真空に再排気される。この後は、上述した図２に示す真空排気処理と同様に処理される。

（較正作業のための油回転真空ポンプの停止処理）
次に、真空排気装置１００の動作として、較正作業などのために油回転真空ポンプ１１０を停止する処理の動作について、図面を参照して説明する。
なお、真空チャンバ１０１から第二開閉バルブ１２２までの間は真空状態を保持している必要があることから、より確実な真空状態の維持のために、リークバルブ１３１は閉状態に保たれる。また、較正のために油回転真空ポンプ１１０の駆動を停止する場合に限らず、例えば上述した真空排気処理や真空再排気処理の後など、運転コストの低減などの目的で油回転真空ポンプ１１０を停止する場合などでも同様である。
図４は、油回転真空ポンプ１１０の停止処理における動作を示すタイミングチャートで、（Ａ）は真空チャンバ１０１内の真空圧Ｐｖｃを示すグラフ、（Ｂ）は油回転真空ポンプ１１０における真空圧Ｐｖｐを示すグラフ、（Ｃ）はトリガ信号を示す波形図、（Ｄ）は第一開閉バルブ１２１の開閉を示す波形図、（Ｅ）は第二開閉バルブ１２２の開閉を示す波形図、（Ｆ）は真空計１４０で測定する真空度を読み取るタイミングを示す波形図、（Ｇ）はリークバルブ１３１の開閉を示す波形図である。

まず、例えば、光学式干渉計を利用する利用者が、光学干渉計の較正を実施するために、油回転真空ポンプ１１０の停止処理を要求する旨の入力操作を制御手段で実施することにより、図４（Ｃ）に示すように、制御手段から油回転真空ポンプ１１０の停止処理の要求に関する制御信号が出力される。この制御信号を認識した制御手段は、図４（Ｅ）に示すように、第二開閉バルブ１２２を閉状態とする。このことにより、真空計１４０が接続する排気配管１２０は、真空チャンバ１０１にのみ連通する状態となる。なお、この状態で、制御手段は、基準パルスに対応して、真空計１４０で測定する真空度に関する真空度データを取得して、真空チャンバ１０１の真空度Ｐｖｃの監視を継続する。
この後、制御手段は、油回転真空ポンプ１１０を停止可能な処理をする。具体的には、利用者に油回転真空ポンプ１１０の停止を許可する表示や音声出力などにより報知したり、油回転真空ポンプ１１０の電力供給を自動的に遮断したりする。そして、油回転真空ポンプ１１０の駆動停止により、図４（Ｂ）に示すように、油回転真空ポンプ１１０側は、次第に大気圧に近づく状態となる。

（リーク処理）
次に、真空排気装置１００の動作として、リーク処理の動作について、図面を参照して説明する。
なお、このリーク処理では、第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２が開状態で駆動する油回転真空ポンプ１１０が駆動している状態から真空チャンバ１０１内を大気圧にリークさせる処理を例示する。また、上述したように、油回転真空ポンプ１１０は、利用者による手動操作により駆動および停止する構成を例示するが、例えば真空排気処理を要求する旨の入力操作により、制御手段が自動的に油回転真空ポンプ１１０を駆動あるいは停止させる構成としてもよい。
図５は、リーク処理における動作を示すタイミングチャートで、（Ａ）は真空チャンバ１０１内の真空圧Ｐｖｃを示すグラフ、（Ｂ）は油回転真空ポンプ１１０における真空圧Ｐｖｐを示すグラフ、（Ｃ）はトリガ信号を示す波形図、（Ｄ）は第一開閉バルブ１２１の開閉を示す波形図、（Ｅ）は第二開閉バルブ１２２の開閉を示す波形図、（Ｆ）は真空計１４０で測定する真空度を読み取るタイミングを示す波形図、（Ｇ）はリークバルブ１３１の開閉を示す波形図、（Ｈ）はリークバルブ１３１を開閉させるトリガ信号を示す波形図である。

まず、例えば、利用者が光学式干渉計の利用を中止して比較的に長く利用しない場合に、光学式干渉における真空チャンバ１０１内を大気圧にするために、リーク処理を要求する旨の入力操作を制御手段で実施することにより、図５（Ｃ）に示すように、制御手段からリーク処理の要求に関する制御信号が出力される。この制御信号を認識した制御手段は、図５（Ｅ）に示すように、第二開閉バルブ１２２を閉状態とする。そして、制御手段は、図５（Ｇ），（Ｈ）に示すように、リークバルブ１３１を開状態可能とする処理をする。具体的には、利用者にリークバルブ１３１の開状態への切り替えを許可する表示や音声出力などにより報知したり、リークバルブ１３１を自動的に開状態に切り替えたりする。そして、リークバルブ１３１が開状態に切り替えられることで、図５（Ａ）に示すように、真空チャンバ１０１は大気に連通して大気圧となる。
この後、制御手段は、真空計１４０で測定する容器真空度データに基づいて、真空チャンバ１０１内がほぼ大気圧になったことを認識すると、図５（Ｅ）に示すように、第二開閉バルブ１２２を開状態とするとともに、基準パルスの発振を停止して真空度のモニタリングを停止する。このことにより、図５（Ｂ）に示すように、油回転真空ポンプ１１０は大気に連通するが、真空吸引駆動しているので、大気圧に近い減圧状態を維持する状態となる。さらに、制御手段は、油回転真空ポンプ１１０を停止可能な処理をする。具体的には、利用者に油回転真空ポンプ１１０の停止を許可する表示や音声出力などにより報知したり、油回転真空ポンプ１１０の電力供給を自動的に遮断したりする。そして、油回転真空ポンプ１１０の駆動停止により、図５（Ｂ）に示すように、油回転真空ポンプ１１０側は、次第に大気圧に近づく状態となって、大気圧となる。以上の手順により、光学式干渉における真空チャンバ１０１内を大気圧にする処理が終了する。

〔実施形態の作用効果〕
上述したように、上記実施の形態では、真空チャンバ１０１とこの真空チャンバ１０１内を真空に排気する油回転真空ポンプ１１０との間に、直列状に一対の第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２を設け、これら第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２間に真空度を測定する真空計１４０を設けている。そして、真空チャンバ１０１側に接続する第一開閉バルブ１２１を開状態とすることで真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃを測定でき、油回転真空ポンプ１１０側に接続する第二開閉バルブ１２２を開状態とすることで油回転真空ポンプ１１０側の真空度Ｐｖｐを測定でき、双方を開状態とすることで駆動する油回転真空ポンプ１１０により真空チャンバ１０１内を真空に排気しつつ真空度の状態を測定できる。
このため、１つの真空計１４０でも、油回転真空ポンプ１１０からの油や油蒸気などが真空チャンバ１０１へ流入する不都合を防止しつつ、適切な真空度の測定ができ、構成の簡略が得られ、製造性の向上や装置コストの低減が容易に得られる。

そして、上記実施形態では、制御手段により、真空計１４０にて測定した真空度に基づいて、一対の第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２の開閉を制御している。
このため、光学式干渉計の利用者による誤操作などにより真空チャンバ１０１側の方が油回転真空ポンプ１１０側より真空度の度合いが大きい状態で真空チャンバ１０１および油回転真空ポンプ１１０が連通することで油回転真空ポンプ１１０からの油や油蒸気などが真空チャンバ１０１へ流入するなどの不都合が発生してしまうことを防止できる。さらには、自動的に第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２が開閉されるので、真空に排気する作業性を向上できる。

また、上記実施形態では、制御手段により、油回転真空ポンプ１１０が駆動されると、真空排気処理の制御をする。すなわち、制御手段は、真空チャンバ１０１側に接続する第一開閉バルブ１２１を開状態として真空計１４０により測定した真空チャンバ１０１内の真空度を記憶後、第一開閉バルブ１２１を閉状態とし、油回転真空ポンプ１１０側に接続する第二開閉バルブ１２２を開状態として真空計１４０により測定する油回転真空ポンプ１１０側の真空度を取得する。この後、制御手段は、記憶した真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃと、真空計１４０により測定する油回転真空ポンプ１１０側の真空度Ｐｖｐとを比較する。真空計１４０により測定する油回転真空ポンプ１１０側の真空度Ｐｖｐの度合いが、記憶した真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃの度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、一対の第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２を開状態として、駆動する油回転真空ポンプ１１０にて真空チャンバ１０１内を真空に排気させる。
このため、油回転真空ポンプ１１０からの油や油蒸気などが真空チャンバ１０１へ流入するなどの不都合を生じることなく、１つの真空計１４０で適切に真空チャンバ１０１内を真空に排気できる。

また、上記実施形態では、制御手段により、油回転真空ポンプ１１０側の真空度を取得した後に一対の第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２を開状態として真空チャンバ１０１内を真空に排気させ、真空計１４０により測定する真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃが所定の真空度Ｐｍとなったことを認識すると、第二開閉バルブ１２２を閉状態とする。
このため、油回転真空ポンプ１１０の駆動を停止しても、油回転真空ポンプ１１０からの油や油蒸気などが真空チャンバ１０１へ流入するなどの不都合を生じることなく、真空計１４０による真空状態の監視をしつつ真空チャンバ１０１内の真空状態の維持を長期化できる。また、油回転真空ポンプ１１０の駆動停止により、真空チャンバ１０１内を真空状態に維持するための運転コストを低減できる。さらに、例えば、真空チャンバ１０１を利用する光学式干渉計などの精密機器における較正などの際に、油回転真空ポンプ１１０の駆動による振動により較正操作が煩雑となったり、較正精度が低下したりするなどの不都合を、油回転真空ポンプ１１０の駆動停止により防止できる。

さらに、上記実施形態では、制御手段により、真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃが所定の真空度Ｐｍとなった後に第一開閉バルブ１２１を開状態および第二開閉バルブ１２２を閉状態とする制御の後、油回転真空ポンプ１１０の駆動停止を可能、例えば自動的に駆動停止させる制御もしくは手動による停止操作に応じて供給電力を遮断可能とする制御、指導により停止を促す報知処理などをする。
このため、真空チャンバ１０１と油回転真空ポンプ１１０とが連通する状態での油回転真空ポンプ１１０の停止による油回転真空ポンプ１１０からの油や油蒸気などが真空チャンバ１０１へ流入するなどの不都合を確実に防止できる。

また、上記実施形態では、真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃが所定の真空度Ｐｍを越えた状態となって停止している油回転真空ポンプ１１０を駆動させる際、制御手段により、真空再排気処理の制御をする。すなわち、制御手段は、第一開閉バルブ１２１が開状態で第二開閉バルブ１２２が閉状態での真空計１４０により測定する真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃを記憶後、第一開閉バルブ１２１を閉状態としてから第二開閉バルブ１２２を開状態として真空計１４０により油回転真空ポンプ１１０側の真空度Ｐｖｐを逐次測定し、記憶した真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃと、逐次測定する油回転真空ポンプ１１０側の真空度Ｐｖｐとを比較する。そして、制御手段は、真空計１４０により逐次測定する油回転真空ポンプ１１０側の真空度Ｐｖｐの度合いが、あらかじめ記憶した真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃの度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、第一開閉バルブ１２１を開状態として、一対の第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２が開状態となることで、駆動する油回転真空ポンプ１１０にて真空チャンバ１０１内を真空に再排気させる。
このため、再排気の場合でも、油回転真空ポンプ１１０からの油や油蒸気などが真空チャンバ１０１へ流入するなどの不都合を生じることなく、１つの真空計１４０で適切に真空チャンバ１０１内を真空に排気できる。

また、上記実施形態では、真空チャンバ１０１とこの真空チャンバ１０１側に接続する第一開閉バルブ１２１との間に、開放により真空チャンバ１０１および第一開閉バルブ１２１間の排気配管１２０内を大気圧にリークさせるリークバルブ１３１を備えたリーク管１３０を分岐形成している。
このことにより、真空チャンバ１０１内を真空状態から大気圧状態に戻す場合、第二開閉バルブ１２２が閉状態で第一開閉バルブ１２１を開状態にした後にリークバルブを開状態にすることにより、真空チャンバ１０１側と第二開閉バルブ１２２との間は大気圧状態となる。この後に第二開閉バルブ１２２を開状態とすると、大気圧状態となっている真空チャンバ１０１側の空気が油回転真空ポンプ１１０側に流入するので、この後に油回転真空ポンプ１１０を停止すればよい。このため、真空チャンバ１０１並びに真空計１４０へ、有害な油や油蒸気を含んだ油回転真空ポンプ１１０側の空気が第二開閉バルブ１２２を介して流入することを防止できる。したがって、例えばメンテナンスなどのために真空圧部分を大気圧に開放する場合でも、簡単な構成で容易な処理により良好に真空チャンバ１０１内を大気圧状態に戻すことができる。

さらに、上記実施形態では、制御手段によるリーク処理の制御として、第二開閉バルブ１２２を閉状態とした後にリークバルブ１３１を開状態可能、例えば手動によるリークバルブ１３１の開放処理あるいは制御手段によるリークバルブ１３１の自動的な開放処理などを実施する。さらに、制御手段は、真空計１４０により測定する真空チャンバ１０１内の真空度Ｐｖｃがほぼ大気圧になったことを認識すると、第二開閉バルブ１２２を開状態として油回転真空ポンプ１１０側を大気圧にリークさせる。そして、制御手段は油回転真空ポンプ１１０の駆動停止を可能、例えば自動的に駆動停止させる制御もしくは手動による停止操作に応じて供給電力を遮断可能あるいは手動による停止を促す報知処理をする制御などをする。
このため、真空チャンバ１０１内を大気圧にリークさせる場合でも、油回転真空ポンプ１１０からの油や油蒸気などが真空チャンバ１０１へ流入するなどの不都合を生じることなく、１つの真空計１４０で適切に真空チャンバ１０１内を大気圧にリークできる。

〔実施形態の変形例〕
なお、以上に説明した態様は、本発明の一態様を示したものであって、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的および効果を達成できる範囲内での変更や改良が、本発明の内容に含まれるものであることはいうまでもない。また、本発明を実施する際における具体的な構造および形状などは、本発明の目的および効果を達成できる範囲内において、他の構造や形状などとしても問題はない。

すなわち、本発明の真空排気装置としては、光学式干渉計における真空チャンバ１０１を真空容器として真空排気する構成を例示したが、例えば電子顕微鏡など、各種の真空容器を真空に排気する構成に適用できる。

また、真空チャンバ１０１と第一開閉バルブ１２１との間における排気配管１２０にリークバルブ１３１を有したリーク管１３０を分岐形成したが、例えば図６に示すように、第一開閉バルブ１２１および第二開閉バルブ１２２間に分岐形成してもよい。
なお、図６に示す実施の形態では、リーク処理する場合、第一開閉バルブ１２１を開放させて真空チャンバ１０１内を大気圧にした後に、第二開閉バルブ１２２を開放させて油回転真空ポンプ１１０側を大気圧にする処理をし、油回転真空ポンプ１１０を停止させる。このことにより、真空チャンバ１０１内に油回転真空ポンプ１１０からの油が流入する不都合を防止できる。

その他、本発明の実施における具体的な構造および形状などは、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などとしてもよい。

本発明に係る一実施形態における真空排気装置の概略構成を示すブロック図である。 上記実施形態における真空排気処理における動作を示すタイミングチャートで、（Ａ）は真空チャンバ内の真空圧Ｐｖｃを示すグラフ、（Ｂ）は油回転真空ポンプにおける真空圧Ｐｖｐを示すグラフ、（Ｃ）はトリガ信号を示す波形図、（Ｄ）は第一開閉バルブの開閉を示す波形図、（Ｅ）は第二開閉バルブの開閉を示す波形図、（Ｆ）は真空計で測定する真空度を読み取るタイミングを示す波形図である。 上記実施形態における真空再排気処理における動作を示すタイミングチャートで、（Ａ）は真空チャンバ内の真空圧Ｐｖｃを示すグラフ、（Ｂ）は油回転真空ポンプにおける真空圧Ｐｖｐを示すグラフ、（Ｃ）はトリガ信号を示す波形図、（Ｄ）は第一開閉バルブの開閉を示す波形図、（Ｅ）は第二開閉バルブの開閉を示す波形図、（Ｆ）は真空計で測定する真空度を読み取るタイミングを示す波形図である。 上記実施形態における油回転真空ポンプの停止処理における動作を示すタイミングチャートで、（Ａ）は真空チャンバ内の真空圧Ｐｖｃを示すグラフ、（Ｂ）は油回転真空ポンプにおける真空圧Ｐｖｐを示すグラフ、（Ｃ）はトリガ信号を示す波形図、（Ｄ）は第一開閉バルブの開閉を示す波形図、（Ｅ）は第二開閉バルブの開閉を示す波形図、（Ｆ）は真空計で測定する真空度を読み取るタイミングを示す波形図、（Ｇ）はリークバルブの開閉を示す波形図である。 上記実施形態におけるリーク処理における動作を示すタイミングチャートで、（Ａ）は真空チャンバ内の真空圧Ｐｖｃを示すグラフ、（Ｂ）は油回転真空ポンプにおける真空圧Ｐｖｐを示すグラフ、（Ｃ）はトリガ信号を示す波形図、（Ｄ）は第一開閉バルブの開閉を示す波形図、（Ｅ）は第二開閉バルブの開閉を示す波形図、（Ｆ）は真空計で測定する真空度を読み取るタイミングを示す波形図、（Ｇ）はリークバルブの開閉を示す波形図、（Ｈ）はリークバルブを開閉させるトリガ信号を示す波形図である。 本発明に係る他の実施形態における真空排気装置の概略構成を示すブロック図である。

符号の説明

１００……真空排気装置
１０１……真空容器としての真空チャンバ
１１０……油回転真空ポンプ
１２１……一方の開閉バルブとしての第一開閉バルブ
１２２……他方の開閉バルブとしての第二開閉バルブ
１３０……リーク部としてのリーク管
１３１……リークバルブ
１４０……真空計

Claims (12)

1. 真空容器に接続され前記真空容器内を真空に排気する真空排気装置であって、
   前記真空容器に接続され前記真空容器内を真空に排気する油回転真空ポンプと、
   前記真空容器および前記油回転真空ポンプ間に直列状に設けられた一対の開閉バルブと、
   これら開閉バルブ間に位置して設けられ真空度を測定する真空計と、
   を具備したことを特徴とした真空排気装置。
2. 請求項１に記載の真空排気装置であって、
   前記真空計にて測定する真空度に基づいて、前記一対の開閉バルブの開閉状態を制御する制御手段を具備した
   ことを特徴とした真空排気装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の真空排気装置であって、
   前記制御手段は、前記油回転真空ポンプが駆動されると、前記真空容器側に接続する前記一方の開閉バルブを所定期間で開状態として前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度に関する容器真空度データを記憶し、前記一方の開閉バルブを閉状態とした後に前記油回転真空ポンプ側に接続する前記他方の開閉バルブを開状態として前記真空計により測定する前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データを取得し、この油回転真空ポンプ側の真空度を取得した後に前記記憶した容器真空度データと前記真空計により測定する前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データとを比較して、前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データの真空度の度合いが前記記憶した真空容器内の真空度の度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、前記一対の開閉バルブを開状態とする真空排気処理の制御をする
   ことを特徴とした真空排気装置。
4. 請求項３に記載の真空排気装置であって、
   前記制御手段は、前記真空計により測定されて取得する前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空データを取得する際の前記他方の開閉バルブの開状態を所定期間とする
   ことを特徴とした真空排気装置。
5. 請求項３または請求項４に記載の真空排気装置であって、
   前記制御手段は、前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空データを取得した後に前記一対の開閉バルブを開状態として前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度が所定の真空度となったことを認識すると、前記他方の開閉バルブを閉状態とする
   ことを特徴とした真空排気装置。
6. 請求項５に記載の真空排気装置であって、
   前記制御手段は、前記真空容器内の真空度が所定の真空度となった後に前記他方の開閉バルブを閉状態とする制御の後に前記油回転真空ポンプの駆動停止を可能とする
   ことを特徴とした真空排気装置。
7. 請求項５または請求項６に記載の真空排気装置であって、
   前記制御手段は、前記真空容器内の真空度の度合いが低下したことにより停止している前記油回転真空ポンプが駆動されると、前記一方の開閉バルブが開状態で前記他方の開閉バルブが閉状態での前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度に関する容器真空度データを記憶し、この容器真空度データを記憶した後に前記一方の開閉バルブを閉状態とした後に前記他方の開閉バルブを開状態とし、前記記憶した容器真空度データと前記真空計により逐次測定する前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データとを比較して、前記油回転真空ポンプ側の真空度に関するポンプ真空度データの真空度の度合いが前記記憶した真空容器内の真空度の度合い以上に大きい真空度の度合いとなったことを認識すると、前記一方の開閉バルブを開状態とする真空再排気処理の制御をする
   ことを特徴とした真空排気装置。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の真空排気装置であって、
   前記真空容器およびこの真空容器側に接続する前記一方の開閉バルブ間に分岐形成され、開放により前記真空容器および前記一方の開閉バルブ間を大気圧にリークさせるリークバルブを備えたリーク部を具備した
   ことを特徴とした真空排気装置。
9. 請求項７に記載の真空排気装置であって、
   前記制御手段は、前記油回転真空ポンプ側に接続する前記他方の開閉バルブを閉状態とした後に前記リークバルブを開状態とし、前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度がほぼ大気圧になったことを認識すると、前記油回転真空ポンプを駆動停止し、前記他方の開閉バルブを開状態とするリーク処理の制御をする
   ことを特徴とした真空排気装置。
10. 請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の真空排気装置であって、
    前記一対の開閉バルブ間に分岐形成され、開放により前記一対の開閉バルブ間を大気圧にリークさせるリークバルブを備えたリーク部を具備した
    ことを特徴とした真空排気装置。
11. 請求項１０に記載の真空排気装置であって、
    前記制御手段は、前記油回転真空ポンプ側に接続する前記他方の開閉バルブを閉状態とした後に前記リークバルブを開状態可能とするとともに、前記真空容器側に接続する前記一方の開閉バルブを開状態可能とし、前記真空計により測定する前記真空容器内の真空度がほぼ大気圧になったことを認識すると、前記他方の開閉バルブを開状態可能とするリーク処理の制御をする
    ことを特徴とした真空排気装置。
12. 真空容器に接続され前記真空容器内を真空に排気する真空排気方法であって、
    直列状に接続する一対の開閉バルブを介して前記真空容器内を真空に排気する油回転真空ポンプと、前記一対の開閉バルブ間に位置して設けられた真空度を測定する真空計とを用い、
    前記油回転真空ポンプが駆動されると、前記真空容器側に接続する前記一方の開閉バルブを所定期間で開状態として前記真空計により測定する真空度に関する容器真空度データを記憶する真空容器真空度記憶工程と、
    この真空容器真空度記憶工程の後に、前記一方の開閉バルブを閉状態とした後に前記油回転真空ポンプ側に接続する前記他方の開閉バルブを開状態として前記真空計により測定する真空度に関するポンプ真空度データを取得する油回転真空ポンプ真空度取得工程と、
    この油回転真空ポンプ真空度取得工程の後に、前記一対の開閉バルブを開状態として前記駆動する油回転真空ポンプにて前記真空容器内を真空に排気する真空排気工程と、を実施する
    ことを特徴とする真空排気方法。

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