JP2019035608A - リーク検査装置およびリーク検査装置における検査ガス回収方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査ガスの回収率向上を図ることができるリーク検査装置の提供。【解決手段】リーク検査装置１００は、ヘリウムガスが封入されたワーク２のリークを検出するリークディテクタ３と、検査ガス循環装置４と、ワーク２に封入されたヘリウムガスを排気する真空ポンプ５と、真空ポンプ５の排気側と検査ガス循環装置４のリカバリータンク４１とを接続する配管２２と、を備え、真空ポンプ５で真空排気されたヘリウムガスを、配管２２を介して検査ガス循環装置４で回収する。【選択図】図１

Description

本発明は、リーク検査装置およびリーク検査装置における検査ガス回収方法に関する。

空調用や冷凍用圧縮機等の気密部品、自動車関連機器の気密部品などは、気密度に高い信頼性が要求される。そのため、そのような気密部品に対してはオンラインでリーク検査を行うのが一般的である。リーク検査には、例えば、特許文献１に記載されているような漏れ検査装置が用いられる。

実公平１−２２１１３号公報

ところで、リーク検査の検査ガスは、できるだけ回収して再利用するのがコストの面から好ましい。特に、ヘリウムガスは他のガスに比べて高価なため回収するのが好ましい。しかしながら、特許文献１に記載の従来の漏れ検査装置では、リーク検査後、ワーク内に封入されたヘリウムは大気圧になるまで回収されるが、その回収後のワーク内の残留ヘリウムは外気へ排出され、無駄に捨てられている。

本発明の好ましい態様によるリーク検査装置は、検査ガスが封入された検査対象のリークを検出するリークディテクタと、検査ガス回収装置と、前記検査対象に封入された検査ガスを排気する真空ポンプと、前記真空ポンプの排気側と前記検査ガス回収装置とを接続する配管と、を備え、前記真空ポンプで排気された検査ガスを、前記配管を介して前記検査ガス回収装置で回収する。
さらに好ましい態様では、前記検査対象と前記検査ガス回収装置とを接続する第１切替状態、および、前記検査対象と前記真空ポンプとを接続する第２切替状態を有する第１のバルブ機構と、真空ポンプの排気側と前記配管とを接続する第３切替状態、および、真空ポンプの排気側と外気とを接続する第４切替状態を有する第２のバルブ機構と、検査ガス回収時に、前記第１のバルブ機構を前記第２切替状態に制御すると共に前記第２のバルブ機構を前記第３切替状態に制御して、前記真空ポンプで排気された検査ガスの前記検査ガス回収装置による回収を行わせるバルブ制御部と、を備える。
さらに好ましい態様では、前記バルブ制御部は、前記検査対象への検査ガス封入前に、前記第１のバルブ機構を前記第２切替状態に制御すると共に前記第２のバルブ機構を前記第４切替状態に制御して、前記真空ポンプによる前記検査対象の真空排気を行わせる。
さらに好ましい態様では、前記バルブ制御部は、検査ガス回収時に、第１のバルブ機構を第１切替状態に制御すると共に第２のバルブ機構を第４切替状態に制御し、その後に、第１のバルブ機構を第２切替状態に制御すると共に第２のバルブ機構を第３切替状態に制御する。
本発明の好ましい態様によるリーク検査装置における検査ガス回収方法は、検査ガスが封入された検査対象のリーク検査をリークディテクタにより行い、リーク検査後に前記検査対象に封入された検査ガスを真空ポンプで排気し、前記真空ポンプで排気された検査ガスを検査ガス回収装置で回収する。

本発明によれば、検査ガスの回収率向上を図ることができる。

図１は、リーク検査装置の一例を示すブロック図である。 図２は、リーク検査処理の一例を示すフローチャートである。 図３は、図２の各ステップＳ３０，Ｓ８０およびＳ９０におけるバルブ開閉状態を示す図である。 図４は、変形例１を示す図である。 図５は、変形例２を示す図である。

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は、リーク検査装置１００の一例を示すブロック図である。図１に示すリーク検査装置１００は、検査対象であるワーク２に検査ガスであるヘリウムガスを封入し、真空排気されたテストチャンバ１に漏れ出たヘリウムガスをヘリウムリークディテクタ３で検出する構成の検査装置である。検査ガスは、検査ガス循環装置４によってリーク検査装置１００内を循環する。

検査ガス循環装置４は、ガス回収用のリカバリータンク４１と、リカバリータンク４１のヘリウムガスを圧縮して所定の圧力（正圧）に圧縮するコンプレッサー４０と、コンプレッサー４０で圧縮されたヘリウムガスが送り込まれるサプライタンク４２とを備える。サプライタンク４２からガス供給ライン２０へヘリウムガスが供給され、ガス回収ライン２１からリカバリータンク４１に回収される。

ワーク２が配置されるテストチャンバ１には、テストチャンバ１内を真空排気する真空ポンプ１３がバルブＶ８を介して接続されると共に、テストチャンバ１内のヘリウムガスを検出するヘリウムリークディテクタ３がバルブＶ７を介して接続されている。また、テストチャンバ１には、真空排気されたチャンバ内を大気圧に戻すためのバルブＶ８が設けられている。図１に示す例では、バルブＶ８を介して窒素ガスが供給される構成となっているが、窒素ガスに代えて空気（乾燥空気）が供給されても良い。ワーク２は、ガス供給ライン２０に設けられたワンタッチカップリング１１とガス回収ライン２１に設けられたワンタッチカップリング１２とを用いて、テストチャンバ１内に装着される。テストチャンバ１内の圧力は、圧力計１０Ａによって計測される。

ガス供給ライン２０には、サプライタンク４２のヘリウムガスがバルブＶ２を介して供給される。また、ガス供給ライン２０には、バルブＶ９を介して窒素ガスが供給される。この窒素ガスは検査終了後にワーク２内を大気圧に戻すためのガスであり、窒素ガスに代えて空気（乾燥空気）が供給されるようにしても良い。

ガス回収ライン２１は、ヘリウムガスを回収するためのリカバリータンク４１の吸気側に接続されている。ガス回収ライン２１には、バルブＶ１およびＶ４が設けられている。ガス回収ライン２１のバルブＶ１とワンタッチカップリング１２との間には、ワーク２内の圧力を計測するための圧力計１０Ｂが設けられている。

ガス回収ライン２１のバルブＶ１とバルブＶ４との間には、バルブＶ３を介して真空ポンプ５が接続されている。真空ポンプ５の排気側にはバルブＶ１０が設けられており、真空ポンプ５で真空排気されたガスはバルブＶ１０を介して大気へ放出される。真空ポンプ５の排気口とバルブＶ１０との間の排気ラインには、バルブＶ５を介して配管２２が接続されている。配管２２の他端は、バルブＶ４とリカバリータンク４１との間のガス回収ライン２１に接続されている。

リカバリータンク４１の排気側はコンプレッサー４０の吸気側に接続され、コンプレッサー４０の排気側はサプライタンク４２に接続されている。コンプレッサー４０は、リカバリータンク４１に回収されたヘリウムガスを所定の圧力に昇圧し、昇圧されたヘリウムガスをサプライタンク４２へ供給する。

ヘリウムリークディテクタ３，コンプレッサー４０，真空ポンプ５，１３の動作は制御装置６によって制御される。また、バルブＶ１〜Ｖ１０は電磁バルブで構成され、それらの開閉制御も制御装置６によって行われる。なお、図１に示す例では、バルブＶ１〜Ｖ９は非通電状態では閉状態になっており、バルブＶ１０は非通電状態では開状態になっている。制御装置６には、圧力計１０Ａ，１０Ｂからの圧力計測信号、ヘリウムリークディテクタ３の検査結果情報が入力される。

図２は、制御装置６によって実行されるリーク検査処理プログラムの一例を示すフローチャートである。また、図３は、図２の各ステップＳ３０，Ｓ８０およびＳ９０におけるバルブＶ１，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５およびＶ１０の開閉状態を示す図である。なお、図３では、バルブＶ５およびＶ１０の閉状態および、三方弁Ｖ２０の切り替え状態をハッチングにより表示した。ワーク２がワンタッチカップリング１１，１２に接続され、テストチャンバ１が気密状態にされた後にリーク検査開始指令が制御装置６に入力されると、制御装置６は図２に示す処理を開始する。

ステップＳ１０では、真空ポンプ１３を起動すると共にバルブＶ６を開状態にしてテストチャンバ１内を真空排気する。

ステップＳ２０では、圧力計１０Ａで計測されるテストチャンバ１内の圧力Ｐｃが所定圧力Ｐ１以下か否かを判定し、圧力ＰｃがＰｃ≦Ｐ１の条件を満足するとステップＳ３０へ進む。所定圧力Ｐ１は、例えば、１，０００Ｐａ程度に設定される。

ステップＳ３０では、図３（ａ）に示すようにバルブＶ１，Ｖ３を開状態にしてワーク２を真空ポンプ５により真空排気する。このとき、バルブＶ４，Ｖ５は閉状態のままである。排気されたガスは開状態のバルブＶ１０から大気へ放出される。

ステップＳ４０では、圧力計１０Ｂにより計測されるワーク２内の圧力Ｐｗが所定圧力Ｐ２以下か否かを判定し、圧力ＰｗがＰｗ≦Ｐ２の条件を満足するとステップＳ５０へ進む。所定圧力Ｐ２は、例えば、１０，０００Ｐａ程度に設定される。

ステップＳ５０では、バルブＶ１およびＶ３を閉状態にすると共にバルブＶ２を開状態にして、サプライタンク４２のヘリウムガスをワーク２へ供給する。所定圧力まで昇圧後にバルブＶ２は閉状態にする。

ステップＳ６０では、バルブＶ７を開状態にして、ワーク２からテストチャンバ１にヘリウムガスが漏れ出ているか否かをヘリウムリークディテクタ３により検査する。

ステップＳ７０では、ステップＳ６０で行ったヘリウムリーク検査の結果を表示装置７に表示する。例えば、リーク量と合否判定とを表示装置７に表示する。

ステップＳ８０では、図３（ｂ）に示すようにバルブＶ４を開状態に切り替え、コンプレッサー４０を起動すると同時にワーク２内のヘリウムガスを圧力開放にて回収する。ステップＳ８０におけるヘリウムガス回収動作では、リカバリータンク４１の圧力が大気圧（約０．１ＭＰａ）程度までしか下がらないので、ワーク２内にはほぼ大気圧（１気圧）のヘリウムガスが残留することになる。詳細は後述する。

ステップＳ９０では、図３（ｃ）に示すようにバルブＶ４およびＶ１０を閉状態にすると共にバルブＶ３およびＶ５を開状態にして、真空ポンプ５によりワーク２内を真空排気する。これにより、ワーク２内に残留する約０．１ＭＰａ（約１気圧）のヘリウムガスは、真空ポンプ５により排気されて真空ポンプ５の排気側から排出される。真空ポンプ５の排気側から排出されたヘリウムガスは、バルブＶ５および配管２２を介してリカバリータンク４１に回収される。

ステップＳ１００では、圧力計１０Ｂにより計測されるワーク２内の圧力Ｐｗが所定圧力Ｐ３以下か否かを判定し、圧力ＰｗがＰｗ≦Ｐ３の条件を満足するとステップＳ１１０へ進む。所定圧力Ｐ３は、例えば１０，０００Ｐａ程度に設定される。

ステップＳ１１０では、テストチャンバ１およびワーク２の圧力を大気圧状態に戻すために、バルブＶ１，Ｖ５，Ｖ６およびＶ７を閉状態にすると共にバルブＶ８，Ｖ９およびＶ１０を開状態にして、テストチャンバ１およびワーク２に窒素ガスを導入する。

次いで、ステップＳ１２０でコンプレッサー４０を停止し、ステップＳ１３０において表示装置７にテスト終了の表示をする。

（ガス回収率向上の説明）
リカバリータンク４１内のヘリウムガスをコンプレッサー４０で圧縮してサプライタンク４２に送り込む場合、コンプレッサー４０の吸気側の圧力は大気圧（約０．１ＭＰａ）程度までしか下がらないので、リカバリータンク４１内のヘリウムガスの圧力はせいぜい大気圧（約０．１ＭＰａ）程度にしか下がらない。そのため、ワーク２をリカバリータンク４１に接続してワーク２内のヘリウムガスを回収する場合、回収後のワーク２内には大気圧程度のヘリウムガスが残留することになる。

例えば、図１の構成においてワーク２の容積が１０Ｌ、リカバリータンク４１の容積が１００Ｌ、ワーク２に封入されるヘリウムガスの圧力が１ＭＰａ、リカバリータンク４１の圧力が０．１ＭＰａ（大気圧）であったと仮定する。また、ここでは、バルブやガス回収ライン２１の内容積を無視して考えるものとする。

以下では、圧力０．１ＭＰａのガスに換算してヘリウムガスの体積を考える。バルブＶ１，Ｖ４が閉状態のときには、ワーク２内に１００Ｌ（０．１ＭＰａ）のヘリウムガスが存在し、リカバリータンク４１内には１００Ｌ（０．１ＭＰａ）のヘリウムガスが存在し、合計で２００Ｌ（０．１ＭＰａ）のヘリウムガスが存在する。

バルブＶ１，Ｖ４を開状態にするとワーク２内のヘリウムガスがリカバリータンク４１に流れ込み、コンプレッサー４０によりサプライタンク４２に送り込まれる。そして、ヘリウムガスの流入より一旦上昇したリカバリータンク４１の圧力がコンプレッサー４０の動作により０．１ＭＰａに落ち着いた状態となると、図２のステップＳ８０におけるワーク２内のヘリウムガスの回収処理が終了する。この回収終了のタイミングは、圧力計１０Ｂの圧力値で判断しても良いし、バルブＶ１，Ｖ４を開状態に切り替えてからの経過時間で判断しても良い。

ステップＳ８０のガス回収終了時においては、ワーク２内には、１０Ｌ（（０．１ＭＰａ）のヘリウムガスが残留している。すなわち、検査ガス循環装置４のみでヘリウムガスの回収を行った場合、ワーク２内に封入されていた１００Ｌ（０．１ＭＰａ）のヘリウムガスの内、９０Ｌ（０．１ＭＰａ）しか回収されず、ガス回収率は９０％となる。従来、残りの１０％は、検査終了後にワーク２を大気開放したときに大気へ無駄に捨てられていた。

一方、本実施の形態では、ステップＳ９０の処理のように、ワーク２内に残留するヘリウムガスを真空ポンプ５で排気し、排気されたヘリウムガスをバルブＶ５および配管２２を介してリカバリータンク４１に戻すようにした。そのため、ワーク２内に残留するヘリウムガス量を低減し、検査ガスであるヘリウムガスの回収率を１００％に近づけることができる。

また、従来、ワーク２を大気開放したときのヘリウムガスがヘリウムリークディテクタ３の使用環境に拡散し、リーク検査時のバックグラウンドとして影響するという問題があった。しかし、本実施の形態のリーク検査装置１００では、ワーク２内のヘリウムガスを真空ポンプ５で排気して回収する構成としているので、検査後にワーク２を大気開放した場合にヘリウムガスがヘリウムリークディテクタ３の使用環境に拡散する量を低減することができ、バックグラウンドの問題を抑制できる。

（Ｃ１）以上のように、本実施の形態では、検査ガス回収装置としての検査ガス循環装置４のリカバリータンク４１と、真空ポンプ５の排気側とを配管２２で接続し、真空ポンプ５で真空排気されたヘリウムガスをリカバリータンク４１へ回収する構成としたので、ワーク２内の圧力が大気圧よりも低い圧力となる状態までヘリウムガスを回収することができ、検査ガスであるヘリウムガスの回収率の向上を図ることができる。

（変形例１）
図４は上述した実施の形態の変形例１を示す図である。図４（ａ）は、図２のステップＳ８０の処理に相当する、真空ポンプ５を動作させない第１段階のガス回収状態を示す図であり、一方、図４（ｂ）は、図２のステップＳ９０に相当する、真空ポンプ５を動作させる第２段階のガス回収状態を示す図である。なお、図４においても、バルブＶ５およびＶ１０の閉状態および、三方弁Ｖ２０の切り替え状態をハッチングにより表示した。

図４に示す構成では、図１に示したバルブＶ３およびＶ４の代わりに三方弁Ｖ２０をガス回収ライン２１に設け、三方弁Ｖ２０を介して真空ポンプ５をガス回収ライン２１に接続した。図４（ａ）では、ガス回収ライン２１と真空ポンプ５との接続を遮断するように三方弁Ｖ２０を制御すると共に、バルブＶ５を閉状態とする。その結果、ワーク２内のヘリウムガスは、矢印で示すようにバルブＶ１および三方弁Ｖ２０を介してリカバリータンク４１に回収される。この回収動作によりワーク２内の圧力は大気圧程度まで低下し、回収動作終了時には、ワーク２内には大気圧程度のヘリウムガスが残留することになる。

次いで、バルブ開閉状態を、図４（ａ）の状態から図４（ｂ）に示す状態に切り替える。すなわち、バルブＶ５を開状態にすると共にバルブＶ１０を閉状態とし、さらに、バルブＶ１を通過したヘリウムガスの全てが真空ポンプ５へと流れるように三方弁Ｖ２０を切り替える。その結果、ワーク２内に残留する約０．１ＭＰａ（約１気圧）のヘリウムガスは、真空ポンプ５により排気されて真空ポンプ５の排気側から排出され、バルブＶ５および配管２２を介してリカバリータンク４１に回収される。

このように、変形例１は、図１に示した２つのバルブＶ３，Ｖ４で構成したバルブ機構を、一つの三方弁Ｖ２０で実現させるようにしたものである。変形例１の場合も、ワーク２内に残留する約１気圧のヘリウムガスを真空ポンプ５で排気して回収するようにしたので、上述した実施の形態と同様に検査ガスの回収率の向上を図ることができ、ランニングコストの低減を図ることができる。また、検査後にワーク２を大気開放してもヘリウムガスがヘリウムリークディテクタ３の使用環境に拡散することがなく、バックグラウンドの問題を解消できる。

（変形例２）
図５は上述した実施の形態の変形例２を説明する図である。図１に示した実施形態や図４に示す変形例１では、ワーク２内のヘリウムガスを回収する際に、真空ポンプ５を使用せずに検査ガス循環装置４のみで大気圧付近までヘリウムガスを回収した後に、真空ポンプ５で真空排気してワーク２内に残留するヘリウムガスを回収するようにした。一方、以下に説明する変形例２では、ワーク２内の正圧状態のヘリウムガスを最初から真空ポンプ５で排気して回収するように構成した。

図２のステップＳ３０で説明したように、真空ポンプ５は、ワーク２内にヘリウムガスを封入する前の真空引きにも用いられる。図５（ａ）はその真空引きの際のバルブ状態を示す図である。一方、図５（ｂ）は、ガス回収時のバルブ状態を示す図である。

図５に示すように、変形例２に示す構成は、図１に示す構成からバルブＶ４が設けられているラインを削除して、配管２２をリカバリータンク４１の吸気側に接続した構成に相当する。言い換えると、真空ポンプ５をガス回収ライン２１に直列に挿入し、真空ポンプ５の排気側を、バルブＶ５を介してリカバリータンク４１に接続した構成となっている。さらに、真空ポンプ５とバルブＶ３との間にバッファータンク３０を設けた。

ヘリウムガスを封入する前の真空引きの際には、図５（ａ）のようにバルブＶ１，Ｖ３およびＶ１０を開状態とし、バルブＶ５を閉状態とする。その結果、ワーク２およびバッファータンク３０は、真空ポンプ５によって真空排気される。その後、バルブＶ１およびＶ３を閉状態に切り替えて、ワーク２内にヘリウムガスを供給し封入する。バルブＶ３が閉状態に切り替えられた後も、バッファータンク３０は真空ポンプ排気されているので、バッファータンク３０の真空状態は維持される。

その後、ヘリウムリークディテクタ３によるリーク検査が終了したならば、図５（ｂ）に示すようにバルブＶ１０を閉状態とすると共に、バルブＶ１，Ｖ３およびＶ５を開状態に切り替える。その結果、ワーク２およびバッファータンク３０が真空ポンプ５によって真空排気され、ワーク２内に封入されていたヘリウムガスがリカバリータンク４１に回収される。

このように、変形例２では、ワーク２内に封入されたヘリウムガスを正圧状態から真空ポンプ５で排気して回収するようにしたので、上述した実施の形態と同様に検査ガスの回収率の向上を図ることができ、ランニングコストの低減を図ることができる。また、検査後にワーク２を大気開放してもヘリウムガスがヘリウムリークディテクタ３の使用環境に拡散することがなく、バックグラウンドの問題を解消できる。

なお、バルブＶ１，Ｖ３を開状態に切り替えると、ワーク２内に封入されている正圧状態のヘリウムガスが真空状態のバッファータンク３０に流れ込む。そのため、ヘリウムガスがワーク２とバッファータンク３０とに充満した時の圧力は、ワーク２内のみに正圧状態で封入されていた時の圧力に比べて低下する。その結果、バルブＶ１，Ｖ３を開状態に切り替えた直後の真空ポンプ５の急激な負荷上昇を低減することができる。もちろん、バッファータンク３０を省略しても構わない。

（Ｃ２）上述した第１の実施の形態では、リーク検査装置１００における第１のバルブ機構としてのバルブＶ３，Ｖ４は、バルブＶ３が閉状態でバルブＶ４が開状態である第１切替状態においてワーク２と検査ガス循環装置４とを接続し、バルブＶ３が開状態でバルブＶ４が閉状態である第２切替状態においてワーク２と真空ポンプ５とを接続する。また、第２のバルブ機構としてのバルブＶ５，Ｖ１０は、バルブＶ５が開状態でバルブＶ１０が閉状態である第３切替状態において真空ポンプ５の排気側と配管２２とを接続し、バルブＶ５が閉状態でバルブＶ１０が開状態である第４切替状態において真空ポンプ５の排気側と外気とを接続する。

そして、制御装置６は、ワーク２に封入されたヘリウムガスの回収時に、図３（ｃ）に示すように、バルブＶ３が開状態でバルブＶ４が閉状態である第２切替状態に制御すると共に、バルブＶ５が開状態でバルブＶ１０が閉状態である第３切替状態に制御して、真空ポンプ５で排気されたヘリウムガスの検査ガス循環装置４による回収を行わせる。

このように、バルブＶ３，Ｖ４から成る第１のバルブ機構とバルブＶ５，Ｖ１０から成る第２のバルブ機構とを備え、上述のように制御装置６で第１および第２のバルブ機構を制御して、ワーク２内のヘリウムガスを真空ポンプ５で排気して検査ガス循環装置４で回収することで、ヘリウムガスの回収率向上を図ることができる。

（Ｃ３）さらに、制御装置６は、ワーク２へのヘリウムガス封入前に、図３（ａ）に示すように、バルブＶ３が開状態でバルブＶ４が閉状態である第２切替状態に制御すると共に、バルブＶ５が閉状態でバルブＶ１０が開状態である第４切替状態に制御して、真空ポンプ５によるワーク２の真空排気を行わせる。すなわち、ヘリウムガス封入前のワーク２の真空排気とガス回収時のワーク２内のヘリウムガスの排気とを共通の真空ポンプ５で行わせる構成したので、リーク検査装置のコストアップを抑制することができる。

（Ｃ４）また、ワーク２内のヘリウムガスを回収する際に、図３（ｂ）、（ｃ）に示した手順のように、第１のバルブ機構のバルブＶ３，Ｖ４を、バルブＶ３が閉状態でバルブＶ４が開状態である第１切替状態に制御すると共に、第２のバルブ機構のバルブＶ５，Ｖ１０を、バルブＶ５が閉状態でバルブＶ１０が開状態である第４切替状態に制御して、真空ポンプ５による排気を行わずに検査ガス循環装置４によりヘリウムガスの回収を行い、その後に、第１のバルブ機構のバルブＶ３，Ｖ４を、バルブＶ３が開状態でバルブＶ４が閉状態である第２切替状態に制御すると共に、第２のバルブ機構のバルブＶ５，Ｖ１０を、バルブＶ５が開状態でバルブＶ１０が閉状態である第３切替状態に制御して、真空ポンプ５によりワーク２を真空排気して、ワーク２内に残留するヘリウムガスを回収するのが好ましい。これにより、真空ポンプ５にかかる負荷を低減することができる。

また、ワーク２内のヘリウムガスを真空ポンプ５で排気して回収する構成として、図３に示す構成に代えて、図４，や図５に示すような構成にしても良い。図４では、図３の第１のバルブ機構のバルブＶ３，Ｖ４を三方弁Ｖ２０で置き換える。図５では、ガス回収ライン２１に真空ポンプ５を直列接続する構成とした。

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。例えば、上述した実施の形態では、検査ガスとしてヘリウムガスを用いるリーク検査装置を例に説明したが、他の検査ガスを用いるリーク検査装置にも適用することができる。

１…テストチャンバ、２…ワーク、３…ヘリウムリークディテクタ、４…検査ガス循環装置、５，１３…真空ポンプ、６…制御装置、７…表示装置、２０…ガス供給ライン、２１…ガス回収ライン、２２…配管、４０…コンプレッサー、４１…リカバリータンク、４２…サプライタンク、１００…リーク検査装置、Ｖ１〜Ｖ１０…バルブ、Ｖ２０…三方弁

Claims (5)

1. 検査ガスが封入された検査対象のリークを検出するリークディテクタと、
   検査ガス回収装置と、
   前記検査対象に封入された検査ガスを排気する真空ポンプと、
   前記真空ポンプの排気側と前記検査ガス回収装置とを接続する配管と、を備え、
   前記真空ポンプで排気された検査ガスを、前記配管を介して前記検査ガス回収装置で回収する、リーク検査装置。
2. 請求項１に記載のリーク検査装置において、
   前記検査対象と前記検査ガス回収装置とを接続する第１切替状態、および、前記検査対象と前記真空ポンプとを接続する第２切替状態を有する第１のバルブ機構と、
   真空ポンプの排気側と前記配管とを接続する第３切替状態、および、真空ポンプの排気側と外気とを接続する第４切替状態を有する第２のバルブ機構と、
   検査ガス回収時に、前記第１のバルブ機構を前記第２切替状態に制御すると共に前記第２のバルブ機構を前記第３切替状態に制御して、前記真空ポンプで排気された検査ガスの前記検査ガス回収装置による回収を行わせるバルブ制御部と、を備えるリーク検査装置。
3. 請求項２に記載のリーク検査装置において、
   前記バルブ制御部は、前記検査対象への検査ガス封入前に、前記第１のバルブ機構を前記第２切替状態に制御すると共に前記第２のバルブ機構を前記第４切替状態に制御して、前記真空ポンプによる前記検査対象の真空排気を行わせる、リーク検査装置。
4. 請求項２または３に記載のリーク検査装置において、
   前記バルブ制御部は、検査ガス回収時に、第１のバルブ機構を第１切替状態に制御すると共に第２のバルブ機構を第４切替状態に制御し、その後に、第１のバルブ機構を第２切替状態に制御すると共に第２のバルブ機構を第３切替状態に制御する、リーク検査装置。
5. 検査ガスが封入された検査対象のリーク検査をリークディテクタにより行い、
   リーク検査後に前記検査対象に封入された検査ガスを真空ポンプで排気し、
   前記真空ポンプで排気された検査ガスを検査ガス回収装置で回収する、リーク検査装置における検査ガス回収方法。

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