CN116142637B - 一种工件充气方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种工件充气方法;属于科学试验仪器领域;其技术要点在于:包括阶段一以及阶段二;阶段一为:j个“抽真空‑氦气置换”循环;其中,阶段二为:抽真空‑充氦气,其包括以下步骤:a.对工件进行粗抽;b.对工件进行加热且同时对工件进行精抽,直至气压降低到PV;c.对工件内充氦气,直至其氦气气压达到预设气压Pf。
Description
技术领域
本发明涉及一种科学试验仪器领域,更具体地说,尤其涉及一种工件充气方法。
背景技术
随着电子行业的发展,电子零部件存储环境的要求越来越高。由于氦气在化学上具有较高的惰性,一些电子零部件必须存储在氦气环境中,以防止电子零部件与氧气、氮气等发生化学反应。
对此,上游客户对工件环境提出了以下需求:
(1)工件最终氦气气压应达到Pf;
(2)工件最终内部含有的空气分子数n空气≤[n空气阈值]。
对于上述需求,常规的设计方法是:
步骤一,使用真空泵+分子泵实现超高真空;
步骤二,充氦气。
但是,上述常规的实施方法并不通用。
第一种情况:当[n空气阈值]在某些范围内,通过分子泵可实现上述目标,但是实现的时间很长。
第二种情况:当[n空气阈值]较低时,上述常规的实施方法可能无法实现。
发明内容
本发明的目的在于针对上述现有技术的不足,提供一种工件充气方法。
本发明的技术方案是:
一种工件充气方法,工件所需的环境为:最终氦气气压应达到Pf;工件最终内部参与的空气分子数n空气≤[n空气阈值];
其中,阶段一为:j个“抽真空-氦气置换”循环,j为大于等于1的整数;
任意第i个“抽真空-氦气置换” 循环过程包括:
a.对工件进行抽真空,使得工件中的气压低于设定的目标气压值P3,i;
b.对工件进行充氦气,使得工件内的氦气气压不低于设定的目标气压值P1,i;
c.对工件进行放气,使得工件内的气压低于设定的目标气压值P2,i;
i表示1~j中的任意一个整数;
其中,阶段二为:抽真空-充氦气,其包括以下步骤:
a.对工件进行粗抽;
b.对工件进行加热且同时对工件进行精抽,直至气压降低到PV;
c.对工件内充氦气,直至其氦气气压达到预设气压Pf;
阶段一的工艺参数、阶段二的工艺参数要满足:
V工件表示单个工件的内部的体积;
R表示普适气体常数,其取值为8.31J/(mol·K)
T为温度,取273K。
进一步,阶段二中的步骤b中的工件进行加热的温度为23°C~230°C。
进一步,所述工件充气的方法采用一种多工位真空充排气平台来实现;所述的多工位真空充排气平台包括:抽真空系统、温控系统、充气系统、工位系统;
其中,抽真空系统用于对工件进行抽真空,用于实现阶段一循环过程中的步骤a以及阶段二的步骤a和步骤b;
其中,温控系统用于实现阶段二的步骤b中的对工件进行加热;
其中,充气系统用于实现阶段一循环过程中的步骤b以及阶段二的步骤c;
其中,工位系统用于安装多个工件以及实现阶段一中的步骤c。
进一步,抽真空系统包括:主抽气管道、第一分支抽气管道、第二分支抽气管道;真空泵、隔断阀、检漏阀、低规、前级阀、分子泵、高规、抽空阀、旁抽阀;
第一分支抽气管道、第二分支抽气管道并联,第一分支抽气管道、第二分支抽气管道的第二端均与主抽气管道的第一端连接,第一分支抽气管道、第二分支抽气管道的第一端均与工位系统主管道的第二端连接;
在主抽气管道上从第一端到第二端的方向上分别安装:检漏阀、低规、隔断阀、真空泵;
在第一分支抽气管道上安装有旁抽阀;
在第二分支抽气管道上从第一端到第二端的方向上分别安装:抽空阀、高规、分子泵、前级阀。
进一步,充气系统包括:充气气源、调节阀、第一安全阀、第一压力传感器、充气阀、充气管道;
充气管道的第一端与所述充气气源连接,充气管道的第二端与所述工位系统主管道的第二端连接,从充气管道的第一端到第二端的方向上,依次安装有:调节阀、第一安全阀、第一压力传感器、充气阀。
进一步,工位系统包括:工位系统主管道、工位系统连接容器、放气阀、第二压力传感器、n个工位连接系统;工位系统主管道、工位系统连接容器连接;
工位系统主管道上安装有放气阀;
工位系统连接容器上安装有第二压力传感器;
工位连接系统包括:工位连接管道、工位阀;在所述工位连接管道上安装有所述工位阀;所述工位连接管道的第一端与所述工位系统连接容器连接,第二端与所述工件连接。
进一步,充气气源为氦气。
进一步,真空泵采用干式机械泵。
进一步,阶段一:“抽真空-氦气置换”循环,阶段一为:j个“抽真空-氦气置换”循环;
任意第i个“抽真空-氦气置换” 循环过程包括:
a.对工件进行抽真空,使得工件中的气压低于P3,i:
充气系统的阀门均关闭,工位系统的工位阀开启,抽空阀以及前级阀关闭,旁抽阀打开,然后真空泵开启工作,气体从工位连接管道-工位系统连接容器-工位系统主管道-第一分支抽气管道-主抽气管道-真空泵抽出;当低规监测到的气压小于P3,i时,即关闭真空泵、旁抽阀;然后保持一定时间t3;
b.对工件进行充氦气,使得工件内的氦气气压不低于P1,i:
抽真空系统的阀门均处于关闭状态,工位系统的工位阀保持开启状态,充气系统的调节阀、充气阀保持开启状态,基于第二压力传感器来监测工位的气压,当第二压力传感器监测到的气压大于P1,i时,工位阀以及充气系统的调节阀、充气阀均保持关闭;然后保持一定时间t1;
c.对工件进行放气,使得工件内的气压低于P2,i:
抽真空系统的阀门均处于关闭状态,工位系统的工位阀保持开启状态,充气系统的调节阀、充气阀保持关闭状态,此时,开启工位系统主管道上安装的放气阀,使得工位内的氦气得以放出,当第二压力传感器监测到的气压低于P2,i时,关闭放气阀;然后保持一定时间t2;
阶段二:抽真空-充氦气;
上述阶段一结束后,将放气阀关闭;
此时,充气系统的阀门均保持关闭状态,工位系统的工位阀保持开启状态,然后,进行以下工作:
(1)第一抽气阶段:气体从第一分支抽气管道-主抽气管道-真空泵抽出;抽空阀以及前级阀关闭,旁抽阀打开,真空泵开启工作,通过低规来监测真空度;
(2)第二抽气阶段:气体从第二分支抽气管道-主抽气管道-真空泵抽出;旁抽阀关闭,抽空阀、前级阀、分子泵打开,通过高规来监测真空度;在第二抽气阶段开始时,温控系统开启对工件进行加热;
(3)充气:抽真空系统的阀门均关闭,充气系统的阀门开启,给工件充注指定压力的氦气Pf,并保持时间t4。
进一步,t1、t3、t4一般不小于180s;t2一般不小于60s。
本申请的有益效果在于:
第一,本申请的基础构思在于提出了一种工件充气方法,其核心要点在于其包括阶段一以及阶段二;
其中,阶段一为:j个“抽真空-氦气置换”循环; 任意第i个“抽真空-氦气置换” 循环过程包括:
a.对工件进行抽真空,使得工件中的气压低于P3,i;
b.对工件进行充氦气,使得工件内的氦气气压不低于P1, i;
c.对工件进行放气,使得工件内的气压低于P2, i;
其中,阶段二为:抽真空-充氦气,其包括以下步骤:
a.对工件进行粗抽;
b.对工件进行加热且同时对工件进行精抽,直至气压降低到PV;
c.对工件内充氦气,直至其氦气气压达到预设气压Pf(严格而言,此时的气压是由剩余的空气和氦气叠加而成,但是此时空气分子极少,其构成的气压占比忽略不计)。
第二,本申请的第二个发明点在于:如何满足工件的充气要求:“最终氦气气压应达到Pf;工件最终内部参与的空气分子数n空气(单位为mol)≤[n空气阈值](单位为mol)”;
采用阶段一、阶段二的联合方法,如何设计参数:j个循环过程的气压矩阵以及Pv;
j个循环过程的气压矩阵如下:
其包含有3j个参数。特别的,j本身也是一个参数。
阶段一、阶段二的工艺参数要满足:
nv=PVV工件/RT;
V工件表示单个工件的内部的体积;
R表示普适气体常数,其取值为8.31J/(mol·K);
T为温度(K),一般取273K;
也即,已知[n空气阈值]、V工件的情况下,通过上式来确定气压矩阵中的P3,i、P1, i以及PV。对于P2,i而言,根据实际情况可自主决定(其属于中间过程),例如P2,i选择为300Pa。也即,放气阀403连通的容器,其环境压力一般在50Pa(采用机械泵抽真空);换言之,放气阀不能直接与大气连接,因为这样的话会可能会造成大气的倒灌,丧失置换的意义。
根据上述工艺参数满足的条件,可以合理的确定j以及j个循环过程的气压矩阵。
第三,本申请的第三个发明点在于设计了多工位充排气平台,以满足本申请的工艺需求。
附图说明
下面结合附图中的实施例对本发明作进一步的详细说明,但并不构成对本发明的任何限制。
图1是实施例1的多工位真空充排气平台的系统气路原理图。
图2是实施例1的抽真空系统的设计示意图。
图3是实施例1的充气系统的设计示意图。
图4是实施例1的工位系统的设计示意图。
图5是实施例1的工位连接系统的设计示意图。
图6是实施例1的多工位真空充排气平台的三维设计示意图。
图7是实施例1的多工位真空充排气平台的侧立面示意图。
图1-图7中的附图标记说明如下:
抽真空系统100、真空泵101、隔断阀102、检漏阀103、低规104、前级阀105、分子泵106、高规107、抽空阀108、旁抽阀109、主抽气管道110、第一分支抽气管道111、第二分支抽气管道112;
温控系统200;
充气系统300、充气气源301、调节阀302、第一安全阀303、第一压力传感器304、充气阀305、充气管道306;
工位系统400、工位系统主管道401、工位系统连接容器402、放气阀403、第二压力传感器404、工位连接系统405、工位连接管道4051、工位阀4052;
工件500。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面结合具体实施方式并参照附图,对本发明进一步详细说明。应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本发明的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本发明的概念。
<实施例一>
<硬件构成>
如图1-图7所示,一种多工位真空充排气平台(图1示意出了一种十二工位真空充排气平台),包括:抽真空系统100、温控系统200、充气系统300、工位系统400。
抽真空系统、温控系统、充排气系统集成在工作架中,电气控制系统安装在独立电控柜中。下面将详述各个部分构成。
<1.1 抽真空系统100>
抽真空系统的构成,其包括:主抽气管道110、第一分支抽气管道111、第二分支抽气管道112;真空泵101、隔断阀102、检漏阀103、低规104、前级阀105、分子泵106、高规107、抽空阀108、旁抽阀109;
第一分支抽气管道111、第二分支抽气管道112并联,第一分支抽气管道111、第二分支抽气管道112的第二端均与主抽气管道110的第一端连接,第一分支抽气管道111、第二分支抽气管道112的第一端均与工位系统主管道401的第二端连接;
在主抽气管道110上从第一端到第二端的方向上分别安装:检漏阀103、低规104、隔断阀102、真空泵101;
在第一分支抽气管道111上安装有旁抽阀109;
在第二分支抽气管道112上从第一端到第二端的方向上分别安装:抽空阀108、高规107、分子泵106、前级阀105。
抽真空系统的工作原理是:
(1)第一抽气阶段:气体从第一分支抽气管道111-主抽气管道110-真空泵101抽出;具体而言,抽空阀108以及前级阀关闭,旁抽阀109打开,真空泵101开启工作,通过低规104来监测真空度。
(2)第二抽气阶段:气体从第二分支抽气管道112-主抽气管道110-真空泵101抽出;具体而言,旁抽阀109关闭,抽空阀108、前级阀105、分子泵106打开,通过高规107来监测真空度。
通过真空泵101、分子泵106的共同工作,产品抽真空至1×10-4Pa(冷态)。
需要说明的是,真空泵采用干式机械泵,避免油蒸汽对工作环境带来的污染。
<1.2温控系统200>
真空管道包裹加热衣,工位配置电动升降加热罩,烘烤温度23℃-230℃可调,工件加热100℃状态下,实现极限真空5×10-5Pa。
<1.3充气系统300>
充气系统300包括:充气气源301、调节阀302、第一安全阀303、第一压力传感器304、充气阀305、充气管道306。
充气管道的第一端与所述充气气源301连接,充气管道的第二端与所述工位系统主管道401的第二端连接,从充气管道的第一端到第二端的方向上,依次安装有:调节阀302、第一安全阀303、第一压力传感器304、充气阀305。
充气系统300的工作原理是:打开充气阀305,气体从充气气源301流动到充气管道306,然后通过充气阀305,进入到工位系统。
压力传感器304用于监测充气压力,当充气压力达到设定值,关闭充气阀305,充气压力范围在O-5MPa任意设定。
<1.4工位系统400>
工位系统400包括:工位系统主管道401、工位系统连接容器402、放气阀403、第二压力传感器404、n个工位连接系统405;工位系统主管道401、工位系统连接容器402连接;
工位系统主管道401上安装有放气阀403;
工位系统连接容器402上安装有第二压力传感器404;
工位连接系统405包括:工位连接管道4051、工位阀4052;在所述工位连接管道4051上安装有所述工位阀4052;所述工位连接管道4051的第一端与所述工位系统连接容器402连接,第二端与所述工件500连接。
另外,在工位系统主管道401上安装有安全阀。
<工艺设计>
本申请的装备是用于形成超高真空环境。
<功能一:设备自清洁、自检漏>
a.自清洁:此时设备不连接工件,抽真空系统关闭,充气系统的调节阀302、充气阀305开启(自清洁时充气气源一般可采用氮气),工位系统的工位阀开启:设备自动完成充氮吹扫管路实现排出各种杂质及污染物净化管路;
b.自检漏:此时设备不连接工件,抽真空系统关闭,工位系统的阀门均保持关闭,充气系统充气一段时间后其阀门也关闭(即调节阀302、充气阀305关闭);通过检测一定时间内管道内的压力变化(第二压力传感器404能够检测压力的变化)来计算漏率,自动完成检漏,在漏率超过设定值时自动给出报警提示。
<功能二>
阶段一:“抽真空-氦气置换”循环。
a.对工件进行抽真空,使得工件中的气压低于P3:
充气系统的阀门均关闭,工位系统的工位阀开启,抽空阀108以及前级阀105关闭,旁抽阀109打开,然后真空泵101开启工作,气体从工位连接管道-工位系统连接容器402-工位系统主管道401-第一分支抽气管道111-主抽气管道110-真空泵101抽出;当低规104监测到的气压小于P粗抽时,即关闭真空泵101、旁抽阀109;然后保持一定时间t3。
b.对工件进行充氦气,使得工件内的氦气气压不低于P1:
抽真空系统的阀门均处于关闭状态,工位系统的工位阀保持开启状态,充气系统的调节阀302、充气阀305保持开启状态,基于第二压力传感器404来监测工位的气压,当第二压力传感器404监测到的气压大于P1时,工位阀以及充气系统的调节阀302、充气阀305均可关闭。然后保持一定时间t1。
c.对工件进行放气,使得工件内的气压低于P2:
抽真空系统的阀门均处于关闭状态,工位系统的工位阀保持开启状态,充气系统的调节阀302、充气阀305保持关闭状态,此时,开启工位系统主管道401上安装的放气阀403,使得工位内的氦气得以放出,当第二压力传感器404监测到的气压低于P2时,关闭放气阀。然后保持一定时间t2。
上述步骤a、b、c重复循环N次(每次循环的P3、P2、P1可不相同)。
也即,阶段一的流程是:“抽真空-充气—放气-抽真空-充气—放气……”这样的一种循环方法。
上述“抽真空-充气—放气”,也即步骤a、b、c循环N次结束。
阶段二:超高真空-充氦气。
上述阶段一结束后,将放气阀关闭。
此时,充气系统的阀门均保持关闭状态,工位系统的工位阀保持开启状态,然后,进行以下工作:
(1)第一抽气阶段:气体从第一分支抽气管道111-主抽气管道110-真空泵101抽出;具体而言,抽空阀108以及前级阀关闭,旁抽阀109打开,真空泵101开启工作,通过低规104来监测真空度。
(2)第二抽气阶段:气体从第二分支抽气管道112-主抽气管道110-真空泵101抽出;具体而言,旁抽阀109关闭,抽空阀108、前级阀105、分子泵106打开,通过高规107来监测真空度;在第二抽气阶段开始时,温控系统开启对工件进行加热。
(3)充气:抽真空系统的阀门均关闭,充气系统的阀门开启,给工件充注指定压力的氦气Pf,并保持时间t4。
<工艺的研究>
第一个“抽真空-氦气置换”循环:
步骤a结束后,工件中的空气的分子数n1a=P3,1V工件/RT;
步骤b结束后,工件中的氦气+空气的分子数之和n1b =P1,1V工件/RT(其中,空气分子数是n1a,氦气分子数为n1b-n1a);
步骤c结束后,工件中的氦气+空气的分子数之和n1c= P2,1V工件/RT(其中,空气分子数是n1c·n1a/n1b,氦气分子数为n1c·(n1b-n1a)/n1b,其也可表达为:n1c-n1c·n1a/n1b)。
第二个“抽真空-氦气置换”循环:
步骤a结束后,工件中的氦气+空气的分子数之和n2a= P3,2V工件/RT(其中,空气分子数是n2a·n1a/n1b,氦气分子数为n2a·(n1b-n1a)/n1b,其也可表达为:n2a-n2a·n1a/n1b);
步骤b结束后,工件中的氦气+空气的分子数之和n2b= P1,2V工件/RT(其中,空气分子数是n2a·n1a/n1b,氦气分子数为n2b-n2a·n1a/n1b);
步骤c结束后,工件中的氦气+空气的分子数之和n2c= P2,2V工件/RT(其中,空气分子数是n2c·n2a·n1a/(n1b·n2b),氦气分子数为n2c-n2c·n2a·n1a/(n1b·n2b)。
第三个“抽真空-氦气置换”循环:
步骤a结束后,工件中的氦气+空气的分子数之和n3a= P3,3V工件/RT(其中,空气分子数是n3a·n2a·n1a/(n1b·n2b),氦气分子数为n3a-n3a·n2a·n1a/(n1b·n2b);
步骤b结束后,工件中的氦气+空气的分子数之和n3b= P1,3V工件/RT(其中,空气分子数是n3a·n2a·n1a/(n1b·n2b),氦气分子数为n3b- n3a·n2a·n1a/(n1b·n2b);
步骤c结束后,工件中的氦气+空气的分子数之和n3c= P2,3V工件/RT(其中,空气分子数是n3c·n3a·n2a·n1a/(n1b·n2b·n3b),氦气分子数为n3c- n3c·n3a·n2a·n1a/(n1b·n2b·n3b)。
对于第j个“抽真空-氦气置换”循环而言:
第二阶段中:
根据上述工艺研究,可以合理的确定j以及j个循环过程的气压矩阵。
以上所举实施例为本发明的较佳实施方式,仅用来方便说明本发明,并非对本发明作任何形式上的限制,任何所属技术领域中具有通常知识者,若在不脱离本发明所提技术特征的范围内,利用本发明所揭示技术内容所作出局部更动或修饰的等效实施例,并且未脱离本发明的技术特征内容,均仍属于本发明技术特征的范围内。
Claims (9)
1.一种工件充气方法,其特征在于,工件所需的环境为:最终氦气气压应达到Pf;工件最终内部参与的空气分子数n空气≤[n空气阈值];
其中,阶段一为:j个“抽真空-氦气置换”循环,j为大于等于1的整数;
任意第i个“抽真空-氦气置换” 循环过程包括:
a.对工件进行抽真空,使得工件中的气压低于设定的目标气压值P3,i;
b.对工件进行充氦气,使得工件内的氦气气压不低于设定的目标气压值P1,i;
c.对工件进行放气,使得工件内的气压低于设定的目标气压值P2,i;
i表示1~j中的任意一个整数;
其中,阶段二为:抽真空-充氦气,其包括以下步骤:
a.对工件进行粗抽;
b.对工件进行加热且同时对工件进行精抽,直至气压降低到PV;
c.对工件内充氦气,直至其氦气气压达到预设气压Pf;
阶段一的工艺参数、阶段二的工艺参数要满足:
V工件表示单个工件的内部的体积;
R表示普适气体常数,其取值为8.31J/(mol·K);
T为温度,取273K。
2.根据权利要求1所述的工件充气方法,其特征在于,阶段二中的步骤b中的工件进行加热的温度为23°C~230°C。
3.根据权利要求1或2所述的工件充气方法,其特征在于,所述工件充气的方法采用一种多工位真空充排气平台来实现;所述的多工位真空充排气平台包括:抽真空系统、温控系统、充气系统、工位系统;
其中,抽真空系统用于对工件进行抽真空,用于实现阶段一循环过程中的步骤a以及阶段二的步骤a和步骤b;
其中,温控系统用于实现阶段二的步骤b中的对工件进行加热;
其中,充气系统用于实现阶段一循环过程中的步骤b以及阶段二的步骤c;
其中,工位系统用于安装多个工件以及实现阶段一中的步骤c。
4.根据权利要求3所述的工件充气方法,其特征在于,抽真空系统包括:主抽气管道、第一分支抽气管道、第二分支抽气管道;真空泵、隔断阀、检漏阀、低规、前级阀、分子泵、高规、抽空阀、旁抽阀;
第一分支抽气管道、第二分支抽气管道并联,第一分支抽气管道、第二分支抽气管道的第二端均与主抽气管道的第一端连接,第一分支抽气管道、第二分支抽气管道的第一端均与工位系统主管道的第二端连接;
在主抽气管道上从第一端到第二端的方向上分别安装:检漏阀、低规、隔断阀、真空泵;
在第一分支抽气管道上安装有旁抽阀;
在第二分支抽气管道上从第一端到第二端的方向上分别安装:抽空阀、高规、分子泵、前级阀。
5.根据权利要求4所述的工件充气方法,其特征在于,充气系统包括:充气气源、调节阀、第一安全阀、第一压力传感器、充气阀、充气管道;
充气管道的第一端与所述充气气源连接,充气管道的第二端与所述工位系统主管道的第二端连接,从充气管道的第一端到第二端的方向上,依次安装有:调节阀、第一安全阀、第一压力传感器、充气阀。
6.根据权利要求5所述的工件充气方法,其特征在于,工位系统包括:工位系统主管道、工位系统连接容器、放气阀、第二压力传感器、n个工位连接系统;工位系统主管道、工位系统连接容器连接;
工位系统主管道上安装有放气阀;
工位系统连接容器上安装有第二压力传感器;
工位连接系统包括:工位连接管道、工位阀;在所述工位连接管道上安装有所述工位阀;所述工位连接管道的第一端与所述工位系统连接容器连接,第二端与所述工件连接。
7.根据权利要求6所述的工件充气方法,其特征在于,充气气源为氦气。
8.根据权利要求4所述的工件充气方法,其特征在于,真空泵采用干式机械泵。
9.根据权利要求7所述的工件充气方法,其特征在于,
阶段一:“抽真空-氦气置换”循环,阶段一为:j个“抽真空-氦气置换”循环;
任意第i个“抽真空-氦气置换” 循环过程包括:
a.对工件进行抽真空,使得工件中的气压低于P3,i:
充气系统的阀门均关闭,工位系统的工位阀开启,抽空阀以及前级阀关闭,旁抽阀打开,然后真空泵开启工作,气体从工位连接管道-工位系统连接容器-工位系统主管道-第一分支抽气管道-主抽气管道-真空泵抽出;当低规监测到的气压小于P3,i时,即关闭真空泵、旁抽阀;然后保持一定时间t3;
b.对工件进行充氦气,使得工件内的氦气气压不低于P1,i:
抽真空系统的阀门均处于关闭状态,工位系统的工位阀保持开启状态,充气系统的调节阀、充气阀保持开启状态,基于第二压力传感器来监测工位的气压,当第二压力传感器监测到的气压大于P1,i时,工位阀以及充气系统的调节阀、充气阀均保持关闭;然后保持一定时间t1;
c.对工件进行放气,使得工件内的气压低于P2,i:
抽真空系统的阀门均处于关闭状态,工位系统的工位阀保持开启状态,充气系统的调节阀、充气阀保持关闭状态,此时,开启工位系统主管道上安装的放气阀,使得工位内的氦气得以放出,当第二压力传感器监测到的气压低于P2,i时,关闭放气阀;然后保持一定时间t2;
阶段二:抽真空-充氦气;
上述阶段一结束后,将放气阀关闭;
此时,充气系统的阀门均保持关闭状态,工位系统的工位阀保持开启状态,然后,进行以下工作:
(1)第一抽气阶段:气体从第一分支抽气管道-主抽气管道-真空泵抽出;抽空阀以及前级阀关闭,旁抽阀打开,真空泵开启工作,通过低规来监测真空度;
(2)第二抽气阶段:气体从第二分支抽气管道-主抽气管道-真空泵抽出;旁抽阀关闭,抽空阀、前级阀、分子泵打开,通过高规来监测真空度;在第二抽气阶段开始时,温控系统开启对工件进行加热;
(3)充气:抽真空系统的阀门均关闭,充气系统的阀门开启,给工件充注指定压力的氦气Pf,并保持时间t4。
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