CN214224461U - 一种检漏仪 - Google Patents

Abstract

本申请总体来说涉及检测设备技术领域，具体而言，涉及一种检漏仪，包括本体、检漏腔以及开关组件，本体包括抽真空装置和氦元素检测装置，检漏腔至少设有两个，存在至少两个检漏腔的体积不同，各检漏腔的出气端均通过气口与抽真空装置连通；开关组件用于控制各气口中的任意一个的打开或关闭。本实用新型提供了一种结构简单，方便操作，通过将检漏腔设有多个，根据待检测器件的体积将其放入对应的检漏腔内，不同体积的检漏腔的抽真空时间不同，进而提高检测效率，节约时间成本。

Description

一种检漏仪

技术领域

本申请总体来说涉及检测设备技术领域，具体而言，涉及一种检漏仪。

背景技术

芯片在封装成器件之后，为保证芯片性能长期的稳定性，需保证器件的密封性能。常用检测器件密封性的仪器为检漏仪，现有的检漏仪只有一个检漏盒，检漏过程中，先对器件进行压氦，然后把器件放到检漏盒中，检漏仪会对检漏盒抽真空，当真空度达到一定程度后，检测氦分子含量。当发现氦气含量超标时，使用减半检测的方法逐一排查，找出漏气产品。当需要检测的产品数量较多时，需求检漏盒的体积大，抽真空的时间较长，随着数量减少，检漏盒的体积需求变小，由于检漏盒的体积不变，导致检漏时间较长。

实用新型内容

为了解决现有技术中不同体积的检漏产品的检漏时间都相同，检漏效率低的技术问题，本申请提供一种检漏仪。

为实现上述实用新型目的，本申请采用如下技术方案：

根据本申请的一个方面，提供了一种检漏仪，包括：

本体，所述本体抽真空装置和氦元素检测装置；

检漏腔，至少设有两个，存在至少两个所述检漏腔的体积不同，各所述检漏腔的出气端均通过气口与所述抽真空装置连通；以及

开关组件，用于控制各所述气口中的任意一个的打开或关闭。

根据本申请的一实施方式，其中所述气口通过连接件与所述抽真空装置连通。

根据本申请的一实施方式，其中所述气口和所述抽真空装置均通过密封件与所述连接件连接。

根据本申请的一实施方式，其中所述连接件为可伸缩结构。

根据本申请的一实施方式，其中所述连接件为柔性材质。

根据本申请的一实施方式，其中所述连接件包括：

主管路，其一端与所述抽真空装置连通；以及

分管路，设有多个，所述分管路的一端与所述主管路连通，所述分管路的另一端与所述气口连通。

根据本申请的一实施方式，具有相同体积的所述检漏腔的数量小于三个。

根据本申请的一实施方式，其中所述开关组件包括多个控制阀，各所述控制阀分别控制各所述气口打开或关闭。

根据本申请的一实施方式，其中所述控制阀为真空电磁阀。

根据本申请的一实施方式，其中所述抽真空装置为真空泵。

由上述技术方案可知，本申请的一种检漏仪的优点和积极效果在于：通过多个不同体积的检漏腔的设置，使得不同待检测器件的体积根据其需求进行选择，因不同体积的检漏腔的抽真空时间不同，使得不同待检测器件的检测时间不同，因而解决了现有技术中只有一个检漏腔使得不同体积的待检测器件在检测时的抽真空时间相同的问题，大大的提高了检测效率，节约时间成本。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据一示例性实施方式示出的一种检漏仪的整体结构示意图。

其中，附图标记说明如下：

1、本体；2、检漏腔；3、气口；4、连接件；5、密封件；6、主管路；7、分管路；8、真空电磁阀；9、抽真空装置。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

参照图1，提供了一种检漏仪，包括本体1，本体1内设有抽真空装置9和氦元素检测装置，氦元素检测装置与抽真空装置9的进气口端连通。抽真空装置9为真空泵，氦元素检测装置为质谱室。本体1 上还连接有检漏腔2。检漏腔2设有多个，存在至少两个检漏腔2的体积不同，各检漏腔2的出气端均通过气口3与抽真空装置9的出气口端连通。检漏仪还包括开关组件，开关组件用于控制各气口3中的任意一个的打开或关闭。

工作中，首先将待检测器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的待检测器件的内部，无漏孔的待检测器件只是表面吸附氦气。待检测器件加压一定的压力和时间，待检测器件从加压罐中取出后将表面吸附的氦气吹掉再放入可容纳其的检漏腔2的腔体中，开关组件控制对应的气口3打开，真空泵将检漏腔2抽至设定值，随后质谱室检测检漏腔2内氦气的泄漏情况，测得器件的总漏率，通过总漏率判断器件是否合格。

举例来说，本体1的型号可以为ZQJ-230EK型检漏仪装置，将检漏腔2与抽真空装置9连接，漏入的氦气由抽真空装置9的出气口逆着抽真空装置9的排气方向进入安装在抽真空装置9的进气口端的氦元素检测装置，通过氦元素检测装置检测漏气量。

进一步地，各检漏腔2的体积互不相同。通过将各检漏腔2的体积设置的各不相同，可以根据待检测器件的整体体积选择最合适的检漏腔2进行检漏工作。可以有效的避免待检测器件过多检漏腔2容纳不下或者待检测器件过少检漏腔2在抽真空的情况下工作时间过长，进而影响工作效果的情况。

进一步地，各检漏腔2的体积应相差较大。为了节约成本，应明显可以区分出各检漏腔2的大小，进而在适用器件广泛的情况下，减少检漏腔2的设置数量，可以减小检漏仪的占用空间，以及降低检漏仪的整体成本。举例来说，本申请以检漏腔2设有两个为例进行介绍，两个检漏腔2的容积明显不同。当需要待检测的总器件进行检漏时，则将待检测器件放置于大的检漏腔2内；当需要对待检测器件进行分批检漏时，则可以将待检测器件放置于小的检漏腔2内。上述设置方式，即可以实现对不同数量的待检测器件进行检漏，同时，由于不同容积的检漏腔2的抽真空时间不同，还可以提高工作效率。

进一步地，至少存在两个检漏腔2的体积不同。相同体积的检漏腔2中其中一个在工作时，另一个可以在做准备工作，从而提高工作效果。

优选地，在各检漏腔2的体积部分相同的情况下，相同的检漏腔2 的体积应不是各检漏腔2中体积最大的。最大的检漏腔2的使用频率相对较少，为了节约成本，体积最大的检漏腔2应设置一个。由于待检测器件检漏工作时其总漏率超过报废预定值时，工作人员会将待检测器件进行部分检漏，此时就可以将各部分待检测器件分别放入各检漏腔2中进行工作。

优选地，具有相同体积的检漏腔2的数量应小于三个。由于人们的操作习惯，当待检测器件检漏工作时其总漏率超过报废预定值时，工作人员会对器件均分成两半。然后选取一半数量的器件继续检漏，此时被分成两部分的器件就可以分别设置于两个相同的检漏腔2中，一个检漏腔2内进行检漏工作，另一个检漏腔2内进行准备工作，大大的提高工作效率。

进一步地，检漏腔2上设有门体，门体具有打开状态和关闭状态。当需要将待检测器件放入检漏腔2内时，工作人员打开门体并使得门体处于打开状态，此时，工作人员可以一次将所有的待检测器件放入检漏腔2中，工作人员还可以将所有的待检测器件多次放入检漏腔2 内，随后工作人员将门体关闭，使得门体处于关闭状态，使得装置进行下一步操作。

具体地，门体与检漏腔2之间的连接可以为现有技术中的任一一种，包括但不限于卡扣连接等。

进一步地，为了保证检漏腔2整体的密封性，门体与检漏腔的连接处设置有密封圈，通过密封圈防止检漏腔2内漏气，保证检漏测试结果的可靠性。

进一步地，待检测器件可以先放置于用于支撑待检测器件的治具上，随后将治具同步放入检漏腔2内，通过治具对待检测器件起到支撑的作用，有效避免待检测器件落入到气口3处，造成堵塞气口3的现象。

同样地，检漏腔2内还可以设置有隔层，通过隔层对待检测器件起到支撑的作用，减少工作人员将治具从检漏腔2内往复放入并取出的操作，减少人力。

进一步地，为了防止待检测器件掉落到气口3处，造成气口3堵塞的情况。气口3处设置有筛网，筛网的设置保证气口3处空气的流通性。

具体地，筛网可拆卸地设置于气口3处，筛网的设置形式可以选用现有技术中的任一一种。举例来说，筛网可以通过卡扣与气口卡接连接，当筛网堵塞需要更换或维修时，工作人员将筛网拆卸进行维修或更换即可，方便操作，延迟装置的使用寿命。

进一步地，抽真空装置9通过连接件4与各检漏腔2连通。举例来说，连接件4可以设有多个，各检漏腔2的气口3均连接有连接件4，各连接件4远离检漏腔2的一侧均与抽真空装置9连通。通过连接件4 的设置，使得检漏腔2的放置位置有一点的选择空间，可以根据工作人员的习惯进行放置，方便操作。

优选地，连接件4包括主管路6以及与主管路6连通的分管路7，主管路6的一端与抽真空装置9连通。分管路7设有多个，各分管路7 与各检漏腔2一一对应设置，且其一端分别与各检漏腔2连通，分管路7远离检漏腔2的一端与主管路6连通。通过主管路6的设置使得抽真空装置9通过一个风口即可以与多个检漏腔2进行连通，提高装置整体的密封性。

进一步地，为了保证装置的密封性，检漏腔2和抽真空装置9均通过密封件5与连接件4连接。具体地，密封件5设置于主管路6与抽真空装置9之间，密封件5同样设置于各检漏腔2与相连通的分管路7之间。进而保证连接件4与抽真空装置9和检漏腔2之间连接的密封性，有效防止装置漏气，进而影响检测效果。

具体地，密封件5可以为现有技术中的任一一种形式，本申请在此不做限定，包括但不限于橡胶塞、密封胶等。

进一步地，连接件4为可伸缩结构。通过将连接件4设置为可拉伸结构，便于改变各个检漏腔2的位置，可以根据实际需要将各检漏腔2放置于不同的位置上，同时，多余部分的连接件4会收缩至其本身的结构内，不会占用空间。

进一步地，连接件4为柔性材质，连接件4通过采用柔性材质使得连接件4可以进行一定程度的弯折，增加检漏腔2放置位置的选择性，同时适应不同的实际容纳空间，提高装置整体的适用性。

进一步地，开关组件包括多个控制阀，各控制阀分别控制各气口3 的打开或关闭，各控制阀一一对应设置于各分管路7上。通过多个控制阀的设置，从而控制各个检漏腔2与主体之间的连通或断开，实现各检漏腔2的单独工作。

具体地，控制阀为真空电磁阀8。当真空泵停止工作或电源突然中断时，真空电磁阀8能够自动将真空泵的真空系统封闭，并将大气通过真空泵的进气口充入泵腔，避免泵油反流污染真空系统。且其密封性能好，可以有效避免漏气的可能性。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本实用新型的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种检漏仪，其特征在于，包括：

本体(1)，所述本体(1)包括抽真空装置(9)和氦元素检测装置；

检漏腔(2)，至少设有两个，存在至少两个所述检漏腔(2)的体积不同，各所述检漏腔(2)的出气端均通过气口(3)与所述抽真空装置(9)连通；以及

开关组件，用于控制各所述气口(3)中的任意一个的打开或关闭。

2.如权利要求1所述的检漏仪，其特征在于，所述气口(3)通过连接件(4)与所述抽真空装置(9)连通。

3.如权利要求2所述的检漏仪，其特征在于，所述气口(3)和所述抽真空装置(9)均通过密封件(5)与所述连接件(4)连接。

4.如权利要求2所述的检漏仪，其特征在于，所述连接件(4)为可伸缩结构。

5.如权利要求2所述的检漏仪，其特征在于，所述连接件(4)为柔性材质。

6.如权利要求2所述的检漏仪，其特征在于，所述连接件(4)包括：

主管路(6)，其一端与所述抽真空装置(9)连通；以及

分管路(7)，设有多个，所述分管路(7)的一端与所述主管路(6)连通，所述分管路(7)的另一端与所述气口(3)连通。

7.如权利要求1所述的检漏仪，其特征在于，具有相同体积的所述检漏腔(2)的数量小于三个。

8.如权利要求1所述的检漏仪，其特征在于，所述开关组件包括多个控制阀，各所述控制阀分别控制各所述气口(3)打开或关闭。

9.如权利要求8所述的检漏仪，其特征在于，所述控制阀为真空电磁阀(8)。

10.如权利要求1所述的检漏仪，其特征在于，所述抽真空装置(9)为真空泵。

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