JP6658463B2 - ガスタンク検査装置 - Google Patents
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Description
20 検査ガス供給部
21 液体窒素タンク
22 窒素
23 液ポンプ
24 熱交換器
25 ヘリウムタンク
26 ヘリウムガス
27 予混合器
30 ガス漏れ検査部
31 チャンバー
32 ガス分析器
33 真空ポンプ
40 ガス再利用部
100 ガスタンク
200 ガス貯蔵タンク
300 設備
P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7、P8、P9、P10、P11、P12、P13、P14、P15 配管
V1、V2、V3、V4、V7、V8、V9、V10 流量制御弁
V5 バルブ
V6、V11、V13 減圧弁
V12 切替バルブ
Claims (2)
- ガスタンクのガス漏れを検査するガスタンク検査装置であって、
前記ガスタンクに検査用のガスを供給する検査ガス供給部と、
前記ガスタンクのガス漏れ検査後、前記ガスタンク内に充填されている前記ガスを排気する排気経路と、
前記排気経路の下流側に配置され、前記排気経路から排気された前記ガスを回収して貯蔵するガス貯蔵タンクと、
前記ガス貯蔵タンクの下流側に配置され、前記ガスタンク検査装置とは別体である所定の設備に、前記ガス貯蔵タンクに貯蔵されているガスを供給する貯蔵ガス供給経路と、を備え、
前記検査用のガスは混合された窒素ガス及びヘリウムガスである、
ガスタンク検査装置。 - 前記ガス貯蔵タンクに貯蔵されるガスの圧力は1〜20MPaである、請求項1に記載のガスタンク検査装置。
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JP2016218381A JP6658463B2 (ja) | 2016-11-08 | 2016-11-08 | ガスタンク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2016218381A JP6658463B2 (ja) | 2016-11-08 | 2016-11-08 | ガスタンク検査装置 |
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Family Applications (1)
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