JPH0247473Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案は気密性検査装置に関するものである。

従来技術 被検査部材を収容する気密なチヤンバと、その
チヤンバ内に収容された被検査部材の内部へ中間
タンクを介して検査用ガスを供給するボンベとを
備え、その検査用ガスを前記被検査部材の内部か
ら前記チヤンバ内へ漏出させることにより被検査
部材の気密性を検査する気密性検査装置が知られ
ている。

かかる気密性検査装置においては、通常、検査
終了後に被検査部材内部の検査用ガスを圧縮ポン
プにより回収ボンベへ回収することが行われてい
る。そして、この回収ボンベが所定圧となつたと
きには、前記ボンベからの検査用ガスの供給を停
止して回収ボンベから中間タンクを介して検査用
ガスを被検査部材に供給するとともに、その回収
ボンベの圧力が低下した場合には再び前記ボンベ
に切り替えて回収ボンベが所定圧となるまでこの
ボンベから検査用ガスを中間タンクに供給するこ
とが行われている。この場合において、回収ボン
ベの回収設定圧が比較的低い場合あるいは回収ボ
ンベの容量が比較的小さい場合等には、前記ボン
ベと回収ボンベとを頻繁に切り換える必要が生ず
るため、従来より、回収ボンベとして高圧用のも
のを使用すること等が行われている。

考案が解決すべき問題点 しかしながら、気密性検査装置をこのような高
圧用設備を有して構成した場合には、装置のコス
トおよび設置スペースが増大するとともに、その
取扱いが簡単ではなかつた。

問題点を解決するための手段 本考案は以上の事情を背景にしてボンベの頻繁
な切換えを抑制し得るとともに装置の製造コスト
および設置スペースの低減を同時に達成し得る気
密性検査装置を提供することを目的として為され
たものであり、その要旨とするところは、前記の
ような気密性検査装置であつて、前記中間タンク
と前記チヤンバ内に収容された被検査部材との間
に、前記ボンベからその被検査部材の内部へ供給
された前記検査用ガスを中間タンクに直接的に回
収する回収手段を設けたことにある。

作用および考案の効果 このようにすれば、被検査部材の気密性検査が
終了した場合には、チヤンバ内に収容された被検
査部材と中間タンクとの間に設けられた回収手段
により、被検査部材内部の検査用ガスが中間タン
クに直接的に回収されるので、従来のような高圧
用の設備および回収ボンベを不要とし得る。これ
により、装置の製造コストおよび設置スペースを
従来に比べて一層低減し得るとともに、従来のよ
うなボンベの切替操作が全く不要となる。

実施例 以下、本考案の一実施例を示す図面に基づいて
詳細に説明する。

第２図は本考案が適用された気密性検査装置を
示す図であつて、基台１０上には複数（本実施例
においては二本）の案内ロツド１２，１４が突設
されているとともに、それら案内ロツド１２，１
４の各先端部間に設けられた支持部材１６にはエ
アシリンダ１８が固定されている。エアシリンダ
１８のピストンロツド２０の先端部には有底円筒
状を成す覆蓋部材２２がその底部にて固着されて
おり、覆蓋部材２２の外周側に設けられた一対の
ブラケツト２４が案内ロツド１２，１４に摺動可
能に取り付けられている。これにより、覆蓋部材
２２は、その開口縁部が基台１０と対向させられ
た状態で、エアシリンダ１８の作動に伴つて基台
１０と接近離隔する方向（図において上下方向）
の移動可能に設けられている。そして、覆蓋部材
２２が下降させられてその開口縁部が基台１０と
当接させられたとき、一点鎖線にて示す覆蓋部材
２２と基台１０とによつて気密なチヤンバ２６が
形成されるようになつている。

上記基台１０にはポート２８，３０，３２，３
４が設けられている。ボート２８は二酸化炭素あ
るいは窒素等から成るクリーニングガスの供給源
であるボンベ３６と、ポート３０は真空ポンプ３
８および排気弁４０と、ポート３２はリークデイ
テクタ４２とそれぞれ接続されている。ポート３
４は、第１図に示すように、配管４４、タンク４
６、減圧弁４８、開閉弁５０等を介してフロンガ
スあるいはヘリウムガス等から成る検査用ガスの
供給源であるボンベ５２と接続されている一方、
配管５４、回収ボンベ５６、配管５７等を介して
前記タンク４６と接続されている。このタンク４
６の圧力は開閉弁５０が開状態とされると減圧弁
４８によりたとえば６〜７Kg／cm²程度に設定され
るようになつているとともに、タンク４６の容量
は、被検査部材内部の検査用ガスを繰り返し回収
するに伴つてタンク４６の圧力が所定圧まで低下
したときに減圧弁４８を介してボンベ５２から検
査用ガスが補給されるように、被検査部材の容量
に比べて充分大きく設定されている。なお、５
８，６０，６２は電磁弁であつて、電磁弁６２は
図示しない真空ポンプに接続されている。また、
６４は逆止弁、６６はフイルタである。

次に、以上のように構成された気密性検査装置
の作動を説明する。

先ず、エアシリンダ１８により覆蓋部材２２を
下降させて基台１０との間に一点鎖線にて示す気
密なチヤンバ２６を形成する。次に、気密性検査
に先立つて、チヤンバ２６内をポート３０を介し
て真空ポンプ３８により真空とした後、そのチヤ
ンバ２６内へポート２８を介してボンベ３６から
クリーニングガスを供給することによりチヤンバ
２６内を清浄化する。次いで、電磁弁６２を開状
態として圧力容器６８内を真空とした後、電磁弁
５８を開いてタンク４６から基台１０上にボルト
等により気密に固定された圧力容器６８の内部へ
検査用ガスを供給する。このとき、圧力容器６８
の内部からチヤンバ２６内へ漏出した検査用ガス
等を図示しない吸引ポンプによりポート３２を介
してリークデイテクタ４２へ吸引することによ
り、検査用ガスの漏れ量が測定されて圧力容器６
８の気密性が検査される。次に、電磁弁５８を閉
じ且つ電磁弁６０を開状態とするとともに回収ポ
ンプ５６を作動させることにより、圧力容器６８
内の検査用ガスをタンク４６内へ回収する。そし
て、覆蓋部材２２を上昇させて圧力容器６８を取
り外すこととなる。したがつて、本実施例におい
ては、タンク４６が中間タンクを構成していると
ともに、電磁弁６０、配管５４、逆止弁６４、回
収ポンプ５６、配管５７等が回収手段を構成して
いる。なお、タンク４６の容量は、前述のよう
に、圧力容器６８の容量に比べて充分大きく設定
されており、タンク４６の圧力が所定圧まで低下
したときに減圧弁４８を介してボンベ５２から検
査用ガスが補給されるようになつているので、圧
力容器６８内の検査用ガスをタンク４６へ回収す
るに際して、回収ポンプ５６および配管５４，５
７等にはそれ程大きな負荷はかからないのであ
る。

ここで、第３図は従来の気密性検査装置におけ
る検査用ガスの供給回路および回収回路を示す図
である。なお、以下の説明において前述の実施例
と同様の部分には同一の番号を付して詳細な説明
は省略する。図において、７０は高圧用の回収ボ
ンベであて、気密性検査終了後に圧力容器６８内
の検査用ガスを比較的能力の大きい回収ポンプ７
２により回収ボンベ７０へ回収するとともに、こ
の回収ボンベ７０の圧力が比較的高圧の所定圧
（たとえば20Kg／cm²）となつたときにはボンベ５
２の開閉弁５０を閉じ且つ開閉弁７４を開くこと
により、ボンベ５２に替えて回収ボンベ７０から
フイルタ７６および減圧弁７８等を介して検査用
ガスをタンク４６へ供給するようになつている。
かかる従来の装置においては、高圧用の回収ボン
ベ７０が使用されているので、両ボンベ５２，７
０の切換操作の回数が比較的低減されるのである
が、高圧用設備を要するためにその設置スペース
および製造コストが増大することが避け難かつた
のである。また、高圧用設備は危険物であつて、
その取り扱いには一定の資格が要求されるので、
通常の作業者が簡単に操作をすることができない
という問題があつた。 これに対し、本実施例に
よれば、圧力容器６８内の検査用ガスが回収ポン
プ５６により直接的にタンク４６へ回収されるよ
うになつているので、従来のような回収ボンベ７
０等の高圧用の設備、開閉弁７４、減圧弁７８等
が不要となる。これにより、装置の製造コストお
よび設置スペースの低減を同時に為し得るととも
に、従来のようなボンベの切替操作が全く不要と
なる。

また、本実施例によれば、比較的低圧のタンク
４６へ検査用ガスが回収されるので、高圧用の回
収ボンベ７０へ回収する従来の場合に比べて回収
時間を一層低減し得る。

また、本実施例によれば、高圧用の回収ボンベ
７０が不要となるので、有資格者を要しないとい
う利点がある。

なお、前述の実施例において、中間タンクは減
圧弁４８により圧力が設定されるタンク４６にて
構成されているが、必ずしもその必要はなく、た
とえば、中間タンクの内部に減圧機構を備えたも
のであつても良い。

また、前述の実施例においては、覆蓋部材２２
を基台１０と接近離隔する方向へ相対移動させる
ことにより、基台１０との間に気密なチヤンバ２
６を形成し且つ被検査部材の脱着を為し得るよう
に構成されているが、必ずしもその必要はなく、
たとえば、所定の覆蓋部材を基台に固定すること
により気密なチヤンバを形成し、その覆蓋部材の
側面に設けられた扉から被検査部材の脱着を行う
ようにしても良い。

その他、本考案はその趣旨を逸脱しない範囲に
おいて種々変更が加えられ得るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は第２図の気密性検査装置における検査
用ガスの供給回路および回収回路を示す図であ
る。第２図は本考案が適用された気密性検査装置
の使用状態を示す図であつて、一部を断面にして
示す要部正面図である。第３図は従来の気密性検
査装置の要部を示す図であつて、第１図に対応す
る図である。 ２６……チヤンバ、４６……タンク、５２……
ボンベ、５４，５７……配管、５６……回収ポン
プ、６０……電磁弁、６４……逆止弁、６８……
圧力容器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 被検査部材を収容する気密なチヤンバと、該チ
   ヤンバ内に収容された被検査部材の内部へ中間タ
   ンクを介して検査用ガスを供給するボンベとを備
   え、該検査用ガスを前記被検査部材の内部から前
   記チヤンバ内へ漏出させることにより該被検査部
   材の気密性を検査する気密性検査装置において、 前記中間タンクと前記チヤンバ内に収容された
   被検査部材との間に、前記ボンベから該被検査部
   材の内部へ供給された前記検査用ガスを該中間タ
   ンクに直接的に回収する回収手段を設けたことを
   特徴とする気密性検査装置。