CN220084280U - 传输阀的真空测试装置及设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了传输阀的真空测试装置及设备，包括腔体、顶板和侧板，所述腔体顶部设有供待测传输阀穿过的开口，所述顶板用于密封所述开口；所述腔体与所述传输阀长边接触侧壁上设有供所述传输阀出气口测试的测试缺口，所述侧板用于密封所述测试缺口；所述腔体侧壁还设有抽真空连接孔，所述抽真空连接孔与所述测试缺口的位置相对；所述腔体底部设有供所述传输阀的阀门尾端穿过的通孔。通过传输阀的真空测试装置模拟上机环境，从而检测阀门各部件之间的泄漏率，同时还通过该装置检测传输阀的真空度。

Description

传输阀的真空测试装置及设备

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，尤其涉及传输阀的真空测试装置及设备。

背景技术

传输阀是用于连接真空腔室的长方形截面的阀门，可将物体(如晶圆)从一个腔室传送到另一个腔室；当晶圆从一个腔室传送到另一个腔室后，传输阀关闭，隔绝两个腔室直接的联系，传输阀关闭后，在确保没有泄漏的情况下，两个腔室可以同时工作并进行不同的工艺流程。

传输阀(如GRB-HA-50420矩形传输阀)在维修完成后，需要对其在高真空状态下进行泄漏率检测，如图1所示，目前维修厂商普遍通过一块闷板闷住传输阀出气口(即阀门上与阀板相对的一侧)，阀板伸出(传输阀关位)随后通过真空检漏设备对传输阀与闷板之间的容腔进行抽真空，在闷板与传输阀连接处周围喷吹检测气体，该检测方法只能检测到阀板与阀门出气口及阀门出气口与闷板之间的真空泄漏率；无法全方面检测出阀门各部件之间的泄漏率如：无法通过闷板检测到在阀板伸出或收回的过程的真空泄漏率、阀门与波纹管连接处的真空泄漏率等。

无法全方面检测出阀门各部件之间的泄漏率，往往导致无法判断传输阀的真空度，以及无法保证维修后产品的良率。

发明内容

鉴于此，本申请提供了传输阀的真空测试装置，在传输阀维修后、上机使用前，使用真空测试装置模拟上机环境，从而检测阀门各部件之间的泄漏率，同时还通过该装置检测传输阀的真空度；具体采用的技术方案如下：

传输阀的真空测试装置，包括腔体、顶板和侧板，所述腔体顶部设有供待测传输阀穿过的开口，所述顶板用于密封所述开口；所述腔体与所述传输阀长边接触侧壁上设有供所述传输阀出气口测试的测试缺口，所述侧板用于密封所述测试缺口；所述腔体侧壁还设有抽真空连接孔，所述抽真空连接孔与所述测试缺口的位置相对；所述腔体底部设有供所述传输阀的阀门尾端穿过的通孔。

优选地，所述腔体为一体设计，从而最大限度保证所述腔体内部的密封性。

优选地，所述腔体内部侧壁上还设有用于固定所述阀门的盲孔，保证所述阀门在检测过程中位置的稳定，从而保证检测结果的精确性及可靠性。

进一步优选地，所述盲孔为螺纹孔，所述阀门通过螺纹连接固定在所述腔体内。

优选地，所述顶板和侧板通过紧固螺钉和密封圈分别封闭所述开口和所述测试缺口。

优选地，所述侧板的尺寸大于所述测试缺口的尺寸，所述测试缺口的尺寸与所述阀门出气口的尺寸一致。

优选地，所述抽真空连接孔设置在相对所述测试缺口的中心处，便于快速抽出所述腔体内的空气。具体地，所述抽真空连接孔通过氦质谱检漏仪直接对腔体内进行抽气，使腔体内部达到规定的真空度，随后在泄漏处使用氦喷枪法进行检测真空泄漏率。

优选地，所述通孔处设有用于密封所述阀门尾端的密封圈。

优选地，还包括调整架，所述调整架可拆卸连接所述腔体；所述调整架包括用于支撑所述腔体的连杆和用于固定所述连杆的底座，所述连杆设置在所述顶板对侧的所述腔体上。

本申请还提供了真空测试设备，包括本申请所述的传输阀的真空测试装置，还包括氦质谱检漏仪，所述氦质谱检漏仪的真空系统与所述抽真空连接孔密封连接。

相较于现有技术，本申请的有益效果：通过真空测试装置模拟上机环境，从而检测阀门各部件之间的泄漏率，同时还通过该装置检测传输阀的真空度；通过给真空测试装置设置调整架后，从而能够直接将传输阀装入真空测试装置，无需安装完传输阀后再翻转整体，进一步提高了检测效率。

附图说明

图1是现有技术中传输阀检测的爆炸图；

图2是本申请所述的传输阀的真空测试装置的爆炸图(不含调整架)；

图3是本申请所述的腔体的结构示意图；

图4是本申请所述的传输阀的真空测试装置的半剖视图(内部装入传输阀、不含调整架)；

图5是本申请所述的传输阀的真空测试装置(含调整架)的结构示意图；

图6时本申请所述的传输阀的真空测试装置的氦气喷吹位置示意图一；

图7时本申请所述的传输阀的真空测试装置的氦气喷吹位置示意图二；

图8时本申请所述的传输阀的真空测试装置的氦气喷吹位置示意图三。

图中：1、腔体，2、顶板，3、侧板，4、开口，5、测试缺口，6、阀门，7、阀板，8、出气口，9、抽真空连接孔，10、通孔，11、盲孔，12、连杆，13、底座。

具体实施方式

下面将结合本申请的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，本申请描述的实施例仅仅是本申请的部分实施例，而不是全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获的的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

实施例1

传输阀的真空测试装置

结合图2至图4对本申请作进一步说明，传输阀的真空测试装置，包括腔体1、顶板2和侧板3，所述腔体1顶部设有供待测传输阀穿过的开口4，所述顶板2用于密封所述开口4；所述腔体1与所述传输阀长边接触侧壁上设有供所述传输阀出气口8(即阀门出气口)测试的测试缺口5，所述侧板3用于密封所述测试缺口5；所述腔体1侧壁还设有抽真空连接孔9，所述抽真空连接孔9与所述测试缺口5的位置相对；所述腔体1底部设有供所述传输阀的阀门6尾端穿过的通孔10。

其中，所述开口4不仅便于装入所述传输阀，还便于在检测过程中检测到所述传输阀泄漏后及时对所述传输阀进行调整。

在本实施例中，所述腔体1为一体设计，从而最大限度保证所述腔体1内部的密封性。

所述腔体1内部侧壁上还设有用于固定所述阀门6的盲孔11，保证所述阀门6在检测过程中位置的稳定，从而保证检测结果的精确性及可靠性。在本实施例中，所述阀门6通过螺纹连接固定在所述腔体1内。

在本实施例中，所述顶板2和侧板3通过紧固螺钉和密封圈分别封闭所述开口4和所述测试缺口5。

参阅图4，所述侧板3的尺寸大于所述测试缺口5的尺寸，所述测试缺口5的尺寸与所述阀门6出气口8的尺寸一致。其中，所述测试缺口5用于检测所述传输阀上密封面(即所述腔体1与所述阀门6的出气口8接触面处)的泄漏率。

所述抽真空连接孔9设置在相对所述测试缺口5的中心处，便于快速抽出所述腔体1内的空气。具体地，所述抽真空连接孔9通过氦质谱检漏仪直接对腔体1内进行抽气，使腔体1内部达到规定的真空度，随后在泄漏处使用氦喷枪法进行检测真空泄漏率。

在本实施例中，所述通孔10处设有用于密封所述阀门6尾端的密封圈。

参阅图4，调整阀在装入真空测试装置后，需要将该装置整体翻转才能放置在操作台上进行测试，若在测试过程中检测到泄漏率过高需要先翻转装置整体才能进行调整，导致在检测过程中测试不便，因此参阅图5，所述真空测试装置还包括调整架，所述调整架可拆卸连接所述真空测试装置；所述调整架包括用于支撑所述腔体1的连杆12和用于固定所述连杆12的底座13，所述连杆12设置在所述顶板2对侧的所述腔体1上。通过设置所述调整架后，无需翻转所述真空测试装置就能直接进行测试及调整。

其中所述连杆12包括气缸。

实施例2

传输阀的真空测试设备

除了包括实施例1所述的传输阀的真空测试装置，还包括氦质谱检漏仪，所述氦质谱检漏仪的真空系统与所述抽真空连接孔密封连接。

本申请所述的传输阀的真空测试装置配合调整架，能快速测试维修后的传输阀(如GRB-HA-50420矩形传输阀)在高真空环境下的泄漏率和检测传输阀的真空度；具体测试方法如下：

在检测前先将传输阀固定在所述腔体1内，随后通过所述顶板2密封所述开口4，所述抽真空连接孔9密封连接氦质谱检漏仪；

检测阀板7与阀门6出气口8之间的真空泄漏率：阀板7伸出(传输阀关位)，借助所述氦质谱检漏仪，采用真空喷吹法检测，参阅图6，在所述腔体1内部对着所述阀板7与所述阀门6的密封边周围喷吹氦气，检测所述传输阀在高真空环境下，所述阀门6与所述侧板3之间的真空泄漏率；可使所述阀板7收回(传输阀开位)，再伸出，重复检测多次，保证检测结果的可靠性；如果阀门6与所述侧板3之间的真空泄漏率超过标准值，说明所述阀板不能正常关位，通过拆卸所述顶板2对所述阀板7和所述阀门6之间的配合间隙进行调整，再次检测，直至检测泄漏率符合标准值。

检测阀门6与腔体1内壁之间(即传输阀上密封面)的真空泄漏率：所述阀板7伸出，借助所述氦质谱检漏仪，采用真空喷吹法检测，参阅图7，对着所述腔体1的测试缺口5与所述阀门6连接处周围喷吹氦气，检测所述传输阀在高真空环境下，所述阀门6与所述测试缺口5之间的真空泄漏率；可使所述阀板7收回，再伸出，重复检测多次，保证检测结果的可靠性；如果所述阀门6与腔体1内壁之间的真空泄漏率超过标准值，说明所述阀门6安装位置间隙过大，通过拆卸所述顶板2对所述阀门6和所述腔体1之间的配合间隙进行调整，再次检测，直至检测泄漏率符合标准值。

检测阀门6与通孔10之间的真空泄漏率：所述阀板7伸出或通过所述侧板3密封所述测试缺口5，借助所述氦质谱检漏仪，采用真空喷吹法检测，参阅图8，在所述阀门6与所述通孔10的密封处周围喷吹氦气，检测所述传输阀在高真空环境下，所述阀门6与所述通孔10之间的真空泄漏率；可使所述阀板7收回，再伸出，重复检测多次，保证检测结果的可靠性；如果所述阀门6与通孔10之间的真空泄漏率过大，说明所述阀门6与所述通孔10密封处间隙过大，需要调整所述阀门6与所述通孔10密封处的间隙，再次检测，直至检测泄漏率符合标准值。

检测阀门6与波纹管之间的真空泄漏率：所述侧板3密封所述测试缺口5，所述阀板7在所述腔体内来回伸缩，借助所述氦质谱检漏仪，采用真空喷吹法检测，在所述阀门6与波纹管连接处喷吹氦气，检测所述传输阀在高真空环境下，所述阀门6与所述波纹管之间的真空泄漏率；可重复检测多次，保证检测结果的可靠性；如果所述阀门6与波纹管之间的真空泄漏率过大，说明所述阀门6与波纹管连接处间隙过大，需要调整所述阀门6与波纹管连接处的间隙，再次检测，直至检测泄漏率符合标准值。

检测阀板7在做开关动作时的泄漏率：通过所述侧板3密封所述测试缺口5，所述阀板7在所述腔体内来回伸缩，借助所述氦质谱检漏仪，采用真空喷吹法检测，波纹管伸缩时在波纹管周围喷吹氦气，检测所述传输阀在高真空环境下，阀板7在做开关动作时的泄漏率；可重复检测多次，保证检测结果的可靠性；如果所述阀板7在做开关动作时的泄漏率过大，说明所述波纹管发生损坏，需要更换新的波纹管，再次检测，直至检测泄漏率符合标准值。

Claims (10)

1.传输阀的真空测试装置，其特征在于：包括腔体、顶板和侧板，所述腔体顶部设有供待测传输阀穿过的开口，所述顶板用于密封所述开口；所述腔体与所述传输阀长边接触侧壁上设有供所述传输阀出气口测试的测试缺口，所述侧板用于密封所述测试缺口；所述腔体侧壁还设有抽真空连接孔，所述抽真空连接孔与所述测试缺口的位置相对；所述腔体底部设有供所述传输阀的阀门尾端穿过的通孔。

2.根据权利要求1所述的传输阀的真空测试装置，其特征在于：所述腔体为一体设计。

3.根据权利要求1所述的传输阀的真空测试装置，其特征在于：所述腔体内部侧壁上还设有用于固定所述阀门的盲孔。

4.根据权利要求3所述的传输阀的真空测试装置，其特征在于：所述盲孔为螺纹孔。

5.根据权利要求1所述的传输阀的真空测试装置，其特征在于：所述顶板和侧板通过紧固螺钉和密封圈分别封闭所述开口和所述测试缺口。

6.根据权利要求1所述的传输阀的真空测试装置，其特征在于：所述侧板的尺寸大于所述测试缺口的尺寸，所述测试缺口的尺寸与所述传输阀出气口的尺寸一致。

7.根据权利要求1所述的传输阀的真空测试装置，其特征在于：所述抽真空连接孔设置在相对所述测试缺口的中心处。

8.根据权利要求1所述的传输阀的真空测试装置，其特征在于：所述通孔处设有用于密封所述阀门尾端的密封圈。

9.根据权利要求1所述的传输阀的真空测试装置，其特征在于：还包括调整架，所述调整架可拆卸连接所述腔体；所述调整架包括用于支撑所述腔体的连杆和用于固定所述连杆的底座，所述连杆设置在所述顶板对侧的所述腔体上。

10.传输阀的真空测试设备，其特征在于：包括权利要求1所述的传输阀的真空测试装置，还包括氦质谱检漏仪，所述氦质谱检漏仪的真空系统与所述抽真空连接孔密封连接。