JPH11304633A - エアーリーク検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被検査物の微少なエアーリークを精度よく検
出できるエアーリーク検出装置を提供する。 【解決手段】 検査チャンバー１に気密を保って閉成す
る蓋体１１が備えられ、検査チャンバー１に配管３を介
して減圧装置４が接続され、気密的に封止された被検査
物Ｄが装填された検査チャンバー１内を減圧装置４にて
所定圧に減圧し、配管途中に設けられて配管３経路を開
閉する中間弁５を閉成し、所定時間後における検査チャ
ンバー１内の減圧状態を検知して被検査物Ｄのエアーリ
ークを検出するエアーリーク検出装置において、前記検
査チャンバー１に接続した前記配管３の経路を開閉する
開閉弁２は、前記検査チャンバー１と一体に設けられた
構成にしてある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、検査チャンバーに
おける減圧状態を検知して被検査物、例えば封止された
電磁リレー等のエアーリークを検出するエアーリーク検
出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のエアーリーク検出装置と
して、図４に示す構成のものが存在する。このものは、
検査チャンバーＡに気密を保って閉成する蓋体Ａ1が備
えられ、検査チャンバーＡに配管Ｂを介して減圧装置Ｃ
が接続され、気密的に封止された被検査物Ｄが装填され
た検査チャンバーＡ内を減圧装置Ｃにて所定圧に減圧
し、配管途中に設けられて配管経路を開閉する中間弁Ｅ
を閉成し、所定時間後における検査チャンバーＡにおけ
る減圧状態を検知して被検査物Ｄのエアーリークを検出
する。

【０００３】さらに詳しくは、中間弁Ｅが検査チャンバ
ーＡ及び減圧装置Ｃ間の配管途中に設けられるととも
に、検査チャンバーＡの減圧状態を検出する圧力検出部
Ａ2が、検査チャンバーＡ及び中間弁Ｅの配管途中に設
けられている。また、減圧装置ＣがエアーシリンダＣ1
と、ピストン部Ｃ2と、真空容器Ｃ3とを有して構成さ
れ、ピストン部Ｃ2が一定のストロークだけ可動して真
空容器Ｃ3の内部を真空にする。

【０００４】そして、検査チャンバーＡに被検査物Ｄを
装填し、減圧装置Ｃにて検査チャンバーＡ内を減圧し、
中間弁Ｅを閉成することで、検査チャンバーＡと減圧装
置Ｃとの間を遮断し、所定時間後における検査チャンバ
ーＡ内の減圧状態を検知して、被検査物Ｄのエアーリー
クの有無を検査する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のエアー
リーク検出装置では、検査チャンバーＡを減圧した状態
で、中間弁Ｅを閉成して被検査物Ｄのエアーリークを検
出できる。

【０００６】しかしながら、中間弁Ｅを閉成したとき、
中間弁Ｅが検査チャンバーＡ及び減圧装置Ｃ間の配管途
中に設けられているので、検査チャンバーＡに連通する
全体エアー量は、検査チャンバーＡ内、及びその検査チ
ャンバーＡと中間弁Ｅ間における配管Ｂ内のエアー量を
和したものになって増加する。したがって、全体エアー
量に対する被検査物からのエアーリーク量の割合が小さ
くなって、微少なエアーリークの検出感度を低下させて
いた。

【０００７】また、減圧装置Ｃはピストン部Ｃ2が一定
のストロークだけ可動して真空容器Ｃ3の内部を真空に
するので、その真空容器Ｃ3内部の真空度が大気圧の変
動によって変化して、検査チャンバーＡ内の所定圧が変
化する。したがって、所定時間後における検査チャンバ
ーＡにおける減圧値が日々変化して、被検査物Ｄのエア
ーリークの検出精度に問題があった。また、減圧装置Ｃ
は１個の検査チャンバＡーのみしか接続できず、被検査
物Ｄのエアーリークを同時に複数検出することができな
かった。

【０００８】本発明は、上記問題点に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、被検査物の微少なエアー
リークを精度よく検出できるエアーリーク検出装置を提
供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１記載のものは、検査チャンバーに気密
を保って閉成する蓋体が備えられ、検査チャンバーに配
管を介して減圧装置が接続され、気密的に封止された被
検査物が装填された検査チャンバー内を減圧装置にて所
定圧に減圧し、配管途中に設けられて配管経路を開閉す
る中間弁を閉成し、所定時間後における検査チャンバー
内の減圧状態を検知して被検査物のエアーリークを検出
するエアーリーク検出装置において、前記検査チャンバ
ーに接続した前記配管経路を開閉する開閉弁は、前記検
査チャンバーに設けられた構成にしてある。

【００１０】請求項２記載のものは、請求項１記載のも
のにおいて、前記検査チャンバーは前記蓋体が可動し得
るよう形成された構成にしてある。

【００１１】請求項３記載のものは、請求項１又は請求
項２記載のものにおいて、前記減圧装置は、前記配管に
接続されるとともに真空ポンプによって一定の真空度を
維持する真空タンクを有して形成された構成にしてあ
る。

【００１２】請求項４記載のものは、請求項３記載のも
のにおいて、記検査チャンバーは、複数個が前記真空タ
ンクに前記配管を介して接続された構成にしてある。

【００１３】請求項５記載のものは、請求項３又は請求
項４記載のものにおいて、前記検査チャンバー側の真空
度を所定真空度に調圧する調圧弁は、前記減圧装置側の
配管に設けられた構成にしてある。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の第１実施形態を図１及び
図２に基づいて以下に説明する。

【００１５】１は検査チャンバーで、金属により、略直
方体状に形成され、一面側へ配置された蓋体１１を設
け、収容凹所１２が一面側へ開口して設けられるととも
に、Ｔ字状に形成された連通経路１３が収容凹所１２に
連通して設けられる。

【００１６】さらに、蓋体１１が収容凹部１１ａ及び脚
部１１ｂを設け、脚部１１ｂを固定した可動シリンダ１
１ｃによって駆動され可動し、収容凹所１２を外囲する
位置に設けられたＯリング１４を押圧して、収容凹部１
１ａ及び収容凹所１２を気密を保って閉成する。また、
圧力検出部１５が連通経路１３と接続して一体に設けら
れて、検査チャンバー１内の減圧状態、すなわち減圧さ
れた圧力値を検出する。また、被検査物Ｄがエアー又は
不活性ガスを気密的に封止されたシールリレーでもって
形成されて、収容凹部１１ａ及び収容凹所１２に収容さ
れる。

【００１７】２は開閉弁で、検査チャンバー１の連通経
路１３の対応位置にて、検査チャンバー１と一体に他面
側へ設けられ、一方を連通経路１３に他方を配管３にそ
れぞれ接続して、連通経路１３及び配管３間の配管経路
を開閉する。

【００１８】４は減圧装置で、真空ポンプ４１と、真空
タンク４２と、その真空タンク４２に接続した真空タン
ク開閉弁４３とを有して構成される。真空タンク４２が
真空ポンプ４１に接続されて、大気圧の変化にかかわら
ず一定の真空度を維持するとともに、真空タンク開閉弁
４３及び配管３を介して検査チャンバー１の連通経路１
３に接続される。

【００１９】さらに、調圧弁４４が配管３及び真空タン
ク開閉弁４３にそれぞれ接続して、すなわち減圧装置４
側の配管３に設けられ、一方を真空タンク開閉弁４３を
介して真空タンク４２に、他方を配管３を介して検査チ
ャンバー１にそれぞれ接続されて、検査チャンバー１側
の真空度を所定真空度に調圧する。

【００２０】５は中間弁で、検査チャンバー１及び減圧
装置４間、すなわち開閉弁２及び調圧弁４４間の配管途
中に設けられて配管経路を開閉する。

【００２１】制御部６は、圧力検出部１５に電気的に接
続されて、圧力検出部１５が検出した検査チャンバー１
内の圧力値を解析して、被検査物Ｄのエアーリークの有
無を検出する。

【００２２】このものの動作を図２に基づいて以下に説
明する。調圧弁４４は被検査物Ｄの種類に対応して、エ
アーリークを精度よく検出できる最適な所定圧、すなわ
ち後述する第１所定圧δ1及び第２所定圧δ2に検査チャ
ンバー１内を減圧するよう、検査チャンバー１側の真空
度を所定真空度に調圧する。蓋体１１は被検査物Ｄを収
容凹部１１ａに収容した状態で、可動シリンダ１１ｃに
よって可動し、Ｏリング１４を押圧して収容凹部１１ａ
及び収容凹所１２を気密を保って閉成する。

【００２３】被検査物Ｄのエアーリークは、大リーク及
び小リークに分けて検出される。先ず、大リークの検出
について説明する。開閉弁２を閉成し、真空タンク開閉
弁４３及び中間弁５を開成して、真空タンク開閉弁４３
から開閉弁２までの配管３内部を所定真空度に減圧す
る。そして、開閉弁２を閉成した状態で、真空タンク開
閉弁４３及び中間弁５を閉成し、開閉弁２を開成して、
検査チャンバー１内、つまり収容凹所１２及び収容凹部
１１ａを第１所定圧δ1に減圧する。

【００２４】このとき、検査チャンバー１内の圧力は所
定時間ｔ1後に、被検査物Ｄから大リークの発生がない
とき、第１所定圧δ1であるのに対し、大リークが発生
したとき、第１所定圧δ1から大気圧側へ変位する。制
御部６は検査チャンバー１における減圧状態、すなわち
所定時間後における第１所定圧δ1から変位した圧力を
検知し、第１所定圧δ1と比較して、被検査物Ｄ内部に
充填された例えばエアー等の不活性ガスの封止が不完全
で、かかる不活性ガスの漏れ（エアーリーク）の有無を
検出して、被検査物Ｄの良否を判定する。

【００２５】ここで、減圧装置４は真空ポンプ４１と接
続されて一定の真空を維持する真空タンク４２でもって
形成されている。したがって、第１所定圧δ1が大気圧
の変化にかかわらずばらつくことがないので、第１所定
圧δ1から変位した圧力でもって大リークを精度よく検
知する。

【００２６】次いで、小リークの検出について説明す
る。開閉弁２、真空タンク開閉弁４３、及び中間弁５を
開成した後、開閉弁２を閉成して、検査チャンバー１内
を従来の真空度と比較して高真空度である所定真空度、
すなわち第２所定圧δ2に減圧する。

【００２７】図２に示すように、検査チャンバー１内の
圧力は、被検査物Ｄから小リークの発生がないとき、第
２所定圧δ2で略一定あるのに対し、小リークが発生し
たとき、時間の経過と共に第２所定圧δ2から徐々に大
気圧側へ変化する。制御部６は検査チャンバー１におけ
る減圧状態、すなわち所定時間ｔ2後における第２所定
圧δ2からの圧力変化Δｐを検知して、被検査物Ｄ内部
からの小リークの有無を検出して、被検査物Ｄの良否を
判定する。

【００２８】このとき、開閉弁２が検査チャンバー１及
び減圧装置４間の配管途中ではなく検査チャンバー１と
一体に設けられたので、検査チャンバー１に連通する全
体エアー量が、収容凹部１１ａ及び収容凹所１２内、並
びに連通経路１３内のエアー量を和したものになって、
配管３内のエアー量を含まないので減少する。したがっ
て、全体エアー量に対する被検査物Ｄからの小リーク量
の割合が増加して小リークの検出感度が向上する。

【００２９】かかる第１実施形態のエアーリーク検出装
置にあっては、上記したように、検査チャンバー１に接
続した配管経路を開閉する開閉弁２が検査チャンバー１
に設けられたから、検査チャンバー１に連通する全体エ
アー量が減少するので、その全体エアー量に対する被検
査物Ｄからのエアーリーク量の割合が増加し、所定時間
ｔ2後における検査チャンバー１の減圧変化が大きくな
って、小リークの検出感度を向上させることができる。

【００３０】また、減圧装置４が真空タンク開閉弁４３
及び調圧弁４４を介して配管３に接続されるとともに、
真空ポンプ４１によって一定の真空度を維持する真空タ
ンク４２でもって形成されたから、検査チャンバー１内
の第１所定圧δ1を大気圧の影響を受けることなく精度
よく形成して、被検査物Ｄからの大リークを精度よく検
知できるとともに、第２所定圧δ2を高真空化して小リ
ークの検出精度をさらに向上させることができる。

【００３１】また、検査チャンバー側の真空度を所定真
空度に調圧する調圧弁４４が減圧装置４側の配管３に設
けられたから、被検査物Ｄの種類が変更されてその被検
査物Ｄ内部のエア容積を変化しても、各被検査物Ｄのエ
アーリークを検出するために最適な第１所定圧δ１又は
第２所定圧δ2に検査チャンバー１内を減圧して、被検
査物Ｄの種類に対応したエアーリークを精度よく検出す
ることができる。

【００３２】また、検査チャンバー１に備えられた蓋体
１１が可動し得るよう形成されたから、大きな検査チャ
ンバー１自体を固定して、その検査チャンバー１を可動
せせるために従来必要であった大型シリンダを不要にし
て、検査チャンバー１をコンパクトに小型化することが
できる。

【００３３】なお、第１実施形態では、減圧装置４が真
空ポンプ４１によって一定の真空度を維持する真空タン
ク４２を有して形成されたが、減圧装置４が従来のエア
ーシリンダと、ピストン部と、真空容器とを有して形成
されてもよく、開閉弁２が検査チャンバー１に設けられ
ていればよく、限定されない。

【００３４】また、第１実施形態では、検査チャンバー
１に備えられた蓋体１１を可動し得るよう形成したが、
蓋体１１ではなく検査チャンバー１を可動させてもよく
限定されない。

【００３５】また、第１実施形態では、調圧弁４４を減
圧装置４側の配管３に設けたが、被検査物Ｄの種類が１
種類のみであるときは調圧弁４４を設けなくてもよく、
限定されない。

【００３６】本発明の第２実施形態を図３に基づいて以
下に説明する。なお、第２実施形態では第１実施形態と
異なる機能について述べることとし、第１実施形態と実
質的に同一機能を有する部材については、同一符号を付
して説明を省略する。

【００３７】第２実施形態では、検査チャンバー１は複
数個が１個の真空タンク４２に配管３を介して接続され
て、被検査物Ｄは各検査チャンバー１内に装填され、複
数個が同時にエアーリークを検出される。

【００３８】かかる第２実施形態のエアーリーク検出装
置にあっては、上記したように、検査チャンバー１の複
数個が真空タンク４２に配管３を介して接続されたか
ら、１個の真空タンク４２に複数個の検査チャンバー１
を接続して、被検査物Ｄのエアーリークを同時に複数個
検出することができる。

【００３９】

【発明の効果】請求項１記載のものは、検査チャンバー
に接続した配管経路を開閉する開閉弁が検査チャンバー
に設けられたから、検査チャンバーに連通する全体エア
ー量が減少するので、その全体エアー量に対する被検査
物からのエアーリーク量の割合が増加し、所定時間後に
おける検査チャンバーの減圧変化が大きくなって、小リ
ークの検出感度を向上させることができる。

【００４０】請求項２記載のものは、請求項１記載のも
のの効果に加えて、検査チャンバーに備えられた蓋体が
可動し得るよう形成されたから、大きな検査チャンバー
自体を固定して、その検査チャンバーを可動せせるため
に従来必要であった大型シリンダを不要にして、検査チ
ャンバーをコンパクトに小型化することができる。

【００４１】請求項３記載のものは、請求項１又は請求
項２記載のものの効果に加えて、減圧装置が配管に接続
されるとともに、真空ポンプによって大気圧の変化にか
かわらず一定の真空度を維持する真空タンクでもって形
成されたから、検査チャンバー内の所定圧を大気圧の影
響を受けることなく精度よく形成して、被検査物からの
大リークを精度よく検知することができる。

【００４２】請求項４記載のものは、請求項３記載のも
のの効果に加えて、検査チャンバーの複数個が真空タン
クに配管を介して接続されたから、１個の真空タンクに
複数個の検査チャンバーを接続して、被検査物のエアー
リークを同時に複数個検出することができる。

【００４３】請求項５記載のものは、請求項３又は請求
項４記載のものの効果に加えて、検査チャンバー側の真
空度を所定真空度に調圧する調圧弁が減圧装置側の配管
に設けられたから、被検査物の種類が変更されてその被
検査物内部のエア容積を変化しても、各被検査物のエア
ーリークを検出するために最適な所定圧に検査チャンバ
ー内を減圧して、被検査物の種類に対応したエアーリー
クを精度よく検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態を示す構成図である。

【図２】同上の検査チャンバー内における所定圧の経時
変化図である。

【図３】本発明の第２実施形態を示す構成図である。

【図４】従来例を示す構成図である。

【符号の説明】 １ 検査チャンバー １１ 蓋体 ２ 開閉弁 ３ 配管 ４ 減圧装置 ４１ 真空ポンプ ４２ 真空タンク ４４ 調圧弁 ５ 中間弁 Ｄ 被検査物 δ1，δ2 所定圧 ｔ1，ｔ2 所定時間

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査チャンバーに気密を保って閉成する
   蓋体が備えられ、検査チャンバーに配管を介して減圧装
   置が接続され、気密的に封止された被検査物が装填され
   た検査チャンバー内を減圧装置にて所定圧に減圧し、配
   管途中に設けられて配管経路を開閉する中間弁を閉成
   し、所定時間後における検査チャンバー内の減圧状態を
   検知して被検査物のエアーリークを検出するエアーリー
   ク検出装置において、 前記検査チャンバーに接続した前記配管経路を開閉する
   開閉弁は、前記検査チャンバーに設けられたことを特徴
   とするエアーリーク検出装置。
2. 【請求項２】 前記検査チャンバーは前記蓋体が可動し
   得るよう形成されたことを特徴とする請求項１記載のエ
   アーリーク検出装置。
3. 【請求項３】 前記減圧装置は、前記配管に接続される
   とともに真空ポンプによって一定の真空度を維持する真
   空タンクを有して形成されたことを特徴とする請求項１
   又は請求項２記載のエアーリーク検出装置。
4. 【請求項４】 前記検査チャンバーは、複数個が前記真
   空タンクに前記配管を介して接続されたことを特徴とす
   る請求項３記載のエアーリーク検出装置。
5. 【請求項５】 前記検査チャンバー側の真空度を所定真
   空度に調圧する調圧弁は、前記減圧装置側の配管に設け
   られたことを特徴とする請求項３又は請求項４記載のエ
   アーリーク検出装置。