KR101126964B1

KR101126964B1 - 누설 검사 장치

Info

Publication number: KR101126964B1
Application number: KR1020090107896A
Authority: KR
Inventors: 가쯔시게 구보따; 마사히꼬 이나가끼
Original assignee: 야마하 파인 테크 가부시키가이샤
Priority date: 2008-11-12
Filing date: 2009-11-10
Publication date: 2012-03-22
Also published as: JP5265312B2; CN101738295B; CN101738295A; JP2010117193A; KR20100053450A

Abstract

누설 검사 장치는, 챔버 내에 삽입된 용기 등의 피검사체의 결함을 검사하는 것이며, 챔버에 보유 지지된 지지 부재와, 지지 부재에 의해 지지되고, 챔버 내의 용기의 천장판 가장자리부를 전체 둘레에서 압박하는 무단의 링 형상을 갖는 천장판 가장자리부 압박 부재를 구비한다. 또한, 지지 부재에 의해 지지되고, 챔버 내에 있어서 용기의 천장판 중앙부를 압박하는 천장판 중앙 압박 부재를 더 구비해도 된다. 지지 부재는, 챔버의 상벽을 수직 방향으로 삽입 관통하여 상벽에 대해 상하 이동 가능하게 지지된 지지봉과, 지지봉의 하단부에 고정된 연결 부재를 구비하고, 연결 부재에 의해 천장판 가장자리부 압박 부재 및/또는 천장판 중앙 압박 부재를 지지한다. 이에 의해, 용기의 천장판의 압박시, 그 압박 자국이 남는 것을 방지하는 동시에, 용기의 팽창 변형을 방지할 수 있다.

누설 검사 장치, 챔버, 천장판 중앙 압박 부재, 용기 변형 수용부, 트레이서 가스

Description

누설 검사 장치{LEAK INSPECTION APPARATUS}

본 발명은, 피검사체를 밀폐한 챔버에 삽입하여 챔버를 진공 배기하고, 피검사체로부터 챔버로 누출된 공기 등의 용기 내 봉입 가스를 검출하여, 피검사체의 누설 부위의 유무를 검사하는 누설 검사 장치에 관한 것이다.

본 발명은, 일본 특허 출원 제2008-289409호(출원일 : 2008년 11월 12일)에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.

종래, 다양한 누설 검사 장치가 개발되고 있고 이하의 문헌에 개시되어 있다.

특허 문헌 1 : 일본 특허 제3348484호

특허 문헌 2 : 일본 특허 공개 제2001-27574호

특허 문헌 1은 누설 검사 장치(리크 테스터)를 개시하고 있고, 용기 형상의 피검사체를 밀폐한 챔버에 삽입하고, 피검사체 및 챔버를 진공 배기한 후, 트레이서 가스를 피검사체 내에 도입한다. 피검사체에 누설 부위가 존재하는 경우, 차압에 의해 트레이서 가스가 피검사체로부터 챔버로 누출된다. 즉, 챔버 내의 트레이서 가스의 존재의 유무를 검출함으로써, 피검사체의 누설 부위의 유무를 검사할 수 있다.

일반적으로, 트레이서 가스의 누설량을 고정밀도로 측정하기 위한 검출기는 진공에 가까운 압력하가 아니면 동작시킬 수 없다. 챔버와 피검사체 사이의 공간은 진공에 가까운 압력에 있지만, 피검사체 내부는 트레이서 가스로 고압으로 되어 있으므로, 양자의 압력차에 의해 피검사체가 팽창하여 변형되어 버린다.

상기한 문제점을 해결하기 위해, 특허 문헌 1의 누설 검사 장치는 피검사체 및 챔버를 배기할 때에, 피검사체의 내압과 챔버(즉, 챔버와 피검사체 사이의 공간)의 내압과의 차압을 소정 범위로 유지한다. 또한, 피검사체 내에 트레이서 가스를 도입할 때에는, 피검사체의 내압과 챔버의 내압과의 차압을 소정 범위 내로 유지한다. 또한, 피검사체 및 챔버에 공기를 도입할 때에도, 양자의 차압을 소정 범위 내로 유지하는 압력 제어를 행하고 있다. 이와 같은 차압의 제어에 의해, 피검사체(예를 들어, 용기)의 팽창 및 변형을 방지하고 있다.

특허 문헌 2는 누설 검사 장치를 개시하고 있고, 피검사체 내에 트레이서 가스를 충전하고, 피검사체를 챔버 내에 수납한 후, 챔버를 진공 배기한다. 피검사체의 내압과 챔버의 내압과의 차압에 기초하여 챔버에 누설된 트레이서 가스의 유무를 검출함으로써 누설 검사를 행한다. 이 누설 검사 장치는 압박 부재를 구비하고 있고, 그 압박 부재를 피검사체의 외형 치수에 따라서 이동시켜 피검사체의 상면을 압박한다.

특허 문헌 2에는 언급되어 있지 않지만 , 통상, 피검사체로서의 용기의 천장판에는 용기 내에 액체 또는 기체를 봉입하기 위한 입구 금속 부재가 설치되어 있 고, 또한 용기의 천장판 중앙에는 손잡이가 설치되어 있다. 이로 인해, 압박 부재는 용기의 천장판의 전체 영역을 압박할 수 없고, 입구 금속 부재 및 손잡이를 피하여 용기의 천장판을 압박하고 있다.

도 5a는, 누설 검사 장치에 있어서의 챔버(1) 내에 삽입되는 피검사체로서의 용기(10)의 평면도이다. 도 5b는, 용기(10)의 중심을 지나는 종단면도이다. 챔버(1)는, 상벽 및 원통 형상의 측판을 갖고, 그 측판의 하단부 가장자리에 외측으로 확대되는 플랜지(2)가 형성되어 있다. 이 플랜지(2)에 챔버 덮개(3)를 포갬으로써 챔버(1)의 내부 공간을 밀폐한다. 챔버(1)에는, 진공 펌프(도시 생략)에 접속된 배기구 및 공기를 도입하기 위한 흡기구, 또는 배기 및 흡기를 겸용하는 접속구(모두 도시 생략)가 설치되어 있다.

상기한 챔버(1)에 삽입되는 용기(10)는, 원판 형상의 저판(11)과, 원통 형상의 측판(12)과, 원판 형상의 천장판(13)으로 구성된다. 천장판(13)의 중앙에는 용기(10)를 운반하기 위한 손잡이(14)가 설치되어 있고, 천장판(13)의 중앙부와 가장자리부의 중간에 용기(10)의 내부에 수용물(도시 생략)을 출입하기 위한 입구 금속 부재(15)가 설치되어 있다. 또한, 용기(10)의 내부에는 수용물로서 기체 또는 액체가 충전되어 있다. 또한, 누설 검사를 위해, 용기(10)의 내부에는 공기가 대기압으로 봉입되어 있다.

용기 변형 수용부(16)가 용기(10)의 천장판(13) 상에 적재되어 있다. 용기 변형 수용부(16)는, 중심부를 도려내고, 원주 방향으로 연장되는 원형의 평평하게, 그 원주 방향의 일부를 결락시킨 형상을 갖고 있다. 이 용기 변형 수용부(16)는, 손잡이(14) 및 입구 금속 부재(15)를 제외한 천장판(13)의 상면에 적재된다. 즉, 용기 변형 수용부(16)의 도려내어진 중심부는 손잡이(14)를 수용하는 부분이며, 그 원주 방향의 결락부는 입구 금속 부재(15)를 수용하는 부분이다.

용기(10)의 측판(12)은, 천장판(13) 및 저판(11) 사이의 거리보다도 상하 방향으로 연장되어 있고, 저판(11)과 측판(12)의 하단부에서 형성된 공간 내에 챔버 덮개(3)의 받침부(4)가 배치된다. 이 받침부(4)는 저판(11)이 차압에 의해 팽창되지 않도록 저판(11)을 지지한다.

한편, 천장판(13)보다 상측으로 연장되는 측판(12)의 상단부의 높이는 용기 변형 수용부(16)의 두께보다도 작게 설정되어 있어, 용기(10)가 팽창한 경우에는, 용기 변형 수용부(16)는 챔버(1)의 천장판에 접촉하지만, 측판(12)의 상단부는 챔버(1)의 천장판에는 접촉하지 않는다.

도 5a 및 도 5b에 도시하는 누설 검사 장치에 있어서, 용기(10)의 입구 금속 부재(15)를 통해 트레이서 가스(예를 들어, 공기)를 충전하고, 이로써, 용기(10)의 내압을 대기압으로 동일하게 한다. 이 용기(10)를 챔버(1)의 챔버 덮개(3) 상에 적재하고, 챔버 덮개(3)의 가장자리부를 플랜지(2)에 포갬으로써, 챔버 덮개(3)를 챔버(1)에 고정한다. 이에 의해, 용기(10)는 챔버(1)와 챔버 덮개(3)에 의해 둘러싸인 밀폐 공간 내에 보유 지지된다. 그 후, 챔버(1)를 진공 배기하여, 트레이서 가스가 챔버(1) 내에 누설되는지 여부를 검사한다. 이때, 용기(10)의 내부는 대기압이고, 챔버(1)의 내부는 진공 상태이므로, 두께가 얇은 용기(10)는 팽창하여, 용기(10)의 천장판(13)이 상승한다. 이 천장판(13)의 상승은, 용기(10)의 천장 판(13)과 챔버의 천장판 사이에 개재하는 용기 변형 수용부(16)에 의해 저지되고, 이로써 용기(10)의 팽창 변형이 저지된다.

그러나, 상기한 종래 기술은 이하의 문제점을 갖는다.

특허 문헌 1에서는, 차압을 제어함으로써 피검사체의 변형을 방지하고 있지만, 그 차압 제어를 위한 복잡한 제어 장치가 필요하다.

특허 문헌 2에 상당하는 도 5a 및 도 5b에 도시하는 누설 검사 장치에 있어서는, 압박 부재[즉, 용기 변형 수용부(16)]는 용기(10)의 천장판(13)에 배치된 입구 금속 부재(15) 및 손잡이(14)가 방해가 되고, 천장판(13)의 전체면에서 용기(10)를 압박할 수 없다. 용기 변형 수용부(16)의 형상이 중앙 부분과 함께 그 원주 방향의 일부가 잘라내어진 것으로 되어 있고, 특히 이 원주 방향의 절결부에 의한 용기 변형 수용부(16)의 형상이 용기(10)의 천장판(13)에 전사되게 된다. 즉, 용기 변형 수용부(16)가 용기(10)의 변형을 방지하기 위해 천장판(13)을 압박하였을 때, 특히 원주 방향의 절결부의 코너부의 자국이 천장판(13)에 전사되게 된다. 용기 변형 수용부(16)의 재질로서 금속제, 수지제, 스펀지제 및 고무제를 예로 들 수 있지만, 어떠한 재질을 사용해도 용기(10)의 천장판(13)에 상기한 압박 자국이 남는다.

또한, 용기 변형 수용부(16)는, 입구 금속 부재(15)의 위치를 피하여 설치할 필요가 있으므로, 입구 금속 부재(15)를 검출하는 기구와 입구 금속 부재(15)와 용기 변형 수용부(16)의 위치 정렬을 하는 기구를 구비할 필요가 있어, 구성이 복잡해진다. 또한, 용기(10)의 기종마다 용기 변형 수용부(16)의 형상을 조정할 필요 가 있으므로, 용기 변형 수용부(16)의 제작 비용이 높아진다.

본 발명은, 상기한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 간소한 구성이며, 각별한 제어 장치를 설치할 필요가 없고, 또한 검사 공정에 있어서 용기에 흔적을 남기지 않고 용기의 변형을 방지할 수 있는 누설 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 누설 검사 장치는, 피검사체인 용기가 장입되는 챔버와, 챔버에 보유 지지된 지지 부재와, 지지 부재에 의해 지지되고, 챔버 내의 용기의 천장판 가장자리부를 전체 둘레에서 압박하는 무단의 링 형상을 갖는 천장판 가장자리부 압박 부재와, 챔버의 내부를 배기하는 배기 장치로 구성된다.

상기한 누설 검사 장치에 있어서, 지지 부재에 의해 지지되고, 챔버 내에 있어서 용기의 천장판 중앙부를 압박하는 천장판 중앙 압박 부재를 더 구비해도 된다.

상기한 누설 검사 장치에 있어서, 천장판 중앙 압박 부재는, 지지 부재에 대해 탄성 부재를 통해 지지되어 있고, 이로써 용기의 천장판 중앙부를 탄성적으로 압박하도록 해도 된다.

상기한 누설 검사 장치에 있어서, 지지 부재는, 챔버의 상벽을 수직 방향으로 삽입 관통하여 상벽에 대해 상하 이동 가능하게 지지된 지지봉과, 지지봉의 하 단부에 고정된 연결 부재를 구비하고, 연결 부재에 의해 천장판 가장자리부 압박 부재 및/또는 천장판 중앙 압박 부재를 지지하도록 해도 된다.

상기한 누설 검사 장치에 있어서, 지지 부재는, 챔버 상벽의 하면에 고정된 고정부와, 고정부에 대해 상하 이동 가능하게 지지된 지지봉과, 지지봉의 하단부에 고정된 연결 부재를 구비하고, 연결 부재에 의해 천장판 가장자리부 압박 부재 및/또는 천장판 중앙 압박 부재를 지지하도록 해도 된다.

본 발명에 관한 누설 검사 장치에 있어서, 용기를 챔버 내에 장입하였을 때, 천장판 가장자리부 압박 부재가 용기의 천장판 가장자리부를 전체 둘레에 걸쳐서 압박하므로, 챔버를 진공 배기하였을 때에 발생하는 차압에 의해 용기가 팽창하려고 해도, 천장판 가장자리부 압박 부재에 의해 용기의 천장판의 팽창 변형을 억제할 수 있다. 천장판 가장자리부 압박 부재는, 무단의 링 형상을 갖고 있고, 용기의 천장판 가장자리부를 전체 둘레에 걸쳐 압박하고 있다. 용기의 천장판에 손잡이 및 입구 금속 부재가 배치되어 천장판 가장자리부 압박 부재에 의한 압박을 방해해도, 그 외측에서 용기를 수용할 수 있으므로, 이로써 천장판 가장자리부 압박 부재는 손잡이 및 입구 금속 부재의 위치에 영향을 받지 않는다. 즉, 천장판 가장자리부 압박 부재는, 용기의 종류에 관계없이 사용할 수 있고, 범용성이 높고, 또한 입구 금속 부재를 검출하는 기구를 설치할 필요가 없다. 또한, 용기의 내부 공간과 챔버의 내부 공간 사이의 차압을 검출할 필요도 없고, 그 차압 제어를 행할 필요도 없다.

본 발명에 따르면, 간소한 구성이며, 각별한 제어 장치를 설치할 필요가 없고, 또한 검사 공정에 있어서 용기에 흔적을 남기지 않고 용기의 변형을 방지할 수 있는 누설 검사 장치를 제공할 수 있다.

본 발명에 대해 첨부 도면을 참조하여 실시예와 함께 상세하게 설명한다.

1. 제1 실시예

도 1a는, 본 발명의 제1 실시예에 관한 누설 검사 장치에 적용되는 용기(10)의 평면도이다. 도 1b는, 누설 검사 장치의 종단면도이다.

챔버(1)는 상벽 및 원통 형상의 측판을 갖고, 측판의 하단부에는 외측으로 확대되는 플랜지(2)가 형성되어 있다. 챔버 덮개(3)는, O링 등의 시일재를 통해 챔버(1)의 플랜지(2)에 포개지고, 이로써 플랜지(2)는 착탈 가능하게 고정된다. 챔버(1)에는, 그 내부 공간을 진공 배기하기 위한 배기구와 공기를 도입하기 위한 도입구(모두 도시 생략)가 형성되어 있다. 또한, 챔버(1)에는, 배기구 및 도입구를 겸용하는 파이프의 접속구(도시 생략)가 형성되어 있다. 용기(10)는 저판(11), 측판(12), 및 천장판(13)으로 이루어지는 원통 형상을 갖고 있고, 기체 또는 액체를 봉입하여 보관 또는 운반하기 위한 것이다. 측판(12)은, 저판(11) 및 천장판(13)의 상하 방향으로 약간 연장되어 있다. 챔버 덮개(3) 상에 설치된 받침부(4)가, 측판(11)의 하단부와 챔버 덮개(3) 사이에 형성되는 공간 내에 위치하도록, 용기(10)가 챔버 덮개(3) 상에 적재된다. 측판(12)의 하단부 및 상단부[즉, 저판(11) 및 천장판(13)의 상하 방향으로 연장되는 부분]에 의해, 측판(12)과 저 판(11) 및 천장판(13)이 각각 접속 고정된다. 이는, 용기(10)의 제조상의 사정에 의한 형상이다. 손잡이(14)가 용기(10)의 천장판(13) 중앙부에 설치되어 있고, 입구 금속 부재(15)가 천장판(13)의 중앙부와 가장자리부의 중간 위치에 설치된다. 입구 금속 부재(14)는 용기(10) 내에 기체 또는 액체를 봉입하기 위해 필요하고, 모든 용기에 설치되지만, 한편 손잡이(14)를 설치하지 않는 용기도 있다. 또한, 용기(10)의 형상은 원통 형상에 한정되는 것은 아니며, 각이진 통 형상으로 해도 된다.

챔버(1)의 상벽의 중앙부에는, 지지 부재를 구성하는 지지봉(각이진 봉)(22)이 그 길이 방향을 수직으로 하여 삽입 관통하고 있다. 즉, 지지봉(22)은 상하 이동 가능하게 챔버(1)의 상벽에 지지되어 있다. 이 지지봉(22)은 소정의 고정 부재(도시 생략)에 의해 챔버(1)의 상벽에 고정할 수 있다. 즉, 지지봉(22)을 상하 이동시켜 그 수직 방향의 위치를 조절한 후, 고정 부재에 의해 조정 후의 수직 방향 위치에서 챔버(1)의 상벽에 고정된다.

지지봉(22)의 하단부에는, 수평 방향으로 봉 형상의 연결 부재(21)가 고정되어 있다. 또한, 연결 부재(21)의 양단부에 평면에서 볼 때 링 형상을 이루는 천장판 가장자리부 압박 부재(20)가 고정되어 있다. 천장판 가장자리부 압박 부재(20)는, 두께가 얇은 원통 형상을 갖고 있고, 평면에서 볼 때 폭이 작고, 용기(10)의 천장판(13)의 가장자리부에만 접촉한다. 이 연결 부재(21)를 봉 형상으로 할 필요는 없고, 예를 들어 다수의 구멍을 갖는 원판 형상으로 형성해도 된다. 챔버(1)의 진공 배기시, 상기 구멍에 의해 용기(10)의 천장판(13)과 연결 부재(21) 사이의 공 간을 효율적으로 배기할 수 있다.

다음에, 누설 검사 장치의 동작에 대해 설명한다. 우선, 입구 금속 부재(15)를 통해, 용기(10) 내에 헬륨 가스 등의 트레이서 가스를 봉입한다. 그 후, 측판(12)의 하단부에 의해 받침부(4)를 둘러싸도록, 용기(10)를 챔버 덮개(3) 상에 적재한다. 다음에, 용기(10)를 챔버(1) 내에 장입하고, 챔버 덮개(3)를 챔버(1)의 플랜지(2)에 포개어, 플랜지(2)와 챔버 덮개(3)를 기밀적으로 고정하면서, 용기(10)를 챔버(1) 내에 장입한다. 그 후, 지지봉(22)을 하강시켜, 링 형상의 천장판 가장자리부 압박 부재(20)를 용기(10)의 천장판(13)의 가장자리부에 접촉시킨다. 혹은, 지지봉(22)을 하강시켜, 링 형상의 천장판 가장자리부 압박 부재(20)의 하단부와 용기(10)의 천장판(13) 사이에 수 밀리(예를 들어, 1 내지 2㎜)의 간격을 둔 위치에 설치한다. 이때, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)는 평면에서 볼 때 링 형상을 갖고 있으므로, 입구 금속 부재(15)의 외측에서 용기(10)의 천장판(13)에 접촉한다. 즉, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)가 천장판(13)에 접촉할 때, 입구 금속 부재(15) 및 손잡이(14)가 방해되는 일은 없다. 이 상태에서, 지지봉(22)을 챔버(1)의 천장판에 고정한다. 또한, 용기(10)의 크기(높이)가 미리 판명되어 있는 경우에는, 그 높이를 고려하여, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)와 용기(10)가 상기 관계가 되도록, 챔버(1)의 상벽에 대한 지지봉(22)의 위치를 미리 조정해도 된다. 피검사체인 용기(10)가 일정한 높이를 갖고 있는 경우에는, 지지봉(22)이 챔버(1)의 상벽에 대해 상하 이동 가능하게 지지되어 있을 필요는 없고, 소정 위치에 고정해도 된다.

다음에, 챔버(1)를 진공 배기한다. 용기(10)에 결함이 존재하는 경우, 그 내부 공간에 대기압으로 봉입된 트레이서 가스가 진공인 챔버(1)의 내부 공간에 누설되므로, 이 트레이서 가스의 유무를 검출함으로써, 용기(10) 결함의 존재를 검출할 수 있다.

또한, 용기(10)에 봉입되는 대기압의 트레이서 가스와 챔버(1)의 진공 배기된 내부 공간[즉, 용기(10)의 외부 공간]과의 압력차에 의해, 용기(10)는 팽창 변형하려고 한다. 그러나, 용기(10)의 천장판(13)의 가장자리부는 천장판 가장자리부 압박 부재(20)에 의해 압박되어 있으므로, 천장판(13)의 팽창을 억제할 수 있다. 한편, 용기(10)의 측판(12)은 원통 형상을 갖고 있으므로, 그 내외에 압력차가 발생해도, 측판(12)이 팽창되지 않는다. 또한, 용기(10)의 저판(11)의 전체면이 챔버 덮개(3)의 받침부(4)에 수용되어 있으므로, 저판(11)이 팽창 변형되는 일은 없다. 즉, 본 발명의 제1 실시예에서는, 용기(10)는 실질적으로 변형되지 않는다.

천장판 가장자리부 압박 부재(20)는, 용기(10)의 가장자리부의 전체 둘레에 걸쳐서 압박되어 있으므로, 용기(10)의 천장판(13)의 상면에 압박 자국이 전사되지 않는다. 도 5a 및 도 5b에 도시되는 누설 검사 장치의 경우, 용기 변형 수용부(16)의 코너부의 형상이 용기(10)의 천장판(13)에 전사되기 쉽고, 그 압박 자국이 남는다. 그러나, 제1 실시예에 있어서는, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)가 무단의 링 형상을 이루고 있고, 천장판(13)의 가장자리부의 전체 둘레에서 천장판(13)을 압박하고 있는, 즉 천장판 가장자리부 압박 부재(20)는 균일하게 천장 판(13)을 압박하고 있으므로, 상기한 바와 같은 압박 자국이 천장판(13)에 형성되지 않는다. 용기(10)를 챔버(1)에 장입할 때, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)의 하단부가 천장판(13)에 접촉하도록 해도 되고, 혹은 천장판 가장자리부 압박 부재(20)의 하단부를 천장판(13)으로부터 약간(수 밀리) 이격하도록 해도 된다. 천장판 가장자리부 압박 부재(20)의 하단부를 천장판(13)로부터 약간 이격되는 위치에 설정한 경우, 챔버(1)를 진공 배기하면, 용기(10)의 천장판(1)이 약간 팽창하여, 곧 천장판 가장자리부 압박 부재(20)의 하단부에 접촉한다.

또한, 용기(10)의 기종이 변경되어, 그 높이가 달라도, 지지봉(22)을 상하 이동시켜 그 수직 방향의 위치를 조정하면, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)는 용기(10)의 천장판(13)의 가장자리부를 커버할 수 있으므로, 제1 실시예에 관한 누설 검사 장치는 다양한 피검사체의 용기에 대해 범용성이 있다고 할 수 있다. 또한, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)는 링 형상을 이루고, 천장판(13)의 전체 둘레에 접촉하고 있으므로, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)를 입구 금속 부재(15)의 위치에 관계없이 천장판(13) 상에 배치할 수 있다. 즉, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)를 천장판(13) 상에 배치할 때, 입구 금속 부재(15)의 위치를 검출할 필요가 없고, 또한 입구 금속 부재(15)의 위치에 따라서 천장판 가장자리부 압박 부재(20)의 위치 또는 방향을 변경할 필요가 없다. 또한, 제1 실시예는 차압 제어를 불필요로 하고 있고, 챔버(1)의 천장판에 용기(10)의 천장판 가장자리부 압박 부재(20)를 단순하게 배치하는 것만으로 좋으므로, 그 구성이 간소하고, 제조 비용이 낮다는 이점이 있다.

2. 제2 실시예

다음에, 본 발명의 제2 실시예에 관한 누설 검사 장치에 대해 도 2a 및 도 2b를 참조하여 설명한다. 제2 실시예에 있어서, 제1 실시예와 동일한 구성 부재에는 동일 부호를 부여하고 그 상세한 설명을 생략한다. 제2 실시예는, 연결 부재(21)의 중앙 하면에 천장판 중앙 압박 부재(23)를 설치한 점에 있어서, 제1 실시예와 다르다. 도 2b에 도시한 바와 같이, 천장판 중앙 압박 부재(23)는, 예를 들어 바닥을 갖는 원통 형상을 갖는다. 연결 부재(21)에 설치한 천장판 가장자리부 압박 부재(20)가 용기(10)의 천장판(13)의 가장자리부에 접촉하는 동시에, 천장판 중앙 압박 부재(23)가 천장판(13)의 중앙에 위치하는 손잡이(14)에 접촉하도록, 천장판 중앙 압박 부재(23)가 연결 부재(21)에 설치되어 있다. 즉, 천장판 중앙 압박 부재(23)의 높이는, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)보다도 손잡이(14)의 높이(예를 들어, 4㎜)만큼 낮게 설정되어 있다.

제2 실시예에 관한 누설 검사 장치에 있어서, 트레이서 가스를 봉입한 용기(10)를 챔버(1) 내에 장입하고, 지지봉(22)을 하강시켜, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)를 용기(10)의 천장판(13)의 가장자리부에 접촉시킨다. 혹은, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)의 하단부를 천장판(13)의 가장자리부로부터 약간 상방에 위치시켜, 지지봉(22)을 챔버(1) 상벽에 고정한다. 이에 의해, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)가 천장판(13)의 가장자리부에 접촉하는 동시에, 천장판 중앙 압박 부재(23)도 천장판(13) 중앙의 손잡이(14)에 접촉하거나, 혹은 손잡이(14)의 약간 상방에 위치한다. 이에 의해, 용기(10)가 챔버(1) 내에 장입된다. 그 후, 챔 버(1)를 진공 배기하면, 봉입된 트레이서 가스의 압력과 진공과의 압력차에 의해 용기(10)가 팽창하려고 하지만, 용기(10)의 천장판이 천장판 가장자리부 압박 부재(20) 및 천장판 중앙 압박 부재(23)에 의해 압박되어 있으므로, 용기(10)의 천장판(13)이 팽창하여 변형하는 것을 방지할 수 있다. 제2 실시예에서는, 용기(10)의 천장판(13)의 가장자리부뿐만 아니라 중앙부도 압박 구속하고 있으므로, 제1 실시예와 비교하여 천장판(13)의 변형을 확실하게 방지할 수 있다.

3. 제3 실시예

다음에, 본 발명의 제3 실시예에 관한 누설 검사 장치에 대해 도 3a 및 도 3b를 참조하여 설명한다. 제3 실시예에 있어서, 제1 실시예 및 제2 실시예와 동일 구성 부재에는 동일 부호를 부여하고 그 상세 설명을 생략한다. 제3 실시예는, 연결 부재(21)의 중앙에 탄성 부재(24)를 통해 천장판 중앙 압박 부재(25)를 설치한 점에 있어서, 제2 실시예와 다르다. 천장판 중앙 압박 부재(25)는 바닥이 있는 형상을 갖고 있고, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)가 용기(10)의 천장판(13)의 가장자리부에 접촉하였을 때에, 천장판(13)의 중앙에 위치하는 손잡이(14)에 접촉하는 위치에 배치되어 있다. 또한, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)가 천장판(13)의 가장자리부에 접촉하였을 때에, 탄성 부재(24)는 연결 부재(21)와 손잡이(14) 사이에서 압축 스프링으로서 기능하는 스프링 부재이다. 즉, 천장판 가장자리부 압박 부재(20)가 천장판(13)의 가장자리부에 접촉하였을 때, 탄성 부재(21)는 천장판 중앙 압박 부재(25)를 손잡이(14)를 향해 탄성적으로 압박한다.

제2 실시예와 마찬가지로, 제3 실시예에 관한 누설 검사 장치에서는, 천장판 중앙 압박 부재(25)가 천장판(13) 중앙의 손잡이(14)를 압박하지만, 연결 부재(21)와 천장판 중앙 압박 부재(25) 사이에 개재하는 탄성 부재(24)에 의해, 각 용기마다 손잡이(14)의 높이가 달라도, 그 높이의 차이를 흡수하므로, 천장판 중앙 압박 부재(25)는 확실하게 손잡이(14)를 압박할 수 있다. 그 밖의 점에 대해서는, 제3 실시예는 제1 실시예 및 제2 실시예와 같은 작용 효과를 발휘한다.

4. 제4 실시예

본 발명의 제4 실시예에 관한 누설 검사 장치에 대해, 도 4의 종단면도를 참조하여 설명한다. 제4 실시예에서는, 챔버(1) 상벽의 하면에 고정부(30)가 고정되고 있고, 또한 이 고정부(30)는 챔버(1)에 장입되어 있다. 이 고정부(30)는 지지봉(22a)을 상하 이동 가능하게 지지하고 있고, 필요에 따라서, 별도의 고정 수단(도시 생략)에 의해 지지봉(22a)이 고정부(30)에 고정된다. 지지봉(22a)은 나사봉이며, 고정부(30)에 나사 구멍이 형성되어 있고, 이 나사 구멍에 나사봉을 비틀어 넣음으로써, 지지봉(22a)을 고정부(30)에 대해 상하 이동시키고 있다. 이 경우, 지지봉(22a)이 회전하지 않는 한 그 수직 방향의 위치는 변동하지 않으므로, 별도의 고정 수단은 불필요하다. 지지봉(22a)의 하단부에 연결 부재(21)가 고정되어 있다. 또한, 연결 부재(21)에 천장판 가장자리부 압박 부재(20)가 고정되어 있다.

제4 실시예에서는, 챔버(1)의 내부에 지지 부재[즉, 고정부(30), 지지봉(22a), 연결 부재(21)]를 배치하고 있다. 이 제4 실시예도 제1 실시예와 같은 작용 효과를 발휘한다. 또한, 제4 실시예에 있어서, 제2 실시예 및 제3 실시예에서 사용한 천장판 중앙 압박 부재(23, 25)를 구비하도록 해도 된다.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 실시예의 지지봉(22)은 챔버(1) 상벽에 대해 상하 이동 가능하게 지지되어 있지만, 그 지지봉(22)을 챔버(1)의 상벽에 고정하여, 지지봉(22)의 하단부에 설치된 연결 부재(21)를 지지봉(22)에 고정하지 않고, 지지봉(22)에 대해 상하 이동 가능하게 해도 된다. 또한, 피검사체인 용기(10)의 크기가 일정하면, 지지봉(22) 또는 연결 부재(21)를 상하 이동 가능하게 할 필요는 없다. 이는, 제4 실시예에서도 마찬가지이다. 즉, 지지봉(22a)을 고정부(30)에 고정하고, 한편 지지봉(22a)의 하단부의 연결 부재(21)를 지지봉(22a)에 대해 상하 이동 가능하게 해도 된다.

마지막으로, 본 발명에 관한 각 실시예를 첨부한 청구 범위에 의해 정의되는 범위 내에서 또한 개량하도록 해도 된다.

도 1a는, 본 발명의 제1 실시예에 관한 누설 검사 장치에 적용되는 용기의 평면도.

도 1b는, 상기 누설 검사 장치의 종단면도.

도 2a는, 본 발명의 제2 실시예에 관한 누설 검사 장치에 적용되는 용기의 평면도.

도 2b는, 상기 누설 검사 장치의 종단면도.

도 3a는, 본 발명의 제3 실시예에 관한 누설 검사 장치에 적용되는 용기의 평면도.

도 3b는, 상기 누설 검사 장치의 종단면도.

도 4는, 본 발명의 제4 실시예에 관한 누설 검사 장치의 종단면도.

도 5a는, 누설 검사 장치의 챔버 내에 삽입되는 피검사체로서의 용기의 상면도.

도 5b는, 용기의 중심을 지나는 종단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 챔버

2 : 플랜지

3 : 챔버 덮개

10 : 용기

14 : 손잡이

Claims

피검사체인 용기가 장입되는 챔버와,

챔버에 보유 지지된 지지 부재와,

지지 부재에 의해 지지되고, 챔버 내의 용기의 천장판 가장자리부를 전체 둘레에서 압박하는 무단의 링 형상을 갖는 천장판 가장자리부 압박 부재와,

챔버의 내부를 배기하는 배기 장치로 이루어지는 누설 검사 장치.
제1항에 있어서, 지지 부재에 의해 지지되고, 챔버 내에 있어서 용기의 천장판 중앙부를 압박하는 천장판 중앙 압박 부재를 더 구비한 누설 검사 장치.
제2항에 있어서, 천장판 중앙 압박 부재는, 지지 부재에 대해 탄성 부재를 통해 지지되어 있고, 이로써 용기의 천장판 중앙부를 탄성적으로 압박하도록 한 누설 검사 장치.
제1항에 있어서, 지지 부재는, 챔버의 상벽을 수직 방향으로 삽입 관통하여 상벽에 대해 상하 이동 가능하게 지지된 지지봉과, 지지봉의 하단부에 고정된 연결 부재를 구비하고, 연결 부재에 의해 천장판 가장자리부 압박 부재를 지지하도록 한 누설 검사 장치.
제2항에 있어서, 지지 부재는, 챔버의 상벽을 수직 방향으로 삽입 관통하여 상벽에 대해 상하 이동 가능하게 지지된 지지봉과, 지지봉의 하단부에 고정된 연결 부재를 구비하고, 연결 부재에 의해 천장판 가장자리부 압박 부재, 천장판 중앙 압박 부재 또는 양자 모두를 지지하도록 한 누설 검사 장치.
제3항에 있어서, 지지 부재는, 챔버 상벽을 수직 방향에 삽입 관통하여 상벽에 대해 상하 이동 가능하게 지지된 지지봉과, 지지봉의 하단부에 고정된 연결 부재를 구비하고, 연결 부재에 의해 천장판 가장자리부 압박 부재, 천장판 중앙 압박 부재 또는 양자 모두를 지지하도록 한 누설 검사 장치.
제1항에 있어서, 지지 부재는, 챔버 상벽의 하면에 고정된 고정부와, 고정부에 대해 상하 이동 가능하게 지지된 지지봉과, 지지봉의 하단부에 고정된 연결 부재를 구비하고, 연결 부재에 의해 천장판 가장자리부 압박 부재를 지지하도록 한 누설 검사 장치.
제2항에 있어서, 지지 부재는, 챔버 상벽의 하면에 고정된 고정부와, 고정부에 대해 상하 이동 가능하게 지지된 지지봉과, 지지봉의 하단부에 고정된 연결 부재를 구비하고, 연결 부재에 의해 천장판 가장자리부 압박 부재, 천장판 중앙 압박 부재 또는 양자 모두를 지지하도록 한 누설 검사 장치.
제3항에 있어서, 지지 부재는, 챔버 상벽의 하면에 고정된 고정부와, 고정부에 대해 상하 이동 가능하게 지지된 지지봉과, 지지봉의 하단부에 고정된 연결 부재를 구비하고, 연결 부재에 의해 천장판 가장자리부 압박 부재, 천장판 중앙 압박 부재 또는 양자 모두를 지지하도록 한 누설 검사 장치.