JP6170694B2 - 測長計の設置構造 - Google Patents

Description

本発明は、真空中に置かれた被測定物の変位を光学式干渉計からなる測長計で測定するための、真空下における測長計の設置構造に関する。

一般に走査電子顕微鏡や半導体検査装置は、電子線によって試料の拡大像を生成する電子光学系、電子の像を撮影して装置内に取り込む電子線検出器、取り込んだ像から試料の欠陥などを検出する画像処理エンジン、試料の搬送や試料を高精度に位置決めしながら移動させるＸＹステージなどの機構系からなり、試料をＸＹステージ上に吸着固定させた状態で、ＸＹステージにより試料を任意の方向に移動したり傾斜させたりしながら電子線を照射し、試料から発生した２次電子や反射電子を検出して試料の走査像を得るように構成されている。
前記ＸＹステージにより移動せしめられる試料の正確な変位量を測定する手段としてはレーザー測長計が用いられ、サブｎｍ〜μｍ以下の分解能を要する装置にあっては、試料を支持するＸＹステージとともに前記測長計も真空容器（チャンバ）内に設置される（例えば特許文献１，２参照）。

図１０は従来装置における測長計の設置態様を示しており、同図に示されるように、測長計１は、ステージ取り付け台２で支持されたＸＹステージ３とともに真空容器Ａ内に収納され、測長計１でＸＹステージ３の変位を測定することで当該ステージ上に吸引固着された試料（図示せず）の変位を検出するように設けてある。

詳しくは、ＸＹステージ３は、定盤（図示せず）上に支持されたステージ取り付け台２上に設置したＸ、Ｙ両方向のレールと駆動軸、駆動モータなどからなる駆動機構（図示せず）によりそれぞれの方向に移動自在に設けられ、その上面の所定位置に、同じく真空容器Ａ内に収納された搬送機構（図示せず）により搬送された試料を吸引固定するように設けてある。ＸＹステージ３の四隅コーナー部の一角には、当該コーナー部を挟んだ両側部に沿ってステージミラー４を取り付けてある。
また、測長計１は、ＸＹステージ３の側方に設置された設置台５上に取り付けられ、測長計１の後面に真空容器Ａの側壁Ａ１の外側に設けた光軸調整器６から測定用レーザー光を入力し、測長計１の前面からステージミラー４に向けてレーザー光を出力するとともにステージミラー４に入射して反射したレーザー光を受光し、測長計１における干渉光を真空容器Ａの側壁Ａ１の外側に配置されたピックアップ部７に出力するように設けてある。
そして、ピックアップ部７に入力された検出信号は、図示されない測長演算器に入力されて、ＸＹステージ３とともに移動する試料の変位量が測定されるようになっている。

図示した測長計１は、その前面に被測定物であるステージミラー４に向けたレーザー光の入力面、後面にピックアップ部７に向けた検出レーザー光の出力面をそれぞれ設けた構成のものであるが、これとは異なってレーザー光の入力面と出力面が直交する向きに配置された構成の測長計１を用いるときには、図１１に示されるように、測長計１の側壁が対向する真空容器Ａの側壁Ａ１の外側に光軸調整器６とピックアップ部７が配置される。

特開２００３−２８２４２３号公報 特開２００５−３２７９１７号公報

測長計１を含む変位測長系のレーザー光の軸位置の調整は、真空容器Ａの外側に配置された機器を操作するだけでなく、真空容器Ａ内の測長計１の設置位置などを微妙に調整して行われる。
この場合、前記ＸＹステージ３や測長計１が収納された真空容器Ａ全体を開放して調整作業が行われるが、調整後、真空容器Ａ内を排気して真空状態にした後で、調整が十分でなかったことが判ったり容器内を排気する過程で変位測長系に不具合が生じたりしたときには、再び真空容器Ａを開放して大気圧に戻さなければならないという問題がある。

また、真空容器Ａ内で被測定物であるＸＹステージ３の変位を測長計１で検出する場合、ＸＹステージ３の可動範囲などの条件上、測長計１は真空容器Ａ内の各側壁Ａ１の略中央部に配置する必要があるが、レーザー光の入力面と出力面が直交する向きに配置された測長計１を用いるときは、前記図１１に示されるように、測長計１に対する光軸調整器６とピックアップ部７の配置距離が長くならざるを得ない。

例えばＡｇｉｌｅｎｔ社製の測長計である５軸平面鏡光学干渉計（Ｚ４４２０，Ｚ４４２１など）は、測長対象物の５点の位置を同時に測定することにより、ピッチング、ヨーイング、ローリングなどの姿勢を高精度で測定可能であるが、この測長計はレーザー光の入力面と出力面が直交するタイプであり、これを前記測長計１として使用する場合は以下のような問題がある。
すなわち、真空容器Ａ内のＸＹステージ３を測長対象物とした場合、測長計１はＸＹステージ３の可動範囲などの条件上、真空容器Ａの側壁Ａ１の概ね中央部に配置する必要があり、測長計１に対するレーザー光の入力部や出力レーザー光のピックアップ部は測長計１からある程度距離をとった位置に配置せざるを得ない。
この場合に、真空容器Ａの外側に配置された機器を操作して行うレーザー光の軸位置の調整は、測長計１までの光路距離が長いために精密な調整が必要となり、調整精度が低くなるのにともない調整難度が高くなって、作業に手間と時間を要するという問題がある。また、真空容器Ａの内部に測長計１を設置したのでは、真空容器Ａ自体が測長計１を設置するために大きくなってしまうという問題もある。

本発明は従来技術の有するこのような問題点に鑑み、真空容器内に設置された被測定物の変位を真空下で測定する測長計の設置構造において、真空容器を開放することなく測長計のレーザー光の軸位置を調整することができ、レーザー光の入力面と出力面が交差した測長計を用いた場合であってもレーザー光の軸位置を正確、且つ簡易な操作により調整し、被測定物の変位量の測定精度を高めることができるようにすることを課題とする。

前記従来技術の問題を解決する手段として、被測定物が収納される真空容器とは別に測長計が収納される真空容器を設けることが考えられるが、正確な測定を担保するためには、それぞれの真空容器の内部を大気圧から真空状態に又はその逆に変化させる過程で、測長計の取付け部が差圧の影響を受け難い構成とする必要がある。また、真空容器外部の気圧の微妙な変化、例えば低気圧通過時などの大気圧の変化などに対しても影響を受け難い構成とする必要がある。

そこで、本発明の測長計の設置構造は、真空中に置かれた被測定物の変位を測定する測長計の設置構造であって、被測定物が設置される真空容器Ａとは別に測長計が収納される真空容器Ｂを設け、真空容器Ａ及び／又は被測定部を支持する定盤に一体に取り付けられた設置台を真空容器Ａの側部に設置するとともに、この設置台上に真空容器Ｂを、その側壁が、弾性シール部材などの真空シール手段を挟んで真空容器Ａの側壁に重ね合わされるように配置して設置し、
測長計に入出力されるレーザー光が通る孔部を前記真空容器Ａの側壁に設け、真空容器Ａの当該側壁に重なり合った真空シール手段及び真空容器Ｂの側壁に対応位置に複数のレーザー光軸用孔を設けるとともに、前記真空容器Ｂの側壁と真空シール手段との接合境界部であって各レーザー光軸用孔の周縁部には真空シール部材を設け、
前記孔部と各レーザー光軸用孔を通して、真空容器Ｂ内に収納された測長計から真空容器Ａ内にレーザー光が入射されるとともに被測定物に入射して反射されたレーザー光が真空容器Ａから真空容器Ｂ内の測長計に入射されるようにした構成を有することを特徴とする。
これによれば、真空容器Ｂは、真空容器Ａ及び／又は被測定物を支持する定盤に一体に取り付けた設置台上に設置してあるので、それぞれの容器内部を大気圧から真空状態に変化させたときに、真空容器Ｂに収納された測長計の取り付け位置が差圧の影響により、特に鉛直方向に沿ってずれるようなことはなく、レーザー光の軸位置を正確な調整位置に保持することができる。

前記構成において、真空容器Ｂは、測長計が収容される空間部を内部に備えた椀状の蓋体と、この蓋体の下部を閉鎖して当該容器Ｂ内の真空と外部の大気とを隔絶する下部板材とを備え、上面に測長計を取り付けて設置台に固定された前記下部板材上に、軸シール部材などの真空シール部材からなる真空シール手段を介して前記蓋体が取り付けられているとともに、レーザー光軸用孔が形成された側壁と真空容器Ａとの境界部であって各レーザー光軸用孔の周縁部に、弾性Ｏリングなどの真空シール部材からなる真空シール手段を設けた構成を有することが好ましい。
これによれば、真空容器Ｂを、その内部に測長計の収容スペースを確保しつつコンパクトに、且つ高い気密性と耐圧性を具備させて構成することができる。

前記構成において、真空容器Ｂ内への測長計の着脱操作やレーザー光の軸位置の調整を簡易に行えるように、真空容器Ｂの蓋体を下部板材に対して着脱自在に設けた構成とするのが好ましい。

前記構成の他の態様として、測長計が収容される空間部を内部に備えていてその下端部を測長計が固定された設置台の上面に接合させて設置台上で測長計を収容する真空容器Ｂと、設置台を挟んで当該設置台の下面に設置される真空容器Ｃを備え、前記真空容器Ｂは、その下端部に沿って設けた真空シール手段を介して設置台の上面に、且つ当該上面に沿って平行な方向への変位を許容可能に設けて設置され、前記真空容器Ｃは、その設置台下面との接続部が前記真空容器Ｂの下端部と略同形状に設けられ、且つ当該接続部に沿って前記真空容器Ｂの真空シール手段と真空シール面積が略同じ真空シール手段が設けられており、前記真空容器Ｂの真下の設置台の下面に真空容器Ｃがその接続部に沿って設けた真空シール手段を介して取り付けられた構成とすることができる。
これによれば、測長計を設置台に直接設置することが可能となり、より真空と大気の差圧の影響を少なくなって、測長計を当初の取り付け位置に固定して、レーザー光の軸位置を正確な調整位置に保持することができる。また、下部板材が不要となるため、測長計の取り付けや取り外しを簡易な操作で行えて微妙な取り付け位置の調整も容易となる。

前記真空容器Ｃを設置台の下面に設置する態様にあっては、設置台に形成された貫通孔を通して真空容器Ｂと真空容器Ｃの内部を連通させ、真空容器Ｂの真空引き動作に伴って両容器内を真空排気することができる。
或いは真空容器Ｃを設置台の下面に設置する場合に、真空容器Ａと真空容器Ｃを真空配管で接続した構成とすることもできる。
これによれば、真空容器Ａの真空引き動作に伴い、真空配管を通じて真空容器Ｃと真空容器Ｂの真空引きがなされるので、真空容器Ｂ内の高真空排気が可能となり、結果的に真空容器Ａ内の高真空排気に寄与することとなる。

前記構成において、真空容器Ａ内の被測定物に向けたレーザー光の入力面とピックアップ部に向けた検出レーザー光の出力面とが直交する形態の測長計が真空容器Ｂ内に収納され、設置台上に設置されたピックアップ部に面する真空容器Ｂの側壁に前記検出レーザー光が通るレーザー光軸用孔を設けた構成とすることができる。
これによれば、測長計に対する光軸調整器とピックアップ部の配置距離が短くなり、レーザー光の軸位置の調整を簡易な操作で正確に行うことが可能となる。また、真空容器Ａのコンパクト化も図れる。

また、前記構成において、真空容器Ａと真空容器Ｂとの間のレーザー光軸用孔及び／又は真空容器Ｂのピックアップ部とのレーザー光軸用孔内の各々に、弾性Ｏリングなどの真空シール部材からなる真空シール手段を設けた構成とすることができる。
これによれば、各レーザー光軸用孔の真空シール手段を個別に設けることで、各真空シール手段により高い気密性と耐圧性を実現して、真空と大気の差圧の影響を小さく抑えることができる。

また、前記構成において、真空容器Ｂの上部に着脱自在な蓋面部を設けるとともに、この蓋面部の着脱部に真空シール手段を設けた構成とすれば、真空容器Ｂ内の前記調整操作が蓋面部のみを取り外して行うことができ、さらに作業が容易となって好ましい。

本発明の測長計の設置構造によれば、被測定物が収納される真空容器Ａとは別に真空容器Ｂを設け、これに測長計を収納し、両容器を連ねて真空下での変位測長系が構成される。測長計を真空容器Ｂに収納してあるので、真空容器Ａを開放せずに、レーザー光の軸位置を調整する作業を行え、また、両容器はともにその下部を定盤で支持されているので、それぞれの容器内部を大気圧から真空状態に変化させたときの差圧の影響や、各容器外部の大気圧の微妙な変化による影響を受け難く、レーザー光の軸位置を正確な調整位置に保持することができる。
また、レーザー光の入力面と出力面が交差した測長計を用いた場合でも、測長計に対する光軸調整器とピックアップ部の配置距離を短くして、レーザー光の軸位置の調整を簡易な操作で正確に行うことができ、被測定物の変位量の測定精度を高めることができ、真空容器Ａのコンパクト化も図れる。

また、設置台を挟んで真空容器Ｂとは反対側の設置台の下面に真空容器Ｃを設置し、両容器内を設置台に形成した貫通孔を介して連通させた構成とすれば、測長計を設置台に直接設置することが可能となり、より真空と大気の差圧の影響を少なくして、測長計を当初の取り付け位置に固定して、レーザー光の軸位置を正確な調整位置に保持することができる。また、下部板材が不要となるため、測長計の取り付けや取り外しを簡易な操作で行えて微妙な取り付け位置の調整も容易となる。
さらに前記真空容器Ｃを真空容器Ａと真空配管で接続した構成とすれば、真空容器Ｂ内の高真空排気が可能となり、結果的に真空容器Ａ内の高真空排気に寄与する。

本発明の設置構造における変位測長系の構成を示した図である。 本発明の一実施形態における設置台上に取り付けた真空容器Ｂのレーザー光入力面側の概略外観図である。 図２とは反対側の真空容器Ｂの内部透過図である。 設置台上に取り付けた状態の真空容器Ｂの側面図である。 真空容器Ａと真空容器Ｂの接続部に沿った概略断面図である。 測長計のレーザー光入力面に交差する方向に沿った真空容器Ｂの概略断面図である。 本発明の他の実施形態における真空容器Ａと真空容器Ｂの接続部に沿った概略断面図である。 同じく他の実施形態における測長計のレーザー光入力面に交差する方向に沿った真空容器Ｂの概略断面図である。 本発明のさらに他の実施形態における測長計のレーザー光入力面に交差する方向に沿った真空容器Ｂの概略断面図である。 測長計を真空容器内に収納した従来の変位測長系の構成を示した図である。 図１０とは異なる形態の測長計を真空容器内に収納した他の変位測長系の構成を示した図である。

本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。なお、前記図示した従来の変位測長系と同一の構成要素には同一番号を付して説明を省略する。また、後述する真空容器Ａ，Ｂの送気・排気手段は図示を省略してある。

図１は本発明の測長計の設置構造による変位測長系の構成を示している。
同図に示されるように、これは、真空容器Ａ内には周側部にステージミラー４を装備したＸＹステージ３が、定盤１０（図４参照）上に設けられたステージ取り付け台２上に設置されており、これとは別に形成された真空容器Ｂが真空容器Ａの側壁Ａ１の外側に配置された設置台５上に取り付けられ、この真空容器Ｂ内に測長計１を収納するとともに、設置台５上に測長計１にレーザー光を入力する光軸調整器６と測長計１からの検出レーザー光を受光するピックアップ部７を配置して、真空下での変位測長系を構成したものである。

図２〜図６は本発明の設置構造の一実施形態を示しており、各図に示されるように、真空容器Ｂは蓋体８と下部板材９からなり、その内部に測長計１を収納して、真空容器Ａの外側に配置された設置台５上に取り付けてある。

真空容器Ｂの蓋体８は、アルミ合金などを加工してなり、その内部に測長計１が収容される椀状の空間部を備え、当該容器内部に収容される測長計１の被測定対象である前記ステージミラー４に向けたレーザー光入力面が面する蓋体８の側壁８ａに、複数のレーザー光軸用孔８ａ１が形成され、また、前記測長計１のピックアップ部７に向けたレーザー光出力面が面する蓋体８の側壁８ｂにも、複数のレーザー光軸用孔８ｂ１が形成してある。
また、下部板材９は、アルミ合金やステンレス鋼などを加工してなる、前記蓋体８の下部を閉鎖して当該容器Ｂ内の真空と外部の大気とを隔絶する板状の部材であり、設置台５の上面に一体に固定してある。

設置台５は、図４に示されるように、その脚部５１を真空容器Ａの下部を支持する定盤１０に固着し、真空容器Ｂを支持する上面を真空容器Ａの側壁Ａ１の外側に水平に張り出して前記定盤１０に一体に取り付けてある。

測長計１は、レーザー光の入力面と出力面が直交する形態のもの（例えばＡｇｉｌｅｎｔ社製の５軸平面鏡光学干渉計；Ｚ４４２０，Ｚ４４２１など）であり、図５に示されるように、その筐体正面のレーザー光の入力面を真空容器Ａの側壁Ａ１に向けて真空容器Ｂの下部板材９上に載せて支持させるとともに、その下部フランジ１ａに挿通させた固定ボルト１１を設置台５の上面に螺合して、前記下部板材９とともに設置台５上に締着固定してある。

真空容器Ｂは、下部板材９とともに測長計１を設置台５の上面に固定した状態で、下部板材９上にリング形の軸シール部材からなる真空シール部材１２を介して蓋体８を重ね合わせるとともに、真空容器Ａの側壁Ａ１に面する蓋体８の側壁８ａの外側に、表面に複数のレーザー光軸用孔１３ａが形成された側部板材１３を重ね合わせて当該側壁８ａを真空容器Ａの側壁Ａ１側に圧接させた状態で、蓋体８の側壁８ａの両側に突設したフランジ部８ａ２に固定ボルト１１を挿通し、前記側壁Ａ１に螺合して側壁８ａを側部板材１３とともに真空容器Ａに締着固定し、また、これと反対側の蓋体８の側壁８ｃの下端に水平に突設したフランジ部８ｃ１を固定ボルト１１で前記下部板材９に締着固定して設置台５上に取り付けてある。前記側部板材１３が面する真空容器Ａの側壁Ａ１には、測長計１に入出力されるレーザー光が通る孔部Ａ１ａが形成してある。

前記蓋体８に形成されたレーザー光軸用孔８ａ１と側部板材１３に形成されたレーザー光軸用孔１３ａは、ともに真空容器Ｂ内に固定された測長計１のレーザー出力面から出射されるレーザー光及び当該面に入力される反射レーザー光の各光軸の位置と位置対応させて設けてあり、また、蓋体８の側壁８ａと側部板材１３との接合境界部であって各レーザー光軸用孔８ａ１，１３ａの周縁部には弾性Ｏリングからなる真空シール部材１４を装着してある。

また、真空容器Ｂの蓋体８の側壁８ｂの外面には、表面に前記側壁８ｂに形成されたレーザー光軸用孔８ｂ１と位置対応させてレーザー光軸用孔１５ａが形成されたガラス取り付け板１５の一面を重ねて取り付けてあり、当該ガラス取り付け板１５の他面には、光軸調整器６とピックアップ部７が設置台５上に配置して取り付けられており、蓋体８の側壁８ｂに形成されたレーザー光軸用孔８ｂ１とガラス取り付け板１５に形成されたレーザー光軸用孔１５ａを通して、光軸調整器６からレーザー光が真空容器Ｂ内に設置された測長計１に入力されるとともに、測長計１から検出レーザー光がピックアップ部７に入力されるように設けてある。
前記側壁８ｂとガラス取り付け板１５の接合境界部であって各レーザー光軸用孔８ｂ１，１５ａの周縁部にも弾性Ｏリングからなる真空シール部材１４を装着してある。真空シール部材１４は、フッ素ゴムなどの耐食性を有する弾性材を用いることが好ましい。

このように構成された本形態の測長計１の設置構造によれば、真空容器Ｂの蓋体８を取り外した状態で、測長計１の着脱操作やレーザー光の軸位置の調整操作を行うことができる。
真空容器Ｂはその蓋体８を真空容器Ａと下部板材９に締着固定することにより密閉され、蓋体８と下部板材９との間に設けた真空シール部材１２と各レーザー光軸用孔に設けた真空シール部材１３により容器内部の気密性が保たれ、図示されない排気手段を動作させて容器内部を真空にすることができる。

そして、真空容器Ａと真空容器Ｂをともに真空にした状態で、光軸調整器６から測長計１に測定用レーザー光が入力されると、測長計１の筐体前面からレーザー光が出力され、このレーザー光が蓋体８のレーザー光軸用孔８ａ１、側部板材１３のレーザー光軸用孔１３ａ及び真空容器Ａの側壁Ａ１の孔部Ａ１ａを通って真空容器Ａに収納されたＸＹステージ３のステージミラー４に入射するとともに、ステージミラー４に入射して反射したレーザー光が前記レーザー光軸用孔１３ａ，８ａ１を通って測長計１に入射され、測長計１における干渉光が、設置台５上に配置したピックアップ部７に入力され、ピックアップ部７に入力された検出信号が、図示されない測長演算器に入力されて、ＸＹステージ３とともに移動する試料の変位量が測定されるようになっている。
なお、本形態の真空容器Ｂは、その蓋体８を取り外すことで容器内の調整操作が行えるように設けたが、蓋体８の上部などの真空容器Ｂの上部に、着脱自在な蓋面部を設け、且つこの蓋面部の着脱部に真空シール手段を設けた構成とし、蓋面部のみを取り外して容器内の調整操作を行えるようにしてもよい。

図７及び図８は、本発明の他の実施形態を示しており、これは、測長計１を収容する真空容器Ｂを設置台５の上面に、真空容器Ｃを設置台５の下面にそれぞれ設置し、両容器Ｂ，Ｃの内部を、設置台５に形成した貫通孔５２を介して連通したものである。

詳しくは、両図に示されるように、本形態の真空容器Ｂは、前記椀状の蓋体８を、測長計が収容される空間部を内部に備えた筒状の容器本体８１と、その上面に被せて容器本体８１内を密閉する蓋面部８２とで構成したものであり、前記下部板材９は用いずに、測長計１を設置台５の上面に固定ボルト１１で直接固定するように設けてある。
容器本体８１の下端部には、その面内に沿って弾性Ｏリングからなる真空シール部材１６が設けてあり、また、測長計１のピックアップ部７に向けたレーザー光出力面が面する側壁８ｂと対向する位置の側壁８ｄと両側壁間の側壁８ｃの下端部には外方へ水平に突出したフランジ部８ｃ１，８ｄ１を各々設けてある。側壁８ａの下端部にもフランジ８ａ３を設けてある。側壁８ａにレーザー光軸用孔８ａ１、側壁８ｂにもレーザー光軸用孔８ｂ１がそれぞれ設けてあること、側壁８ａの両側にフランジ部８ａ２を設けてあることは前記形態の蓋体８と同様である。
また、蓋面部８２は、容器本体８１の上端部に着脱自在に設けられ、その容器本体８１の上端部との接合部の面内に沿って弾性Ｏリングからなる真空シール部材１６を設けてある。

真空容器Ｃは、図８に示されるように、上面を開口した皿状の容器本体１７からなり、その設置台５の下面との接続部である周壁上端部１７ａが、真空容器Ｂの容器本体８１の下端部と略同形状に設けられ、且つその面内に沿って前記容器本体８１の下端部に設けた真空シール部材１６と真空シール面積が略同じ真空シール部材１６を設けた構成としてある。

本形態の設置構造は、真空容器Ｂの容器本体８１を設置台５の上面に載せ、その側壁８ａを側部板材１３に重ね合わせて真空容器Ａの側壁Ａ１側に圧接させた状態で、前記フランジ部８ａ２に固定ボルト１１を挿通し、前記側壁Ａ１に螺合して側壁８ａを側部板材１３とともに真空容器Ａに締着固定するとともに、容器本体８１の側壁８ａのフランジ部８ａ３に上方への変位を規制する逆Ｌ字形のストッパー１８ａを、フランジ部８ｃ１、８ｄ１を同じく逆Ｌ字形のストッパー１８ｂ，１８ｃを各々係合させて取り付けてある。
ストッパー１８ｂ，１８ｃは、固定ボルト１１で設置台５の上面に固着されるが、容器本体８１は、両ストッパー１８ｂ，１８ｃとフランジ８ｃ１，８ｄ１の側端面との間に適宜な大きさの隙間を開けて取り付けられており、例えば真空容器Ｂが真空と大気との差圧で生じる微少な変形を吸収できるように、真空容器Ｂを設置台５の上面に沿って平行な方向への微少な変位を許容可能に構成してある。
測長計１は、真空容器Ｂの蓋面部８２を容器本体８１から取り外した状態で、設置台５の上面に定ボルト１１で留め付けて直接固定される。
また、真空容器Ｃは、真空容器Ｂの真下の設置台５の下面に、その周壁上端部１７ａを、真空シール部材１６を介して接合して取り付けてある。このとき、真空容器Ｃの底面部１７ｂと設置台５の下面との間に、適宜な大きさ（幅）の空間部が確保されるように取り付けられる。真空容器Ｃは、図示されない支持手段、或いは前記と同様に逆Ｌ字形のストッパーを用いて設置台５の下方に設置することができる。
そして、図８に示されるように、設置台５に形成された一つ以上の貫通孔５２を通して、真空容器Ｂと真空容器Ｃの内部を連通させてある。
なお、レーザー光路の構成は前記形態と同様である。真空容器Ｂの蓋面部８２は、その上方にストッパーを設けて上方への変位が規制されるようにしてもよい。

本形態の測長計の設置構造によれば、測長計１を設置台５の上面に直接固定することで、前記下部板材９が不要となり、また、設置台５を挟んで、測長計１が取り付けられた設置台５の上面空間と下面空間を、真空容器Ｂと真空容器Ｃで囲い且つ貫通孔５２を介して連通した閉塞空間としてあるので、真空容器Ｂ内を真空状態にした際に真空容器Ｃによって設置台５の下方空間も真空となるため、差圧による設置台５の上面の変動が極めて小さく抑えられ、より真空と大気の差圧の影響が少なくなって、測長計１を当初の取り付け位置に固定して、レーザー光の軸位置を正確な調整位置に保持することが可能となる。

図９は、真空容器Ｃを用いたさらに他の実施形態を示しており、これは、真空容器Ｃの頂面に孔部１７ｃを設け、この孔部１７ｃに真空配管１８の一端を接続し、真空配管１８の他端を真空容器Ａに接続して、真空容器Ａの真空引き動作に伴い、真空配管１８を通じて真空容器Ｃと真空容器Ｂの真空引きがなさるように設けたものである。
このように構成することで、真空容器Ｂ内の高真空排気が可能となり、結果的に真空容器Ａ内の高真空排気に寄与することとなる。

なお、図示した形態では、レーザー光の入力面と出力面が直交する形態の測長計１を用いたが、図１０に示されるように、レーザー光の入力面と出力面を筐体の前面と後面に設けた形態の測長計を用いてもよい。
図示した形態では、真空容器Ａと真空容器Ｂの間に側部板材１３を設けたが、側部板材１３に代えて適宜な真空シール手段が、両容器の側壁間に設置されていてもよい。図示した各構成要素の形態は一例であり、本発明はこれに限定されず、他の適宜な形態で構成することが可能である。

１ 測長計、２ ステージ取り付け台、３ ＸＹステージ、４ ステージミラー、５ 設置台、６ 光軸調整器、７ ピックアップ部、８ 蓋体、８１ 容器本体、８２ 蓋面部、９ 下部板材、１０ 定盤、１１ 固定ボルト、１２ 真空シール部材、１３ 側部板材、１４ 真空シール部材、１５ ガラス取り付け板、１６ 真空シール部材、１７ 容器本体、１７ａ 周壁上端部、１７ｂ 底面部、１９ 真空配管、Ａ，Ｂ，Ｃ 真空容器、

Claims (9)

1. 真空中に置かれた被測定物の変位を測定する測長計の設置構造であって、
   被測定物が設置される真空容器Ａとは別に測長計が収納される真空容器Ｂを設け、真空容器Ａ及び／又は被測定部を支持する定盤に一体に取り付けられた設置台を真空容器Ａの側部に設置するとともに、この設置台上に真空容器Ｂを、その側壁が真空シール手段を挟んで真空容器Ａの側壁に重ね合わされるように配置して設置し、
   測長計に入出力されるレーザー光が通る孔部を前記真空容器Ａの側壁に設け、真空容器Ａの当該側壁に重なり合った真空シール手段及び真空容器Ｂの側壁に対応位置に複数のレーザー光軸用孔を設けるとともに、前記真空容器Ｂの側壁と真空シール手段との接合境界部であって各レーザー光軸用孔の周縁部には真空シール部材を設け、
   前記孔部と各レーザー光軸用孔を通して、真空容器Ｂ内に収納された測長計から真空容器Ａ内にレーザー光が入射されるとともに被測定物に入射して反射されたレーザー光が真空容器Ａから真空容器Ｂ内の測長計に入射されるようにした構成を有することを特徴とする測長計の設置構造。
2. 真空容器Ｂは、測長計が収容される空間部を内部に備えた椀状の蓋体と、この蓋体の下部を閉鎖して当該容器Ｂ内の真空と外部の大気とを隔絶する下部板材とを備え、上面に測長計を取り付けて設置台に固定された前記下部板材上に真空シール手段を介して前記蓋体が取り付けられた構成を有することを特徴とする請求項１に記載の測長計の設置構造。
3. 真空容器Ｂの蓋体を下部板材に対して着脱自在に設けた構成を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の測長計の設置構造。
4. 測長計が収容される空間部を内部に備えていてその下端部を測長計が固定された設置台の上面に接合させて設置台上で測長計を収容する真空容器Ｂと、設置台を挟んで当該設置台の下面に設置される真空容器Ｃを備え、
   前記真空容器Ｂは、その下端部に沿って設けた真空シール手段を介して設置台の上面に、且つ当該上面に沿って平行な方向への変位を許容可能に設けて設置され、
   前記真空容器Ｃは、その設置台下面との接続部が前記真空容器Ｂの下端部と略同形状に設けられ、且つ当該接続部に沿って前記真空容器Ｂの真空シール手段と真空シール面積が略同じ真空シール手段が設けられており、
   前記真空容器Ｂの真下の設置台の下面に真空容器Ｃがその接続部に沿って設けた真空シール手段を介して取り付けられた構成を有することを特徴とする請求項１に記載の測長計の設置構造。
5. 真空容器Ｂと真空容器Ｃを設置台に形成された貫通孔を通して内部を連通させた構成を有することを特徴とする請求項４に記載の測長計の設置構造。
6. 真空容器Ａと真空容器Ｃが真空配管で接続された構成を有することを特徴とする請求項４又は５に記載の測長計の設置構造。
7. 真空容器Ａ内の被測定物に向けたレーザー光の入力面とピックアップ部に向けた検出レーザー光の出力面とが直交する形態の測長計が真空容器Ｂ内に収納され、設置台上に設置されたピックアップ部に面する真空容器Ｂの側壁に前記検出レーザー光が通るレーザー光軸用孔を設けた構成を有することを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の測長計の設置構造。
8. 真空容器Ａと真空容器Ｂとの間のレーザー光軸用孔及び／又は真空容器Ｂのピックアップ部とのレーザー光軸用孔内の各々に真空シール手段を設けた構成を有することを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の測長計の設置構造。
9. 真空容器Ｂの上部に着脱自在な蓋面部を設けるとともに、この蓋面部の着脱部に真空シール手段を設けた構成を有することを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載の測長計の設置構造。
   
   
   

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