JPH08247888A

JPH08247888A - 圧力洩れ測定方法

Info

Publication number: JPH08247888A
Application number: JP5279195A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Horikawa; 宏堀川; Takashi Onoda; 貴小野田; Katsuji Tsuge; 勝司柘植
Original assignee: KITOU KOGYO KK; Toyota Motor Corp; Fukuda Co Ltd
Current assignee: KITOU KOGYO KK; Toyota Motor Corp; Fukuda Co Ltd
Priority date: 1995-03-13
Filing date: 1995-03-13
Publication date: 1996-09-27
Anticipated expiration: 2019-03-02
Also published as: JP3502687B2

Abstract

(57)【要約】【目的】被測定物内部の空気の断熱圧縮に起因する気
圧変動を防止することにより、短時間で精密な圧力洩れ
の測定を行える圧力洩れ測定方法を提供する。【構成】圧力洩れ測定装置２における測定は、電磁開
閉弁３０，ストップ弁５２，５４，エアパイロット弁７
０が閉、電磁開閉弁４０，エアパイロット弁６０，８０
は開の状態から、ストップ弁５２が開かれ、真空ポンプ
５６でワークＷ内の空気が吸引排気された後、電磁開閉
弁３０が開かれて減圧状態のワークＷ内に圧力制御ユニ
ット２０で測定圧力に調整された圧力エアが供給され
る。ワークＷとマスタ９４とが連通させられて両者の圧
力のバランスがとられた後、エアパイロット弁８０が閉
じられて両者の連通が遮断され、測定が行われる。ワー
クＷからの空気洩れがあれば、差圧センサ９２の左室の
圧力は次第に低下するのに対して差圧センサ９２の右室
の圧力は変化しないため、両者の差圧が検出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、被測定物内に加圧気
体源から加圧気体を導入して、被測定物内の圧力を測定
することによって、被測定物からの圧力洩れを測定する
圧力洩れ測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】自動車エンジン用鋳造ブロック等の被測
定物の密閉性を検査するために、被測定物の内部にエア
コンプレッサ等の加圧気体源から圧縮空気等の加圧気体
を導入して、被測定物からの圧力洩れを測定する方法が
用いられる。かかる圧力洩れ測定方法の具体例として
は、例えば、特開昭６２−５８１２７号公報に記載され
たエアリークテスタの発明がある。この公報に記載され
た技術においては、一定量の加圧気体を被測定物に供給
し、所定時間経過後に被測定物内の圧力を測定すること
によって、被測定物からの圧力洩れを測定している。こ
のように、単に圧力センサによって被測定物からの圧力
洩れに伴う気圧の絶対値の変化を測定する方式では、圧
力センサの測定精度の制約があるため精度の良い圧力洩
れ測定ができない。そこで、高精度の圧力洩れ測定を行
うための装置として、圧力測定の際の基準となる一定容
積を有するマスタチャンバ（以下、単に「マスタ」とも
いう。）を用意して、このマスタと被測定物とを差圧検
出器を介して接続し、差圧の変化を検出することによっ
て被測定物からの圧力洩れを測定するものが開発されて
いる。かかる差圧測定による圧力洩れ測定装置の具体例
として、例えば、特願平６−１５１２０４号の特許出願
に係る圧力洩れ測定装置及び圧力洩れ測定方法の発明が
ある。この出願に係る技術においては、マスタとして配
管の一部を密閉して、この密閉配管内の圧力と被測定物
内の圧力とを比較する方式を採っている。すなわち、密
閉される配管部分と被測定物とが差圧検出器を介して接
続されている。そして、被測定物及び密閉配管部分に圧
縮空気が導入されて測定圧力に達した時点から差圧値の
経時変化を測定することによって、被測定物からの圧力
洩れの測定が行われる。但し、この技術については未だ
公開されていない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たいずれの測定方法においても、図６及び図７に示され
るような問題点が生ずる。図６は、一定量の加圧気体を
内容積Ｖ₀の被測定物Ｗ１０内に供給する際の圧力及び
温度の変化を示す図である。最初は、図６（Ａ）に示さ
れるように、被測定物Ｗ１０内は外気温と同じ温度
Ｔ₀，気圧Ｐ₀（大気圧）の空気で満たされている。こ
れに気圧Ｐ_tの加圧気体が供給されると、被測定物Ｗ１
０内の空気は図６（Ｂ）のように断熱圧縮され、温度が
Ｔ_tまで上昇する。その後、図６（Ｃ）に示されるよう
に、開閉弁が閉じられて被測定物Ｗ１０内の気体が均一
になり、圧力Ｐ_t，温度Ｔとなる。ここで、Ｔ＞Ｔ₀で
あるため、被測定物Ｗ１０内の気体の温度は外気温Ｔ₀
になるまで下降する。被測定物Ｗ１０内の気体の温度が
外気温Ｔ₀まで下がったときの気体の圧力をＰ₁とする
と、ボイル・シャルルの法則より、次式（１）が成立す
る。Ｐ_t・Ｖ₀／Ｔ＝Ｐ₁・Ｖ₀／Ｔ₀ … （１）Ｔ＞Ｔ₀であるから、Ｐ_t＞Ｐ₁となる。すなわち、断
熱圧縮によって上昇した被測定物Ｗ１０内の気体の温度
が下降するのに伴って、被測定物Ｗ１０内の圧力も下降
することになる。

【０００４】かかる圧力降下の様子をグラフとして表し
たのが、図７である。図７の縦軸は被測定物Ｗ１０内の
気体の圧力を表し、横軸は時間の経過を表している。被
測定物Ｗ１０内に気圧Ｐ_tの加圧気体が供給されること
によって、被測定物Ｗ１０内の圧力は時刻ｔ₁において
一旦Ｐ_tに達する。この時点で加圧気体の供給を遮断し
て被測定物Ｗ１０を密閉状態とすると、上述した温度変
化に伴う圧力降下が生じるため、被測定物Ｗ１０内の圧
力は曲線Ａのように変化する。また、時刻ｔ₁から時刻
ｔ₂までの間、加圧気体の供給を続けた後に被測定物Ｗ
１０を密閉状態とした場合には、時刻ｔ₂までに被測定
物Ｗ１０内の気体の温度がある程度下降するため、その
後の圧力降下が小さくなり、圧力変化は曲線Ｂのように
なる。さらに、時刻ｔ₃まで加圧気体を供給した場合に
は圧力降下もより小さくなるが、まだ完全にはなくなら
ず、圧力変化は曲線Ｃのようになる。これに対して、被
測定物Ｗ１０内の気体の温度が外気温Ｔ₀まで下がる時
刻ｔ ₄まで加圧気体を供給した場合には、その後被測定
物Ｗ１０を密閉状態としても圧力降下は生じない。従っ
て、精密な圧力洩れ測定を行うためには、図７に示され
る時刻ｔ₄まで待たなければならず、測定に長時間を要
するという問題点があった。

【０００５】そこで、本出願の請求項１に係る発明にお
いては、被測定物内部の空気の断熱圧縮に起因する気圧
変動を防止することによって、短時間で精密な圧力洩れ
の測定を行うことができる圧力洩れ測定方法を提供する
ことを目的とする。

【０００６】また、本出願の請求項２及び請求項３に係
る発明においては、簡単な構成によって短時間で精密な
圧力洩れの測定を行うことができる圧力洩れ測定方法を
提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】そこで請求項１に係る発
明においては、上記の課題を解決するために、被測定物
に一定量の加圧気体を導入した後に前記被測定物からの
圧力洩れを測定する圧力洩れ測定方法であって、前記加
圧気体を導入する前に、前記被測定物内を減圧状態にす
ることを特徴とする圧力洩れ測定方法を創出した。

【０００８】また、請求項２に係る発明においては、上
記の課題を解決するために、被測定物に一定量の加圧気
体を導入した後に前記被測定物からの圧力洩れを測定す
る圧力洩れ測定方法であって、前記加圧気体を導入する
ことによって前記被測定物内の空気を前記被測定物から
排出させることを特徴とする圧力洩れ測定方法を創出し
た。

【０００９】また、請求項３に係る発明においては、上
記の課題を解決するために、被測定物に一定量の加圧気
体を導入した後に前記被測定物からの圧力洩れを測定す
る圧力洩れ測定方法であって、前記加圧気体の時間当た
り導入量を前記被測定物内部において空気の断熱圧縮が
起こらない程度まで小さくしたことを特徴とする圧力洩
れ測定方法を創出した。

【００１０】

【作用】さて、請求項１に係る圧力洩れ測定方法は、被
測定物に一定量の加圧気体を導入した後に前記被測定物
からの圧力洩れを測定する圧力洩れ測定方法である。こ
こで、加圧気体を導入する前に、被測定物内が減圧状態
にされる。これによって、加圧気体の導入に伴う空気の
断熱圧縮が起こらないので、加圧気体の導入後の温度変
化に起因する圧力変動も生じない。従って、加圧気体の
導入後、直ちに圧力洩れ測定を開始することができる。
このようにして、被測定物内部の空気の断熱圧縮に起因
する気圧変動を防止することによって、短時間で精密な
圧力洩れの測定を行うことができる圧力洩れ測定方法と
なる。

【００１１】また、請求項２に係る圧力洩れ測定方法に
おいては、加圧気体を導入することによって被測定物内
の空気が被測定物から排出される。これによって、加圧
気体の導入に伴う空気の断熱圧縮が起こらないため、加
圧気体の導入後の温度変化に起因する圧力変動も生じな
い。従って、加圧気体の導入後、直ちに圧力洩れ測定を
開始することができる。このようにして、簡単な構成に
よって短時間で精密な圧力洩れの測定を行うことができ
る圧力洩れ測定方法となる。

【００１２】また、請求項３に係る圧力洩れ測定方法に
おいては、加圧気体の時間当たり導入量が、被測定物内
部において空気の断熱圧縮が起こらない程度まで小さく
されている。これによって、加圧気体の導入に伴う空気
の断熱圧縮が起こらないため、加圧気体の導入後の温度
変化に起因する圧力変動も生じない。従って、加圧気体
の導入後、直ちに圧力洩れ測定を開始することができ
る。このようにして、簡単な構成によって短時間で精密
な圧力洩れの測定を行うことができる圧力洩れ測定方法
となる。

【００１３】

【実施例】

実施例１次に、本発明を具現化した実施例１について、図１を参
照して説明する。図１は本実施例の圧力洩れ測定方法に
用いられる圧力洩れ測定装置２の全体構成を示す配管図
である。本実施例は、主として請求項１に記載された発
明に対応するものである。図１に示されるように、本実
施例の圧力洩れ測定装置２においては、加圧気体源（エ
アコンプレッサ）４からの配管６Ａがレギュレータ８に
接続されており、レギュレータ８の出力側は配管６Ｂに
接続されている。このレギュレータ８によって、加圧気
体源４から供給される圧力エアの圧力が初期圧力に調節
される。配管６Ｂには圧力計１０が設けられており、レ
ギュレータ８から出力される圧力エアの圧力が測定され
る。配管６Ｂは、アキュームレータタンク１２に接続さ
れている。このアキュームレータタンク１２は、初期圧
力に調節された圧力エアを蓄えるタンクであり、後述す
るワーク（被測定物）Ｗよりも充分に大きな体積を有し
ている。

【００１４】アキュームレータタンク１２は、配管６Ｃ
によって、圧力制御ユニット２０に接続されている。こ
の圧力制御ユニット２０は、二つのレギュレータ１４，
１６を有し、アキュームレータタンク１２から供給され
る圧力エアの圧力を所定の測定圧力に調整する機能を有
している。圧力制御ユニット２０の出口側に接続された
配管６Ｄは、熱交換器２２に接続されている。この熱交
換器２２は、圧力制御ユニット２０から供給される圧力
エアの温度を常温程度まで冷却する働きをする。熱交換
器２２は、配管６Ｅによって、電磁開閉弁３０に接続さ
れている。配管６Ｅからは配管６Ｆが分岐しており、こ
の配管６Ｆは、後述するマニホールドユニット９０に接
続されている。また、配管６Ｅには圧力センサ２４が取
り付けられており、圧力センサ２４で測定された圧力の
データは、信号線２６を通じて前記の圧力制御ユニット
２０にフィードバックされる。

【００１５】電磁開閉弁３０は二つの弁室３４Ａ，３４
Ｂを有しており、電磁ソレノイド３２の非作動時におい
ては、スプリング３６の反発力によって弁室３４Ｂが、
入口側の配管６Ｅと出口側の配管６Ｇに接続されている
（図１に示される状態）。これによって、配管６Ｅまで
供給されてきた圧力エアは弁室３４Ｂで止められた状態
となり、一方配管６Ｇは弁室３４Ｂを介して大気中に開
放された状態となる。一方、図示しない制御コンピュー
タからの制御信号によって電磁ソレノイド３２が励磁さ
れると、各弁室がスプリング３６の反発力に抗して移動
して、弁室３４Ａが配管６Ｅ，６Ｇに接続される。これ
によって、配管６Ｅと配管６Ｇが連通した状態となり、
圧力エアが弁室３４Ａを通過して供給される。

【００１６】配管６Ｇは、電磁開閉弁４０に接続されて
いる。電磁開閉弁４０も二つの弁室４４Ａ，４４Ｂを有
しており、電磁ソレノイド４２の非作動時においては、
スプリング４６の反発力によって開状態の弁室４４Ｂ
が、配管６Ｇと出口側の配管６Ｈに接続されている（図
１に示される状態）。配管６Ｈはワーク（被測定物）Ｗ
に接続されており、配管６Ｈを通じて圧力エアがワーク
Ｗ内に供給される。一方、図示しない制御コンピュータ
からの制御信号によって電磁ソレノイド４２が励磁され
ると、各弁室がスプリング４６の反発力に抗して移動し
て、閉状態の弁室４４Ａが配管６Ｇ，６Ｈに接続され
る。これによって、配管６Ｇと配管６Ｈの連通が遮断さ
れる。ワークＷの出口側には配管６Ｊが接続されてお
り、この配管６Ｊは、後述するマニホールドユニット９
０に接続されている。また、配管６Ｊからは配管６Ｋが
分岐しており、配管６Ｋは開閉弁（ストップ弁）５２，
配管６Ｍを介して真空ポンプ５６に接続されている。さ
らに、配管６Ｋからは、開閉弁５２の手前側において配
管６Ｌが分岐しており、配管６Ｌは開閉弁５４を介して
大気中に開放されている。また、配管６Ｊには、配管６
Ｋの分岐点において、圧力センサ５０が取り付けられて
いる。

【００１７】次に、マニホールドユニット９０の構成に
ついて説明する。図１に示されるように、マニホールド
ユニット９０は、三つのエアパイロット弁６０，７０，
８０と差圧センサ９２、及びこれらを接続する配管から
構成されている。ワークＷの出口に接続された配管６Ｊ
は、エアパイロット弁７０に接続されており、エアパイ
ロット弁７０は配管６Ｒによってエアパイロット弁８０
に接続されている。エアパイロット弁８０は、さらに配
管６Ｔによってマスタ９４に接続されている。また、配
管６Ｅから分岐した配管６Ｆは、エアパイロット弁６０
に接続されており、エアパイロット弁６０は配管６Ｐに
よって、差圧センサ９２の左室に接続されている。一
方、差圧センサ９２の右室は、配管６Ｓによって、配管
６Ｔの途中に接続されている。さらに、配管６Ｐと配管
６Ｒとは、配管６Ｑによって接続されている。

【００１８】エアパイロット弁６０は二つの弁室６４
Ａ，６４Ｂを有しており、エアパイロット６２の非作動
時においては、スプリング６６の反発力によって開状態
の弁室６４Ｂが、配管６Ｆと配管６Ｐを連通させている
（図１に示される状態）。一方、図示しない制御コンピ
ュータからの制御信号によってエアパイロット６２に作
動エアが供給されると、各弁室がスプリング６６の反発
力に抗して移動して、閉状態の弁室６４Ａが配管６Ｆ，
６Ｐに接続される。これによって、配管６Ｆと配管Ｐの
連通が遮断される。他の二つのエアパイロット弁７０，
８０も同様の構造を有しており、同様に作動する。な
お、マニホールドユニット９０内の開閉弁に全てエアパ
イロット弁を用いているのは、電磁弁を用いると、電磁
ソレノイドにおける発熱によって差圧センサ９２におけ
る圧力測定に誤差を生ずる恐れがあるためである。差圧
センサ９２は、左室と右室にそれぞれ供給されるエアの
圧力を比較して、その圧力差に応じた測定信号を出力す
る。

【００１９】さて、かかる構造を有する本実施例の圧力
洩れ測定装置２における圧力洩れ測定の手順について、
図１を参照しつつ図２に従って説明する。図２は、圧力
洩れ測定の手順を示すチャート図である。本実施例にお
ける圧力洩れ測定は、ステップＳ１からステップＳ８ま
での各段階を順次実行することによって行われる。ステ
ップＳ１の段階においては、電磁開閉弁３０が閉じられ
（配管６Ｇが大気中に開放された状態）、電磁開閉弁４
０は開かれ、ストップ弁５２，５４は閉じられている。
また、マニホールドユニット９０内のエアパイロット弁
６０，８０は開かれており、エアパイロット弁７０は閉
じられている。すなわち、エアパイロット弁７０が閉じ
られている以外は、図１に示される状態となっている。
この状態においては、圧力制御ユニット２０で所定の測
定圧力に調整された圧力エアが、配管６Ｅから分岐した
配管６Ｆ，エアパイロット弁６０，配管６Ｐ，６Ｑ，６
Ｒ，エアパイロット弁８０，配管６Ｔを通じてマスタ９
４に供給されている。一方、ワークＷに通じる配管は電
磁開閉弁３０とエアパイロット弁７０とで遮断されてい
るので、このステップＳ１においてワークＷが測定済み
のものから新しいものに交換される。

【００２０】ワークＷが配管６Ｈ，配管６Ｊに接続され
た後、ステップＳ２に移行して、ストップ弁５２が開か
れる。これによって、常時作動している真空ポンプ５６
によって、配管６Ｊ，６Ｋ，６Ｍを通じてワークＷ内の
空気が吸引排出される。一定時間吸引排気が行われた
後、ステップＳ３に移り、ストップ弁５２が閉じられて
排気が停止されるとともに、エアパイロット弁６０が閉
じられて、マスタ９４への圧力エアの供給が停止され
る。その後、電磁開閉弁３０が開かれて、配管６Ｇ，電
磁開閉弁４０，配管６Ｈを通じて、減圧状態のワークＷ
内に所定の測定圧力の圧力エアが供給される。所定時間
圧力エアが供給された後に、ステップＳ４で電磁開閉弁
４０が閉じられて、ワークＷが圧力エアの供給系から遮
断される。次に、ステップＳ５に移り、エアパイロット
弁７０が開かれる。これによって、配管６Ｊ，エアパイ
ロット弁７０，配管６Ｒ，エアパイロット弁８０，配管
６Ｔを介して、ワークＷとマスタ９４とが連通した状態
となり、ワークＷ，マスタ９４内の圧力エアの圧力のバ
ランスがとられる。続いて、ステップＳ６でエアパイロ
ット弁８０が閉じられて、ワークＷとマスタ９４との連
通が遮断される。

【００２１】そして、この状態でステップＳ７におい
て、圧力洩れの測定が行われる。この測定段階におい
て、ワークＷからの空気洩れがある場合には、差圧セン
サ９２の左室に加わる圧力は次第に低下するのに対して
差圧センサ９２の右室に加わる圧力は変化しないため、
両者の差圧が検出される。これに対して、ワークＷから
の空気洩れがない場合には、差圧センサ９２の両室の圧
力は同一に保たれるため、差圧センサ９２で測定される
差圧はゼロとなる。従って、差圧センサ９２からの出力
信号を図示しない制御ユニットで解析することによっ
て、ワークＷからの空気洩れの有無とその大きさを測定
できる。かかる測定操作がステップＳ７において行われ
て、圧力洩れ測定装置２による圧力洩れ測定は終了す
る。その後、ステップＳ８において圧力エアの放出操作
が行われる。すなわち、まずエアパイロット弁７０が閉
じられた後、電磁開閉弁４０が開かれるとともに電磁開
閉弁３０が閉じられる。これによって、配管６Ｈ，電磁
開閉弁４０，配管６Ｇを通じて、ワークＷ内の圧力エア
が電磁開閉弁３０の弁室３４Ｂから大気中に放出され
る。同時に、エアパイロット弁６０及び８０が開かれ
て、再びマスタ９４に圧力エアが供給される。すなわ
ち、ステップＳ１の最初の状態に戻る。

【００２２】このようにして、一つのワークＷに対し
て、ステップＳ１からステップＳ８までの各段階が順次
実行されることによって、ワークＷの圧力洩れの測定が
行われる。ここで、ステップＳ３でワークＷ内に測定圧
力の圧力エアが供給される前に、ステップＳ２において
ワークＷ内の空気が真空ポンプ５６によって排出され
る。すなわち、ワークＷ内の空気が除去されてワークＷ
内が減圧状態とされた後に、圧力エアが導入される。こ
れによって、圧力エアの導入に伴う空気の断熱圧縮が起
こらないので、圧力エアの導入後の温度変化に起因する
圧力変動も生じない。従って、圧力エアの導入後、ワー
クＷ内の温度の安定を待つ必要がなく、直ちに圧力洩れ
測定を開始することができる。このようにして、ワーク
Ｗ内部の空気の断熱圧縮に起因する気圧変動を防止する
ことによって、短時間で精密な圧力洩れの測定を行うこ
とができる。

【００２３】なお、図２においては、各ステップＳ１〜
Ｓ８がほぼ等しい時間で実行されるように図示されてい
るが、実際には各ステップに要する時間は異なってお
り、ワークＷの大きさ，測定圧力等に応じて、適切に設
定される。また、本実施例においては、圧力エアを導入
する前にワークＷ内を減圧する方法として、真空ポンプ
５６によって排気する方法を用いているが、ワークＷを
冷却することによってワークＷ内を減圧状態とする方法
等を用いても良い。

【００２４】実施例２次に、本発明を具現化した実施例２について、図３を参
照して説明する。図３は本実施例の圧力洩れ測定方法に
用いられる圧力洩れ測定装置１０２の全体構成を示すブ
ロック図である。本実施例は、主として請求項２に記載
された発明に対応するものである。図３に示されるよう
に、本実施例の圧力洩れ測定装置１０２の基本的な構成
は、実施例１とほぼ同様である。実施例１と異なるの
は、配管６Ｊに、真空ポンプ５６の代わりに、配管６
Ｕ，開閉弁１０４を介してエバポレータ１０６が取り付
けられている点と、圧力センサ５０とは異なる位置に圧
力センサ１００が取り付けられている点である。エバポ
レータ１０６の先端は閉じられており、開閉弁１０４を
通過してエバポレータ１０６に入った空気はエバポレー
タ１０６内に溜められる。

【００２５】さて、かかる構造を有する本実施例の圧力
洩れ測定装置１０２における圧力洩れ測定は、以下のよ
うにして行われる。最初に、各弁の開閉状態が実施例１
における図２のステップＳ１と同一の状態とされ、所定
の測定圧力に調整された圧力エアが、配管６Ｆ，エアパ
イロット弁６０，配管６Ｐ，６Ｑ，６Ｒ，エアパイロッ
ト弁８０，配管６Ｔを通じてマスタ９４に供給される。
この状態からエアパイロット弁６０が閉じられて、マス
タ９４への圧力エアの供給が停止される。次に、電磁開
閉弁３０が開かれて、配管６Ｇ，電磁開閉弁４０，配管
６Ｈを通じて、ワークＷ内に所定の測定圧力の圧力エア
が供給される。このとき、同時に開閉弁１０４が開かれ
て、ワークＷ内にあった空気が圧力エアによって配管６
Ｊ，６Ｕ，開閉弁１０４を通じてエバポレータ１０６内
に押し出される。エバポレータ１０６内に押し出された
空気は圧縮されるため、温度上昇が起こるが、エバポレ
ータ１０６の放熱機能によって短時間で常温まで冷却さ
れる。従って、エバポレータ１０６内における空気の発
熱がワークＷ内の気圧の安定に悪影響を与えることはな
い。

【００２６】所定時間圧力エアが供給された後に、電磁
開閉弁４０が閉じられて、ワークＷが圧力エアの供給系
から遮断される。同時に、開閉弁１０４も閉じられる。
そして、実施例１と同様にしてワークＷとマスタ９４内
の圧力エアの圧力のバランスがとられた後に、エアパイ
ロット弁８０が閉じられてワークＷとマスタ９４との連
通が遮断され、差圧センサ９２による圧力洩れの測定が
行われる。このように、本実施例においては圧力エアを
導入することによって、ワークＷ内の空気がワークＷか
らエバポレータ１０６内に排出される。これによって、
圧力エアの導入に伴う空気の断熱圧縮が起こらないた
め、圧力エアの導入後の温度変化に起因する圧力変動も
生じない。このようにして、本実施例の圧力洩れ測定装
置１０２においては、特別の排気手段，冷却手段等を用
いることなく、より簡単な構成によって短時間で精密な
圧力洩れの測定を行うことができる。

【００２７】実施例３次に、本発明を具現化した実施例３について、図４を参
照して説明する。図４は本実施例の圧力洩れ測定方法に
用いられる圧力洩れ測定装置１２２の全体構成を示すブ
ロック図である。本実施例は、主として請求項２に記載
された発明に対応するものである。図４に示されるよう
に、本実施例の圧力洩れ測定装置１２２の基本的な構成
は、実施例２とほぼ同様である。実施例２と異なるの
は、開閉弁１０４に、エバポレータ１０６の代わりに排
気消音器１２０が接続されている点である。かかる構造
を有する圧力洩れ測定装置１２２を用いた圧力洩れ測定
においては、マスタ９４への圧力エアの供給が停止され
た後に、電磁開閉弁３０が開かれて、配管６Ｇ，電磁開
閉弁４０，配管６Ｈを通じて、ワークＷ内に所定の測定
圧力の圧力エアが供給される。このとき、同時に開閉弁
１０４が開かれて、ワークＷ内にあった空気が圧力エア
によって配管６Ｊ，６Ｕ，開閉弁１０４を通じて排気消
音器１２０から大気中に押し出される。

【００２８】所定時間圧力エアが供給されると、開閉弁
１０４が閉じられた後に、電磁開閉弁４０が閉じられ
て、ワークＷが圧力エアの供給系から遮断される。そし
て、実施例１，実施例２と同様にしてワークＷとマスタ
９４内の圧力エアの圧力のバランスがとられた後に、エ
アパイロット弁８０が閉じられてワークＷとマスタ９４
との連通が遮断され、差圧センサ９２による圧力洩れの
測定が行われる。このように、本実施例においては圧力
エアを導入することによって、ワークＷ内の空気がワー
クＷから排気消音器１２０を介して大気中に排出され
る。これによって、圧力エアの導入に伴う空気の断熱圧
縮が起こらないため、圧力エアの導入後の温度変化に起
因する圧力変動も生じない。このようにして、本実施例
の圧力洩れ測定装置１２２においては、特別の排気手
段，冷却手段等を用いることなく、より簡単な構成によ
って短時間で精密な圧力洩れの測定を行うことができ
る。

【００２９】実施例４次に、本発明を具現化した実施例４について、図５を参
照して説明する。図５は本実施例の圧力洩れ測定方法に
用いられる圧力洩れ測定装置１４２の全体構成を示すブ
ロック図である。本実施例は、主として請求項３に記載
された発明に対応するものである。図５に示されるよう
に、本実施例の圧力洩れ測定装置１４２の基本的な構成
は、上記の各実施例とほぼ同様である。上記の各実施例
と異なるのは、配管６Ｊに接続されていたエバポレータ
１０６，排気消音器１２０等がない点と、熱交換器２２
の直後の配管６Ｅに配管径を狭めるオリフィス１４０が
設けられている点である。また、これに伴って、圧力セ
ンサ２４の接続位置が配管６Ｅから配管６Ｄに変えられ
ている。

【００３０】かかる構造を有する圧力洩れ測定装置１４
２を用いた圧力洩れ測定においては、マスタ９４への圧
力エアの供給が停止された後に、電磁開閉弁３０が開か
れて、配管６Ｇ，電磁開閉弁４０，配管６Ｈを通じて、
ワークＷ内に所定の測定圧力の圧力エアが供給される。
このとき、オリフィス１４０によって圧力エアの供給量
が制限されるため、ワークＷ内の圧力が急激に高まるこ
とがなく、圧力エアの導入に伴う空気の断熱圧縮が起こ
らないため、圧力エアの導入後の温度変化に起因する圧
力変動も生じない。このようにして、本実施例の圧力洩
れ測定装置１４２においては、上記の各実施例と異な
り、ワークＷ内への圧力エアの供給速度を遅くすること
によって、ワークＷ内部の空気の断熱圧縮に起因する気
圧変動を防止している。これによって、より簡単な構成
で短時間で精密な圧力洩れの測定を行うことができる。

【００３１】上記の各実施例においては、圧力洩れ測定
の方法としてマスタとの差圧を比較する方式を用いてい
るが、差圧比較方式によらず、圧力センサによってワー
クからの圧力洩れに伴う気圧の絶対値の変化を測定する
方式等を用いても良い。また、差圧比較方式としても、
マスタを用いず、配管の一部を密閉してこの密閉配管内
の圧力とワーク内の圧力とを比較する方式を採ることも
できる。さらに、上記の各実施例においては、加圧気体
としてエアコンプレッサ４から供給される圧縮空気を使
用しているが、その他の気体を用いても良い。また、ワ
ークＷの入口側の開閉弁として電磁ソレノイドによって
二つの弁室を交互に配管に接続する電磁開閉弁３０，４
０を使用し、マニホールドユニット９０内の開閉弁とし
てエアパイロット弁６０，７０，８０を使用している
が、開閉弁としてはこの他にも種々の形式の弁を使用す
ることができる。さらに、差圧センサ９２としても、ダ
イヤフラム式，ベローズ式等を始めとして、種々の方式
の差圧検出器を用いることが可能である。圧力洩れ測定
方法のその他の工程の内容や、圧力洩れ測定装置のその
他の部分の構成，材料，機能，数，大きさ，接続関係等
についても、本実施例に限定されるものではない。

【００３２】

【発明の効果】請求項１に係る発明においては、加圧気
体を導入する前に被測定物内を減圧状態にする圧力洩れ
測定方法を創出したために、被測定物内部の空気の断熱
圧縮に起因する気圧変動を防止することによって、短時
間で精密な圧力洩れの測定を行うことができる。これに
よって、高精度の測定を効率良く行うことができる極め
て実用的な圧力洩れ測定方法となる。

【００３３】また、請求項２に係る発明においては、加
圧気体を導入することによって前記被測定物内の空気を
前記被測定物から排出させる圧力洩れ測定方法を創出し
たため、簡単な構成によって短時間で精密な圧力洩れの
測定を行うことができる。これによって、低コストで高
精度の測定を効率良く行うことができる極めて実用的な
圧力洩れ測定方法となる。

【００３４】また、請求項３に係る発明においては、加
圧気体の時間当たり導入量を被測定物内部において空気
の断熱圧縮が起こらない程度まで小さくした圧力洩れ測
定方法を創出したために、簡単な構成によって短時間で
精密な圧力洩れの測定を行うことができる。これによっ
て、低コストで高精度の測定を効率良く行うことができ
る極めて実用的な圧力洩れ測定方法となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る圧力洩れ測定方法の実施例１に用
いられる圧力洩れ測定装置を示すブロック図である。

【図２】圧力洩れ測定方法の実施例１における圧力洩れ
測定の手順を示すチャート図である。

【図３】本発明に係る圧力洩れ測定方法の実施例２に用
いられる圧力洩れ測定装置を示すブロック図である。

【図４】本発明に係る圧力洩れ測定方法の実施例３に用
いられる圧力洩れ測定装置を示すブロック図である。

【図５】本発明に係る圧力洩れ測定方法の実施例４に用
いられる圧力洩れ測定装置を示すブロック図である。

【図６】従来の圧力洩れ測定方法における被測定物内の
断熱圧縮を示す図である。

【図７】従来の圧力洩れ測定方法における被測定物内の
圧力変化を示す図である。

【符号の説明】

２圧力洩れ測定装置Ｗ被測定物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小野田貴愛知県豊田市細谷町５丁目16番地鬼頭工業株式会社内 (72)発明者柘植勝司愛知県刈谷市一ツ木町西新割34−２株式会社フクダ中部営業所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物に一定量の加圧気体を導入した
後に前記被測定物からの圧力洩れを測定する圧力洩れ測
定方法であって、前記加圧気体を導入する前に、前記被測定物内を減圧状
態にすることを特徴とする圧力洩れ測定方法。
【請求項２】被測定物に一定量の加圧気体を導入した
後に前記被測定物からの圧力洩れを測定する圧力洩れ測
定方法であって、前記加圧気体を導入することによって前記被測定物内の
空気を前記被測定物から排出させることを特徴とする圧
力洩れ測定方法。
【請求項３】被測定物に一定量の加圧気体を導入した
後に前記被測定物からの圧力洩れを測定する圧力洩れ測
定方法であって、前記加圧気体の時間当たり導入量を前記被測定物内部に
おいて空気の断熱圧縮が起こらない程度まで小さくした
ことを特徴とする圧力洩れ測定方法。