JP6934099B1 - ガスリーク検知装置、ガスリーク検知の設定方法、ガスリーク検知方法、プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】ガスリーク検知の信頼性を向上させる。【解決手段】本発明のガスリーク検知装置は、定流量制御弁、加圧制御弁、供給側ガス回路、マスタ側ガス回路、ワーク側ガス回路、等圧弁、排気弁、テスト圧センサ、差圧センサを備える。定流量制御弁は、定流量のガスの供給を制御する。加圧制御弁は、テスト圧のガスの供給を制御する。供給側ガス回路は、定流量制御弁と加圧制御弁とに接続される。マスタ側ガス回路には、マスタが接続される。ワーク側ガス回路には、ワークが接続される。等圧弁は、供給側ガス回路とマスタ側ガス回路との間の開閉、および供給側ガス回路とワーク側ガス回路との間の開閉を行う。排気弁は、ワーク側ガス回路と外部との間の開閉を行う。テスト圧センサは、供給側ガス回路内の圧力を検出する。差圧センサは、マスタ側ガス回路とワーク側ガス回路との差圧を検出する。【選択図】図２

Description

本発明は、ガスリーク検知の信頼性を向上させるガスリーク検知装置、ガスリーク検知の設定方法、ガスリーク検知方法、プログラムに関する。

加圧された気体を検査対象ワークに供給することによって検査対象ワークからの気体の漏れの有無を検査する機器として種々のガスリーク検知装置が知られている（特許文献１，非特許文献１参照）。図１を参照して、ガスリーク検知装置９００のアウトラインを説明する。使用する気体の種類に限定は無いが、この例では気体は空気である。したがって、エアリーク検知装置という呼称が適切である。しかし、一般性を喪失しないために、ガスリーク検知装置という呼称を使用する。

ガスリーク検知装置９００は、減圧弁２１０と、圧力センサ２１３と、第１制御弁２２１と、第２制御弁２２３と、第３制御弁２２５と、第１ガス回路２１と、第２ガス回路２２と、第３ガス回路２３と、第４ガス回路２４と、第５ガス回路２５と、第６ガス回路２６と、差圧センサ２５０と、圧力センサ２５３と、処理装置９１０と、サイレンサー４０を含んでいる。第１制御弁２２１は、この例では、一つの吸気ポートと二つの排気ポートを持つノーマリー・クローズの弁である。第２制御弁２２３は、この例では、二つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリー・オープンの弁である。第３制御弁２２５は、この例では、一つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリー・オープンの弁である。弁の制御は公知であるからその説明を省略する。この例では、処理装置９１０が各制御弁を制御する。

ガス供給源２００は、加圧されたガスを第１ガス回路２１の一端に供給する。第１ガス回路２１の他端は、ガスリーク検知装置９００の一次圧力の安定を保つための減圧弁２１０の一端に接続されている。第１ガス回路２１は、例えば金属管である。

減圧弁２１０の他端は第２ガス回路２２の一端に接続しており、第２ガス回路２２の他端は第１制御弁２２１の吸気ポートに接続している。第２ガス回路２２は、例えば金属管である。なお、ガスリーク検知装置９００の一次圧力を測定するための圧力センサ２１３が、第２ガス回路２２に接続されている。圧力センサ２１３の測定値は処理装置９１０に入力される。

第３ガス回路２３の一端は、第１制御弁２２１の一方の排気ポートに接続している。第３ガス回路２３の他端には、検査対象ワーク３２が接続される。第３ガス回路２３は、第１制御弁２２１と検査対象ワーク３２とを連絡する管路の他に二つの管路を持つ。これら二つの管路は、第１制御弁２２１と検査対象ワーク３２とを連絡する管路から分岐している。一方の管路の端部は、差圧センサ２５０の一端に接続している。他方の管路の端部は、第２制御弁２２３の一方の吸気ポートに接続している。このように、第３ガス回路２３は、第１制御弁２２１と第２制御弁２２３と差圧センサ２５０と検査対象ワーク３２とを連絡している。第３ガス回路２３は例えば金属管である。

第４ガス回路２４の一端は、第１制御弁２２１の他方の排気ポートに接続している。第４ガス回路２４の他端には、漏れの無い参照対象物であるマスタ３３が接続される。第４ガス回路２４は、第１制御弁２２１とマスタ３３とを連絡する管路の他に二つの管路を持つ。これら二つの管路は、第１制御弁２２１とマスタ３３とを連絡する管路から分岐している。一方の管路の端部は、差圧センサ２５０の他端に接続している。他方の管路の端部は、第２制御弁２２３の他方の吸気ポートに接続している。このように、第４ガス回路２４は、第１制御弁２２１と第２制御弁２２３と差圧センサ２５０とマスタ３３とを連絡している。第４ガス回路２４は例えば金属管である。差圧センサ２５０の測定値は処理装置９１０に入力される。

第５ガス回路２５の一端は第２制御弁２２３の排気ポートに接続しており、第５ガス回路２５の他端は第３制御弁２２５の吸気ポートに接続している。なお、圧力センサ２５３が、第５ガス回路２５に接続されている。第５ガス回路２５は例えば金属管である。圧力センサ２５３の測定値は処理装置９１０に入力される。

第６ガス回路２６の一端は第３制御弁２２５の排気ポートに接続しており、第６ガス回路２６の他端に、ガスリーク検知装置９００からの排気音を小さくするサイレンサー４０が取り付けられている。

上述の構成によると、第１制御弁２２１が開いた状態のとき、ガス供給源２００と第１ガス回路２１と第２ガス回路２２と第３ガス回路２３と第４ガス回路２４が互いに連絡する。第１制御弁２２１が閉じた状態のとき、第２ガス回路２２と第３ガス回路２３との間の連絡が遮断され、且つ、第２ガス回路２２と第４ガス回路２４との間の連絡が遮断される。つまり、第１制御弁２２１が閉じた状態のとき、ガス供給源２００からのガスは、第３ガス回路２３と第４ガス回路２４に供給されない。

第２制御弁２２３が開いた状態のとき、第３ガス回路２３と第４ガス回路２４と第５ガス回路２５が互いに連絡する。第２制御弁２２３が閉じた状態のとき、第３ガス回路２３と第５ガス回路２５との間の連絡が遮断され、且つ、第４ガス回路２４と第５ガス回路２５との間の連絡が遮断される。

第３制御弁２２５が開いた状態のとき、第５ガス回路２５と第６ガス回路２６が互いに連絡する。第３制御弁２２５が閉じた状態であるとき、第５ガス回路２５と第６ガス回路２６との間の連絡が遮断される。

処理装置９１０はプログラムに従って、第１、第２及び第３の制御弁２２１，２２３，２２５の動作を制御し、圧力センサ２１３によって検出される供給圧と圧力センサ２５３によって検出されるテスト圧を観測し、かつ、所定のタイミングで差圧センサ２５０によって得られた検出差圧に基づいて検査対象ワーク３２からの気体の漏れの有無を判定する。

ガスリーク検知装置９００の動作手順は、次のとおりである。処理装置９１０が何も制御していない状態（初期状態）は、第１制御弁２２１が閉じ、第２制御弁２２３と第３制御弁２２５が開いた状態である。このとき、第３ガス回路２３，第４ガス回路２４，第５ガス回路２５，第６ガス回路２６は、大気圧になる。また、第２ガス回路２２の圧力は、減圧弁２１０によって所定の圧力に設定されている。この状態において、第４ガス回路２４にマスタ３３が接続され、第３ガス回路２３に検査対象ワーク３２が接続される。

処理装置９１０は、第２制御弁２２３を開いた状態にしたまま第３制御弁２２５を閉じた状態にした後で、第１制御弁２２１を予め決められた時間だけ開いた状態にする。この結果、ガス供給源２００の加圧空気が第１ガス回路２１と、第２ガス回路２２と、第３ガス回路２３と、第４ガス回路２４を通してマスタ３３と検査対象ワーク３２に供給される。

次に、処理装置９１０は、第２制御弁２２３と第３制御弁２２５の状態を変更せず、第１制御弁２２１を閉じた状態にし、あらかじめ定めた時間だけ圧力変動の減少を待つ。この間に圧力センサ２５３が圧力降下を検出した場合、処理装置９１０は「検査対象ワーク３２はリークを有する」と判定する。

この工程に続いて、処理装置９１０は、第１制御弁２２１と第３制御弁２２５を閉じた状態にしたまま、第２制御弁２２３を閉じた状態にする。処理装置９１０は差圧センサ２５０が検出する差圧を観測する。検査対象ワーク３２に穴が開いていれば、検査対象ワーク３２から空気が漏れて、第３ガス回路２３の圧力と第４ガス回路２４の圧力との間に圧力差が生じる。つまり、第３ガス回路２３の圧力が第４ガス回路２４の圧力より低くなる。したがって、第２制御弁２２３を閉じてからあらかじめ定めた時間が経過した後に、差圧センサ２５０が、あらかじめ定めた第１基準値より大きな差圧を検出した場合は、処理装置９１０は「検査対象ワーク３２はリークを有する」と判定し、テストを終了する。あらかじめ定めた時間が経過した後に第１基準値より大きな差圧が検出されなかった場合には、処理装置９１０は、その時点で差圧センサ２５０の検出出力を０にリセットし、圧力検出レンジを感度の高いレンジに切り替えて差圧検出を続行する。処理装置９１０は、あらかじめ定めた時間が経過した後に、検出差圧が第２基準値以下であれば「検査対象ワーク３２には漏れが無い」と判定し、第２基準値より大であれば「検査対象ワーク３２はリークを有する」と判定し、検査を終了する。

国際公開第２０１４／１８４８９５号パンフレット

総合カタログ、株式会社コスモ計器、［令和２年８月２８日検索］、インターネット〈https://www.cosmo-k.co.jp/document-download/〉．

何らかの異常が生じているガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知の結果は、信頼できない。また、検査対象ワークをガスリーク検知装置に取り付けるために、シーリングと接続の両方を同時に達成するクランプが使用されるので、ガスリーク検知装置が正常に機能しているとしても、クランプに何らかの異常がある場合のガスリーク検知の結果も、信頼できない。また、ある検査対象ワークの内容積が他の検査対象ワークの内容積と異なる場合も、漏れ検出感度が変化するので、信頼性が低下する。

ガスリーク検知の信頼性を検証するために、例えば、精確な微少漏れ発生器をガスリーク検知装置に取り付けたときの漏れ検出感度を測定することが行われている。しかし、この検証は実質的にガスリーク検知であるので、通常のガスリーク検知と同じ程度の時間がかかる。さらに、厳密に言えば検査対象ワークのガスリーク検知を実際に行う環境での検証ではない。このため、このような検証は、多数回のガスリーク検知ごとに実行されるのが通例である。したがって、検証によって何らかの異常の存在が判明した場合、前回の検証から今回の検証までに実施された全てのガスリーク検知の信頼性が損なわれる。

このような問題に鑑みて、本発明は、ガスリーク検知の信頼性を向上させる技術を提供することを目的とする。

本発明のガスリーク検知装置は、定流量制御弁、加圧制御弁、供給側ガス回路、マスタ側ガス回路、ワーク側ガス回路、等圧弁、排気弁、テスト圧センサ、差圧センサを備える。定流量制御弁は、定流量のガスの供給を制御する。加圧制御弁は、テスト圧のガスの供給を制御する。供給側ガス回路は、定流量制御弁と加圧制御弁とに接続される。マスタ側ガス回路には、マスタが接続される。ワーク側ガス回路には、ワークが接続される。等圧弁は、供給側ガス回路とマスタ側ガス回路との間の開閉、および供給側ガス回路とワーク側ガス回路との間の開閉を行う。排気弁は、ワーク側ガス回路と外部との間の開閉を行う。テスト圧センサは、供給側ガス回路内の圧力を検出する。差圧センサは、マスタ側ガス回路とワーク側ガス回路との差圧を検出する。

本発明のガスリーク検知方法は、上述のガスリーク検知装置を用いる。あらかじめ、良品ワークをワーク側ガス回路に取り付け、等圧弁を開き、前記排気弁を閉じた状態で、第１所定時間だけ定流量制御弁を開いてガスを供給することによって求めた等価内容積を大リーク用基準容積とする。そして、検査対象ワークをワーク側ガス回路に接続しておく。ガスリーク検知方法は、第１リーク検知ステップ、第２リーク検知ステップ、第３リーク検知ステップ、差圧センサ感度確認ステップを実行する。第１リーク検知ステップでは、等圧弁を開き、排気弁を閉じた状態で、定流量制御弁を第１所定時間だけ開いてガスを供給して閉じ、テスト圧センサで圧力を検出し、検出した圧力に基づいて求めた等価内容積を、大リーク用基準容積と比較することでリークの有無を検知する。第２リーク検知ステップでは、等圧弁を開き、排気弁を閉じた状態で、加圧制御弁を第２所定時間だけ開いてガスを供給して閉じ、テスト圧センサで圧力を検出し、検出した圧力の変化があらかじめ定めた正常の範囲かを確認することでリークの有無を検知する。第３リーク検知ステップでは、第２リーク検知ステップ終了後に、等圧弁を閉じ、あらかじめ定めた時間前記差圧センサで圧力差を検出し、検出した圧力差を確認して、リークの有無を検知する。差圧センサ感度確認ステップでは、等圧弁を開き、排気弁を開き、定流量制御弁を開いてガスを供給した状態で、差圧センサで検出した圧力差が正常な範囲かを確認する。

本発明のガスリーク検知装置およびガスリーク検知方法によれば、検査対象ワークをガスリーク検知装置に取り付けた状態でガスリーク検知装置を検査できるので、ガスリーク検知の信頼性を向上できる。

従来のガスリーク検知装置の機能構成例を示す図。 実施例１のガスリーク検知装置の機能構成例を示す図。 定流量制御弁を用いた処理のときの実施例１のガスリーク検知装置のガス回路の状態を示す図。 ガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知の設定方法の処理フローを示す図。 ガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知方法の処理フローを示す第１の図。 実施例１のガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知方法の処理フローを示す第２の図。 等圧弁と排気弁を閉じたときの実施例１のガスリーク検知装置のガス回路の状態を示す図。 等圧弁と排気弁を開き、定流量制御弁を開いたときの実施例１のガスリーク検知装置のガス回路の状態を示す図。 定流量制御弁、等圧弁の制御弁、排気弁の制御弁、差圧センサによって形成されるガス回路の等価回路を示す図。 パイプ内径φ0.5のソニックノズルの場合の一次圧（ゲージ圧）と差圧の例を示す図。 変形例１のガスリーク検知装置の機能構成例を示す図。 定流量制御弁を用いた処理のときの変形例１のガスリーク検知装置のガス回路の状態を示す図。 等圧弁と排気弁を閉じたときの変形例１のガスリーク検知装置のガス回路の状態を示す図。 等圧弁を開き、マスタ側ガス回路と外部との間を閉に保った状態でワーク側ガス回路と外部との間を開にし、定流量制御弁を開いたときの変形例１のガスリーク検知装置の状態を示す図。 変形例１のガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知方法の処理フローを示す第２の図。 コンピュータの機能構成例を示す図。

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。なお、同じ機能を有する構成部には同じ番号を付し、重複説明を省略する。説明では、防塵用フィルタ、オートリークキャリブレーター（差圧変化を漏れ流量変化に変換するための装置）など、実際には使用されるが実施例の説明と理解において非本質的な構成要素を省略している。例えば、説明で使用している「接続」との用語は、当該「接続」との用語に係る構成要素が直接的に（換言すれば、他の構成要素を介さずに）接続されていることに限定する意味ではなく、実際の必要に応じて、当該「接続」との用語に係る構成要素が間接的に（換言すれば、他の構成要素を介して）接続されている場合も許容することを含意する。

＜ガスリーク検知装置の構成＞
図２に、実施例１のガスリーク検知装置の機能構成例を示す。ガスリーク検知装置１００は、テスト圧調圧弁３１１、一次圧調圧弁３１２、一次圧圧力センサ３１３、テスト圧センサ３５３、差圧センサ２５０、定流量制御弁３２６、加圧制御弁３２１、等圧弁３２５、排気弁３２９、供給源ガス回路７１、加圧ガス回路７２、ワーク側ガス回路７３、マスタ側ガス回路７４、供給側ガス回路７５、排気ガス回路７６、一次圧ガス回路７７、サイレンサー４０、処理装置１１０を含む。供給源ガス回路７１、加圧ガス回路７２、ワーク側ガス回路７３、マスタ側ガス回路７４、供給側ガス回路７５、排気ガス回路７６、一次圧ガス回路７７には、金属管を用いればよい。

供給源ガス回路７１は、加圧されたガスを供給するガス供給源２００、テスト圧調圧弁３１１の吸気ポート、一次圧調圧弁３１２の吸気ポートに接続される。供給源ガス回路７１は、加圧されたガスをテスト圧調圧弁３１１と一次圧調圧弁３１２に供給する役割を果たす。加圧ガス回路７２は、テスト圧調圧弁３１１の排気ポート、加圧制御弁３２１の吸気ポートに接続される。テスト圧調圧弁３１１は、ガス供給源２００から供給されたガスを、テスト用の圧力に調圧し、加圧ガス回路７２に供給する。一次圧ガス回路７７は、一次圧調圧弁３１２の排気ポート、定流量制御弁３２６の吸気ポートに接続される。一次圧調圧弁３１２は、定流量制御弁３２６から定流量のガスが供給できるようにガスの圧力を調整する。一次圧圧力センサ３１３は、一次圧ガス回路７７のガスの圧力を検出する。

供給側ガス回路７５は、定流量制御弁３２６の排気ポート、加圧制御弁３２１の排気ポート、等圧弁３２５の吸気ポートに接続される。なお、供給側ガス回路７５内の定流量制御弁３２６の排気ポート付近に逆流防止弁３３０を備えてもよい。テスト圧センサ３５３は、供給側ガス回路７５内の圧力を検出する。マスタ側ガス回路７４は、等圧弁３２５の排気ポート、マスタ３３に接続される。ワーク側ガス回路７３は、等圧弁３２５の排気ポート、排気弁３２９の吸気ポート、検査対象ワーク３２に接続される。排気ガス回路７６は、排気弁３２９の排気ポートとサイレンサー４０に接続される。サイレンサー４０は、排気音を小さくする。

加圧制御弁３２１は、供給側ガス回路７５へのテスト圧のガスの供給を制御する。等圧弁３２５は、制御弁３２３と制御弁３２４を有する。制御弁３２３は、供給側ガス回路７５とワーク側ガス回路７３との間の開閉を行う。制御弁３２４は、供給側ガス回路７５とマスタ側ガス回路７４との間の開閉を行う。制御弁３２３と制御弁３２４は、ノーマリー・クローズである。制御弁３２３と制御弁３２４には、空気作動弁でも電磁弁でも用いることはできるが、空気作動弁を用いた方が好ましい。排気弁３２９は、制御弁３２７を有する。制御弁３２７は、ワーク側ガス回路７３と外部との間の開閉を行う。制御弁３２７は、ノーマリー・オープンである。制御弁３２７には、空気作動弁でも電磁弁でも用いることはできるが、テスト圧と大気圧の差圧が加わる弁なので空気作動弁を用いた方が好ましい。差圧センサ２５０は、マスタ側ガス回路７４とワーク側ガス回路７３との差圧を検出する。逆流防止弁３３０は、テスト圧を一次圧よりも高くする場合に逆流を防ぐための弁であり、電磁弁を用いればよい。また、テスト圧が一次圧よりも常に低いのであれば逆流防止弁３３０は不要である。

処理装置１１０には、一次圧圧力センサ３１３、テスト圧センサ３５３、差圧センサ２５０が検出した圧力が入力される。そして、処理装置１１０は、定流量制御弁３２６、加圧制御弁３２１、等圧弁３２５、排気弁３２９、逆流防止弁３３０を制御する。

＜ガスリーク検知装置の検査の原理＞
定流量制御弁３２６は、定流量のガスの供給を制御する。定流量制御弁３２６は、例えば、電磁弁３２２と定流量ガス回路７８とソニックノズル３８０で構成すればよい。ソニックノズル３８０（臨界ノズル、音速ノズルなどとも呼称される）の一例として、特許文献１に開示された臨界ノズル（ネジ式パイプ）を挙げることができる。ソニックノズル３８０は、一次圧力（絶対圧ｐ₁）と二次圧力（絶対圧ｐ₂）の比が臨界値以下であるとき、ソニックノズル３８０を流れるガスの速さが音速になる特徴を持つ。例えば、パイプ内径φ0.5のネジ式パイプの臨界値は約0.481であり、この条件下でソニックノズル３８０は定流量のガスを吐出する。数式で表現すると、式（１）の関係のときに定流量になる。具体例として、一次圧力ｐ_１が400kPa（ゲージ圧300kPa）のとき、192kPa（ゲージ圧92kPa）以下の二次圧力ｐ_２において、ソニックノズル３８０は定流量のガスを吐出する。また、パイプ内径φ0.5のソニックノズル３８０によるとソニックノズル３８０の標準大気圧に換算された流量Ｑは10L/minである。このように、ソニックノズル３８０について、一次圧力（絶対圧ｐ₁）における標準大気圧に換算された流量Ｑは既知である。

ソニックノズル３８０の流量は一次圧力に比例する。一次圧力（絶対圧）がｐ_xである場合の流量Ｑは、式（２）によって計算できる。式（２）は、ｐ_x=ｐ₁の場合にも成立する。式（２）の矢印は、右辺のＱの値が、左辺のＱの値に変更されることを意味している。

上述のとおりソニックノズル３８０の一次圧力（絶対圧ｐ_x）が決まるとソニックノズル３８０の標準大気圧に換算された流量Ｑ[L/min]も決まるので、ソニックノズル３８０によって供給される標準大気圧に換算されたガスの体積Ｖ_T[L]は式（３）で計算される。Ｔ[s]は、ガス供給時間、つまり、ソニックノズル３８０が作動している時間である。ガスリーク検知装置１００は異常の有無を検査するので、ガス供給時間Ｔ[s]として0.01s〜1s程度の短時間が想定される。

図３に、定流量制御弁３２６を用いた処理のときのガスリーク検知装置１００のガス回路の状態を示す。この状態は、等圧弁３２５は開き、排気弁３２９は閉じた状態である。この状態では、ワーク側ガス回路７３、マスタ側ガス回路７４、供給側ガス回路７５で、閉じられたガス回路８０が形成されている。閉じられたガス回路８０の体積をＶ_E[L]とし、標準大気圧値をＰ₀とし、閉じられたガス回路８０にソニックノズル３８０によって標準大気圧に換算された体積Ｖ_T[L]のガスを供給した後の閉じられたガス回路８０における圧力値をＰ_Aとしたとき、式（４）が成立する。閉じられたガス回路８０の体積Ｖ_Eは、ガスリーク検知装置１００に取り付けられた物（つまり良品ワークあるいは検査対象ワーク３２）と差圧センサ２５０のそれぞれの内圧による容積変化を含む体積であり、当業者によって例えば閉じられたガス回路８０の「等価内容積」などと呼称される。Ｐ_A≠Ｐ₀の場合、式（５）が成立する。Ｐ_A=Ｐ₀の場合は、ソニックノズル３８０によって供給されたガスのほぼ全部がガス回路８０から漏れていることを意味し、ガス回路８０に亀裂等の不具合があることがわかる。

したがって、良品ワークを用いることによって形成された閉じられたガス回路８０にソニックノズル３８０を経由して体積Ｖ_Tのガスが供給された後の閉じられたガス回路８０における圧力値Ｐ_G（絶対圧）と、検査対象ワーク３２を用いることによって形成された閉じられたガス回路８０にソニックノズル３８０を経由して体積Ｖ_Tのガスが供給された後の閉じられたガス回路８０における圧力値Ｐ_T（絶対圧）とを比較することによって、ガスリーク検知装置１００の感度異常の有無を検査できる。当該圧力値Ｐ_G（絶対圧）と当該圧力値Ｐ_T（絶対圧）との差異が大きいならば、ガスリーク検知装置１００の異常を認めることができる。この異常は、例えば、ガス回路８０に生じた亀裂、良品ワークの容積と異なる検査対象ワーク３２の容積、検査対象ワーク３２の大きな漏れ、クランプの不具合、などに由来するであろう。

体積Ｖ_T[L]は、ガス供給時間Ｔ[s]によって制御される。ガス供給時間Ｔ[s]は、例えば、所定の圧力変化ΔＰ=Ｐ_A-Ｐ₀を発生させるために式（３）から予め計算された値として、あるいは、圧力変化ΔＰを発生させたときの実際のガス供給時間として定められる。

本発明では、ガス供給時間Ｔ[s]が0.01s〜1s程度の短時間であり、かつ、ソニックノズル３８０によって供給されるガスの圧力は閉じられたガス回路８０内を音速で伝播するので、閉じられたガス回路８０内の圧力は短時間で安定する。また、ソニックノズル３８０によって供給されるガスの体積Ｖ_T[L]と比較して閉じられたガス回路８０の体積Ｖ_Eが十分に大きい場合、ガスが供給されることによる断熱変化の影響は極めて小さいと言える。クランプを用いて検査対象ワーク３２をガスリーク検知装置１００に取り付けることによって検査対象ワーク３２の変形が生じるとしても、この変形は、通常、短時間で安定する。したがって、ガスリーク検知装置１００の異常の有無を検査するために必要な時間は、検査対象ワーク３２のガスリーク検知に必要な時間よりも、十分に短い。

＜ガスリーク検知方法＞
図４に、ガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知の設定方法の処理フローを示す。図５と図６に、ガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知方法の処理フローを示す。ガスリーク検知装置１００を用いたガスリーク検知の設定方法は、まず、良品ワークをワーク側ガス回路７３に接続し、処理装置１１０が以下のように実行する。等圧弁３２５を開き、排気弁３２９を閉じた状態とする。そして、処理装置１１０は、第１所定時間Ｔ_１だけ定流量制御弁３２６を開いてガスを供給したときのテスト圧センサ３５３で検出する圧力にしたがって等価内容積を求め、大リーク用基準容積とする。また、処理装置１１０は、供給側ガス回路７５とマスタ側ガス回路７４の設計寸法などを用いて、大リーク用基準容積から良品ワークが接続されているワーク側ガス回路７３の等価内容積を求め、ワーク側基準容積とする。

より詳細には、ワークの品質検査に求められるテスト圧を考慮して、圧力のしきい値を決定する（Ｓ１１０）。このしきい値は、等価内容積を確認するためのしきい値であり、テスト圧よりは低い圧力に適宜決定すればよい。ワーク側ガス回路７３に、良質ワークを接続する。「良品ワーク」とは、検査対象ワークと同じ種類のワークであって、リークが生じるような穴のないワークを意味している。そして、処理装置１１０が、等圧弁３２５を開き、良品ワークが接続されているワーク側ガス回路７３、マスタ側ガス回路７４、供給側ガス回路７５を大気圧にした後、排気弁３２９を閉じる（Ｓ１２０）。なお、逆流防止弁３３０を備えている場合は、逆流防止弁３３０は開いた状態にする。ステップＳ１２０の処理が終了すると、大気圧の閉じられたガス回路８０が形成されている（図３の状態になる）。処理装置１１０は、第１所定時間Ｔ_１だけ定流量制御弁３２６を開いてガスを供給する（Ｓ１３０）。第１所定時間Ｔ_１の初期値は、例えば、電磁弁３２２の最小応答時間とすればよい。処理装置１１０は、テスト圧センサ３５３が検知した圧力が、ステップＳ１１０で決定したしきい値を超えているかを確認する（Ｓ１４０）。

ステップＳ１４０がＮｏの場合、処理装置１１０は、テスト圧センサ３５３が検知した圧力に基づいて、しきい値を超えるために必要な第１所定時間Ｔ_１を計算し、修正する（Ｓ１５０）。処理装置１１０は、排気弁３２９を開き、良品ワークが接続されているワーク側ガス回路７３とマスタ側ガス回路７４と供給側ガス回路７５を大気圧にした後、排気弁３２９を閉じる（Ｓ１６０）。ステップＳ１６０の処理で、ステップＳ１２０が終了したときと同じ状態になる。そして、ステップＳ１３０を修正した第１所定時間Ｔ_１で行い、ステップＳ１４０を繰り返す。ステップＳ１５０で計算した第１所定時間Ｔ_１にしたがって実行しているので、通常は２回目のステップＳ１４０はＹｅｓとなる。仮にＮｏとなった場合は、ステップＳ１５０，Ｓ１６０，Ｓ１３０，Ｓ１４０を繰り返せばよい。

ステップＳ１４０がＹｅｓの場合、処理装置１１０は、時間Ｔ_１とテスト圧センサ３５３が検出した圧力から、良品ワークが接続されているワーク側ガス回路７３とマスタ側ガス回路７４と供給側ガス回路７５で形成された閉じられたガス回路８０の等価内容積を算出し、大リーク用基準容積として記録しておく（Ｓ１７０）。また、マスタ側ガス回路７４、供給側ガス回路７５、等圧弁３２５の内容積は既知なので、処理装置１１０は、閉じられたガス回路８０の等価内容積からマスタ側ガス回路７４、供給側ガス回路７５、等圧弁３２５の容積を考慮して、良品ワークが取り付けられたワーク側ガス回路７３の等価内容積を求め、ワーク側基準容積として記録しておく（Ｓ１８０）。より具体的には、等圧弁３２５内の容積も考慮した上で、マスタ側ガス回路７４と供給側ガス回路７５の設計寸法などからマスタ側ガス回路７４の容積と供給側ガス回路７５の容積を求め、
ワーク側基準容積
＝大リーク用基準容積−（マスタ側ガス回路７４の容積＋供給側ガス回路７５の容積）
のようにワーク側基準容積を求めればよい。

図４を用いて説明したように、処理装置１１０は、あらかじめ大リーク用基準容積とワーク側基準容積とを設定しておく。そして、検査対象ワークをワーク側ガス回路７３に接続しておく。図５と図６で示すガスリーク検知方法では、処理装置１１０が、第１リーク検知ステップ（Ｓ２１０，Ｓ２２０，Ｓ２３０，Ｓ２４０）、第２リーク検知ステップ（Ｓ２５０，Ｓ２６０，Ｓ２７０）、第３リーク検知ステップ（Ｓ２８０，Ｓ２９０）、差圧センサ感度確認ステップ（Ｓ３００，Ｓ３１０）を実行する。その後、処理装置１１０は、定流量制御弁３２６を閉じ、等圧弁３２５と排気弁３２９を開き、ワーク側ガス回路７３、マスタ側ガス回路７４、供給側ガス回路７５の圧力を大気圧にする（Ｓ３２０）。排気弁３２９（制御弁３２７）はノーマリー・オープンなので、処理装置１１０が排気弁３２９の制御をやめれば、排気弁３２９はステップＳ３２０の状態になる。そして、処理装置１１０は、等圧弁３２５を閉じる（Ｓ３３０）。等圧弁３２５（制御弁３２３と制御弁３２４）はノーマリー・クローズなので、処理装置１１０が等圧弁３２５の制御をやめれば、等圧弁３２５はステップＳ３３０の状態になる。つまり、処理装置１１０がガスリーク検知装置１００への制御をやめるとステップＳ３３０の状態になる。

第１リーク検知ステップでは、まず、検査対象ワーク３２をワーク側ガス回路７３に接続する。処理装置１１０は、等圧弁３２５を開き、ワーク側ガス回路７３とマスタ側ガス回路７４と供給側ガス回路７５を大気圧にした後、排気弁３２９を閉じた状態にする（Ｓ２１０）。なお、逆流防止弁３３０を備えている場合は、逆流防止弁３３０は開いた状態にする。処理装置１１０は、定流量制御弁３２６を第１所定時間Ｔ_１だけ開いてガスを供給して閉じる（Ｓ２２０）。処理装置１１０は、テスト圧センサ３５３で圧力を検出し、検出した圧力に基づいて等価内容積を求める（Ｓ２３０）。処理装置１１０は、検出した圧力に基づいて求めた等価内容積を、大リーク用基準容積と比較することでリークの有無を検知する（Ｓ２４０）。ガスリーク検知装置１００自体と検査対象ワークを取り付けた部分に何らかの大きな漏れがあれば検出した圧力は低くなり、求めた等価内容積が大リーク用基準容積よりも大きくなる。また、検査対象ワークの内容積が良品ワークや他の検査対象ワークの内容量とあらかじめ定めた許容範囲以上異なると、求めた等価内容積と大リーク用基準容積との比が、あらかじめ定めた許容範囲に対応する比の範囲外になる。ステップＳ２４０では、求めた等価内容積と大リーク用基準容積との比の許容範囲を定めてリークの有無を検知すれば、ガスリーク検知装置１００自体と検査対象ワークを取り付けた部分からのリークだけでなく、検査対象ワークの内容積の異常も、検査対象ワークを接続するたびに検知できる。

第２リーク検知ステップでは、処理装置１１０は、等圧弁３２５を開き、排気弁３２９を閉じた状態で、加圧制御弁３２１を第２所定時間Ｔ_２だけ開いてガスを供給して閉じる（Ｓ２５０）。また、逆流防止弁３３０を備えている場合は、ステップＳ２５０の加圧制御弁３２１を開く前に逆流防止弁３３０を閉じておけばよい。第２所定時間Ｔ_２は、検査対象ワーク３２およびガスリーク検知装置１００に大きな異常がなければ、この処理によって、ワーク側ガス回路７３、マスタ側ガス回路７４、供給側ガス回路７５の圧力がテスト圧になるように定めればよい。処理装置１１０は、テスト圧センサ３５３で圧力を検出し、検出した圧力の変化を確認する（Ｓ２６０）。処理装置１１０は、圧力の変化があらかじめ定めた正常の範囲かを確認することでリークの有無を検知する（Ｓ２７０）。通常、加圧制御弁３２１を開いてワーク側ガス回路７３、マスタ側ガス回路７４、供給側ガス回路７５の圧力をテスト圧まで上昇させると、気体の断熱変化により温度が上昇する。そして、その後は、温度は下がっていく。ステップＳ２７０では、温度が下がることによる圧力の低下を考慮してリークの有無を検知する。

第３リーク検知ステップでは、処理装置１１０は、第２リーク検知ステップ終了後に、等圧弁３２５を閉じる（Ｓ２８０）。ステップＳ２８０を行うと、図７に示した状態になる。図７は、等圧弁３２５と排気弁３２９を閉じたときのガス回路の状態を示す図である。検査対象ワーク３２が接続されているワーク側ガス回路７３が閉じられたガス回路８１であり、マスタ側ガス回路７４が閉じられたガス回路８２である。処理装置１１０は、等圧弁３２５を閉じ、排気弁３２９を閉じた状態で、所定の時間、差圧センサ２５０で圧力差を検出し、検出した圧力差を確認する（Ｓ２９０）。所定の時間は、ワーク側ガス回路７３の気体の温度がリークを確認するために十分な程度安定するまでの時間とすればよい。また、確認の際には、処理装置１１０は設定しているワーク側基準容積も考慮すればよい。より具体的には、ステップＳ２９０において差圧センサ２５０で検出した圧力差の変化をワーク側ガス回路７３の圧力変化と仮定し、仮に温度が一定としたときの仮想の漏れ流量を、ワーク側基準容積を用いて求めＱ_２[L/min]とする。処理装置１１０は、仮想の漏れ流量であるＱ_２に基づいてリークの有無を検知すればよい。

差圧センサ感度確認ステップでは、処理装置１１０は、等圧弁３２５を開き、排気弁３２９を開き、定流量制御弁３２６を開いてガスを供給した状態にする（Ｓ３００）。なお、逆流防止弁３３０を備えている場合は、逆流防止弁３３０は開いた状態にする。図８は、等圧弁３２５を開き、排気弁３２９を開き、定流量制御弁３２６を開いた状態を示す図である。図９は、定流量制御弁３２６、等圧弁３２５の制御弁３２３、排気弁３２９の制御弁３２７、差圧センサ２５０によって形成されるガス回路の等価回路を示す図である。定流量制御弁３２６からは定流量Ｉのガスが流れる。マスタ側ガス回路７４側には排気弁がないので、マスタ側ガス回路７４の圧力は供給側ガス回路７５と同じである。そのため、図９では制御弁３２４は省略している。定流量Ｉのガスは、制御弁３２３，３２７を通過して排気ガス回路７６から排気される。ワーク側ガス回路７３の圧力は、制御弁３２３の抵抗による影響を受け、Ｖ（＝Ｉ×Ｒ_１）だけ供給側ガス回路７５よりも低くなる。処理装置１１０は、差圧センサ２５０で検知する差圧がＶと一致、もしくはＶとの誤差が許容範囲内であれば、差圧センサ２５０は正常と判断する（Ｓ３１０）。それ以外の場合は、処理装置１１０は、差圧センサ２５０は正常でないと判断する。図１０はパイプ内径φ0.5のソニックノズルの場合の一次圧（ゲージ圧）と差圧の例を示している。なお、一次圧と差圧の関係は、制御弁３２３にも依存することを注意されたい。したがって、ガスリーク検知装置１００は、毎回のガスリーク検知の際に差圧センサ２５０の感度が正常であることも確認できる。その後は、処理装置１１０は、上述のようにステップＳ３２０，Ｓ３３０を実行する。

実施例１のガスリーク検知装置およびガスリーク検知方法によれば、検査対象ワークをガスリーク検知装置に接続した状態で、短時間でガスリーク検知装置を検査できるので、検査対象ワークを取り付けるたびに、毎回、リークテスト系（ガスリーク検知装置自体と検査対象ワークを取り付けた部分）の検査ができる。したがって、多数回の検査対象ワークの検査に対して１回行っていた従来のガスリーク検知装置の検査に比べ、ガスリーク検知の信頼性を向上できる。また、良品ワークを利用して求めた等価内容積を大リーク用基準容積とするので、ある検査対象ワークの内容積が良品の検査対象ワークと異なる場合を検知できる。さらに、実施例１のガスリーク検知の設定方法によれば、上述のガスリーク検知方法を実行できる環境を設定できる。

なお、上述の実施例１では検査対象ワークの内側にガスを供給することによって漏れ検査をする内圧式ガスリーク検知を説明したが、本発明は検査対象ワークの外側にガスを供給することによって漏れ検査をする外圧式ガスリーク検知にも適用され得る。外圧式ガスリーク検知の場合、ワーク側ガス回路７３に接続されたチャンバーの中に良品ワークまたは検査対象ワーク３２が収容される。
［変形例１］

実施例１では、排気弁３２９は、ワーク側ガス回路７３と外部との間の開閉を行う制御弁３２７のみを有していた。変形例１では、排気弁３２９’は、マスタ側ガス回路７４’と外部との間の開閉を行う制御弁３２８も備える。図１１に、変形例１のガスリーク検知装置の機能構成例を示す。ガスリーク検知装置１０１は、テスト圧調圧弁３１１、一次圧調圧弁３１２、一次圧圧力センサ３１３、テスト圧センサ３５３、差圧センサ２５０、定流量制御弁３２６、加圧制御弁３２１、等圧弁３２５、排気弁３２９’、供給源ガス回路７１、加圧ガス回路７２、ワーク側ガス回路７３、マスタ側ガス回路７４’、供給側ガス回路７５、排気ガス回路７６’、一次圧ガス回路７７、サイレンサー４０、処理装置１１１を含む。また、逆流防止弁３３０も備えてもよい。ガスリーク検知装置１０１が、ガスリーク検知装置１００と構成として異なる点は、排気弁３２９’が制御弁３２８も備える点、マスタ側ガス回路７４’が排気弁３２９’にも接続される点、排気ガス回路７６’が制御弁３２８にも接続される点、処理装置１１１が制御弁３２８の制御も行う点である。

図１２に、定流量制御弁３２６を用いた処理のときのガスリーク検知装置１０１のガス回路の状態を示す。この状態は、等圧弁３２５は開き、排気弁３２９’は閉じた状態である。この状態では、ガス回路８０’が形成される。図１２は、実施例１の図３に相当する。相違点は、処理装置１１１が制御弁３２８の制御も行っていることである。図１３は、等圧弁３２５と排気弁３２９’を閉じたときのガス回路の状態を示す図である。この状態では、ガス回路８１とガス回路８２’が形成される。図１３は、実施例１の図７に相当する。相違点は、処理装置１１１が制御弁３２８の制御も行っていることである。図１４は、等圧弁３２５を開き、排気弁３２９’の制御弁３２８は閉じた状態で制御弁３２７を開き、定流量制御弁３２６を開いた状態を示す図である。つまり、排気弁３２９’は、マスタ側ガス回路７４’と外部との間を閉に保った状態でワーク側ガス回路７３と外部との間の開閉を行うことができる。図１４は、実施例１の図８に相当する。図１４の場合も、図９に示した等価回路が形成される。よって、実施例１と同じように差圧センサ２５０が正常であるか否かを確認できる。

ガスリーク検知装置１０１を用いたガスリーク検知の設定方法の処理フローは図４と同じである。ガスリーク検知装置１０１を用いたガスリーク検知方法の処理フローの図５の部分は実施例１と同じである。図４，５に示した処理フローでは、制御弁３２８は制御弁３２７と同じように制御される。図１５にガスリーク検知装置１０１を用いたガスリーク検知方法の処理フロー（図５）の続きを示す。図１５は、実施例１の図６に相当する。ステップＳ３０１では、図１４に示したように、等圧弁３２５を開き、排気弁３２９’の制御弁３２８は閉じた状態で制御弁３２７を開いた状態にする。そして、定流量制御弁３２６を開く。なお、図４，５，１５に示した処理のステップＳ３０１以外では、排気弁３２９を閉じるときは、制御弁３２７と制御弁３２８の両方を閉じ、排気弁３２９を開くときは、制御弁３２７と制御弁３２８の両方を開けばよい。

変形例１のガスリーク検知装置およびガスリーク検知方法によれば、実施例１と同じように、検査対象ワークをガスリーク検知装置に接続した状態で、短時間でガスリーク検知装置を検査できるので、検査対象ワークを取り付けるたびに、毎回、リークテスト系（ガスリーク検知装置自体と検査対象ワークを取り付けた部分）の検査ができる。したがって、多数回の検査対象ワークの検査に対して１回行っていた従来のガスリーク検知装置の検査に比べ、ガスリーク検知の信頼性を向上できる。また、良品ワークを利用して求めた等価内容積を大リーク用基準容積とするので、ある検査対象ワークの内容積が良品の検査対象ワークと異なる場合を検知できる。さらに、変形例１のガスリーク検知の設定方法によれば、上述のガスリーク検知方法を実行できる環境を設定できる。

変形例１でも検査対象ワークの内側にガスを供給することによって漏れ検査をする内圧式ガスリーク検知を説明したが、検査対象ワークの外側にガスを供給することによって漏れ検査をする外圧式ガスリーク検知にも適用され得る。外圧式ガスリーク検知の場合、ワーク側ガス回路７３に接続されたチャンバーの中に良品ワークまたは検査対象ワーク３２が収容される。

［プログラム、記録媒体］
上述の処理装置１１０が実施する処理は、図１６に示すコンピュータ２０００の記録部２０２０に、各ステップを実行させるプログラムを読み込ませ、制御部２０１０、入力部２０３０、出力部２０４０、表示部２０５０などに動作させることで実施できる。

この処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、例えば、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリ等どのようなものでもよい。

また、このプログラムの流通は、例えば、そのプログラムを記録したＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬型記録媒体を販売、譲渡、貸与等することによって行う。さらに、このプログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することにより、このプログラムを流通させる構成としてもよい。

このようなプログラムを実行するコンピュータは、例えば、まず、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、一旦、自己の記憶装置に格納する。そして、処理の実行時、このコンピュータは、自己の記録媒体に格納されたプログラムを読み取り、読み取ったプログラムに従った処理を実行する。また、このプログラムの別の実行形態として、コンピュータが可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することとしてもよく、さらに、このコンピュータにサーバコンピュータからプログラムが転送されるたびに、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することとしてもよい。また、サーバコンピュータから、このコンピュータへのプログラムの転送は行わず、その実行指示と結果取得のみによって処理機能を実現する、いわゆるＡＳＰ（Application Service Provider）型のサービスによって、上述の処理を実行する構成としてもよい。なお、本形態におけるプログラムには、電子計算機による処理の用に供する情報であってプログラムに準ずるもの（コンピュータに対する直接の指令ではないがコンピュータの処理を規定する性質を有するデータ等）を含むものとする。

また、この形態では、コンピュータ上で所定のプログラムを実行させることにより、本装置を構成することとしたが、これらの処理内容の少なくとも一部をハードウェア的に実現することとしてもよい。

３２ 検査対象ワーク ３３ マスタ
４０ サイレンサー ７１ 供給源ガス回路
７２ 加圧ガス回路 ７３ ワーク側ガス回路
７４，７４’ マスタ側ガス回路 ７５ 供給側ガス回路
７６，７６’ 排気ガス回路 ７７ 一次圧ガス回路
７８ 定流量ガス回路 ８０，８１，８２，８０’，８２’ ガス回路
１００，１０１ ガスリーク検知装置 １１０，１１１ 処理装置
２００ ガス供給源 ２５０ 差圧センサ
３１１ テスト圧調圧弁 ３１２ 一次圧調圧弁
３１３ 一次圧圧力センサ ３２１ 加圧制御弁
３２２ 電磁弁 ３２３，３２４ 制御弁
３２５ 等圧弁 ３２６ 定流量制御弁
３２７，３２８ 制御弁 ３２９，３２９’ 排気弁
３３０ 逆流防止弁 ３５３ テスト圧センサ
３８０ ソニックノズル

Claims (10)

1. 定流量のガスの供給を制御する定流量制御弁と、
   テスト圧のガスの供給を制御する加圧制御弁と、
   前記定流量制御弁と前記加圧制御弁とに接続された供給側ガス回路と、
   マスタと接続されるマスタ側ガス回路と、
   ワークと接続されるワーク側ガス回路と、
   前記供給側ガス回路と前記マスタ側ガス回路との間の開閉、および前記供給側ガス回路と前記ワーク側ガス回路との間の開閉を行う等圧弁と、
   前記ワーク側ガス回路と外部との間の開閉のみを行う排気弁と、
   前記供給側ガス回路内の圧力を検出するテスト圧センサと、
   前記マスタ側ガス回路と前記ワーク側ガス回路との差圧を検出する差圧センサと、
   を備えるガスリーク検知装置。
2. 定流量のガスの供給を制御する定流量制御弁と、
   テスト圧のガスの供給を制御する加圧制御弁と、
   前記定流量制御弁と前記加圧制御弁とに接続された供給側ガス回路と、
   マスタと接続されるマスタ側ガス回路と、
   ワークと接続されるワーク側ガス回路と、
   前記供給側ガス回路と前記マスタ側ガス回路との間の開閉、および前記供給側ガス回路と前記ワーク側ガス回路との間の開閉を行う等圧弁と、
   前記マスタ側ガス回路と外部との間を閉に保った状態で前記ワーク側ガス回路と外部との間の開閉を行うことができる排気弁と、
   前記供給側ガス回路内の圧力を検出するテスト圧センサと、
   前記マスタ側ガス回路と前記ワーク側ガス回路との差圧を検出する差圧センサと、
   を備えるガスリーク検知装置。
3. 請求項１または２記載のガスリーク検知装置であって、
   前記定流量のガスの供給には、ソニックノズルを用いる
   ことを特徴とするガスリーク検知装置。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のガスリーク検知装置であって、
   前記排気弁はノーマリー・オープンの空気作動弁である
   ことを特徴とするガスリーク検知装置。
5. 請求項４記載のガスリーク検知装置であって、
   前記等圧弁はノーマリー・クローズの空気作動弁である
   ことを特徴とするガスリーク検知装置。
6. 請求項１から５のいずれかに記載のガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知の設定方法であって、
   良品ワークを前記ワーク側ガス回路に接続し、前記等圧弁を開き、前記排気弁を閉じた状態とし、
   第１所定時間だけ前記定流量制御弁を開いてガスを供給したときの前記テスト圧センサで検出する圧力にしたがって等価内容積を求め、大リーク用基準容積とし、
   前記等価内容積に基づいて前記良品ワークが接続された前記ワーク側ガス回路の等価内容積を求め、ワーク側基準容積とする
   ことを特徴とするガスリーク検知の設定方法。
7. 請求項１記載のガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知方法であって、
   良品ワークを前記ワーク側ガス回路に接続し、前記等圧弁を開き、前記排気弁を閉じた状態で、第１所定時間だけ前記定流量制御弁を開いてガスを供給することによって求めた等価内容積を大リーク用基準容積とし、
   検査対象ワークを前記ワーク側ガス回路に接続しておき、
   前記等圧弁を開き、前記排気弁を閉じた状態で、前記定流量制御弁を第１所定時間だけ開いてガスを供給して閉じ、前記テスト圧センサで圧力を検出し、検出した圧力に基づいて求めた等価内容積を、前記大リーク用基準容積と比較することでリークの有無を検知する第１リーク検知ステップと、
   前記等圧弁を開き、前記排気弁を閉じた状態で、前記加圧制御弁を第２所定時間だけ開いてガスを供給して閉じ、前記テスト圧センサで圧力を検出し、検出した圧力の変化があらかじめ定めた正常の範囲かを確認することでリークの有無を検知する第２リーク検知ステップと、
   前記第２リーク検知ステップ終了後に、前記等圧弁を閉じ、前記排気弁を閉じた状態で、あらかじめ定めた時間前記差圧センサで圧力差を検出し、検出した圧力差を確認する第３リーク検知ステップと、
   前記等圧弁を開き、前記排気弁を開き、前記定流量制御弁を開いてガスを供給した状態で、前記差圧センサで検出した圧力差が正常な範囲かを確認する差圧センサ感度確認ステップと、
   を実行するガスリーク検知方法。
8. 請求項２記載のガスリーク検知装置を用いたガスリーク検知方法であって、
   良品ワークを前記ワーク側ガス回路に接続し、前記等圧弁を開き、前記排気弁を閉じた状態で、第１所定時間だけ前記定流量制御弁を開いてガスを供給することによって求めた等価内容積を大リーク用基準容積とし、
   検査対象ワークを前記ワーク側ガス回路に接続しておき、
   前記等圧弁を開き、前記排気弁を閉じた状態で、前記定流量制御弁を第１所定時間だけ開いてガスを供給して閉じ、前記テスト圧センサで圧力を検出し、検出した圧力に基づいて求めた等価内容積を、前記大リーク用基準容積と比較することでリークの有無を検知する第１リーク検知ステップと、
   前記等圧弁を開き、前記排気弁を閉じた状態で、前記加圧制御弁を第２所定時間だけ開いてガスを供給して閉じ、前記テスト圧センサで圧力を検出し、検出した圧力の変化があらかじめ定めた正常の範囲かを確認することでリークの有無を検知する第２リーク検知ステップと、
   前記第２リーク検知ステップ終了後に、前記等圧弁を閉じ、前記排気弁を閉じた状態で、あらかじめ定めた時間前記差圧センサで圧力差を検出し、検出した圧力差を確認する第３リーク検知ステップと、
   前記等圧弁を開き、前記マスタ側ガス回路と外部との間を閉に保った状態で前記ワーク側ガス回路と外部との間が開となるように前記排気弁を開き、前記定流量制御弁を開いてガスを供給した状態で、前記差圧センサで検出した圧力差が正常な範囲かを確認する差圧センサ感度確認ステップと、
   を実行するガスリーク検知方法。
9. 請求項７または８記載のガスリーク検知方法であって、
   良品ワークを接続したときの前記ワーク側ガス回路の等価内容積をワーク側基準容積とし、
   前記第３リーク検知ステップでは、前記差圧センサで検出した圧力差を前記ワーク側ガス回路の圧力の変化として前記ワーク側基準容積を用いて、仮に温度が一定としたときの仮想の漏れ流量Ｑ_２を求め、仮想の漏れ流量Ｑ_２に基づいてリークの有無を検知する
   ことを特徴とするガスリーク検知方法。
10. 請求項６記載のガスリーク検知の設定方法、請求項７から９記載のガスリーク検知方法のいずれかをコンピュータに実行させるためのプログラム。

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