JPH11281515A - ヘリウムリークテスト装置 - Google Patents
ヘリウムリークテスト装置Info
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- JPH11281515A JPH11281515A JP8094498A JP8094498A JPH11281515A JP H11281515 A JPH11281515 A JP H11281515A JP 8094498 A JP8094498 A JP 8094498A JP 8094498 A JP8094498 A JP 8094498A JP H11281515 A JPH11281515 A JP H11281515A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構造で被試験体の大きさにかかわら
ず、被試験体に一定の力を与え、被試験体のシールやチ
ャンバのシールに影響を及ぼさないようなヘリウムリー
クテスト装置を提供する。 【解決手段】 チャンバ１の上部には、被試験体（ワー
ク）Ｗを固定するためのエアシリンダ１０が設けられて
おり、このシリンダ１０には圧縮空気導入口１２、大気
出入口１３が形成され、シリンダ１０内のピストン１１
と連結されているシリンダロッド１４はチャンバ１の一
部を貫通してチャンバ１内に突き出している。常に圧縮
空気を圧縮空気導入口１２に供給してシリンダロッド１
４を常に下方へ突出させておく。チャンバ１を上昇させ
た状態で、被試験体Ｗをベース１ａ上にセットし、チャ
ンバ１を降下させてチャンバ１を密閉する。被試験体Ｗ
は、シリンダロッド１４により押さえ付けられ、チャン
バ１内の被試験体Ｗはベース１ａに対してシール材１ｃ
を介して密着し、密閉される。
ず、被試験体に一定の力を与え、被試験体のシールやチ
ャンバのシールに影響を及ぼさないようなヘリウムリー
クテスト装置を提供する。 【解決手段】 チャンバ１の上部には、被試験体（ワー
ク）Ｗを固定するためのエアシリンダ１０が設けられて
おり、このシリンダ１０には圧縮空気導入口１２、大気
出入口１３が形成され、シリンダ１０内のピストン１１
と連結されているシリンダロッド１４はチャンバ１の一
部を貫通してチャンバ１内に突き出している。常に圧縮
空気を圧縮空気導入口１２に供給してシリンダロッド１
４を常に下方へ突出させておく。チャンバ１を上昇させ
た状態で、被試験体Ｗをベース１ａ上にセットし、チャ
ンバ１を降下させてチャンバ１を密閉する。被試験体Ｗ
は、シリンダロッド１４により押さえ付けられ、チャン
バ１内の被試験体Ｗはベース１ａに対してシール材１ｃ
を介して密着し、密閉される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は密閉容器等の密閉度
を検査するのに用いられるヘリウムリークテスト装置に
関する。
を検査するのに用いられるヘリウムリークテスト装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ヘリウムリークテスト装置は、被試験体
（ワーク）をチャンバ（容器）内に収納し、該容器内を
真空排気した後、被試験体にヘリウムを導入して加圧
し、被試験体からリークするヘリウム量を測定すること
により、被試験体の密閉度を検査するものである。具体
的な構成としては、図２に示すように、チャンバ１に排
気ラインＬ１、補助排気ラインＬ２、ヘリウムリークデ
テクタ３を並列接続したものが一般的である。
（ワーク）をチャンバ（容器）内に収納し、該容器内を
真空排気した後、被試験体にヘリウムを導入して加圧
し、被試験体からリークするヘリウム量を測定すること
により、被試験体の密閉度を検査するものである。具体
的な構成としては、図２に示すように、チャンバ１に排
気ラインＬ１、補助排気ラインＬ２、ヘリウムリークデ
テクタ３を並列接続したものが一般的である。
【０００３】チャンバ１は、ベース１ａと可動部１ｂと
からなり、昇降機構４の作動を通じて可動部１ｂをベー
ス１ａに対してシール材（ニトリルゴム等）１ｃを介し
着脱できるようになっている。排気ラインＬ１はメイン
バルブＭＶを開閉することによって前記チャンバ１に対
してポンプＭＢ１（メカニカルブースタポンプ）、ＲＰ
１（油回転真空ポンプ）を断・接できるようにしてあ
る。補助排気ラインＬ２は、テストバルブＬＶを開閉す
ることによって前記チャンバ１に対してポンプＭＢ２
（メカニカルブースタポンプ）、ＲＰ２（油回転真空ポ
ンプ）を断・接できるようにしてある。
からなり、昇降機構４の作動を通じて可動部１ｂをベー
ス１ａに対してシール材（ニトリルゴム等）１ｃを介し
着脱できるようになっている。排気ラインＬ１はメイン
バルブＭＶを開閉することによって前記チャンバ１に対
してポンプＭＢ１（メカニカルブースタポンプ）、ＲＰ
１（油回転真空ポンプ）を断・接できるようにしてあ
る。補助排気ラインＬ２は、テストバルブＬＶを開閉す
ることによって前記チャンバ１に対してポンプＭＢ２
（メカニカルブースタポンプ）、ＲＰ２（油回転真空ポ
ンプ）を断・接できるようにしてある。
【０００４】また、前記テストバルブＴＶにはヘリウム
リークデテクタ３が接続されており、前記テストバルブ
が開となったときに、前記チャンバ１に同時にヘリウム
リークデテクタ３を接続できるようにしている。ヘリウ
ムリークデテクタ３は、ヘリウムを選択的に取り出して
その流量に応じた電流を発生するもので、その電流で付
属のリークレートメータ３ａの針を振らせ、その値から
リーク量を読み取ることができるものである。
リークデテクタ３が接続されており、前記テストバルブ
が開となったときに、前記チャンバ１に同時にヘリウム
リークデテクタ３を接続できるようにしている。ヘリウ
ムリークデテクタ３は、ヘリウムを選択的に取り出して
その流量に応じた電流を発生するもので、その電流で付
属のリークレートメータ３ａの針を振らせ、その値から
リーク量を読み取ることができるものである。
【０００５】この装置を用いる場合は、まず、チャンバ
１の可動部１ｂを上昇させた状態で、被試験体Ｗをベー
ス１ａ上にセットし、可動部１ｂを降下させてチャンバ
１を密閉する。次に、メインバルブＭＶを開にし、両ポ
ンプＭＢ１、ＲＰ１を作動させてチャンバ１内を一定圧
力にまで排気する。その後、メインバルブＭＶを閉、テ
ストバルブＴＶを開とし、両ポンプＭＢ２、ＲＰ２を作
動させてチャンバ１内を引き続き排気しながら待機す
る。
１の可動部１ｂを上昇させた状態で、被試験体Ｗをベー
ス１ａ上にセットし、可動部１ｂを降下させてチャンバ
１を密閉する。次に、メインバルブＭＶを開にし、両ポ
ンプＭＢ１、ＲＰ１を作動させてチャンバ１内を一定圧
力にまで排気する。その後、メインバルブＭＶを閉、テ
ストバルブＴＶを開とし、両ポンプＭＢ２、ＲＰ２を作
動させてチャンバ１内を引き続き排気しながら待機す
る。
【０００６】この時、リーク量に比例したヘリウムがヘ
リウムリークデテクタ３内に導入される。一定時間後
に、付属のリークレートメータ３ａの針の振れを予め定
めた基準値と比較し、合否判断を行う。そして、基準値
以内であれば合格とし、基準値を越えていれば、被試験
体Ｗに亀裂等が許容限度を越えて存在するとみなし、不
合格とする。以上により被試験体Ｗのリークテストを完
了する。
リウムリークデテクタ３内に導入される。一定時間後
に、付属のリークレートメータ３ａの針の振れを予め定
めた基準値と比較し、合否判断を行う。そして、基準値
以内であれば合格とし、基準値を越えていれば、被試験
体Ｗに亀裂等が許容限度を越えて存在するとみなし、不
合格とする。以上により被試験体Ｗのリークテストを完
了する。
【０００７】その後、テストバルブＴＶを閉にし、付属
のリークバルブＬＶを開にしてＮ2ガスボンベ等からＮ
2 を導入し、チャンバ１内を大気圧に戻した後、可動部
１ｂを上昇させて試験体Ｗを交換する。
のリークバルブＬＶを開にしてＮ2ガスボンベ等からＮ
2 を導入し、チャンバ１内を大気圧に戻した後、可動部
１ｂを上昇させて試験体Ｗを交換する。
【０００８】このような操作を繰り返して行うことによ
り、被試験体Ｗのリークテストを進めていくようにして
いる。
り、被試験体Ｗのリークテストを進めていくようにして
いる。
【０００９】図３は図２のチャンバ内の試験体Ｗの固定
状態を拡大詳細に示したものであるが、チャンバ１を下
降させて閉めた場合に、被試験体Ｗもベース１ａに対し
てシール材１ｃを介して密閉させなければならないの
で、チャンバ１内の上部にはバネ２が設けられており、
このバネ２の弾性力で被試験体Ｗを押さえるようにし
て、被試験体Ｗが密閉状態になるようにしている。
状態を拡大詳細に示したものであるが、チャンバ１を下
降させて閉めた場合に、被試験体Ｗもベース１ａに対し
てシール材１ｃを介して密閉させなければならないの
で、チャンバ１内の上部にはバネ２が設けられており、
このバネ２の弾性力で被試験体Ｗを押さえるようにし
て、被試験体Ｗが密閉状態になるようにしている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところで、以上のよう
な従来のヘリウムリークテスト装置によれば、被試験体
Ｗを押さえ付ける力はバネの弾性力で決まるが、被試験
体Ｗの高さが高くなった場合には、バネの弾性力が正常
に働かずに被試験体Ｗを押さえ付ける力が変わり、ヘリ
ウムの加圧圧力によっては、被試験体Ｗがベース１ａか
ら浮き上がり密閉状態とならない場合があった。
な従来のヘリウムリークテスト装置によれば、被試験体
Ｗを押さえ付ける力はバネの弾性力で決まるが、被試験
体Ｗの高さが高くなった場合には、バネの弾性力が正常
に働かずに被試験体Ｗを押さえ付ける力が変わり、ヘリ
ウムの加圧圧力によっては、被試験体Ｗがベース１ａか
ら浮き上がり密閉状態とならない場合があった。
【００１１】また、チャンバ側にもヘリウムの加圧圧力
は伝わるので、チャンバのシールにも影響を及ぼす恐れ
があった。
は伝わるので、チャンバのシールにも影響を及ぼす恐れ
があった。
【００１２】本発明は、上記課題を解決するために創案
されたもので、簡単な構造で被試験体の大きさにかかわ
らず、被試験体に一定の力を与え、被試験体のシールや
チャンバのシールに影響を及ぼさないようなヘリウムリ
ークテスト装置の提供を目的としている。
されたもので、簡単な構造で被試験体の大きさにかかわ
らず、被試験体に一定の力を与え、被試験体のシールや
チャンバのシールに影響を及ぼさないようなヘリウムリ
ークテスト装置の提供を目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のヘリウムリークテスト装置は、チャンバ内
の被試験体にヘリウムを加圧する手段と、チャンバを真
空にして前記被試験体からのヘリウムの漏れを検出する
ヘリウムリーク検出手段とから構成されるヘリウムリー
クテスト装置において、チャンバ内の被試験体を固定す
るために設けられたエアシリンダに常時圧縮空気を供給
することを特徴としている。
め、本発明のヘリウムリークテスト装置は、チャンバ内
の被試験体にヘリウムを加圧する手段と、チャンバを真
空にして前記被試験体からのヘリウムの漏れを検出する
ヘリウムリーク検出手段とから構成されるヘリウムリー
クテスト装置において、チャンバ内の被試験体を固定す
るために設けられたエアシリンダに常時圧縮空気を供給
することを特徴としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
一実施例について述べる。
一実施例について述べる。
【００１５】図１は本発明の一実施例の構成を示す図で
ある。
ある。
【００１６】図１は本発明のヘリウムリークテスト装置
のチャンバ部分を特に示したものであり、１はチャン
バ、１ａはベース、１ｃはニトリルゴム等のシール材、
１０はシリンダ、１１はピストン、１２は圧縮空気導入
口、１３は大気出入口、１４はシリンダロッド、１５は
吸排気口、１６はヘリウム導入口である。
のチャンバ部分を特に示したものであり、１はチャン
バ、１ａはベース、１ｃはニトリルゴム等のシール材、
１０はシリンダ、１１はピストン、１２は圧縮空気導入
口、１３は大気出入口、１４はシリンダロッド、１５は
吸排気口、１６はヘリウム導入口である。
【００１７】これらの構成が図２で示されるヘリウムリ
ークテスト装置のチャンバ部分と置き換えられて用いら
れる。したがって、以下、本発明の作用の説明で図２と
同様の構成部分については同じ符号を用いる。
ークテスト装置のチャンバ部分と置き換えられて用いら
れる。したがって、以下、本発明の作用の説明で図２と
同様の構成部分については同じ符号を用いる。
【００１８】チャンバ１の上部には、被試験体（ワー
ク）Ｗを固定するためのエアシリンダ１０が設けられて
おり、このシリンダ１０には圧縮空気導入口１２、大気
出入口１３が形成され、シリンダ１０内のピストン１１
と連結されているシリンダロッド１４はチャンバ１の一
部を貫通してチャンバ１内に突き出している。
ク）Ｗを固定するためのエアシリンダ１０が設けられて
おり、このシリンダ１０には圧縮空気導入口１２、大気
出入口１３が形成され、シリンダ１０内のピストン１１
と連結されているシリンダロッド１４はチャンバ１の一
部を貫通してチャンバ１内に突き出している。
【００１９】また、シリンダ１０内でピストン１１が動
くストロークは、例え、高さの高い被試験体Ｗとなって
も対応できるよう十分確保されている。
くストロークは、例え、高さの高い被試験体Ｗとなって
も対応できるよう十分確保されている。
【００２０】大気圧よりも高圧の圧縮空気を圧縮空気導
入口１２に導入してピストン１１を下方へ移動させ、常
に圧縮空気を圧縮空気導入口１２に供給してシリンダロ
ッド１４を常に下方へ突出させておく。
入口１２に導入してピストン１１を下方へ移動させ、常
に圧縮空気を圧縮空気導入口１２に供給してシリンダロ
ッド１４を常に下方へ突出させておく。
【００２１】チャンバ１を上昇させた状態で、被試験体
Ｗをベース１ａ上にセットし、チャンバ１を降下させて
チャンバ１を密閉する。
Ｗをベース１ａ上にセットし、チャンバ１を降下させて
チャンバ１を密閉する。
【００２２】被試験体Ｗは、シリンダロッド１４により
押さえ付けられ、チャンバ１内の被試験体Ｗはベース１
ａに対してシール材１ｃを介して密着し、密閉される。
押さえ付けられ、チャンバ１内の被試験体Ｗはベース１
ａに対してシール材１ｃを介して密着し、密閉される。
【００２３】この後、メインバルブＭＶを開き、ポンプ
を作動させてチャンバ１内を一定圧力にまで吸排気口１
５より排気し、メインバルブＭＶを閉める。次にヘリウ
ム導入口１６よりヘリウムガスを被試験体Ｗ内に導入
し、所定圧力まで加圧する。
を作動させてチャンバ１内を一定圧力にまで吸排気口１
５より排気し、メインバルブＭＶを閉める。次にヘリウ
ム導入口１６よりヘリウムガスを被試験体Ｗ内に導入
し、所定圧力まで加圧する。
【００２４】次に、テストバルブＴＶを開き、ポンプを
作動させてチャンバ１内を吸排気口１５より引き続き排
気しながら待機する。
作動させてチャンバ１内を吸排気口１５より引き続き排
気しながら待機する。
【００２５】この時、被試験体Ｗに微小な孔があり、密
閉度に問題があれば、リーク量に比例したヘリウムがヘ
リウムリークデテクタ３内に導入される。一定時間後
に、付属のリークレートメータ３ａの針の振れを予め定
めた基準値と比較し、合否判断を行う。
閉度に問題があれば、リーク量に比例したヘリウムがヘ
リウムリークデテクタ３内に導入される。一定時間後
に、付属のリークレートメータ３ａの針の振れを予め定
めた基準値と比較し、合否判断を行う。
【００２６】基準値以内であれば合格とし、基準値を越
えていれば、被試験体Ｗに亀裂等が許容限度を越えて存
在するとみなし、不合格とする。以上により被試験体Ｗ
のリークテストを完了する。
えていれば、被試験体Ｗに亀裂等が許容限度を越えて存
在するとみなし、不合格とする。以上により被試験体Ｗ
のリークテストを完了する。
【００２７】その後、テストバルブＴＶを閉にし、リー
クバルブＬＶを開にしてＮ2 ガスボンベ等からＮ2 を導
入し、チャンバ１内を大気圧に戻した後、チャンバ１を
上昇させて試験体Ｗを交換する。
クバルブＬＶを開にしてＮ2 ガスボンベ等からＮ2 を導
入し、チャンバ１内を大気圧に戻した後、チャンバ１を
上昇させて試験体Ｗを交換する。
【００２８】ところで、被試験体Ｗはシリンダロッド１
４により押さえ付けられて固定されるが、この力はシリ
ンダ面積、圧縮空気圧力により決まり、被試験体Ｗの高
さや大きさが変化しても変わらないので、一定の力を加
えることができ、被試験体Ｗのシール材１ｃに対する密
着度には問題がない。
４により押さえ付けられて固定されるが、この力はシリ
ンダ面積、圧縮空気圧力により決まり、被試験体Ｗの高
さや大きさが変化しても変わらないので、一定の力を加
えることができ、被試験体Ｗのシール材１ｃに対する密
着度には問題がない。
【００２９】また、常に圧縮空気を圧縮空気導入口１２
に供給してシリンダロッド１４を常に下方へ突出させて
いればよいので、シリンダを電磁弁操作する必要もない
ために、非常に簡単な構造となる。
に供給してシリンダロッド１４を常に下方へ突出させて
いればよいので、シリンダを電磁弁操作する必要もない
ために、非常に簡単な構造となる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、被試験
体をその大きさにかかわらず一定の力でシールでき、ま
た、シリンダを電磁弁操作する必要もないために、非常
に簡単な構造にすることができる。
体をその大きさにかかわらず一定の力でシールでき、ま
た、シリンダを電磁弁操作する必要もないために、非常
に簡単な構造にすることができる。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】ヘリウムリークテスト装置の構成を示す図であ
る。
る。
【図３】従来のヘリウムリークテスト装置のチャンバ部
を示す図である。
を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 チャンバ内の被試験体にヘリウムを加圧
する手段と、チャンバを真空にして前記被試験体からの
ヘリウムの漏れを検出するヘリウムリーク検出手段とか
ら構成されるヘリウムリークテスト装置において、チャ
ンバ内の被試験体を固定するために設けられたエアシリ
ンダに常時圧縮空気を供給することを特徴とするヘリウ
ムリークテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8094498A JPH11281515A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | ヘリウムリークテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8094498A JPH11281515A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | ヘリウムリークテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11281515A true JPH11281515A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13732612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8094498A Pending JPH11281515A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | ヘリウムリークテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11281515A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012005199A1 (ja) * | 2010-07-05 | 2012-01-12 | 国立大学法人山口大学 | 漏れ検査装置及び漏れ検査方法 |
| JP2012058219A (ja) * | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Shintaro Otani | 包装容器のガスバリア試験用ユニバーサル型測定治具 |
| CN104359632A (zh) * | 2014-11-28 | 2015-02-18 | 天津市津品源科技发展有限公司 | 电池盖多工位氦检工装 |
| KR101504596B1 (ko) * | 2012-12-11 | 2015-03-23 | 주식회사 팬택 | 누설 테스트 장치 및 이를 이용한 누설 테스트 방법 |
| JP2021018165A (ja) * | 2019-07-22 | 2021-02-15 | 株式会社住化分析センター | ガス透過セル、試料固定治具、ガス透過度測定装置、及びガス透過度測定方法 |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP8094498A patent/JPH11281515A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012005199A1 (ja) * | 2010-07-05 | 2012-01-12 | 国立大学法人山口大学 | 漏れ検査装置及び漏れ検査方法 |
| CN103069261A (zh) * | 2010-07-05 | 2013-04-24 | 国立大学法人山口大学 | 漏泄检查装置及漏泄检查方法 |
| JP5783541B2 (ja) * | 2010-07-05 | 2015-09-24 | 国立大学法人山口大学 | 漏れ検査装置及び漏れ検査方法 |
| US9274021B2 (en) | 2010-07-05 | 2016-03-01 | Yamaguchi University | Leakage inspection apparatus and leakage inspection method |
| JP2012058219A (ja) * | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Shintaro Otani | 包装容器のガスバリア試験用ユニバーサル型測定治具 |
| KR101504596B1 (ko) * | 2012-12-11 | 2015-03-23 | 주식회사 팬택 | 누설 테스트 장치 및 이를 이용한 누설 테스트 방법 |
| CN104359632A (zh) * | 2014-11-28 | 2015-02-18 | 天津市津品源科技发展有限公司 | 电池盖多工位氦检工装 |
| JP2021018165A (ja) * | 2019-07-22 | 2021-02-15 | 株式会社住化分析センター | ガス透過セル、試料固定治具、ガス透過度測定装置、及びガス透過度測定方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041108 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060510 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060516 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060919 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |