JP2000055769A - リークテスト装置 - Google Patents
リークテスト装置Info
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- JP2000055769A JP2000055769A JP10218877A JP21887798A JP2000055769A JP 2000055769 A JP2000055769 A JP 2000055769A JP 10218877 A JP10218877 A JP 10218877A JP 21887798 A JP21887798 A JP 21887798A JP 2000055769 A JP2000055769 A JP 2000055769A
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- helium
- space
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ヘリウムシール部を通じた漏れにより検出のバ
ックグラウンド値が不当に上昇して誤判定を招く不都合
を解消する。 【請求項１】ヘリウムシール部１３と真空シール部１２
ｃとの間における被試験体２とチャンバ１との間隙Ｘを
窒素ガスでパージするパージ手段９を設けたので、かか
る間隙Ｘに測定用のヘリウムガスが滞留して次回測定時
に再放出されることを確実に防止することができる。
ックグラウンド値が不当に上昇して誤判定を招く不都合
を解消する。 【請求項１】ヘリウムシール部１３と真空シール部１２
ｃとの間における被試験体２とチャンバ１との間隙Ｘを
窒素ガスでパージするパージ手段９を設けたので、かか
る間隙Ｘに測定用のヘリウムガスが滞留して次回測定時
に再放出されることを確実に防止することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、封止検査や密閉検
査などを行う際に利用されるリークテスト装置に関する
ものである。
査などを行う際に利用されるリークテスト装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】リークテスト装置は、被試験体をチャン
バに着脱可能に装着して、被試験体の内側とチャンバと
の間に第１の空間を閉止し被試験体の外側とチャンバと
の間に第２の空間を閉止するとともに、これら第１、第
２の空間の何れか一方にヘリウム導入系を接続してヘリ
ウムガスを封入し、他方にリークディテクタを接続して
前記一方の空間から漏出したヘリウムを吸引することに
よりリーク量を検出するように構成されるものである。
バに着脱可能に装着して、被試験体の内側とチャンバと
の間に第１の空間を閉止し被試験体の外側とチャンバと
の間に第２の空間を閉止するとともに、これら第１、第
２の空間の何れか一方にヘリウム導入系を接続してヘリ
ウムガスを封入し、他方にリークディテクタを接続して
前記一方の空間から漏出したヘリウムを吸引することに
よりリーク量を検出するように構成されるものである。
【０００３】その際、ヘリウムガスの封入を確実なもの
にし、また漏出量を正確に検出できるようにするため
に、被試験体とチャンバとの間にあってヘリウム導入系
が接続される空間側をシールする位置にヘリウムシール
部を設け、リークディテクタが接続される空間側をシー
ルする位置に真空シール部を設けておくことが行われて
いる。
にし、また漏出量を正確に検出できるようにするため
に、被試験体とチャンバとの間にあってヘリウム導入系
が接続される空間側をシールする位置にヘリウムシール
部を設け、リークディテクタが接続される空間側をシー
ルする位置に真空シール部を設けておくことが行われて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、かかる構成
において、例えば１０秒程度といった短時間での繰り返
し試験でかつ低い合否判定値を設定した場合に、数十回
の試験を行うと、本来なら漏れ箇所が少なく良品と判定
されるべき被試験体に対しても不良品と誤判定する場合
が多くなるという不都合が生じている。
において、例えば１０秒程度といった短時間での繰り返
し試験でかつ低い合否判定値を設定した場合に、数十回
の試験を行うと、本来なら漏れ箇所が少なく良品と判定
されるべき被試験体に対しても不良品と誤判定する場合
が多くなるという不都合が生じている。
【０００５】これは、被試験体の汚れ等によりヘリウム
シール部より微量のヘリウムガスの漏出が生じた場合、
このヘリウムガスが真空シール部までの間において被試
験体とチャンバとの間隙に溜まり易く、次回テストの吸
引時に、そのヘリウムガスが再放出され、これをリーク
ディテクタが吸引してバックグラウンドレベルが増大
し、それが見掛け上リーク量として測定されてしまうこ
とに起因していると考えられる。
シール部より微量のヘリウムガスの漏出が生じた場合、
このヘリウムガスが真空シール部までの間において被試
験体とチャンバとの間隙に溜まり易く、次回テストの吸
引時に、そのヘリウムガスが再放出され、これをリーク
ディテクタが吸引してバックグラウンドレベルが増大
し、それが見掛け上リーク量として測定されてしまうこ
とに起因していると考えられる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明は、この種のリークテスト装置としての
一般的構成を備えてなるものにおいて、被試験体とチャ
ンバとの間にあってヘリウム導入系が接続される空間側
をシールする位置にヘリウムシール部を設け、リークデ
ィテクタが接続される空間側をシールする位置に真空シ
ール部を設けるとともに、これら両シール部間における
被試験体とチャンバとの間隙を不活性ガスでパージする
パージ手段を設けたことを特徴とする。
ために、本発明は、この種のリークテスト装置としての
一般的構成を備えてなるものにおいて、被試験体とチャ
ンバとの間にあってヘリウム導入系が接続される空間側
をシールする位置にヘリウムシール部を設け、リークデ
ィテクタが接続される空間側をシールする位置に真空シ
ール部を設けるとともに、これら両シール部間における
被試験体とチャンバとの間隙を不活性ガスでパージする
パージ手段を設けたことを特徴とする。
【０００７】このように構成すれば、被試験体の汚れ等
によりヘリウムシール部より微量のヘリウムガスの漏出
が生じ、このヘリウムガスが真空シール部までの間にお
いて被試験体とチャンバとの間隙に溜まろうとしても、
パージ手段を用いて測定に影響を及ぼさない不活性ガス
でかかる間隙からパージすることができる。このため、
次回テストの吸引時に、前回使用したヘリウムガスがリ
ークディテクタに吸引されることを回避して、バックグ
ラウンドレベルの不当な上昇、これによる誤判定の発生
を確実に防止することができる。
によりヘリウムシール部より微量のヘリウムガスの漏出
が生じ、このヘリウムガスが真空シール部までの間にお
いて被試験体とチャンバとの間隙に溜まろうとしても、
パージ手段を用いて測定に影響を及ぼさない不活性ガス
でかかる間隙からパージすることができる。このため、
次回テストの吸引時に、前回使用したヘリウムガスがリ
ークディテクタに吸引されることを回避して、バックグ
ラウンドレベルの不当な上昇、これによる誤判定の発生
を確実に防止することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１を参照して
説明する。このリークテスト装置は、チャンバ１に被試
験体２を着脱可能に装着して、被試験体２の内側とチャ
ンバ１との間に第１の空間Ｓ１を閉止し、被試験体２の
外側とチャンバ１との間に第２の空間Ｓ２を閉止すると
ともに、これら第１、第２の空間Ｓ１、Ｓ２の何れか一
方にヘリウム導入系３を接続してヘリウムガスを封入
し、他方にリークディテクタＬＤを接続して前記一方の
空間から漏出したヘリウムガスを吸引することによりリ
ーク量を検出するようにしたものである。
説明する。このリークテスト装置は、チャンバ１に被試
験体２を着脱可能に装着して、被試験体２の内側とチャ
ンバ１との間に第１の空間Ｓ１を閉止し、被試験体２の
外側とチャンバ１との間に第２の空間Ｓ２を閉止すると
ともに、これら第１、第２の空間Ｓ１、Ｓ２の何れか一
方にヘリウム導入系３を接続してヘリウムガスを封入
し、他方にリークディテクタＬＤを接続して前記一方の
空間から漏出したヘリウムガスを吸引することによりリ
ーク量を検出するようにしたものである。
【０００９】詳述すると、チャンバ１は、板状の固定治
具１１と、この固定治具１１に対して開口端側を着脱さ
れ得るように昇降シリンダ１２ａにより支持された有底
筒状の可動治具１２とから構成されている。一方、被試
験体２は、有底筒状のもので、可動治具１２を固定治具
１１から離反させた状態で、その開口端側をヘリウムシ
ール部１３を介して前記固定治具１１に載置され、その
際に被試験体２の内側と固定治具１１との間に第１の空
間Ｓ１を閉止するようにしている。また、可動治具１２
は、固定治具１１の外周を包囲する位置に配設される大
径なもので、装着時に前記被試験体２を固定治具１１の
ヘリウムシール部１３に向けて押し付ける弾性体たるバ
ネ１２ｂを内設しているとともに、内周に真空シール部
１２ｃを内有し、固定治具１１への装着時にこの真空シ
ール部１２ｃを被試験体２の外周に密接に圧接させて、
被試験体２の外側と可動治具１２との間に第２の空間Ｓ
２を閉止するようにしている。
具１１と、この固定治具１１に対して開口端側を着脱さ
れ得るように昇降シリンダ１２ａにより支持された有底
筒状の可動治具１２とから構成されている。一方、被試
験体２は、有底筒状のもので、可動治具１２を固定治具
１１から離反させた状態で、その開口端側をヘリウムシ
ール部１３を介して前記固定治具１１に載置され、その
際に被試験体２の内側と固定治具１１との間に第１の空
間Ｓ１を閉止するようにしている。また、可動治具１２
は、固定治具１１の外周を包囲する位置に配設される大
径なもので、装着時に前記被試験体２を固定治具１１の
ヘリウムシール部１３に向けて押し付ける弾性体たるバ
ネ１２ｂを内設しているとともに、内周に真空シール部
１２ｃを内有し、固定治具１１への装着時にこの真空シ
ール部１２ｃを被試験体２の外周に密接に圧接させて、
被試験体２の外側と可動治具１２との間に第２の空間Ｓ
２を閉止するようにしている。
【００１０】一方、ヘリウム導入系３は、一端を前記固
定治具１１を貫通して第１の空間Ｓ１に連通し得る位置
に接続され、他端をバルブＨＶを有するヘリウム導入ラ
イン３ａを介して高圧ヘリウム源に接続した構成からな
る。また、リークディテクタＬＤは、ヘリウムのみを選
択的に抽出し得る分析管を備えた一般的構成からなるも
ので、途中にバルブＴＶを備えたテストライン４を介し
て一端を前記可動治具１２の内側の第２の空間Ｓ２に連
通し得る位置に接続されている。また、このテストライ
ン４を粗引きし得る位置に、油回転真空ポンプＲＰ１が
接続されている。さらに、このテストライン４には、第
２の空間Ｓ２を窒素で置換するためにバルブＬＶを備え
た窒素供給ライン５も接続されている。
定治具１１を貫通して第１の空間Ｓ１に連通し得る位置
に接続され、他端をバルブＨＶを有するヘリウム導入ラ
イン３ａを介して高圧ヘリウム源に接続した構成からな
る。また、リークディテクタＬＤは、ヘリウムのみを選
択的に抽出し得る分析管を備えた一般的構成からなるも
ので、途中にバルブＴＶを備えたテストライン４を介し
て一端を前記可動治具１２の内側の第２の空間Ｓ２に連
通し得る位置に接続されている。また、このテストライ
ン４を粗引きし得る位置に、油回転真空ポンプＲＰ１が
接続されている。さらに、このテストライン４には、第
２の空間Ｓ２を窒素で置換するためにバルブＬＶを備え
た窒素供給ライン５も接続されている。
【００１１】さらに、前記第１の空間Ｓ１には、その内
部を真空排気するための油回転真空ポンプＲＰ２及びバ
ルブＲＶを備えた排気ライン６と、その内部を大気開放
するためのバルブＥＶを備えた大気開放ライン７と、そ
の内部を空気で置換するためのバルブＰＶを備えた空気
供給ライン８とが並列に接続されている。
部を真空排気するための油回転真空ポンプＲＰ２及びバ
ルブＲＶを備えた排気ライン６と、その内部を大気開放
するためのバルブＥＶを備えた大気開放ライン７と、そ
の内部を空気で置換するためのバルブＰＶを備えた空気
供給ライン８とが並列に接続されている。
【００１２】ここで、このような基本構成からなる本リ
ークテスト装置の操作手順を説明する。当初、リークデ
ィテクタＬＤと真空ポンプＲＰ１は起動完了し、各バル
ブＴＶ、ＨＶ、ＲＶ、ＬＶ、ＰＶ、ＥＶは閉じている。
先ず、バルブＲＶを開にし、排気ライン６を介して被試
験体２の内側の第１の空間Ｓ１を真空排気する。次に、
バルブＲＶを閉め、バルブＨＶを開にして第１の空間Ｓ
１にヘリウム導入系３からヘリウムガスを導入する。第
１の空間Ｓ１内が所定圧力になればバルブＨＶを閉に
し、リークディテクタＬＤにて被試験体２の外側の第２
の空間Ｓ２を粗引排気する。これにより、被試験体２に
ヘリウムの漏出がある場合には、そのヘリウムがテスト
ライン４に誘導され、リークディテクタＬＤはヘリウム
の有無または漏出量を計測する。計測終了後、バルブＬ
Ｖを開にして窒素供給ライン５によりチャンバ１を窒素
で置換し、しかる後、バルブＥＶを閉、バルブＲＶを開
として被試験体２の内側の第１の空間Ｓ１内を真空排気
し、最後にバルブＲＶを閉、バルブＰＶを開とし、被試
験体２内の第１の空間Ｓ１及びその周辺ラインに空気を
圧送する。以上の手順を経た後、被試験体Ｗを取り替
え、同様の手順により次のリークテストを開始する。
ークテスト装置の操作手順を説明する。当初、リークデ
ィテクタＬＤと真空ポンプＲＰ１は起動完了し、各バル
ブＴＶ、ＨＶ、ＲＶ、ＬＶ、ＰＶ、ＥＶは閉じている。
先ず、バルブＲＶを開にし、排気ライン６を介して被試
験体２の内側の第１の空間Ｓ１を真空排気する。次に、
バルブＲＶを閉め、バルブＨＶを開にして第１の空間Ｓ
１にヘリウム導入系３からヘリウムガスを導入する。第
１の空間Ｓ１内が所定圧力になればバルブＨＶを閉に
し、リークディテクタＬＤにて被試験体２の外側の第２
の空間Ｓ２を粗引排気する。これにより、被試験体２に
ヘリウムの漏出がある場合には、そのヘリウムがテスト
ライン４に誘導され、リークディテクタＬＤはヘリウム
の有無または漏出量を計測する。計測終了後、バルブＬ
Ｖを開にして窒素供給ライン５によりチャンバ１を窒素
で置換し、しかる後、バルブＥＶを閉、バルブＲＶを開
として被試験体２の内側の第１の空間Ｓ１内を真空排気
し、最後にバルブＲＶを閉、バルブＰＶを開とし、被試
験体２内の第１の空間Ｓ１及びその周辺ラインに空気を
圧送する。以上の手順を経た後、被試験体Ｗを取り替
え、同様の手順により次のリークテストを開始する。
【００１３】ところで、単にこのような構成のみからな
るリークテスト装置では、例えば１０秒程度といった短
時間での繰り返し試験を低い合否判定値（１×１０-8Ｐ
ａ・ｍ3／ｓ）の下に実施した場合、数十回の試験を行
ったころに、被試験体の汚れ等により図中矢印で示すよ
うにヘリウムシール部１３より微量のヘリウムガスの漏
出が生じ、このヘリウムガスが真空シール部１２ｃまで
の間において被試験体２とチャンバ１との間隙Ｘに溜ま
り易い。そして、このヘリウムガスはチャンバ１を開成
させても可動治具１２の内面にはりついたり周辺雰囲気
に漂ったりしてその場に残り、次回テストの吸引時に、
そのヘリウムガスが第１の空間Ｓ１や第２の空間Ｓ２に
再放出され、これをリークディテクタＬＤが吸引してバ
ックグラウンドレベルが増大し、それが見掛け上リーク
量の一部として測定されるという不都合が生じる。
るリークテスト装置では、例えば１０秒程度といった短
時間での繰り返し試験を低い合否判定値（１×１０-8Ｐ
ａ・ｍ3／ｓ）の下に実施した場合、数十回の試験を行
ったころに、被試験体の汚れ等により図中矢印で示すよ
うにヘリウムシール部１３より微量のヘリウムガスの漏
出が生じ、このヘリウムガスが真空シール部１２ｃまで
の間において被試験体２とチャンバ１との間隙Ｘに溜ま
り易い。そして、このヘリウムガスはチャンバ１を開成
させても可動治具１２の内面にはりついたり周辺雰囲気
に漂ったりしてその場に残り、次回テストの吸引時に、
そのヘリウムガスが第１の空間Ｓ１や第２の空間Ｓ２に
再放出され、これをリークディテクタＬＤが吸引してバ
ックグラウンドレベルが増大し、それが見掛け上リーク
量の一部として測定されるという不都合が生じる。
【００１４】そこで、本実施例はさらに、前述した両シ
ール部１３、１２ｃ間における被試験体２とチャンバ１
との円環状の間隙Ｘを不活性ガスでパージするパージ手
段９を設けている。このパージ手段９は、前記間隙Ｘの
一端側から窒素ガスを導出するバルブＮＶを備えた導入
ライン９１と、軸心を挟んで前記導入ライン９１と対向
する位置から前記間隙Ｘ内の窒素ガスを導出する導出ラ
イン９２とを具備してなるもので、第１の空間Ｓ１にヘ
リウム導入系３を通じてヘリウムガスを導入する際に起
動させると、間隙Ｘに導入された窒素ガスは左右に分流
して１８０°の領域に亘り間隙Ｘ内を流通した後に間隙
Ｘより流出し、その際に第１の空間Ｓ１から間隙Ｘ内に
漏出してきたヘリウムガスを完全にチャンバ１外にパー
ジすることができるようにしているものである。
ール部１３、１２ｃ間における被試験体２とチャンバ１
との円環状の間隙Ｘを不活性ガスでパージするパージ手
段９を設けている。このパージ手段９は、前記間隙Ｘの
一端側から窒素ガスを導出するバルブＮＶを備えた導入
ライン９１と、軸心を挟んで前記導入ライン９１と対向
する位置から前記間隙Ｘ内の窒素ガスを導出する導出ラ
イン９２とを具備してなるもので、第１の空間Ｓ１にヘ
リウム導入系３を通じてヘリウムガスを導入する際に起
動させると、間隙Ｘに導入された窒素ガスは左右に分流
して１８０°の領域に亘り間隙Ｘ内を流通した後に間隙
Ｘより流出し、その際に第１の空間Ｓ１から間隙Ｘ内に
漏出してきたヘリウムガスを完全にチャンバ１外にパー
ジすることができるようにしているものである。
【００１５】このように構成すれば、被試験体２の汚れ
等によりヘリウムシール部１３より微量のヘリウムガス
の漏出が生じ、このヘリウムガスが真空シール部１２ｃ
までの間において被試験体２とチャンバ１との間隙Ｘに
溜まろうとしても、そのヘリウムガスをパージ手段９の
不活性な窒素ガスでかかる間隙Ｘよりパージすることが
できる。このため、次回テストの吸引時に、前回使用し
たヘリウムガスがリークディテクタＬＤに吸引されるこ
とを回避して、バックグラウンドレベルを例えば１×１
０-10Ｐａ・ｍ3／ｓ程度の低いオーダーに抑えて、誤判
定のない正確な判定を行うことが可能となる。
等によりヘリウムシール部１３より微量のヘリウムガス
の漏出が生じ、このヘリウムガスが真空シール部１２ｃ
までの間において被試験体２とチャンバ１との間隙Ｘに
溜まろうとしても、そのヘリウムガスをパージ手段９の
不活性な窒素ガスでかかる間隙Ｘよりパージすることが
できる。このため、次回テストの吸引時に、前回使用し
たヘリウムガスがリークディテクタＬＤに吸引されるこ
とを回避して、バックグラウンドレベルを例えば１×１
０-10Ｐａ・ｍ3／ｓ程度の低いオーダーに抑えて、誤判
定のない正確な判定を行うことが可能となる。
【００１６】なお、各部の具体的な構成は上述した実施
例のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱
しない範囲で種々変形が可能である。例えば、上記実施
例とは逆に、被試験体の外側にヘリウムガスを導入して
内側に漏出したものをリークディテクタで検出するよう
な構成をとることもできる。また、パージ手段で用いら
れる不活性ガスは窒素ガスに限定されるものではない。
例のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱
しない範囲で種々変形が可能である。例えば、上記実施
例とは逆に、被試験体の外側にヘリウムガスを導入して
内側に漏出したものをリークディテクタで検出するよう
な構成をとることもできる。また、パージ手段で用いら
れる不活性ガスは窒素ガスに限定されるものではない。
【００１７】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明のリーク
テスト装置は、被試験体とチャンバとの間にあってヘリ
ウム導入系が接続される空間側をシールする位置にヘリ
ウムシール部を設け、リークディテクタが接続される空
間側をシールする位置に真空シール部を設けるととも
に、これら両シール部間における被試験体とチャンバと
の間隙を不活性ガスでパージするパージ手段を設けたも
のである。このため、ヘリウムシール部から真空シール
部までの領域に亘って被試験体とチャンバとの間隙に溜
まろうとするヘリウムガスを確実にその場から逸散し
て、次回テスト時における残存ヘリウムの検出を防止
し、これによりバックグラウンドレベルを低く抑えて、
判定の精度を有効に向上させることができるという優れ
た効果が奏されるものとなる。
テスト装置は、被試験体とチャンバとの間にあってヘリ
ウム導入系が接続される空間側をシールする位置にヘリ
ウムシール部を設け、リークディテクタが接続される空
間側をシールする位置に真空シール部を設けるととも
に、これら両シール部間における被試験体とチャンバと
の間隙を不活性ガスでパージするパージ手段を設けたも
のである。このため、ヘリウムシール部から真空シール
部までの領域に亘って被試験体とチャンバとの間隙に溜
まろうとするヘリウムガスを確実にその場から逸散し
て、次回テスト時における残存ヘリウムの検出を防止
し、これによりバックグラウンドレベルを低く抑えて、
判定の精度を有効に向上させることができるという優れ
た効果が奏されるものとなる。
【図１】本発明の一実施例を示す模式的な回路図。
１…チャンバ ２…被試験体 ３…ヘリウム導入系 ９…パージ手段 １２ｃ…真空シール部 １３…ヘリウムシール部 ＬＤ…リークディテクタ Ｓ１…第１の空間 Ｓ２…第２の空間
Claims (1)
- 【請求項１】被試験体をチャンバに着脱可能に装着し
て、被試験体の内側とチャンバとの間に第１の空間を閉
止し被試験体の外側とチャンバとの間に第２の空間を閉
止するとともに、これら第１、第２の空間の何れか一方
にヘリウム導入系を接続してヘリウムガスを封入し、他
方にリークディテクタを接続して前記一方の空間から漏
出したヘリウムガスを吸引することによりリーク量を検
出するようにしたものにおいて、 被試験体とチャンバとの間にあってヘリウム導入系が接
続される空間側をシールする位置にヘリウムシール部を
設け、リークディテクタが接続される空間側をシールす
る位置に真空シール部を設けるとともに、これら両シー
ル部間における被試験体とチャンバとの間隙を不活性ガ
スでパージするパージ手段を設けたことを特徴とするリ
ークテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21887798A JP3817916B2 (ja) | 1998-08-03 | 1998-08-03 | リークテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21887798A JP3817916B2 (ja) | 1998-08-03 | 1998-08-03 | リークテスト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000055769A true JP2000055769A (ja) | 2000-02-25 |
| JP3817916B2 JP3817916B2 (ja) | 2006-09-06 |
Family
ID=16726716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21887798A Expired - Lifetime JP3817916B2 (ja) | 1998-08-03 | 1998-08-03 | リークテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3817916B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1178297A1 (en) * | 2000-08-04 | 2002-02-06 | Prisma S.r.l. | A method for the continous detection of micro-leaks in packages of products in modified atmosphere and a device for said detection |
| CN102004017A (zh) * | 2010-10-08 | 2011-04-06 | 天津市百顺丰金属制品厂 | 一种方便控制的多功能钢提桶检测机 |
| JP2011226906A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Hatsuta Seisakusho Co Ltd | リーク測定方法及びリーク測定システム |
| JP2017090224A (ja) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | 株式会社島津製作所 | ガス分析用セル及びガス分析システム |
| CN109738129A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-05-10 | 成都凯天电子股份有限公司 | 检测导管组件气密性的方法 |
| CN110146649A (zh) * | 2019-05-10 | 2019-08-20 | 中国石油大学(北京) | 堵漏测试装置以及堵漏测试方法 |
| CN110954281A (zh) * | 2018-09-27 | 2020-04-03 | 山西米亚索乐装备科技有限公司 | 一种腔室检漏系统 |
| CN117419857A (zh) * | 2023-09-25 | 2024-01-19 | 江苏天兵航天科技有限公司 | 一种通用型密封试验装置和使用方法 |
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