JP3430975B2 - リークテスター - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、トレーサーガス
（ヘリウム等の漏れ検知用ガス）を使用して被検査物
（内部に気体や液体を収容して使用されるもの）の漏れ
度合を調べるリークテスターに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、リークテスターとして、内部に被
検査物を収容するチャンバーと、トレーサーガスを供給
するトレーサーガス供給手段と、前記チャンバー内のト
レーサーガス量を検出するトレーサーガス検出手段と、
前記トレーサーガス供給手段と前記チャンバー内に収容
された前記被検査物を接続する接続管とを備えたもの、
あるいは、内部に被検査物を収容するチャンバーと、同
チャンバーにトレーサーガスを供給するトレーサーガス
供給手段と、トレーサーガス量を検出するトレーサーガ
ス検出手段と、前記トレーサーガス検出手段と前記チャ
ンバー内に収容された前記被検査物を接続する接続管と
を備えたものがある。

【０００３】これらのリークテスターにおいては、通
常、接続管として金属製のフレキシブル管が採用されて
いる。また、リークテストに際して、上記した被検査物
内及びチャンバー内は、トレーサーガスの供給前に所定
の圧力まで真空引きされるようになっていて、その後、
前者のリークテスターにおいては、被検査物内にトレー
サーガスが供給されてチャンバー内に漏れ出たトレーサ
ーガス量を検出するようになっており、また、後者のリ
ークテスターにおいては、チャンバー内にトレーサーガ
スが供給されて被検査物内に浸入したトレーサーガス量
を検出するようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、接続管とし
て採用されている金属製のフレキシブル管は、それ自体
が高価であってコスト高になることは勿論のこと、衝撃
によってクラックが入り易いため、取り扱いには十分な
注意を要する。また、稼動部に溶接個所を有しており、
その溶接により、製造コストが高くなることは勿論のこ
と、製品ごとに強度差が生じることがあるため、製品ご
とに耐久性の面でバラツキが生じるといった問題点があ
る。

【０００５】これらの問題点は樹脂等の非金属製のフレ
キシブル管を採用すれば解決するものの、非金属製のも
のでは管内外の圧力差によりトレーサーガスが透過し易
いため、トレーサーガス検出手段がチャンバー内のトレ
ーサーガス量を検出するものである場合には、被検査物
からチャンバー内に漏れ出るトレーサーガスに加えて、
接続管からチャンバー内に接続管を透過して漏れ出るト
レーサーガスも検出され、また、トレーサーガス検出手
段が被検査物内のトレーサーガス量を検出するものであ
る場合には、チャンバーから被検査物内に侵入するトレ
ーサーガスに加えて、チャンバーから被検査物内に接続
管を透過して侵入するトレーサーガスも検出され、被検
査物の漏れ度合いを正確に検出できないおそれがある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記した問題
に対処すべくなされたものであり、内部に被検査物を収
容するチャンバーと、トレーサーガスを供給するトレー
サーガス供給手段と、前記チャンバー内のトレーサーガ
ス量を検出するトレーサーガス検出手段と、前記トレー
サーガス供給手段と前記チャンバー内に収容された前記
被検査物を接続する接続管とを備えたリークテスターに
おいて、前記チャンバー内に配設される前記接続管とし
て、前記被検査物に前記トレーサーガス供給手段からト
レーサーガスを導入する内管と同内管を被覆する外管と
からなる二重構造の非金属製接続管を採用し、前記接続
管の内管と外管との間に形成される筒状空間に除去用ガ
スを流通させる流通手段を設けたこと（請求項１に係る
発明）に特徴がある。

【０００７】また、本発明は、内部に被検査物を収容す
るチャンバーと、同チャンバーにトレーサーガスを供給
するトレーサーガス供給手段と、トレーサーガス量を検
出するトレーサーガス検出手段と、前記トレーサーガス
検出手段と前記チャンバー内に収容された前記被検査物
を接続する接続管とを備えたリークテスターにおいて、
前記チャンバー内に配設される前記接続管として、前記
被検査物から前記トレーサーガス検出手段にトレーサー
ガスを導く内管と同内管を被覆する外管とからなる二重
構造の非金属製接続管を採用し、前記接続管の内管と外
管との間に形成される筒状空間に除去用ガスを流通させ
る流通手段を設けたこと（請求項２に係る発明）に特徴
がある。

【０００８】また、本発明は、内部に被検査物を収容す
るチャンバーと、トレーサーガスを供給するトレーサー
ガス供給手段と、前記チャンバー内のトレーサーガス量
を検出するトレーサーガス検出手段と、前記トレーサー
ガス供給手段と前記チャンバー内に収容された前記被検
査物を接続する接続管とを備えたリークテスターにお い
て、前記チャンバー内に配設される前記接続管として、
前記被検査物に前記トレーサーガス供給手段からトレー
サーガスを導入する内管と同内管を被覆する外管とから
なる二重構造の非金属製接続管を採用し、前記接続管の
内管と外管との間に形成される筒状空間を真空引きする
真空引き手段を設けたこと（請求項３に係る発明）に特
徴がある。

【０００９】また、本発明は、内部に被検査物を収容す
るチャンバーと、同チャンバーにトレーサーガスを供給
するトレーサーガス供給手段と、トレーサーガス量を検
出するトレーサーガス検出手段と、前記トレーサーガス
検出手段と前記チャンバー内に収容された前記被検査物
を接続する接続管とを備えたリークテスターにおいて、
前記チャンバー内に配設される前記接続管として、前記
被検査物から前記トレーサーガス検出手段にトレーサー
ガスを導く内管と同内管を被覆する外管とからなる二重
構造の非金属製接続管を採用し、前記接続管の内管と外
管との間に形成される筒状空間を真空引きする真空引き
手段を設けたこと（請求項４に係る発明）に特徴があ
る。

【００１０】また、本発明は、内部に被検査物を収容す
るチャンバーと、前記被検査物又は前記チャンバーにト
レーサーガスを供給するトレーサーガス供給手段と、前
記チャンバー内又は前記被検査物内のトレーサーガス量
を検出するトレーサーガス検出手段と、前記チャンバー
内に配設されて前記被検査物と前記トレーサーガス供給
手段又は前記トレーサーガス検出手段とを接続する接続
管とを備えたリークテスターにおいて、前記接続管を内
管と同内管を被覆する外管とで構成し、前記内管と前記
外管との間に形成される筒状空間内のトレーサーガスを
排出するトレーサーガス排出手段を設けたこと（請求項
５に係る発明）に特徴がある。この場合、トレーサーガ
ス排出手段としては、前記接続管の内管と外管との間に
形成される筒状空間に除去用ガスを流通させる流通手段
あるいは、前記筒状空間を真空引きする真空引き手段を
採用することができる。

【００１１】

【発明の作用・効果】本発明によるリークテスター（請
求項１に係る発明）においては、チャンバー内に配設さ
れる接続管として、被検査物にトレーサーガス供給手段
からトレーサーガスを導入する内管と同内管を被覆する
外管とからなる二重構造の非金属製接続管を採用し、接
続管の内管と外管との間に形成される筒状空間に除去用
ガスを流通させる流通手段を設けた。このため、トレー
サーガスの一部が内管を透過して筒状空間に漏れ出たと
しても、除去用ガスの流通により、筒状空間内のトレー
サーガスを排出することができる。したがって、接続管
を透過してチャンバー内に漏れ出るトレーサーガス量を
効果的に減らすことができ、リークテストの精度を効果
的に上げることができる。

【００１２】また、本発明によるリークテスター（請求
項２に係る発明）においては、チャンバー内に配設され
る接続管として、被検査物からトレーサーガス検出手段
にトレーサーガスを導く内管と同内管を被覆する外管と
からなる二重構造の非金属製接続管を採用し、接続管の
内管と外管との間に形成される筒状空間に除去用ガスを
流通させる流通手段を設けた。このため、トレーサーガ
スの一部が外管を透過して筒状空間に浸入したとして
も、除去用ガスの流通により、筒状空間内のトレーサー
ガスを排出することができる。したがって、接続管を透
過して接続管内に浸入するトレーサーガス量を効果的に
減らすことができ、リークテストの精度を効果的に上げ
ることができる。

【００１３】また、本発明によるリークテスター（請求
項３に係る発明）においては、チャンバー内に配設され
る接続管として、被検査物にトレーサーガス供給手段か
らトレーサーガスを導入する内管と同内管を被覆する外
管とからなる二重構造の非金属製接続管を採用し、接続
管の内管と外管との間に形成される筒状空間を真空引き
する真空引き手段を設けた。このため、トレーサーガス
の一部が内管を透過して筒状空間に漏れ出たとしても、
筒状空間を真空引きすることにより、筒状空間内のトレ
ーサーガスを排出することができる。したがって、接続
管を透過してチャンバー内に漏れ出るトレーサーガス量
をほとんど無くすことができ、リークテストの精度をき
わめて上げることができる。

【００１４】また、本発明によるリークテスター（請求
項４に係る発明）においては、チャンバー内に配設され
る接続管として、被検査物からトレーサーガス検出手段
にトレーサーガスを導く内管と同内管を被覆する外管と
からなる二重構造の非金属製接続管を採用し、接続管の
内管と外管との間に形成される筒状空間を真空引きする
真空引き手段を設けた。このため、トレーサーガスの一
部が外管を透過して筒状空間に浸入したとしても、筒状
空間を真空引きすることにより、筒状空間内のトレーサ
ーガスを排出することができる。したがって、接続管を
透過して接続管内に浸入するトレーサーガス量をほとん
ど無くすことができ、リークテストの精度をきわめて上
げることができる。

【００１５】また、本発明によるリークテスター（請求
項５に係る発明）においては、接続管を内管と同内管を
被覆する外管とで構成し、内管と外管との間に形成され
る筒状空間内のトレーサーガスを排出するトレーサーガ
ス排出手段を設けた。このため、トレーサーガスの一部
が内管を透過して筒状空間に漏れ出たとしても、又はト
レーサーガスの一部が外管を透過して筒状空間に浸入し
たとしても、トレーサーガス排出手段により筒状空間内
のトレーサーガスを排出することができる。したがっ
て、接続管を透過してチャンバー内に漏れ出る又は、接
続管を透過して接続管内に浸入するトレーサーガス量を
効果的に減らすことができ、リークテストの精度を効果
的に上げることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施形態を図
面に基づいて説明する。図１は本発明によるリークテス
ターの第１実施形態を示していて、このリークテスター
は、内部に被検査物Ｍを収容するチャンバー１０と、ト
レーサーガス（検知用のヘリウムガス）を供給するトレ
ーサーガス供給手段２０と、トレーサーガス量を検出す
るトレーサーガス検出手段３０と、トレーサーガス供給
手段２０と被検査物Ｍを接続する接続管４０等を備えて
いる。

【００１７】チャンバー１０は、前面に設けられた扉
（図示省略）を開くことにより被検査物Ｍを内部に収容
可能な直方体形状をしており、同チャンバー１０に設け
られた５つの接続口１１，１２，１３，１４，１５に
は、それぞれトレーサーガス供給手段２０、トレーサー
ガス検出手段３０、チャンバー１０の大気開放手段５
０、接続管４０の真空引き手段６０、チャンバー１０の
真空引き手段７０が接続されている。

【００１８】トレーサーガス供給手段２０は、接続管４
０を通して被検査物Ｍにトレーサーガスを供給するもの
で、トレーサーガス供給ボンベ２１と、同ボンベ２１に
接続されるとともにチャンバー１０の接続口１１に接続
された導入管２２と、同導入管２２に介装された開閉バ
ルブＶ１を備えている。また、導入管２２における開閉
バルブＶ１よりも接続口１１側の部位には、第１真空ポ
ンプ２５に接続された配管２３と大気開放された配管２
４がそれぞれ接続されており、各配管２３，２４には各
開閉バルブＶ２，Ｖ３がそれぞれ介装されている。

【００１９】トレーサーガス検出手段３０は、チャンバ
ー１０内のトレーサーガス量を検出するもので、それ自
体周知のトレーサーガス検出器３１と、同検出器３１に
接続されるとともにチャンバー１０の接続口１２に接続
された配管３２と、同配管３２に介装された開閉バルブ
Ｖ４を備えている。

【００２０】接続管４０は、図２に詳細に示したよう
に、被検査物Ｍにトレーサーガスを導入する樹脂製の内
管４１と、同内管４１を所定の筒状空間Ｓを有して被覆
する樹脂製の外管４２とからなる二重構造とされてお
り、一端がチャンバー１０内にてチャンバー１０の接続
口１１に接続具４３を介して気密的に接続されるととも
に、他端が被検査物Ｍの供給口ｍに接続具４４を介して
脱着可能かつ気密的に接続されるようになっている。

【００２１】チャンバー１０の大気開放手段５０は、チ
ャンバー１０内を大気に連通して開放するもので、一端
がチャンバー１０の接続口１３に接続された配管５１
と、同配管５１の他端側に設けられた開閉バルブＶ５を
備えている。

【００２２】接続管４０の真空引き手段６０は、内管４
１と外管４２間の筒状空間Ｓ内を所定の圧力まで真空引
きするもので、第２真空ポンプ６１と、同第２真空ポン
プ６１に接続されるとともにチャンバー１０の接続口１
４に接続された配管６２と、同配管６２に介装された開
閉バルブＶ６を備えている。

【００２３】チャンバー１０の真空引き手段７０は、チ
ャンバー１０内を所定の圧力まで真空引きするもので、
第３真空ポンプ７１と、同第３真空ポンプ７１に接続さ
れるとともにチャンバー１０の接続口１５に接続された
配管７２と、同配管７２に介装された開閉バルブＶ７を
備えている。

【００２４】上記のように構成した第１実施形態におけ
るリークテスターは、各真空ポンプ２５，６１，７１を
運転状態に維持するとともに、開閉バルブＶ６を間欠的
（または連続的）に開閉させて、内管４１と外管４２間
の筒状空間Ｓを真空引きする状態にて、下記の手順〜
を繰り返すことによって使用される。開閉バルブＶ
１〜Ｖ７を閉じた状態にて、チャンバー１０の扉を開け
てチャンバー１０内に被検査物Ｍを収容し、接続管４０
の先端を被検査物Ｍの供給口ｍに接続具４４を介して接
続した後に、チャンバー１０の扉を閉じる。開閉バル
ブＶ２及びＶ７を開いて被検査物Ｍ内及びチャンバー１
０内を所定の圧力まで真空引きした後に、開閉バルブＶ
２及びＶ７を閉じる。開閉バルブＶ１を開いてトレー
サーガス供給ボンベ２１から被検査物Ｍ内にトレーサー
ガスを供給し、所定圧力にて所定時間維持する。上記
所定時間経過後に開閉バルブＶ４を開いて、トレーサー
ガス検出器３１によって検出される検出値（リークレー
ト値）を予め定めたしきい値と比較して合否判定する。
開閉バルブＶ１及びＶ４を閉じる。開閉バルブＶ３
を開いて被検査物Ｍ内のトレーサーガスを排出して被検
査物Ｍ内を大気開放するとともに、開閉バルブＶ５を開
いてチャンバー１０内を大気開放し、その後、チャンバ
ー１０の扉を開けて被検査物Ｍを取り出す。

【００２５】ところで、この第１実施形態においては、
トレーサーガス供給手段２０と被検査物Ｍを接続する接
続管４０として、被検査物Ｍにトレーサーガス供給手段
２０からトレーサーガスを導入する内管４１と同内管４
１を被覆する外管４２とからなる二重構造の樹脂製接続
管を採用したため、金属製接続管に比して取り扱いが容
易で使い勝手を良くすることができるとともに製造コス
トを抑えて安価に実施することができる。また、トレー
サーガスの一部が内管４１を透過して漏れ出たとして
も、内管４１を被覆する外管４２により、同ガスがチャ
ンバー１０内へ直接透過して漏れ出ることを抑制できる
ため、チャンバー１０内に接続管４０を透過して漏れ出
るトレーサーガス量を、一重の非金属製接続管を採用し
た場合に比して減らすことができ、リークテストの精度
を上げることができる。

【００２６】また、本実施形態においては、内管４１と
外管４２との間に筒状空間Ｓを設けて、同筒状空間Ｓを
真空引き手段６０によって間欠的または連続的に真空引
きするようにしたため、内管４１を透過して筒状空間Ｓ
内に漏れ出たトレーサーガスを真空引き手段６０によっ
て効果的に排出することができるとともに、外管４２の
内外周の圧力差（筒状空間Ｓ内とチャンバー１０内との
圧力差）をほとんど無くすことができて、外管４２を透
過してチャンバー１０内に漏れ出るトレーサーガス量を
ほとんど無くすことができる。したがって、リークテス
トの精度をきわめて上げることができる。

【００２７】図３は、本発明によるリークテスターの第
２実施形態（被検査物Ｍ内の容積に比してチャンバー１
０内の残留容積が小さい場合に、トレーサーガス使用量
が少なくて有効な実施形態）を示していて、このリーク
テスターにおいては、チャンバー１０の接続口１１にト
レーサーガス検出手段３０が接続されて被検査物Ｍとト
レーサーガス検出手段３０が接続管４０によって接続さ
れる構成及びチャンバー１０の接続口１２にトレーサー
ガス供給手段２０が接続されてトレーサーガス供給手段
２０からチャンバー１０内にトレーサーガスが供給され
るようになっている構成を除いて上記第１実施形態と実
質的に同じ構成であるため、同一構成には同一符号を付
して詳細な説明は省略する。なお、配管２３，２４は配
管３２における開閉バルブＶ４よりも接続口１１側の部
位に接続されている。

【００２８】上記のように構成した第２実施形態におけ
るリークテスターは、各真空ポンプ２５，６１，７１を
運転状態に維持するとともに、開閉バルブＶ６を間欠的
（または連続的）に開閉させて、内管４１と外管４２間
の筒状空間Ｓを真空引きする状態にて、下記の手順〜
を繰り返すことによって使用される。開閉バルブＶ
１〜Ｖ７を閉じた状態にて、チャンバー１０の扉を開け
てチャンバー１０内に被検査物Ｍを収容し、接続管４０
の先端を被検査物Ｍの供給口ｍに接続具４４を介して接
続した後に、チャンバー１０の扉を閉じる。開閉バル
ブＶ２及びＶ７を開いて被検査物Ｍ内及びチャンバー１
０内を所定の圧力まで真空引きした後に、開閉バルブＶ
２及びＶ７を閉じる。開閉バルブＶ１を開いてトレー
サーガス供給ボンベ２１からチャンバー１０内にトレー
サーガスを供給し、所定圧力にて所定時間維持する。
上記所定時間経過後に開閉バルブＶ４を開いて、トレー
サーガス検出器３１によって検出される検出値（リーク
レート値）を予め定めたしきい値と比較して合否判定す
る。開閉バルブＶ１及びＶ４を閉じる。開閉バルブ
Ｖ５を開いてチャンバー１０内の圧力を大気圧程度まで
下げた後に、開閉バルブＶ５を閉じる。開閉バルブＶ
７を開いてチャンバー１０内のトレーサーガスを第３真
空ポンプ７１に排出した後に、開閉バルブＶ７を閉じ
る。開閉バルブＶ５を開いてチャンバー１０内を大気
開放するとともに、開閉バルブＶ３を開いて被検査物Ｍ
内を大気開放し、その後、チャンバー１０の扉を開けて
被検査物Ｍを取り出す。

【００２９】ところで、この第２実施形態においては、
トレーサーガス検出手段３０と被検査物Ｍを接続する接
続管４０として、被検査物Ｍからトレーサーガス検出手
段３０にトレーサーガスを導く内管４１と同内管４１を
被覆する外管４２とからなる二重構造の樹脂製接続管を
採用したため、金属製接続管に比して取り扱いが容易で
使い勝手を良くすることができるとともに製造コストを
抑えて安価に実施することができる。また、トレーサー
ガスの一部が外管４２を透過して浸入したとしても、外
管４２の内側の内管４１により、同ガスが被検査物Ｍ内
へ直接透過して浸入することを抑制できるため、被検査
物Ｍ内に接続管４０を透過して浸入するトレーサーガス
量を、一重の非金属製接続管を採用した場合に比して減
らすことができ、リークテストの精度を上げることがで
きる。

【００３０】また、本実施形態においては、内管４１と
外管４２との間に筒状空間Ｓを設けて、同筒状空間Ｓを
真空引き手段６０によって間欠的または連続的に真空引
きするようにしたため、外管４２を透過して筒状空間Ｓ
内に浸入したトレーサーガスを真空引き手段６０によっ
て効果的に排出することができるとともに、内管４１の
内外周の圧力差（筒状空間Ｓ内と被検査物Ｍ内との圧力
差）をほとんど無くすことができて、内管４１を透過し
て被検査物Ｍ内に浸入するトレーサーガス量をほとんど
無くすことができる。したがって、リークテストの精度
をきわめて上げることができる。

【００３１】上記各実施形態においては、接続管４０と
して樹脂製接続管を採用したが、その他の非金属製接続
管、例えばゴム製接続管を採用して実施することも可能
である。また、上記各実施形態においては、接続管４０
として、内管４１と同内管４１を被覆する外管４２とか
らなる二重構造の接続管を採用したが、外管４２を多重
構造にして実施することも可能であり、この場合には、
上記各実施形態に比して、接続管４０を透過するトレー
サーガス量を更に減らすことができ、リークテストの精
度を更に上げることができる。

【００３２】また、上記各実施形態においては、筒状空
間Ｓ内を真空引き手段６０によって真空引きして、筒状
空間Ｓ内のトレーサーガスを排出するようにしたが、真
空引き手段６０に代えて、または真空引き手段６０に加
えて、図２の仮想線にて示したように、開閉バルブＶ８
を介装して配管６２に接続される導入管８１と、開閉バ
ルブＶ９を介装して接続具４４にて筒状空間Ｓの端部に
接続される導出管８２と、トレーサーガスを含まない窒
素ガス供給手段（図示省略）とを備えて、筒状空間Ｓ内
にトレーサーガス除去用の窒素ガスを流通させる流通手
段８０を設けて実施することも可能である。この場合に
は、筒状空間Ｓ内のトレーサーガスを除去用ガス（窒素
ガス）の流通によって筒状空間Ｓ内から排出させること
ができるため、接続管４０を透過して漏れ出る（または
浸入する）トレーサーガス量を効果的に減らすことがで
き、リークテストの精度を効果的に上げることができ
る。また、除去用ガスを流通させる流通手段８０と、筒
状空間Ｓ内を真空引きする真空引き手段６０を併用する
ことによって、更にリークテストの精度を効果的に上げ
ることもできる。なお、上記した除去用ガスは、窒素ガ
スに限らず、内管４１及び外管４２に対して浸透性に乏
しく、内管４１及び外管４２を腐食させないガスであれ
ば良く、例えば、窒素以上の分子量を有し、反応性の乏
しい炭酸ガス等を用いることも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明によるリークテスターの第１実施形態
を概略的に示す正面図である。

【図２】 図１に示した接続管とチャンバー、被検査物
等との接続関係を示す縦断正面図である。

【図３】 本発明によるリークテスターの第２実施形態
を概略的に示す正面図である。

【符号の説明】

１０…チャンバー、２０…トレーサーガス供給手段、３
０…トレーサーガス検出手段、４０…接続管、４１…内
管、４２…外管、６０…接続管の真空引き手段、８０…
流通手段、Ｍ…被検査物。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−108792（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−56831（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−300626（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01M 3/20 F17C 7/00

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に被検査物を収容するチャンバー
   と、トレーサーガスを供給するトレーサーガス供給手段
   と、前記チャンバー内のトレーサーガス量を検出するト
   レーサーガス検出手段と、前記トレーサーガス供給手段
   と前記チャンバー内に収容された前記被検査物を接続す
   る接続管とを備えたリークテスターにおいて、前記チャ
   ンバー内に配設される前記接続管として、前記被検査物
   に前記トレーサーガス供給手段からトレーサーガスを導
   入する内管と同内管を被覆する外管とからなる二重構造
   の非金属製接続管を採用し、前記接続管の内管と外管と
   の間に形成される筒状空間に除去用ガスを流通させる流
   通手段を設けたことを特徴とするリークテスター。
2. 【請求項２】 内部に被検査物を収容するチャンバー
   と、同チャンバーにトレーサーガスを供給するトレーサ
   ーガス供給手段と、トレーサーガス量を検出するトレー
   サーガス検出手段と、前記トレーサーガス検出手段と前
   記チャンバー内に収容された前記被検査物を接続する接
   続管とを備えたリークテスターにおいて、前記チャンバ
   ー内に配設される前記接続管として、前記被検査物から
   前記トレーサーガス検出手段にトレーサーガスを導く内
   管と同内管を被覆する外管とからなる二重構造の非金属
   製接続管を採用し、前記接続管の内管と外管との間に形
   成される筒状空間に除去用ガスを流通させる流通手段を
   設けたことを特徴とするリークテスター。
3. 【請求項３】 内部に被検査物を収容するチャンバー
   と、トレーサーガスを供給するトレーサーガス供給手段
   と、前記チャンバー内のトレーサーガス量を検出するト
   レーサーガス検出手段と、前記トレーサーガス供給手段
   と前記チャンバー内に収容された前記被検査物を接続す
   る接続管とを備えたリークテスターにおいて、前記チャ
   ンバー内に配設される前記接続管として、前記被検査物
   に前記トレーサーガス供給手段からトレーサーガスを導
   入する内管と同内管を被覆する外管とからなる二重構造
   の非金属製接続管を採用し、前記接続管の内管と外管と
   の間に形成される筒状空間を真空引きする真空引き手段
   を設けたことを特徴とするリークテスター。
4. 【請求項４】 内部に被検査物を収容するチャンバー
   と、同チャンバーにトレーサーガスを供給するトレーサ
   ーガス供給手段と、トレーサーガス量を検出するトレー
   サーガス検出手段と、前記トレーサーガス検出手段と前
   記チャンバー内に収容された前記被検査物を接続する接
   続管とを備えたリークテスターにおいて、前記チャンバ
   ー内に配設される前記接続管として、前記被検査物から
   前記トレーサーガス検出手段にトレーサーガスを導く内
   管と同内管を被覆する外管とからなる二重構造の非金属
   製接続管を採用し、前記接続管の内管と外管との間に形
   成される筒状空間を真空引きする真空引き手段を設けた
   ことを特徴とするリークテスター。
5. 【請求項５】 内部に被検査物を収容するチャンバー
   と、前記被検査物又は前記チャンバーにトレーサーガス
   を供給するトレーサーガス供給手段と、前記チャンバー
   内又は前記被検査物内のトレーサーガス量を検出するト
   レーサーガス検出手段と、前記チャンバー内に配設され
   て前記被検査物と前記トレーサーガス供給手段又は前記
   トレーサーガス検出手段とを接続する接続管とを備えた
   リークテスターにおいて、前記接続管を内管と同内管を
   被覆する外管とで構成し、前記内管と前記外管との間に
   形成される筒状空間内のトレーサーガスを排出するトレ
   ーサーガス排出手段を設けたことを特徴とするリークテ
   スター。