JP3430882B2 - リーク試験装置及びリーク試験方法 - Google Patents
リーク試験装置及びリーク試験方法Info
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- JP3430882B2 JP3430882B2 JP27644297A JP27644297A JP3430882B2 JP 3430882 B2 JP3430882 B2 JP 3430882B2 JP 27644297 A JP27644297 A JP 27644297A JP 27644297 A JP27644297 A JP 27644297A JP 3430882 B2 JP3430882 B2 JP 3430882B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、容器の接合部のリ
ークを検出するリーク試験装置及びリーク試験方法に関
する。
ークを検出するリーク試験装置及びリーク試験方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、圧力センサ１０１のリーク試験
を行なう従来の試験装置の構成を模式的に説明する断面
構成説明図である。
を行なう従来の試験装置の構成を模式的に説明する断面
構成説明図である。
【０００３】この圧力センサ１０１は、ヘッド部１０２
の下側に、円筒状のボディ又はネジの切られている円筒
状のボディ１０３を一体的に有し、ボディ１０３の端部
１０３ａに圧力を受けて撓むダイアフラム１０４が隙間
のないように接合されている。
の下側に、円筒状のボディ又はネジの切られている円筒
状のボディ１０３を一体的に有し、ボディ１０３の端部
１０３ａに圧力を受けて撓むダイアフラム１０４が隙間
のないように接合されている。
【０００４】オイル封入室１０５内（図において上部）
には感圧素子としてのチップ１０８が取り付けられてい
る。また、ボディ１０３内部にはダイアフラム１０４に
作用した圧力をチップ１０８に伝えるためのオイル封入
室１０５が設けられている。このオイル封入室１０５に
は、使用形態においてボディ１０３の外周壁部１０３ｂ
に設けられた連通孔１０６から流入されるオイルが満た
されている。尚、連通孔１０６は、オイル流入後に鋼球
（不図示）を圧入する等の方法により封止される。
には感圧素子としてのチップ１０８が取り付けられてい
る。また、ボディ１０３内部にはダイアフラム１０４に
作用した圧力をチップ１０８に伝えるためのオイル封入
室１０５が設けられている。このオイル封入室１０５に
は、使用形態においてボディ１０３の外周壁部１０３ｂ
に設けられた連通孔１０６から流入されるオイルが満た
されている。尚、連通孔１０６は、オイル流入後に鋼球
（不図示）を圧入する等の方法により封止される。
【０００５】ボディ１０３の端部１０３ａとダイアフラ
ム１０４の接合部１０７は、例えば溶接（レーザ溶接や
ＴＩＧ溶接など）やろう付け等の方法により全周溶接さ
れているもので、この図２の圧力センサ１０１は、ダイ
アフラム１０４の接合直後のものであり、接合部１０７
のリークを検査している状態であり、オイル封入室１０
５にはオイルは存在せず、また連通孔１０６も開口して
いる。
ム１０４の接合部１０７は、例えば溶接（レーザ溶接や
ＴＩＧ溶接など）やろう付け等の方法により全周溶接さ
れているもので、この図２の圧力センサ１０１は、ダイ
アフラム１０４の接合直後のものであり、接合部１０７
のリークを検査している状態であり、オイル封入室１０
５にはオイルは存在せず、また連通孔１０６も開口して
いる。
【０００６】圧力センサ１０１の接合部１０７のリーク
の検査を行なう際には、圧力センサ１０１の形状のキャ
ビティを形成した２つ割りの治具２０１ａ，２０１ｂを
準備し、その内側に圧力センサ１０１を挟み込むことで
行なわれる。
の検査を行なう際には、圧力センサ１０１の形状のキャ
ビティを形成した２つ割りの治具２０１ａ，２０１ｂを
準備し、その内側に圧力センサ１０１を挟み込むことで
行なわれる。
【０００７】治具２０１ｂには、圧力センサ１０１の連
通孔１０６に対向する位置に、連通孔１０６に嵌り込む
ポート部２０２と、当接する圧力センサ１０１の外周壁
部１０３ｂの連通孔１０６の周囲をシールするＯリング
２０３が備えられている。
通孔１０６に対向する位置に、連通孔１０６に嵌り込む
ポート部２０２と、当接する圧力センサ１０１の外周壁
部１０３ｂの連通孔１０６の周囲をシールするＯリング
２０３が備えられている。
【０００８】ポート部２０２は、バルブ２０４を介して
真空ポンプ２０５及び漏出するＨｅガスを検出するＨｅ
リークディテクタ２０６に接続している。尚、Ｈｅリー
クディテクタ２０６は、真空引きを行なうことにより、
Ｈｅガスを内部に引き込み検出するものである。
真空ポンプ２０５及び漏出するＨｅガスを検出するＨｅ
リークディテクタ２０６に接続している。尚、Ｈｅリー
クディテクタ２０６は、真空引きを行なうことにより、
Ｈｅガスを内部に引き込み検出するものである。
【０００９】また、治具２０１ａ，２０１ｂのボディ１
０３のキャビティ部は外側まで延長されて開口部２０７
を備えている。
０３のキャビティ部は外側まで延長されて開口部２０７
を備えている。
【００１０】このような構成の治具を使用した圧力セン
サ１０１のリークの検査は次のようなステップにより行
なわれる。
サ１０１のリークの検査は次のようなステップにより行
なわれる。
【００１１】ステップ１：ダイアフラム１０４の溶接さ
れた圧力センサ１０１を、連通孔１０６が開いた状態の
２つ割りの一方の治具２０１ｂのポート部２０２と合わ
さるようにセットして２つ割りの治具２０１ａ，２０１
ｂを閉じる。この時バルブ２０４は閉じている。
れた圧力センサ１０１を、連通孔１０６が開いた状態の
２つ割りの一方の治具２０１ｂのポート部２０２と合わ
さるようにセットして２つ割りの治具２０１ａ，２０１
ｂを閉じる。この時バルブ２０４は閉じている。
【００１２】ステップ２：バルブ２０４を開き、真空ポ
ンプ２０５でオイル封入室１０５の圧力を低下（真空引
き）させる。
ンプ２０５でオイル封入室１０５の圧力を低下（真空引
き）させる。
【００１３】ステップ３：規定の真空度に達したらＨｅ
ガスボンベに接続されたノズル２０８よりＨｅガスを開
口部２０７に向かって吹きつける。
ガスボンベに接続されたノズル２０８よりＨｅガスを開
口部２０７に向かって吹きつける。
【００１４】ステップ４：Ｈｅリークディテクタ２０６
によりＨｅガスの漏れ（接続部１０７よりの）を検出・
判定する。（接続部１０７に不良箇所があれば、不良箇
所から漏れたＨｅガスがオイル封入室１０５よりポート
部２０２を通り、Ｈｅリークディテクタ２０６へと流入
する。Ｈｅリークディテクタ２０６は、漏れたＨｅガス
を検出して漏れ量（濃度）を表示する。表示された漏れ
量をオペレータが確認してＯＫかＮＧかを判定す
る。）。
によりＨｅガスの漏れ（接続部１０７よりの）を検出・
判定する。（接続部１０７に不良箇所があれば、不良箇
所から漏れたＨｅガスがオイル封入室１０５よりポート
部２０２を通り、Ｈｅリークディテクタ２０６へと流入
する。Ｈｅリークディテクタ２０６は、漏れたＨｅガス
を検出して漏れ量（濃度）を表示する。表示された漏れ
量をオペレータが確認してＯＫかＮＧかを判定す
る。）。
【００１５】ステップ５：２つ割りの治具２０１ａ，２
０１ｂを開いて圧力センサ１０１を取り出す。
０１ｂを開いて圧力センサ１０１を取り出す。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなリーク試験装置では、オイル封入室１０５に対して
真空引きを行なうために、圧力センサ１０１の連通孔１
０６が開いた状態の２つ割りの一方の治具２０１ｂのポ
ート部２０２に合わせる位置合わせ作業が必要となり、
オペレータの作業性を低下させると共に動作が複雑とな
り自動化が困難となっていた。
うなリーク試験装置では、オイル封入室１０５に対して
真空引きを行なうために、圧力センサ１０１の連通孔１
０６が開いた状態の２つ割りの一方の治具２０１ｂのポ
ート部２０２に合わせる位置合わせ作業が必要となり、
オペレータの作業性を低下させると共に動作が複雑とな
り自動化が困難となっていた。
【００１７】また、吹きつけたＨｅガスの余剰分は、治
具の周囲に放出され、また特別なＨｅガス除去作業を行
なわない場合には、次の圧力センサを検査する際にＨｅ
ガスの誤検出を招き、検査精度を低下させる恐れがあ
る。
具の周囲に放出され、また特別なＨｅガス除去作業を行
なわない場合には、次の圧力センサを検査する際にＨｅ
ガスの誤検出を招き、検査精度を低下させる恐れがあ
る。
【００１８】本発明は上記従来技術の問題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、圧力セ
ンサのリーク試験の作業性を向上させ、自動化を容易と
し、また検査精度を向上させることで、生産効率を向上
することを可能とするリーク試験装置及びリーク試験方
法を提供することにある。
めになされたもので、その目的とするところは、圧力セ
ンサのリーク試験の作業性を向上させ、自動化を容易と
し、また検査精度を向上させることで、生産効率を向上
することを可能とするリーク試験装置及びリーク試験方
法を提供することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明にあっては、外部との連通孔を有する容器と該
容器の開口部を塞ぐ蓋部材との接合部のリークを検出す
るリーク試験装置であって、前記容器の接合部と連通孔
との間を境界シール部とし、接合部側を位置させる第１
の室と、連通孔側を位置させる第２の室とを有する検出
治具と、前記第１の室にリーク検出のためのガスを供給
するガス供給手段と、前記第２の室の圧力を低下させる
圧力低下手段と、前記第２の室に漏れる前記ガスを検出
するガス検出手段と、を備えることを特徴とする。
に本発明にあっては、外部との連通孔を有する容器と該
容器の開口部を塞ぐ蓋部材との接合部のリークを検出す
るリーク試験装置であって、前記容器の接合部と連通孔
との間を境界シール部とし、接合部側を位置させる第１
の室と、連通孔側を位置させる第２の室とを有する検出
治具と、前記第１の室にリーク検出のためのガスを供給
するガス供給手段と、前記第２の室の圧力を低下させる
圧力低下手段と、前記第２の室に漏れる前記ガスを検出
するガス検出手段と、を備えることを特徴とする。
【００２０】また、前記第１の室の圧力を逃がす排気経
路と、前記第１の室に滞留した前記ガスを前記排気経路
から排出させるための掃気手段と、前記第２の室の圧力
を上昇させる吸気手段と、を備えることも好適である。
路と、前記第１の室に滞留した前記ガスを前記排気経路
から排出させるための掃気手段と、前記第２の室の圧力
を上昇させる吸気手段と、を備えることも好適である。
【００２１】さらに、試験対象となる接合部を備えた容
器を、前記検出治具に収容しリーク試験の後に取り出す
ことを可能とする移送手段と、前記ガス供給手段、圧力
低下手段、ガス検出手段、排気経路、掃気手段、吸気手
段及び移送手段の作動制御を行なう制御手段と、を備
え、複数の容器のリーク試験を連続して実施可能とする
ことを特徴とする。
器を、前記検出治具に収容しリーク試験の後に取り出す
ことを可能とする移送手段と、前記ガス供給手段、圧力
低下手段、ガス検出手段、排気経路、掃気手段、吸気手
段及び移送手段の作動制御を行なう制御手段と、を備
え、複数の容器のリーク試験を連続して実施可能とする
ことを特徴とする。
【００２２】前記リーク検出のためのガスはＨｅガスで
あることも好適である。
あることも好適である。
【００２３】リーク試験方法においては、外部との連通
孔を有する容器と該容器の開口部を塞ぐ蓋部材との接合
部のリークを検出するリーク試験方法であって、前記容
器の接合部と連通孔との間を境界シール部とし、接合部
側を位置させる第１の室と連通孔側を位置させる第２の
室とを有する検出治具に、試験対象となる接合部を備え
た容器を収容し、圧力低下手段により前記第２の室の圧
力を低下させた後に、ガス供給手段により前記第１の室
にリーク検出のためのＨｅガスを供給し、ガス検出手段
により前記第２の室に漏れるＨｅガスを検出することを
特徴とするリーク試験方法。
孔を有する容器と該容器の開口部を塞ぐ蓋部材との接合
部のリークを検出するリーク試験方法であって、前記容
器の接合部と連通孔との間を境界シール部とし、接合部
側を位置させる第１の室と連通孔側を位置させる第２の
室とを有する検出治具に、試験対象となる接合部を備え
た容器を収容し、圧力低下手段により前記第２の室の圧
力を低下させた後に、ガス供給手段により前記第１の室
にリーク検出のためのＨｅガスを供給し、ガス検出手段
により前記第２の室に漏れるＨｅガスを検出することを
特徴とするリーク試験方法。
【００２４】また、ガス供給手段により前記第１の室に
リーク検出のためのＨｅガスを供給する際に排気経路に
より前記第１の室の圧力上昇を抑え、リーク試験の後
に、掃気手段により前記第１の室に滞留した前記Ｈｅガ
スを前記排気経路から排出すると共に、前記第２の室に
接続する吸気手段により第２の室の負圧力を解消させる
ことを特徴とすることも好適である。
リーク検出のためのＨｅガスを供給する際に排気経路に
より前記第１の室の圧力上昇を抑え、リーク試験の後
に、掃気手段により前記第１の室に滞留した前記Ｈｅガ
スを前記排気経路から排出すると共に、前記第２の室に
接続する吸気手段により第２の室の負圧力を解消させる
ことを特徴とすることも好適である。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下に本発明を図１に示す実施の
形態に基づいて説明する。この実施の形態に係る試験対
象となる接合部を備えた容器としては、従来技術の項に
おいて図２を使用して説明した圧力センサ１０１であ
る。圧力センサ１０１の構成及び作用に関しての変更点
はなく、同じ構成部に対して同じ符号を付しその説明を
省略する。
形態に基づいて説明する。この実施の形態に係る試験対
象となる接合部を備えた容器としては、従来技術の項に
おいて図２を使用して説明した圧力センサ１０１であ
る。圧力センサ１０１の構成及び作用に関しての変更点
はなく、同じ構成部に対して同じ符号を付しその説明を
省略する。
【００２６】リーク試験装置ＬＴ１としては、圧力セン
サ１０１を収容する検出治具１にその主要となる特徴的
な構成が現れており、以下検出治具１からその構成を説
明する。
サ１０１を収容する検出治具１にその主要となる特徴的
な構成が現れており、以下検出治具１からその構成を説
明する。
【００２７】検出治具１には、圧力センサ１０１のボデ
ィ１０３を収めることの可能な円柱状のリーク検査室２
をその開口部２ａが検出治具１の上端面に位置するよう
に形成されている。リーク検査室２の直径は、圧力セン
サ１０１のボディ１０３よりも大きく且つヘッド部１０
２の直径よりも小さく設定されており、ヘッド部１０２
の下端部が開口部２ａの周囲に当接して挿入方向（図に
おいて上下方向）の位置決めがなされている。
ィ１０３を収めることの可能な円柱状のリーク検査室２
をその開口部２ａが検出治具１の上端面に位置するよう
に形成されている。リーク検査室２の直径は、圧力セン
サ１０１のボディ１０３よりも大きく且つヘッド部１０
２の直径よりも小さく設定されており、ヘッド部１０２
の下端部が開口部２ａの周囲に当接して挿入方向（図に
おいて上下方向）の位置決めがなされている。
【００２８】リーク検査室２の挿入方向において、圧力
センサ１０１の接合部１０７と連通孔１０６との間に
は、圧力センサ１０１のボディ１０３の外周に密接する
Ｏリング３を保持すると共に、挿入される圧力センサ１
０１の径方向（図において左右方向）の位置決めを行な
う境界シール部としての環状突部４が内側に向かい突出
している。
センサ１０１の接合部１０７と連通孔１０６との間に
は、圧力センサ１０１のボディ１０３の外周に密接する
Ｏリング３を保持すると共に、挿入される圧力センサ１
０１の径方向（図において左右方向）の位置決めを行な
う境界シール部としての環状突部４が内側に向かい突出
している。
【００２９】この環状突部４の内周端面には、環状凹溝
４ａが形成され、Ｏリング３が保持されている。また、
リーク検査室２の開口部２ａの周囲には、環状溝５が形
成され、Ｏリング６が保持されている。
４ａが形成され、Ｏリング３が保持されている。また、
リーク検査室２の開口部２ａの周囲には、環状溝５が形
成され、Ｏリング６が保持されている。
【００３０】従って、圧力センサ１０１を検出治具１の
リーク検査室２に挿入した状態におけるリーク検査室２
は、環状突部４とＯリング３により、それぞれ独立した
接合部１０７を位置させる第１の室Ｒ１と、連通孔１０
６を位置させる第２の室Ｒ２に分割される。そして、第
１の室Ｒ１には、リーク検出のためのガスとしてのＨｅ
ガスを供給するガス供給手段としてのＨｅガス供給ポー
ト７と、第１の室Ｒ１の圧力を逃がす排気手段としての
排気ポート８が設けられている。
リーク検査室２に挿入した状態におけるリーク検査室２
は、環状突部４とＯリング３により、それぞれ独立した
接合部１０７を位置させる第１の室Ｒ１と、連通孔１０
６を位置させる第２の室Ｒ２に分割される。そして、第
１の室Ｒ１には、リーク検出のためのガスとしてのＨｅ
ガスを供給するガス供給手段としてのＨｅガス供給ポー
ト７と、第１の室Ｒ１の圧力を逃がす排気手段としての
排気ポート８が設けられている。
【００３１】Ｈｅガス供給ポート７は、Ｈｅガス供給源
９からのガス供給経路１０に接続している。また、ガス
供給経路１０の途中には掃気手段として機能する圧縮エ
ア供給源１１からの圧縮エア供給経路１２が接続してい
る。
９からのガス供給経路１０に接続している。また、ガス
供給経路１０の途中には掃気手段として機能する圧縮エ
ア供給源１１からの圧縮エア供給経路１２が接続してい
る。
【００３２】第２の室Ｒ２には、室内の圧力を低下させ
る（真空引き）圧力低下手段としての真空ポンプ１３及
びＨｅガスの検出手段としてのＨｅガス検出部１４を一
体的に備えるＨｅリークディテクタ１５からのＨｅ検出
経路１６に接続するＨｅ検出ポート１７と、第２の室Ｒ
２に大気を導入する吸気手段としての大気経路１８から
の大気導入ポート１９が設けられている。
る（真空引き）圧力低下手段としての真空ポンプ１３及
びＨｅガスの検出手段としてのＨｅガス検出部１４を一
体的に備えるＨｅリークディテクタ１５からのＨｅ検出
経路１６に接続するＨｅ検出ポート１７と、第２の室Ｒ
２に大気を導入する吸気手段としての大気経路１８から
の大気導入ポート１９が設けられている。
【００３３】２０，２１，２２，２３は、各経路の流れ
を制御するソレノイドバルブであり、図示されない制御
手段としてのシーケンスコントローラにより作動され
る。
を制御するソレノイドバルブであり、図示されない制御
手段としてのシーケンスコントローラにより作動され
る。
【００３４】３０は、複数の圧力センサ１０１を自動的
かつ連続的にリーク検査を行なうことを可能とする移送
手段としてのピックアップアームであり、矢印Ａ１，Ａ
２方向に移動することができる。
かつ連続的にリーク検査を行なうことを可能とする移送
手段としてのピックアップアームであり、矢印Ａ１，Ａ
２方向に移動することができる。
【００３５】そして、グリッパ部３１の凹部３１ａがヘ
ッド部１０２に嵌合し、負圧を発生させて吸いつけ移送
可能とすることで、整列された検査前の圧力センサ１０
１を順次に検出治具１のリーク検査室２へと差し込み、
検査終了後に抜きとって後工程へと移送するにより、リ
ーク試験を自動化することも可能となる。
ッド部１０２に嵌合し、負圧を発生させて吸いつけ移送
可能とすることで、整列された検査前の圧力センサ１０
１を順次に検出治具１のリーク検査室２へと差し込み、
検査終了後に抜きとって後工程へと移送するにより、リ
ーク試験を自動化することも可能となる。
【００３６】尚、リーク検出中に、圧力センサ１０１を
押圧する必要がある場合には、グリッパ部３１を３１’
の位置で停止して押し付けることにより、Ｏリング６の
密着を高め、第２の室Ｒ２の密封性を高めることが可能
となる。
押圧する必要がある場合には、グリッパ部３１を３１’
の位置で停止して押し付けることにより、Ｏリング６の
密着を高め、第２の室Ｒ２の密封性を高めることが可能
となる。
【００３７】このような構成のリーク試験装置ＬＴ１に
よる圧力センサ１０１のリーク検査は次のようなステッ
プにより行なわれる。
よる圧力センサ１０１のリーク検査は次のようなステッ
プにより行なわれる。
【００３８】ステップ１：ピックアップアーム３０によ
り圧力センサ１０１を検出治具１のリーク検査室２へと
差し込み、所定の圧力で検出治具１に押し付ける（この
とき、ソレノイドバルブ２０，２１，２２，２３は全て
閉じている。）。
り圧力センサ１０１を検出治具１のリーク検査室２へと
差し込み、所定の圧力で検出治具１に押し付ける（この
とき、ソレノイドバルブ２０，２１，２２，２３は全て
閉じている。）。
【００３９】ステップ２：ソレノイドバルブ２２を開弁
して第２の室Ｒ２を真空引きを行なう（同時に連通孔１
０６からオイル封入室１０５も真空引きされる）。
して第２の室Ｒ２を真空引きを行なう（同時に連通孔１
０６からオイル封入室１０５も真空引きされる）。
【００４０】ステップ３：規定の真空度に達したら、ソ
レノイドバルブ２０を開弁してＨｅガスを第１の室Ｒ１
に所定量吹きつけ、その後ソレノイドバルブ２０を閉弁
する。
レノイドバルブ２０を開弁してＨｅガスを第１の室Ｒ１
に所定量吹きつけ、その後ソレノイドバルブ２０を閉弁
する。
【００４１】ステップ４：Ｈｅリークディテクタ１５に
よりＨｅガスの漏れ（接続部１０７よりの）を検出・判
定する。（接続部１０７に不良箇所があれば、不良箇所
から漏れたＨｅガスがオイル封入室１０５よりＨｅ検出
ポート１７を通り、Ｈｅリークディテクタ１５へと流入
する。Ｈｅリークディテクタ１５は、漏れたＨｅガスを
検出して漏れ量（濃度）をリモートメータ（不図示）に
検出信号を送る。リモートメータはＨｅリークディテク
タ１５の検出したＨｅガスの漏れ量を表示すると共に、
基準値を設定しておくことにより、漏れ量のＯＫ・ＮＧ
の判定を自動的に行なう）。
よりＨｅガスの漏れ（接続部１０７よりの）を検出・判
定する。（接続部１０７に不良箇所があれば、不良箇所
から漏れたＨｅガスがオイル封入室１０５よりＨｅ検出
ポート１７を通り、Ｈｅリークディテクタ１５へと流入
する。Ｈｅリークディテクタ１５は、漏れたＨｅガスを
検出して漏れ量（濃度）をリモートメータ（不図示）に
検出信号を送る。リモートメータはＨｅリークディテク
タ１５の検出したＨｅガスの漏れ量を表示すると共に、
基準値を設定しておくことにより、漏れ量のＯＫ・ＮＧ
の判定を自動的に行なう）。
【００４２】ステップ５：判定が終了したら、ソレノイ
ドバルブ２２を閉弁する。
ドバルブ２２を閉弁する。
【００４３】ステップ６：ステップ５におけるソレノイ
ドバルブ２２の閉弁の後、ソレノイドバルブ２１を開弁
し、圧縮エア供給源１１から圧縮エア供給経路１２とＨ
ｅガス供給ポート７を介して圧縮エアを第１の室Ｒ１に
流入させ、滞留しているＨｅガスを排気ポート８から外
部（検出治具１から検査精度に影響を与えない所定距離
離れている）へ掃気する。掃気が終了したらソレノイド
バルブ２１を閉弁する。
ドバルブ２２の閉弁の後、ソレノイドバルブ２１を開弁
し、圧縮エア供給源１１から圧縮エア供給経路１２とＨ
ｅガス供給ポート７を介して圧縮エアを第１の室Ｒ１に
流入させ、滞留しているＨｅガスを排気ポート８から外
部（検出治具１から検査精度に影響を与えない所定距離
離れている）へ掃気する。掃気が終了したらソレノイド
バルブ２１を閉弁する。
【００４４】このステップ６において、第１の室Ｒ１の
掃気と同時に吸気手段としてのソレノイドバルブ２３を
開き、第２の室Ｒ２を真空状態から大気圧に戻し、ソレ
ノイドバルブ２３を閉弁する。
掃気と同時に吸気手段としてのソレノイドバルブ２３を
開き、第２の室Ｒ２を真空状態から大気圧に戻し、ソレ
ノイドバルブ２３を閉弁する。
【００４５】ステップ７：ピックアップアーム３０によ
り圧力センサ１０１をリーク検査室２から引き抜き、所
定の位置へ移動する。
り圧力センサ１０１をリーク検査室２から引き抜き、所
定の位置へ移動する。
【００４６】尚、この実施の形態では、圧力センサ１０
１の移動動作と検出治具１への挿入動作をピックアップ
アーム３０（自動機）により行なうものとして説明して
いるが、ピックアップアーム３０の代わりにオペレータ
によるマニュアル操作により行なうことも可能である。
１の移動動作と検出治具１への挿入動作をピックアップ
アーム３０（自動機）により行なうものとして説明して
いるが、ピックアップアーム３０の代わりにオペレータ
によるマニュアル操作により行なうことも可能である。
【００４７】リーク試験装置ＬＴ１による圧力センサ１
０１のリーク検査における、特徴的な作用・効果とし
て、第１に圧力センサ１０１のボディ１０３のＯリング
３の密着している部分よりも連通孔１０６側の領域が第
２の室Ｒ２に曝されるので、連通孔１０６の位置がいず
れの方向であっても関係なく、連通孔１０６を介してオ
イル封入室１０５を真空引きすることができ、圧力セン
サ１０１の回転方向の位置合わせが不要となり、オペレ
ータの作業性を向上させる、あるいは自動化を容易に行
なうことができ、生産効率を向上することができる。
０１のリーク検査における、特徴的な作用・効果とし
て、第１に圧力センサ１０１のボディ１０３のＯリング
３の密着している部分よりも連通孔１０６側の領域が第
２の室Ｒ２に曝されるので、連通孔１０６の位置がいず
れの方向であっても関係なく、連通孔１０６を介してオ
イル封入室１０５を真空引きすることができ、圧力セン
サ１０１の回転方向の位置合わせが不要となり、オペレ
ータの作業性を向上させる、あるいは自動化を容易に行
なうことができ、生産効率を向上することができる。
【００４８】第２として、第１の室Ｒ１に備えられた排
気ポート８によりＨｅガスを第１の室Ｒ１に所定量吹き
つける際に、第１の室Ｒ１の圧力が高くなり過ぎること
が防止される。ダイアフラム１０４のオイル封入室１０
５側は、真空引きされているので第１の室Ｒ１側からの
圧力をかけ過ぎると変形してしまう恐れがあり、これを
防止することが可能となる。
気ポート８によりＨｅガスを第１の室Ｒ１に所定量吹き
つける際に、第１の室Ｒ１の圧力が高くなり過ぎること
が防止される。ダイアフラム１０４のオイル封入室１０
５側は、真空引きされているので第１の室Ｒ１側からの
圧力をかけ過ぎると変形してしまう恐れがあり、これを
防止することが可能となる。
【００４９】第３として、リーク検査終了後に、第１の
室Ｒ１に滞留しているＨｅガスを掃気することができ、
リーク検査室２にＨｅガスが残留することが防止され
る。従って、Ｈｅガスの検出精度を高めることができ、
誤判定の確率が低減して信頼性が向上する。
室Ｒ１に滞留しているＨｅガスを掃気することができ、
リーク検査室２にＨｅガスが残留することが防止され
る。従って、Ｈｅガスの検出精度を高めることができ、
誤判定の確率が低減して信頼性が向上する。
【００５０】さらに第４として、リーク検査の全工程を
自動化することも可能となる。
自動化することも可能となる。
【００５１】
【発明の効果】上記のように説明された本発明のリーク
試験装置及びリーク試験方法によると、試験対象となる
接合部を備えた容器の回転方向の位置合わせが不要とな
り、検出治具への取り付け作業性の向上と自動化が容易
となり、生産効率を向上することができる。
試験装置及びリーク試験方法によると、試験対象となる
接合部を備えた容器の回転方向の位置合わせが不要とな
り、検出治具への取り付け作業性の向上と自動化が容易
となり、生産効率を向上することができる。
【００５２】Ｈｅガスの吹きつけの際に容器（ダイアフ
ラム）を破損することが防止可能となる。
ラム）を破損することが防止可能となる。
【００５３】検出治具に残留するＨｅガスをなくし、ガ
ス検出手段の誤判定の確率を低減して信頼性を向上させ
る。
ス検出手段の誤判定の確率を低減して信頼性を向上させ
る。
【００５４】さらにリーク検査の全工程を自動化するこ
とが可能となる。
とが可能となる。
【図１】図１は実施の形態におけるリーク試験装置の主
要部の断面構成説明図。
要部の断面構成説明図。
【図２】図２は従来技術によるリーク試験装置の主要部
の断面構成説明図。
の断面構成説明図。
１ 検出治具
２ リーク検査室
２ａ 開口部
３，６ Ｏリング
４ 環状突部（境界シール部）
４ａ 環状凹溝
５ 環状溝
７ Ｈｅガス供給ポート（ガス供給手段）
８ 排気ポート（排気手段）
９ Ｈｅガス供給源
１０ ガス供給経路
１１ 圧縮エア供給源（掃気手段）
１２ 圧縮エア供給経路
１３ 真空ポンプ（圧力低下手段）
１４ Ｈｅガス検出部（ガス検出手段）
１５ Ｈｅリークディテクタ
１６ Ｈｅ検出経路
１７ Ｈｅ検出ポート
１８ 大気経路（吸気手段）
１９ 大気導入ポート
２０，２１，２２ ソレノイドバルブ
２３ ソレノイドバルブ（吸気手段）
３０ ピックアップアーム（移送手段）
３１ グリッパ
３１ａ 凹部
１０１ 圧力センサ（容器）
１０２ ヘッド部
１０３ ボディ
１０３ａ 端部
１０３ｂ 外周壁部
１０４ ダイアフラム（蓋部材）
１０５ オイル封入室
１０６ 連通孔
１０７ 接合部
１０８ チップ（感圧素子）
ＬＴ１ リーク試験装置
Ｒ１ 第１の室
Ｒ２ 第２の室
Claims (6)
- 【請求項１】 外部との連通孔を有する容器と該容器の
開口部を塞ぐ蓋部材との接合部のリークを検出するリー
ク試験装置であって、 前記容器の接合部と連通孔との間を境界シール部とし、
接合部側を位置させる第１の室と、連通孔側を位置させ
る第２の室とを有する検出治具と、 前記第１の室にリーク検出のためのガスを供給するガス
供給手段と、 前記第２の室の圧力を低下させる圧力低下手段と、 前記第２の室に漏れる前記ガスを検出するガス検出手段
と、 を備えることを特徴とするリーク試験装置。 - 【請求項２】 前記第１の室の圧力を逃がす排気経路
と、 前記第１の室に滞留した前記ガスを前記排気経路から排
出させるための掃気手段と、 前記第２の室の圧力を上昇させる吸気手段と、 を備えることを特徴とする請求項１に記載のリーク試験
装置。 - 【請求項３】 試験対象となる接合部を備えた容器を、
前記検出治具に収容しリーク試験の後に取り出すことを
可能とする移送手段と、 前記ガス供給手段、圧力低下手段、ガス検出手段、排気
経路、掃気手段、吸気手段及び移送手段の作動制御を行
なう制御手段と、を備え、 複数の容器のリーク試験を連続して実施可能とすること
を特徴とする請求項１または２に記載のリーク試験装
置。 - 【請求項４】 前記リーク検出のためのガスはＨｅガス
であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項
に記載のリーク試験装置。 - 【請求項５】 外部との連通孔を有する容器と該容器の
開口部を塞ぐ蓋部材との接合部のリークを検出するリー
ク試験方法であって、 前記容器の接合部と連通孔との間を境界シール部とし、
接合部側を位置させる第１の室と連通孔側を位置させる
第２の室とを有する検出治具に、試験対象となる接合部
を備えた容器を収容し、 圧力低下手段により前記第２の室の圧力を低下させた後
に、ガス供給手段により前記第１の室にリーク検出のた
めのＨｅガスを供給し、ガス検出手段により前記第２の
室に漏れるＨｅガスを検出することを特徴とするリーク
試験方法。 - 【請求項６】 ガス供給手段により前記第１の室にリー
ク検出のためのＨｅガスを供給する際に排気経路により
前記第１の室の圧力上昇を抑え、 リーク試験の後に、掃気手段により前記第１の室に滞留
した前記Ｈｅガスを前記排気経路から排出すると共に、
前記第２の室に接続する吸気手段により第２の室の負圧
力を解消させることを特徴とする請求項５に記載のリー
ク試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27644297A JP3430882B2 (ja) | 1997-09-24 | 1997-09-24 | リーク試験装置及びリーク試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27644297A JP3430882B2 (ja) | 1997-09-24 | 1997-09-24 | リーク試験装置及びリーク試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1194682A JPH1194682A (ja) | 1999-04-09 |
| JP3430882B2 true JP3430882B2 (ja) | 2003-07-28 |
Family
ID=17569490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27644297A Expired - Fee Related JP3430882B2 (ja) | 1997-09-24 | 1997-09-24 | リーク試験装置及びリーク試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3430882B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102455235A (zh) * | 2010-11-02 | 2012-05-16 | 亚旭电脑股份有限公司 | 气压测试装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100856540B1 (ko) | 2008-04-01 | 2008-09-04 | 주식회사 에네스코 | 컨트롤타입 유압엑츄에이터용 테스트블럭 |
| KR101395931B1 (ko) * | 2013-06-28 | 2014-05-16 | 윤계천 | 터빈 증기변의 유압작동기용 시험블럭 |
| CN105890849B (zh) * | 2016-06-28 | 2018-07-20 | 襄阳富临精工机械有限责任公司 | 一种腔体类产品密封性检测台及检测方法 |
| CN109738129B (zh) * | 2019-01-09 | 2024-03-26 | 成都凯天电子股份有限公司 | 检测导管组件气密性的方法 |
| KR101995395B1 (ko) * | 2019-04-03 | 2019-07-02 | (주)동진이엔지 | 노즐 크랙 검사장치 |
-
1997
- 1997-09-24 JP JP27644297A patent/JP3430882B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102455235A (zh) * | 2010-11-02 | 2012-05-16 | 亚旭电脑股份有限公司 | 气压测试装置 |
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|---|---|
| JPH1194682A (ja) | 1999-04-09 |
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