JP3610889B2 - 気密封止型ワーク用保管器及びガスリーク検査装置並びにガスリーク検査方法 - Google Patents
気密封止型ワーク用保管器及びガスリーク検査装置並びにガスリーク検査方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電発振器などに代表される気密封止型ワークに対してその気密不良の有無をヘリウムガスなどを使用して検査するガスリーク検査装置及びこのガスリーク検査装置に備えられる気密封止型ワーク用保管器並びにガスリーク検査方法に係る。特に、検査の信頼性を向上するための対策に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、例えば特開平3−17527号公報に開示されているように、気密封止型のワークに対してその気密不良の有無をヘリウムガスを使用して検査するヘリウムリーク検査装置が知られている。この種の装置を使用したリーク検査動作について以下に説明する。このリーク検査は、図10に示す加圧器を使用する加圧動作と、図11に示すガスリーク検査器を使用するガスリーク検知動作とによって行われる。加圧器(図10参照)は、加圧釜aに、ガス供給管b、排気管c、リーク管dがそれぞれ接続されている。ガス供給管bはヘリウムガスボンベb1に接続され、排気管cは真空ポンプc1に接続され、リーク管dは大気に開放されている。また、各管b、c、dには、ガス供給弁b2、排気弁c2、リーク弁d1がそれぞれ設けられている。一方、ガスリーク検査器(図11参照)は、検査室eに排気管fが接続されていると共に、この排気管fからリーク管gが分岐している。排気管fは真空ポンプf1に接続され、リーク管gは大気に開放されている。また、各管f、gには、排気弁f2、リーク弁g1がそれぞれ設けられている。更に、真空ポンプf1には検知管hを介してヘリウム検知器h1が接続されている。この検知管hには検知弁h2が設けられている。ヘリウム検知器h1には、ヘリウムガスの検知状態を表示するためのメータiが接続されている。
(1)加圧動作では、先ず、多数(例えば数千個)のワークWを加圧釜aに入れ、この加圧釜aを密閉する。
(2)ガス供給弁b2及びリーク弁d1を閉鎖すると共に排気弁c2を開放し、真空ポンプc1を駆動して加圧釜a内を真空状態にする。
(3)排気弁c2を閉鎖すると共にガス供給弁b2を開放し、ヘリウムガスボンベb1から加圧釜a内に高圧(例えば500kPa)のヘリウムガスを供給して、釜内圧力を高圧に維持したまま所定時間(例えば1〜2時間)放置する。この際、何れかのワークWに封止不良やパッケージ亀裂がある場合には、この部分からワークW内部にヘリウムガスが流入することになる。
(4)上記所定時間経過後、ガス供給弁b2を閉鎖すると共にリーク弁d1を開放し、加圧釜aを大気開放して、この加圧釜aからワークWを取り出し、ガスリーク検知動作に移る。
(5)ガスリーク検知動作では、ワークWを大気中で短時間(例えば3〜5分間)放置して、ワークWの外部に付着しているヘリウムガスを除去する。
(6)1個または複数個のワークWを検査室e内に入れて、この検査室eを密閉する。
(7)リーク弁g1及び検知弁h2を閉鎖すると共に排気弁f2を開放し、真空ポンプf1を駆動して、検査室e内を真空引きする。
(8)検知弁h2を開放し、検査室eからヘリウムガスが流出したか否かをヘリウム検知器h1により検知し、その結果をメータiに表示する。この場合、ヘリウムが検知された際にはワークWに封止不良やパッケージの亀裂があると判断する。
(9)リーク弁g1を開放し、検査室eを大気開放して、検査室eからワークWを取り出し、リーク検査を終了する。検査室e内に複数個のワークWを入れて検査を行った場合において、ヘリウム検知器h1によりヘリウムガスが検知された場合には、この複数個のワークWを更に複数のグループに分割して各グループ毎に再検査を行っていき、封止不良やパッケージ亀裂があるワークWを見つけ出す。但し、封止不良やパッケージ亀裂があるワークWからは各再検査の度にヘリウムガスがリークしていくため、この再検査の繰り返し回数は5〜6回が限度である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したようなガスリーク検査動作においては以下に述べる課題があった。
【0004】
上記加圧動作の終了後にワークWを大気中に放置した場合、内部のヘリウムガスは徐々に抜けていき、約30分程度で、全てのヘリウムガスが抜けきってしまう。このため、加圧釜aから取り出された後、ガスリーク検知動作が行われるまでに30分以上の時間を要した場合、このガスリーク検知動作を行ってもヘリウムガスが検知できない。つまり、多数個のワークWを加圧釜aから取り出し、各ワークWに対して順にガスリーク検知を行っていく場合、順番待ちしている間にワークWから全てのヘリウムガスが抜けきってしまう虞がある。この場合、封止不良やパッケージ亀裂がワークWに存在するにも拘わらず、既に全てのヘリウムガスが抜けきってしまっているために、ヘリウムガスが検知できず、良品判定が行われてしまうことになる。図12は、ワークWを加圧釜aから取り出して大気中に放置した場合のワークW内のヘリウムガスの残存量の経時変化を示している。このように、ワークWを加圧釜aから取り出した時点では、ワーク内圧と大気圧との圧力差が大きいために短時間のうちに大量のヘリウムガスが抜けてしまい。時間の経過と共にその単位時間当たりの抜け量は少なくなっていく。そして、図中のA点付近では、殆どのヘリウムガスが抜けてしまっており、ヘリウムガスのリークを正確に検知することができず、検査の信頼性が低くなってしまう。
【0005】
特に、近年の圧電発振器などに代表される気密封止型のワークにあっては小型化が進んでおり、ワークの内部容積も極端に小さくなってきている。このため、上記加圧動作時にワーク内に流入するヘリウムガスの量も少なくなり、大気中に放置された状態において全てのヘリウムガスが抜けきってしまうまでの時間も短くなる傾向にあり、上記課題が助長されることになる。
【0006】
更に、これまで作業者の手作業によって行っていた上記加圧動作及びガスリーク検知動作を自動化する場合、ワークが加圧釜から取り出された後にガスリーク検知動作が行われるまでの時間を自動管理する必要があり、この時間をできるだけ短くすることが本自動化を実現するために不可欠な要素である。
【0007】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加圧釜から取り出されてガスリーク検知動作が行われるまでの間のワーク内のヘリウムガスの抜け量を抑制することにより、リーク検査が良好に行え、ワークの封止不良やパッケージ亀裂を正確に検知できるようにすることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
−発明の概要−
上記の目的を達成するために、本発明の一つは、加圧器とガスリーク検査器との間に、ワークからのガス漏れを抑制しながらワークを保管する保管器を備えさせている。また、他の発明では、特別な保管器を備えさせることなしに、加圧器にこの保管器としての機能を付加させている。これら発明により、ガスリーク検査器にワークを供給した際に、このワーク内に十分な検査用ガスが存在する状態を実現している。
【0009】
−解決手段−
具体的に、気密封止型ワーク用保管器に係る第1の解決手段は、検査用ガスの高圧雰囲気中から取り出された気密封止型ワークを保管するための気密封止型ワーク用保管器であって、高圧雰囲気中で上記ワークを保管可能なワーク保管空間を有すると共に、このワーク保管空間がワークを保管するための閉鎖状態とワークをガスリーク検査器に供給するための開放状態とに切り換え可能な構成とされたチャンバ部材を備えさせる。そして、チャンバ部材のワーク保管空間を開放してこのワーク保管空間からガスリーク検査器にワークを供給し、そのワークの検査終了後に他のチャンバ部材のワーク保管空間を開放してこのワーク保管空間からガスリーク検査器にワークを供給するように上記チャンバ部材を複数備えさせている。
【0010】
また、第2の解決手段では、上記第1の解決手段において、各チャンバ部材の一端を開放すると共にチャンバ部材を進退移動させるためのエアシリンダをそれぞれ連結し、このエアシリンダの駆動に伴って、各チャンバ部材の開放側端が保管器フレームの閉鎖部から離隔してワーク保管空間を開放する状態と、上記開放側端が保管器フレームの閉鎖部に押し当てられてワーク保管空間を閉塞する状態とを切り換え可能な構成としている。
【0011】
これら特定事項により、ワーク保管空間からガスリーク検査器にワークを供給した時点では、このワークの内部には十分な量の検査用ガスが存在している。また、各チャンバ部材からガスリーク検査器に対して順にワークが供給されることになる。つまり、1ロットの多数のワークを各チャンバ部材に小分けにして保管しながらガスリーク検査器に順に供給できるようにしている。このため、気密不良のあるワークに対して検査用ガスを流入させるための加圧動作をこれまでと同様の多数個に対して同時に行う(1ロット全てのワークに対して同時に加圧動作を行う)ことを可能にしながら上記作用を得ることができる。
【0012】
第3の解決手段は、検査用ガスの高圧雰囲気中から取り出された気密封止型ワークを保管するための気密封止型ワーク用保管器であって、高圧雰囲気中で上記ワークを保管可能なワーク保管空間を有するチャンバ部材を備えていると共に、このワーク保管空間の開放状態と閉鎖状態とが切り換え可能となっており、上記チャンバ部材のワーク保管空間にワークを保管する閉鎖状態において、ワーク保管空間に検査用ガスと同種のガスを封入している。
また、第4の解決手段では、上記第3の解決手段において、チャンバ部材に、検査用ガスをワーク保管空間へ供給するためのガス供給管を接続し、このガス供給管に逆止弁を備えさせている。
【0013】
この特定事項により、ワーク保管空間でのワーク保管状態においてもワークは検査用ガスの雰囲気中にあり、ワーク内に空気が入り込んで検査用ガスの濃度が低下してしまうことを阻止できる。これによっても、ガスリーク検査器にワークを供給した時点においてワークの内部に十分な量の検査用ガスを存在させることができ、信頼性の高い気密検査が行える。
【0016】
ガスリーク検査装置に係る第5の解決手段では、上記第1〜第4の解決手段のうち何れか一つに記載の気密封止型ワーク用保管器を、ワークを検査用ガスの雰囲気中で加圧する加圧器と、ガスリーク検査器との間に設置する。そして、加圧器から取り出されたワークを、保管器で保管した後にガスリーク検査器に供給する構成としている。この特定事項により、上記第1〜第4の解決手段に係る作用が得られるガスリーク検査装置を提供することができる。
【0022】
第6の解決手段では、環状の複数箇所にチャンバ空間が配置され且つ回転可能とされたインデックステーブルを備えさせ、各チャンバ空間を個別に開閉可能とする。そして、開放された一つのチャンバ空間に気密封止型ワークが供給されるように、この一つのチャンバ空間にワーク供給経路を繋ぎ、他の一つのチャンバ空間からガスリーク検査器にワーク供給が可能な構成としている。この特定事項により、ガスリーク検査装置の実用化を進めることができる。
また、ガスリーク検査装置において実行されるガスリーク検査方法としては、多数の気密封止型ワークを加圧器の内部に入れると共に、加圧器の内部に検査用ガスを供給して高圧に維持する加圧動作と、上記加圧器から取り出した気密封止型ワークをワーク保管空間に収容した後、ワーク保管空間を閉鎖状態にする保管動作と、上記気密封止型ワークをワーク保管空間から取り出して、ガスリーク検査器に供給し、このガスリーク検査器によって気密封止型ワークからの検査用ガスの流出の有無を検知するガスリーク検知動作とを備えさせている。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0024】
(第1実施形態)
先ず、第1実施形態について説明する。本形態は、加圧器とガスリーク検査器との間にワーク保管器を設置したことを特徴とするものである。加圧器は上述した従来技術のものと同様であるので、ここでの説明は省略する。また、本形態では、気密封止型ワークとして水晶発振器を例に挙げて説明する。
【0025】
−ワーク保管器の構成説明−
図1は、本形態に係るワーク保管器1の外観を示す斜視図である。この図に示すように、本ワーク保管器1は、4本のチャンバ部材21,22,23,24を備えている。これらチャンバ部材21,22,23,24は、有底の円筒状であり、エアシリンダ21a,22a,23a,24aを介して保管器フレーム3に取り付けられている。
【0026】
この保管器フレーム3は、左右一対の脚部31,31と、この脚部31,31によって水平軸回りに回動自在に支持されたフレーム本体32とを備えている。このフレーム本体32は、各エアシリンダ21a,22a,23a,24aが固定されるベース33と、このベース33に対向してチャンバ部材21,22,23,24の開放側(図1における上端側)に位置する閉鎖部34と、これらベース33と閉鎖部34との両端同士を連結する連結部35,36とを備えている。そして、各連結部35,36の下端部分が水平軸回りに脚部31,31に回動自在に連結されており、この連結部分を回動中心として、フレーム本体32、チャンバ部材21,22,23,24及びエアシリンダ21a,22a,23a,24aが一体的に回動可能となっている。尚、この回動動作は手動または自動によって行われる。自動で回動させる場合には、図示しない駆動モータを備えさせ、この駆動モータの駆動力がフレーム本体32に伝達される構成とされる。
【0027】
また、上記連結部35,36はベース33に対して相対的に回動自在となっている。この連結部35,36の回動によって閉鎖部34がチャンバ部材21,22,23,24の開放側端から退避した位置(対向しない位置)に移動し、これによって後述するワーク容器4のチャンバ部材21,22,23,24への挿入作業が容易に行えるようになっている。図2(a)は連結部35,36の非回動状態を示している。図2(b)は連結部35,36が回動して閉鎖部34がチャンバ部材21,22,23,24の開放側端から退避した状態を示している。
【0028】
また、各チャンバ部材21,22,23,24にはエアシリンダ21a,22a,23a,24aが連結されているため、このエアシリンダ21a,22a,23a,24aの駆動に伴って各チャンバ部材21,22,23,24の開放側端の開放状態と閉塞状態とが切り換え可能となっている(図2(b)の矢印参照)。つまり、エアシリンダ21a,22a,23a,24aの後退時には、各チャンバ部材21,22,23,24の開放側端が保管器フレーム3の閉鎖部34から離隔して開放側端が開放状態となる。一方、エアシリンダ21a,22a,23a,24aの前進時には、各チャンバ部材21,22,23,24の開放側端が保管器フレーム3の閉鎖部34に押し当てられて開放側端が閉鎖状態となる。尚、各エアシリンダ21a,22a,23a,24aはそれぞれ独立して制御することが可能となっている。
【0029】
また、図3に示すように、このチャンバ部材21,22,23,24の開放側の端面にはOリング25が装着されており、この端面が保管器フレーム3の閉鎖部34に押し当てられた状態では、このOリング25によってチャンバ部材21,22,23,24の内部空間であるワーク保管空間としてのチャンバ空間21b〜24bの気密性が確保されるようになっている。
【0030】
更に、各チャンバ部材21,22,23,24にはヘリウムガス供給管26が接続されている。このヘリウムガス供給管26からのヘリウムガスの供給により、チャンバ部材21,22,23,24の内部を所定圧力のヘリウムガス雰囲気とすることが可能となっている。図4に模式的に示すように、これら各チャンバ部材21,22,23,24に接続されているヘリウムガス供給管26,26,…は互いに接続されて図示しないヘリウムガスボンベに接続している。また、各ヘリウムガス供給管26,26,…には、各チャンバ部材21,22,23,24へ向かうヘリウムガスの流通のみを許容する逆止弁26a,26a,…が備えられている。
【0031】
−ガスリーク検査器の構成説明−
本形態におけるガスリーク検査器5は、上記ワーク保管器1の各チャンバ部材21,22,23,24に保管されたワークW,W,…が供給されて複数のワークW,W,…に対してガスリーク検知動作が行えるようにしたものである。
【0032】
具体的には、図5に示すように、このガスリーク検査器5は、複数(本形態では10個)の検査室51,51,…を備えている。これら各検査室51,51,…には排気管52が接続されている。この排気管52は各検査室51,51,…に対応して複数の分岐管53,53,…に分岐されており、これら各分岐管53,53,…が各検査室51,51,…に個別に接続されている。また、各分岐管53,53,…には検査室弁54,54,…がそれぞれ設けられている。更に、この排気管52からはリーク管55が分岐されている。排気管52は真空ポンプ56に接続し、リーク管55は大気に開放されている。また、排気管52には排気弁52aが設けられており、リーク管55にはリーク弁55aが設けられている。更に、真空ポンプ56には検知管57を介してヘリウム検知器58が接続されている。この検知管57には検知弁57aが設けられている。ヘリウム検知器58には、ヘリウムガスの検知状態を表示するためのメータ59が接続されている。
【0033】
−ガスリーク検査の動作説明−
次に、本形態におけるガスリーク検査(気密検査)の動作について説明する。このガスリーク検査としては、加圧器を使用する加圧動作、上記ワーク保管器1を使用する保管動作、ガスリーク検査器5を使用するガスリーク検知動作とによって行われる。
【0034】
<加圧動作>
先ず、加圧動作では、従来の場合と同様に、多数(例えば数千個)のワークWを加圧釜に入れ、この加圧釜を密閉した状態で、加圧釜内を真空引きした後に、高圧(例えば500kPa)のヘリウムガスを供給して、釜内圧力を高圧に維持したまま所定時間(例えば1〜2時間)放置する。この際、封止不良やパッケージ亀裂があるワークWにあっては、その内部にヘリウムガスが流入することになる。そして、この所定時間経過後、加圧釜を大気開放して、この加圧釜からワークを取り出す。
【0035】
本形態における加圧動作の特徴として、1ロット当たりの多数のワークW,W,…を複数のワーク容器4,4,…に分割して収容しておき、これらワーク容器4,4,…を加圧釜に入れた状態で、加圧動作を行うようになっている。図6は、ワーク容器4,4,…を加圧釜Pに収容した状態の平面図である。このようにして1ロットのワークW,W,…を複数(本形態では4個)のワーク容器4,4,…に小分けして収容している。
【0036】
このワーク容器4に収容されるワークW,W,…の個数は、上記ガスリーク検査器5の処理能力に応じて決定される。例えば、このガスリーク検査器5が30分以内に処理できるワーク数に一致させた個数だけワーク容器4に収容される。つまり、一般に、加圧動作の終了後にワークWを大気中に放置した場合、内部のヘリウムガスは30分程度で全てが抜けきってしまうため、この全てのヘリウムガスが抜けきってしまうまでの時間内にガスリーク検知動作が終了できる個数分だけのワーク数がワーク容器4に収容される。例えば、ガスリーク検査器5の処理能力として、ワーク1個当たりのガスリーク検知に3秒を要する場合には、ワーク容器4には600個未満のワークW,W,…が収容されることになる。尚、ガスリーク検知動作の信頼性を十分に確保するためにはワーク容器4に収容するワークWの数は数十個程度が好ましい。
【0037】
<保管動作>
保管動作では、先ず、図1に示すように、ワーク保管器1のエアシリンダ21a,22a,23a,24aを後退させることにより各チャンバ部材21,22,23,24の開放側端を開放状態にすると共に、連結部35,36をベース33に対して回転させて閉鎖部34がチャンバ部材21,22,23,24の開放側端から退避した位置に移動させる。この状態で、加圧釜Pから取り出された各ワーク容器4,4,…を個別に各チャンバ部材21,22,23,24内にそれぞれ収容する(図3参照)。
【0038】
その後、再び、連結部35,36をベース33に対して回転させて閉鎖部34をチャンバ部材21〜24の開放側端に対面させ、エアシリンダ21a〜24aを前進させることにより各チャンバ部材21〜24の開放側端を保管器フレーム3の閉鎖部34に押し当てて開放側端を閉鎖状態にする。これにより、上記Oリング25によってチャンバ部材21〜24内のチャンバ空間21b〜24bが気密状態となる。この状態で、ヘリウムガス供給管26からチャンバ空間21b〜24bにヘリウムガスを供給し、このチャンバ空間21b〜24bを所定圧力(例えば200kPa)のヘリウムガス雰囲気とする。
【0039】
これにより、各ワークW,W,…は所定圧力のヘリウムガス雰囲気中で保管されることになり、この保管中のワークW,W,…からのヘリウムガスの単位時間当たりの抜け量は僅かとなる。また、上記加圧動作時にワークW内に十分な量のヘリウムガスを流入させることができなかった場合であっても、この保管中にもガス流入動作を行わせることができる。
【0040】
<ガスリーク検知動作>
ガスリーク検知動作では、各チャンバ部材21,22,23,24のうち1個のチャンバ部材21からワークW,W,…を取り出し、この取り出されたワークW,W,…をガスリーク検査器5に供給してガスリーク検知を行う。つまり、図7に示すように、各チャンバ部材21,22,23,24に連結されている各エアシリンダ21a,22a,23a,24aのうちの1個21aを後退させて1個のチャンバ部材21を開放すると共に、保管器フレーム3のフレーム本体32を回動させて、このチャンバ部材21からワークW,W,…をパーツフィーダFに落下供給する。
【0041】
そして、このパーツフィーダFに回収された複数のワークのうち10個をガスリーク検査器5に搬送して、それぞれを各検査室51,51,…に個別に収容し、各検査室51,51,…を密閉する。このパーツフィーダFからガスリーク検査器5(図5参照)へのワークW,W,…の搬送は図示しない搬送ロボットによって行われる。
【0042】
その後、リーク弁55a及び検知弁57aを閉鎖すると共に排気弁52aを開放し、真空ポンプ56を駆動する。この状態で検知弁57aを開放すると共に検査室弁54,54,…を1個ずつ開放していきながら個々の検査室51,51,…からヘリウムガスが流出したか否かをヘリウム検知器58により検知し、その結果をメータ59に表示する。この場合、ヘリウムが検知された時点で開放動作が行われた検査室弁54に繋がる検査室51内のワークWに封止不良やパッケージ亀裂があると判断する。
【0043】
このような判断の後、良品として判定されたワークWは図示しないワーク排出部の良品ボックスに回収される一方、不良品として判定されたワークWはワーク排出部の不良品ボックスに回収されることになる。
【0044】
このような動作を、パーツフィーダFから順にワークW,W,…を各検査室51,51,…に個別に収容しながら行い、パーツフィーダF内の全てのワークW,W,…に対して検査が終了した時点で、次のチャンバ部材22からワークを取り出し、同様の検査を行っていく。
【0045】
−実施形態の効果−
以上のように、本形態では、加圧釜P内で高圧のヘリウムガス雰囲気中に置いたワークW,W,…を、一時的にワーク保管器1に保管して、この保管状態においては、ワークW,W,…からのヘリウムガスの単位時間当たりの抜け量を抑制できるようにしている。また、ワーク容器4に収容されるワークW,W,…の個数は、ワークW内の全てのヘリウムガスが抜けきってしまうまでにガスリーク検査器5によるガスリーク検知動作が終了できる個数未満に設定されている。つまり、ガスリーク検知動作時点で、ワークW内のヘリウムガスが全て抜けきってしまっているといった状況を回避できるようにしている。具体的に、本形態では、図12においてヘリウムガスの残存量が範囲B程度の状態でガスリーク検査器5によるガスリーク検知動作を行わせることが可能である。
【0046】
このため、封止不良やパッケージ亀裂がワークWに存在するにも拘わらず、既に全てのヘリウムガスが抜けきってしまっているために、ヘリウムガスが検知できず、良品判定が行われてしまうといった状況を回避することができて、ガスリーク検査の信頼性の向上を図ることができる。
【0047】
(第2実施形態)
次に、第2実施形態について説明する。本形態は、上述したワーク保管器1に加圧釜の機能を兼用させたものである。つまり、ワーク保管器1によって上述した加圧動作と保管動作とが行えるようにしたものである。
【0048】
図8(a),(b)に示すように、本形態に係るガスリーク検査装置はパーツフィーダFの上流側に第1及び第2の2台のワーク保管器1A,1Bが配設されている。これらワーク保管器1A,1Bはスライド移動自在なパレット11上に設置されており、図示しない駆動機構によって第1ワーク保管器1AがパーツフィーダFに対向する状態と、第2ワーク保管器1BがパーツフィーダFに対向する状態とが切り換え可能となっている。個々のワーク保管器1A,1Bの主たる構成は上述した第1実施形態のものと同様である。尚、図8における6はワーク排出部であって、図示しない良品ボックス及び不良品ボックスのそれぞれに検査済みのワークを回収するようになっている。
【0049】
また、本形態における各ワーク保管器1A,1BのそれぞれにおけるワークW,W,…の総個数は、上記ガスリーク検査器5の処理能力に応じて決定される。例えば、加圧動作に1時間を要する場合には、このガスリーク検査器5がガスリーク検知動作を行うのに1時間を要するワーク数に一致させた個数またはそれ以上の個数を各ワーク保管器1A,1Bにそれぞれ収容させる。つまり、一方のワーク保管器1AからのワークW,W,…の排出とガスリーク検査器5によるガスリーク検知動作とが行われている間に、他方のワーク保管器1Bにおける加圧動作が終了するように設定されている。例えば、上述したように、ガスリーク検査器5の処理能力として、ワーク1個当たりのガスリーク検知に3秒を要する場合には、各ワーク保管器1A,1BのそれぞれにおけるワークW,W,…の総個数は1200個以上(各チャンバ部材21〜24における収容個数はそれぞれ300個以上)に設定されることになる。また、各チャンバ部材21〜24における収容個数の上限は、上記第1実施形態の場合と同様に、一つのチャンバ部材21からワークW,W,…が排出された後、ワークW内の全てのヘリウムガスが抜けきってしまうまでの時間内にガスリーク検知動作が終了できる個数分である。
【0050】
本形態における加圧動作では、各ワーク保管器1A,1Bのそれぞれに所定個数のワークW,W,…が収容された状態で、各チャンバ部材21〜24の内部が上記加圧釜における圧力と同等の圧力下でヘリウムガス雰囲気とされる。
【0051】
この状態で所定時間(加圧動作に必要な時間であって例えば1時間)経過した後に、図8(a)に示すように、パレット11をスライド移動させて第1ワーク保管器1AをパーツフィーダFに対向させる。そして、上述した第1実施形態におけるガスリーク検知動作と同様に、第1ワーク保管器1Aの1個のチャンバ部材21からワークW,W,…をパーツフィーダFに落下供給して、ガスリーク検査器5によるガスリーク検知動作を行わせる。この際、他のチャンバ部材22〜24にあっては、上記高圧状態を維持してもよいし、上記第1実施形態における保管動作のように、加圧動作よりも僅かに低い圧力に設定してもよい。
【0052】
このようにして、チャンバ部材21〜24から順次ワークを取り出し、ガスリーク検査器5によるガスリーク検知動作を行っていく。そして、第1ワーク保管器1A内の全てのワークW,W,…に対するガスリーク検知動作が終了した時点で、図8(b)に示すように、パレット11をスライド移動させて第2ワーク保管器1BをパーツフィーダFに対向させ、上記と同様にして、ガスリーク検知動作を行わせる。このガスリーク検知動作の開始と同時に、第1ワーク保管器1Aの各チャンバ部材21〜24に所定個数のワークW,W,…を収容し、加圧動作を開始させる。そして、上記第2ワーク保管器1Bからのワーク供給によってガスリーク検知動作を行っている間に第1ワーク保管器1Aにおいて加圧動作が並行され、このガスリーク検知動作が終了した時点では、加圧動作においても必要時間が経過していることになる。このため、この第2ワーク保管器1Bからのワーク供給によるガスリーク検知動作が終了した直後に、第1ワーク保管器1Aからのワーク供給によるガスリーク検知動作を実行することが可能になる。
【0053】
このようにして各ワーク保管器1A,1Bからのワーク供給によるガスリーク検知動作を交互に行うことによって連続したガスリーク検査を行うことが可能になり、極めて高効率の検査作業を実現することができる。
【0054】
(第3実施形態)
次に、第3実施形態について説明する。本形態は、上述した第2実施形態の変形例である。本形態のガスリーク検査装置も、ワーク保管器1に加圧釜としての機能を兼用させたものである。また、本形態のガスリーク検査装置にあっては、設置されるワーク保管器は1台のみである。
【0055】
本形態における各チャンバ部材21〜24のそれぞれにおけるワークW,W,…の収容個数も、上記ガスリーク検査器5の処理能力に応じて決定される。例えば、加圧動作に1時間を要する場合には、1個のチャンバ部材21から排出されたワークW,W,…の全てのガスリーク検知動作を行うのに15分を要するワーク数に一致させた個数またはそれ以上の個数を各チャンバ部材21〜24それぞれに収容させる。つまり、特定のチャンバ部材21において加圧動作を行っている場合に、他の3個のチャンバ部材22〜24からのワークW,W,…の排出とガスリーク検査器5によるガスリーク検知動作とが行われている間に、この特定のチャンバ部材21における加圧動作が終了するように設定されている。例えば、上述したように、ガスリーク検査器5の処理能力として、ワーク1個当たりのガスリーク検知に3秒を要する場合には、各チャンバ部材21〜24のそれぞれにおけるワークW,W,…の収容個数は300個以上に設定されることになる。また、この場合にも、各チャンバ部材21〜24における収容個数の上限は、上記第1実施形態の場合と同様に、チャンバ部材21からワークが排出された後、ワークW内の全てのヘリウムガスが抜けきってしまうまでの時間内にガスリーク検知動作が終了できる個数分である。
【0056】
本形態では、各チャンバ部材21〜24から順にガスリーク検査器5にワークが供給されながらガスリーク検査動作が行われる。そして、1個のチャンバ部材21からワークW,W,…が排出された後に、このチャンバ部材21に対して所定個数のワークW,W,…を収容し、加圧動作を開始させる。そして、他のチャンバ部材22〜24からのワーク供給によってガスリーク検知動作を行っている間に本チャンバ部材21において加圧動作が並行されることになり、本形態の場合においても、上述した第2実施形態と同様に連続したガスリーク検査を行うことが可能になり、極めて高効率の検査作業を実現することができる。
【0057】
(第4実施形態)
次に、第4実施形態について説明する。本形態は、上述した第3実施形態の変形例である。本形態のガスリーク検査装置は、図9に示すように、上述したワーク保管器に代えてインデックステーブル7上に複数のチャンバ空間71,71,…を形成し、この各チャンバ空間71,71,…を上述した第3実施形態におけるチャンバ部材21〜24として機能させたものである。以下、本形態に係るインデックステーブル7の構成について説明する。
【0058】
このインデックステーブル7は、環状の複数箇所(図9に示すものでは8箇所)にチャンバ空間71,71,…が形成されている。これらチャンバ空間71,71,…は図示しない蓋体によって内部空間が閉鎖可能となっている。このインデックステーブル7は図示しない回動機構によって回動し、一部のチャンバ空間71(図9中の位置αにあるもの)がパーツフィーダFに対向すると共に、他の一部のチャンバ空間71(図9中の位置βにあるもの)がホッパHから供給されるワークWを受けるようになっている。ホッパHからのワーク供給経路8上には計数機能付きシャッタ81が設けられており、これにより、ホッパHから所定個数のワークW,W,…がチャンバ空間71に供給されるようになっている。そして、このホッパHから所定個数のワークW,W,…を受けたチャンバ空間71は蓋体によって開閉されて加圧動作が開始され、この加圧動作は、そのチャンバ空間71がパーツフィーダFに対向する位置にインデックステーブル7が回転するまで行われる。尚、このインデックステーブル7の回転は、チャンバ空間71がホッパHに対向する位置からパーツフィーダFに対向する位置に達するまでに加圧動作に必要な時間(例えば1時間)以上が経過するように調整される。この調整は、例えば個々のチャンバ空間71に供給されるワークW,W,…の個数によって行われる。例えば、上述したように、ガスリーク検査器5の処理能力として、ワーク1個当たりのガスリーク検知に3秒を要する場合には、各チャンバ空間71,71,…のそれぞれにおけるワークW,W,…の収容個数は200個以上に設定されることになる。また、この場合にも、各チャンバ空間71,71,…における収容個数の上限は、チャンバ空間71からワークW,W,…が排出された後、ワークW内の全てのヘリウムガスが抜けきってしまうまでの時間内にガスリーク検知動作が終了できる個数分である。
【0059】
このように本形態では、インデックステーブル7の回転により、連続したガスリーク検査を行うことが可能になり、上述した第3実施形態と同様に高効率の検査作業を実現することができる。
【0060】
−その他の実施形態−
上述した各実施形態では、気密封止型ワークとして水晶発振器を例に挙げて説明した。本発明はこれに限らず、半導体デバイスなどの種々の気密封止型ワークの気密検査に適用することが可能である。
【0061】
また、上述した各実施形態では検査用ガスとしてヘリウムガスを採用したが、アルゴンガスやネオンガスなどを使用してもよい。
【0062】
また、チャンバ空間21b〜24b、71には検査用ガスと同種のガスを封入していたが、本発明はこれに限らず、他のガスや空気等を比較的高圧で封入するようにしてもよい。
【0063】
【発明の効果】
本発明によれば、以下のような効果が発揮される。
【0064】
請求項1及び2記載の発明では、複数のチャンバ部材を備えさせ、各チャンバ部材を順に開放してガスリーク検査器にワークを供給するようにしている。このため、ワーク内に十分な量の検査用ガスを残存させた状態で気密検査を行うことができ、検査の信頼性の向上を図ることができて、気密不良が生じているワークが良品と判定されてしまうといった不具合を解消することができる。また、1ロットの多数のワークを各チャンバ部材に小分けにして保管しながらガスリーク検査器に順に供給することができ、加圧動作をこれまでと同様の多数個に対して同時に行うことを可能にしながら、信頼性の高い気密検査を行うことができる。
【0065】
請求項3及び4記載の発明では、ワーク保管空間にワークを保管した状態でチャンバ部材の内部に検査用ガスと同種のガスを封入している。このため、保管中にワーク内に空気が入り込んで検査用ガスの濃度が低下してしまうことを阻止でき、更なる信頼性の高い気密検査を行うことが可能になる。また、加圧動作時にワーク内に十分な量の検査用ガスを流入させることができなかった場合であっても、この保管中にも検査用ガスの流入動作を行わせることができ、これによっても気密検査の信頼性の向上を図ることができる。
【0069】
請求項6記載の発明では、チャンバ空間を、インデックステーブル上に環状に配置している。また、一つのチャンバ空間にワーク供給経路が繋がり、他の一つのチャンバ空間からガスリーク検査器にワーク供給が可能に構成している。この発明によれば、ガスリーク検査装置の具体構成を提供でき、その実用化を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態におけるワーク保管器の外観を示す斜視図である。
【図2】(a)は連結部の非回動状態を示す図であり、(b)は連結部が回動して閉鎖部がチャンバ部材の開放側端から退避した状態を示す図である。
【図3】チャンバ部材及びその周辺部の斜視図である。
【図4】チャンバ部材に対するヘリウムガスの供給系を示す模式図である。
【図5】ガスリーク検査器を示す模式図である。
【図6】ワーク容器を加圧釜に収容した状態の平面図である。
【図7】チャンバ部材からパーツフィーダへワークを落下供給する際の動作を示す斜視図である。
【図8】第2実施形態におけるガスリーク検査装置を示す平面図である。
【図9】第4実施形態におけるガスリーク検査装置を示す平面図である。
【図10】従来例に係る加圧器を示す図である。
【図11】従来例に係るガスリーク検査器を示す図である。
【図12】ワークを加圧釜から取り出して大気中に放置した場合のワーク内のヘリウムガスの残存量の経時変化を示す図である。
【符号の説明】
1 ワーク保管器
21〜24 チャンバ部材
21b〜24b、71 チャンバ空間(ワーク保管空間)
5 ガスリーク検査器
7 インデックステーブル
8 ワーク供給経路
W ワーク
Claims (7)
- 検査用ガスの高圧雰囲気中から取り出された気密封止型ワークを保管するための気密封止型ワーク用保管器であって、
高圧雰囲気中で上記ワークを保管可能なワーク保管空間を有すると共に、このワーク保管空間がワークを保管するための閉鎖状態とワークをガスリーク検査器に供給するための開放状態とに切り換え可能な構成とされたチャンバ部材を備え、チャンバ部材のワーク保管空間を開放してこのワーク保管空間からガスリーク検査器にワークを供給し、そのワークの検査終了後に他のチャンバ部材のワーク保管空間を開放してこのワーク保管空間からガスリーク検査器にワークを供給するように上記チャンバ部材が複数備えられていることを特徴とする気密封止型ワーク用保管器。 - 請求項1記載の気密封止型ワーク用保管器において、
各チャンバ部材は、一端が開放されていると共にチャンバ部材を進退移動させるためのエアシリンダがそれぞれ連結されており、このエアシリンダの駆動に伴って、各チャンバ部材の開放側端が保管器フレームの閉鎖部から離隔してワーク保管空間を開放する状態と、上記開放側端が保管器フレームの閉鎖部に押し当てられてワーク保管空間を閉塞する状態とが切り換え可能な構成とされていることを特徴とする気密封止型ワーク用保管器。 - 検査用ガスの高圧雰囲気中から取り出された気密封止型ワークを保管するための気密封止型ワーク用保管器であって、
高圧雰囲気中で上記ワークを保管可能なワーク保管空間を有するチャンバ部材を備えていると共に、このワーク保管空間の開放状態と閉鎖状態とが切り換え可能となっており、
上記チャンバ部材のワーク保管空間にワークを保管する閉鎖状態において、ワーク保管空間に検査用ガスと同種のガスが封入されていることを特徴とする気密封止型ワーク用保管器。 - 請求項3記載の気密封止型ワーク用保管器において、
チャンバ部材には検査用ガスをワーク保管空間へ供給するためのガス供給管が接続されており、このガス供給管には逆止弁が備えられていることを特徴とする気密封止型ワーク用保管器。 - 請求項1〜4のうち何れか一つに記載の気密封止型ワーク用保管器が、ワークを検査用ガスの雰囲気中で加圧する加圧器と、ガスリーク検査器との間に設置されており、
加圧器から取り出されたワークを、保管器で保管した後にガスリーク検査器に供給する構成とされていることを特徴とするガスリーク検査装置。 - 環状の複数箇所にチャンバ空間が配置され且つ回転可能とされたインデックステーブルを備え、
各チャンバ空間は個別に開閉可能となっており、
開放された一つのチャンバ空間に気密封止型ワークが供給されるように、この一つのチャンバ空間にワーク供給経路が繋がり、他の一つのチャンバ空間からガスリーク検査器にワーク供給が可能に構成されていることを特徴とするガスリーク検査装置。 - 請求項5記載のガスリーク検査装置において実行されるガスリーク検査方法であって、
多数の気密封止型ワークを加圧器の内部に入れると共に、加圧器の内部に検査用ガスを供給して高圧に維持する加圧動作と、
上記加圧器から取り出した気密封止型ワークをワーク保管空間に収容した後、ワーク保管空間を閉鎖状態にする保管動作と、
上記気密封止型ワークをワーク保管空間から取り出して、ガスリーク検査器に供給し、このガスリーク検査器によって気密封止型ワークからの検査用ガスの流出の有無を検知するガスリーク検知動作とを有することを特徴とするガスリーク検査方法。
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