JPH11271171A - リキッドタンクの気密性能検査方法及びその装置 - Google Patents

リキッドタンクの気密性能検査方法及びその装置

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JPH11271171A
JPH11271171A JP7071698A JP7071698A JPH11271171A JP H11271171 A JPH11271171 A JP H11271171A JP 7071698 A JP7071698 A JP 7071698A JP 7071698 A JP7071698 A JP 7071698A JP H11271171 A JPH11271171 A JP H11271171A
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健治 栩木
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克己 原島
Hisao Kanbara
久雄 神原
Takehiro Ishibiki
武尋 石引
Makoto Kakinuma
誠 柿沼
Kazuhiko Tsukahara
和彦 塚原
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 チャンバーの小容積化と気密検査費用の削減
が可能なリキッドタンクの気密性能検査方法及びその装
置を提供する。 【解決手段】 台座40とチャンバー60とでリキッド
タンク10を密封し、台座40の密閉ピン41,42で
リキッドタンク10の冷媒流入孔11と冷媒流出孔12
を密閉する。密閉ピン41の導入孔を介してリキッドタ
ンク10内をタンク用ポート44に連通させる。チャン
バー用ポート45,65を用いてチャンバー60内を窒
素ガスで置換する。タンク用ポート44からリキッドタ
ンク10内に検査ガスを封入する。この封入から所定時
間経過後のチャンバー60内の検査ガス濃度を検出す
る。タンク用ポート44からリキッドタンク10内の検
査ガスを回収する。チャンバー60を持ち上げてリキッ
ドタンク10を取り出し、チャンバー60内等の所定箇
所を窒素ガスで清掃する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、冷媒流入孔と冷媒
流出孔を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能
検査方法及びその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図13は、リキッドタンクの一例を示す
正面図であり、図14は、図13に示すものの底面図で
ある。図13,図14に示すように、このリキッドタン
ク10は、車両用空調装置で使用されるものであって、
底部に、冷媒流入孔11及び冷媒流出孔12が貫設さ
れ、リキッドタンク10内までは至らない2つのネジ孔
13が形成され、リリーフバルブ14が配設されてい
る。
【0003】図15は、リキッドタンクに気密検査用治
具を取り付けた状態を示す正面図である。従来、リキッ
ドタンク10の気密性能を検査する際には、先ず、リキ
ッドタンク10のネジ孔13を利用して、検査用治具で
あるカプラー20をリキッドタンク10に取り付ける。
【0004】このカプラー20は、リキッドタンク10
のネジ孔13に螺合するボルト21と、このボルト21
によってリキッドタンク10に装着される本体部22よ
りなり、この本体部22が、リキッドタンク10の冷媒
流入孔11を密閉する第1密閉部23と、リキッドタン
ク10の冷媒流出孔12を密閉する第2密閉部24と、
第1及び第2の両密閉部23,24の少なくとも一方に
設けた導入孔を介してリキッドタンク10内に連通可能
な開閉弁25付きのポート26とを備えている。
【0005】カプラー20をリキッドタンク10に取り
付けた後、窒素ガスと、検査ガスであるフロンガスとの
混合ガスをカプラー20のポート26を利用してリキッ
ドタンク10内へ所定正圧で封入し、その封入したリキ
ッドタンク10を開閉蓋付きのチャンバー内に密封し、
窒素ガス雰囲気の該チャンバー内にリキッドタンクを所
定時間放置し、その所定時間経過後のチャンバー内のフ
ロンガス濃度を検出してリキッドタンク10の気密性能
を検査している。
【0006】そして、チャンバー内のフロンガス濃度を
検出した後、開閉蓋を開けてチャンバー内からリキッド
タンク10を取り出し、カプラー20のポート26を利
用してリキッドタンク10内から前記混合ガスを回収
し、カプラー20をリキッドタンク10から取り外して
いる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、以上説明し
た従来の気密性能検査では、チャンバーの開閉蓋を開け
てチャンバー内からリキッドタンク10を出し入れする
ため、チャンバーにはリキッドタンク10を把持した人
間の手が入るだけの内径が必要で、チャンバーの容積が
リキッドタンク10の体積と比べて必要以上に大きくな
る。
【0008】このため、従来の気密性能検査には、チャ
ンバーが場所を取るという問題点と、リキッドタンク1
0を密封したチャンバー内の検査ガス濃度を適正に検出
するために必要なチャンバー内でのリキッドタンク10
の放置時間が長くなり、検査に時間が掛かるという問題
点とがある。
【0009】また、従来の気密性能検査には、リキッド
タンク10へのカプラー20の着脱が必要なため、この
着脱に人手が掛かってリキッドタンク10の検査費用が
嵩むと共に、リキッドタンク10から取り外したカプラ
ー20を再利用するためカプラー20をリキッドタンク
10への取付場所へ戻す必要があり、この戻すためのコ
ンベア等の付帯設備や人手が必要でリキッドタンク10
の検査費用が嵩むという問題点もある。
【0010】更に、従来の気密性能検査には、空調装置
の冷媒用配管をリキッドタンク10に固定するためのネ
ジ孔13を利用してカプラー20をリキッドタンク10
に取り付けるため、リキッドタンク10へのカプラー2
0の着脱時にリキッドタンク10のネジ孔13のネジを
潰してしまう恐れもある。
【0011】そこで、本発明では、従来技術と比べて、
チャンバーの容積を小さくすることができ、リキッドタ
ンクの気密性能検査に掛かる検査費用を削減することも
でき、気密性能検査時にリキッドタンクのネジ孔のネジ
を潰す恐れを解消することもできるリキッドタンクの気
密性能検査方法及びその装置を提供することを課題とし
ている。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段として、請求項1の発明では、冷媒流入孔と冷媒
流出孔を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能
検査方法であって、台座の所定位置にリキッドタンクを
配置して該リキッドタンクに有底筒状のチャンバーを被
せ、該チャンバーを台座に固定することにより、前記チ
ャンバーと台座とでリキッドタンクを押圧挟持して密封
すると共に、チャンバー又は台座の一方に設けた密閉部
で前記冷媒流入孔と冷媒流出孔とを密閉し、該密閉部に
設けた導入孔を介してリキッドタンク内を該密閉部に連
なる開閉手段付きのタンク用ポートに連通させる第1行
程と、前記チャンバー又は台座の少なくとも一方に設け
た開閉手段付きのチャンバー用ポートを利用してチャン
バー内を検査ガスを含まない清浄ガスで置換する第2行
程と、前記タンク用ポートを利用してリキッドタンク内
に所定正圧の検査ガスを封入する第3行程と、該封入か
ら所定時間経過後のチャンバー内の検査ガス濃度を前記
チャンバー用ポートを利用して検出する第4行程と、前
記タンク用ポートを利用してリキッドタンク内の検査ガ
スを回収する第5行程と、前記チャンバーの台座への固
定を解除してチャンバーを台座の上方へ持ち上げ、チャ
ンバーと台座によるリキッドタンクの密封を解除してリ
キッドタンクを台座から取り出すと共に、少なくともチ
ャンバー内及びチャンバー用ポート内を前記清浄ガスで
清掃する第6工程とを備えている、という構成を採用し
ている。
【0013】このため、請求項1の発明では、チャンバ
ー内及びチャンバー用ポート内に残留あるいは付着する
検査ガスを清浄ガスで除去して、清浄ガス雰囲気のチャ
ンバー内に密封したリキッドタンクから検査ガスがリー
クした場合のチャンバー内の検査ガス濃度を検出するこ
とができる。
【0014】しかも、請求項1の発明では、第1行程に
おいて、台座の所定位置に配置したリキッドタンクに有
底筒状のチャンバーを被せて該チャンバーを台座に固定
することにより、チャンバーと台座とでリキッドタンク
を密封し、第6行程において、チャンバーの台座への固
定を解除してチャンバーを台座の上方へ持ち上げ、チャ
ンバーと台座によるリキッドタンクの密封を解除してリ
キッドタンクを台座から取り出すので、チャンバー内か
らのリキッドタンクの出し入れの際に、リキッドタンク
を把持した手をチャンバー内に出し入れする必要が無
い。
【0015】また、請求項1の発明では、チャンバーと
台座とでリキッドタンクを押圧挟持して、チャンバー又
は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタンクの冷媒流
入孔と冷媒流出孔を密閉し、該密閉部に設けた導入孔を
介してリキッドタンク内を該密閉部に連なる開閉手段付
きのタンク用ポートに連通させ、該タンク用ポートを利
用してリキッドタンクへの検査ガスの封入とリキッドタ
ンクからの検査ガスの回収とを行うので、従来技術のよ
うに検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用する必要
が無い。
【0016】請求項2の発明は、請求項1記載のリキッ
ドタンクの気密性能検査方法であって、前記第2行程の
前又は後に、前記検査用ポートを利用してリキッドタン
ク内の真空引きを行い、リキッドタンクが所定時間内に
所定の真空度に到達しなかった場合には、少なくとも前
記第3行程から前記第5行程までを省略することを特徴
とするものである。
【0017】このため、請求項2の発明では、リキッド
タンクのクラック等の欠陥の有無をリキッドタンク内に
検査ガスを封入する前に検出して、リキッドタンク内か
らチャンバー内への検査ガスの大量の漏れを未然に防止
することができる。
【0018】また、請求項2の発明では、クラック等の
欠陥が無い真空状態のリキッドタンク内に検査ガスを封
入することにより、その封入したリキッドタンク内の検
査ガス濃度を封入前の検査ガス濃度と略同一にすること
もできる。
【0019】請求項3の発明は、請求項1又は2記載の
リキッドタンクの気密性能検査方法であって、前記第4
行程では、前記所定時間の経過途中にチャンバー内の検
査ガス濃度を少なくとも1回検出し、該検出結果が所定
値以上である場合には直ちにリキッドタンク内の検査ガ
スを回収することを特徴とするものである。
【0020】このため、請求項3の発明では、検査ガス
のリークが大きいリキッドタンクを早めに検出して、リ
キッドタンク内からチャンバー内への検査ガスのリーク
量の増大を抑えることができる。
【0021】請求項4の発明は、冷媒流入孔と冷媒流出
孔を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能検査
装置であって、前記リキッドタンクを載置させる台座
と、該台座に対して昇降自在に配設され該台座との協働
でリキッドタンクを押圧挟持して密封する有底筒状のチ
ャンバーと、該チャンバーをリキッドタンクを密封した
状態で台座に解除可能に固定する固定手段と、前記チャ
ンバー又は台座の一方に設けられチャンバーと台座によ
るリキッドタンクの押圧挟持によって前記冷媒流入孔と
冷媒流出孔を密閉する密閉部と、該密閉部に連なり該密
閉部に設けた導入孔を介してリキッドタンク内に連通可
能な開閉手段付きのタンク用ポートと、前記台座又はチ
ャンバーの少なくとも一方に設けられリキッドタンクを
密封したチャンバー内に連通可能な開閉手段付きのチャ
ンバー用ポートと、前記タンク用ポートに接続されてリ
キッドタンク内に所定正圧の検査ガスを封入する検査ガ
ス供給装置と、前記チャンバー用ポートに接続されてリ
キッドタンクを密封したチャンバー内の検査ガス濃度を
検出する検出装置と、前記タンク用ポートに接続されて
リキッドタンク内の検査ガスを回収する回収装置と、リ
キッドタンクを密封したチャンバー内の雰囲気置換時に
前記チャンバー用ポートに接続されて検査ガスを含まな
い清浄ガスをチャンバー内に供給すると共に、少なくと
もチャンバー内及びチャンバー用ポート内の清掃時に少
なくともチャンバー内及びチャンバー用ポート内に前記
清浄ガスを供給する清浄ガス供給装置とを備えているこ
とを特徴とするものである。
【0022】このため、請求項4の発明では、台座にリ
キッドタンクを載置し、有底筒状のチャンバーを台座に
向かって降下させ、チャンバーを台座に固定手段で解除
可能に固定することにより、チャンバーと台座とでリキ
ッドタンクを押圧挟持して密封すると共に、チャンバー
又は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタンクの冷媒
流入孔と冷媒流出孔とを密閉し、密閉部に設けた導入孔
を介してリキッドタンク内を密閉部に連なる開閉手段付
きのタンク用ポートに連通させることができる。
【0023】そして、チャンバー又は台座の少なくとも
一方に設けた開閉手段付きのチャンバー用ポートに清浄
ガス供給装置を接続して、検査ガスを含まない清浄ガス
をチャンバー内に供給することによりチャンバー内を清
浄ガスで置換し、タンク用ポートに検査ガス供給装置を
接続してリキッドタンク内に所定正圧の検査ガスを封入
し、該封入から所定時間経過後のチャンバー内の検査ガ
ス濃度を、チャンバー用ポートに検出装置を接続して検
出し、タンク用ポートに回収装置を接続してリキッドタ
ンク内の検査ガスを回収することができる。
【0024】更に、固定手段によるチャンバーの台座へ
の固定を解除し、チャンバーを台座の上方へ上昇させて
リキッドタンクを台座から取り出し、清浄ガス供給装置
により少なくともチャンバー内及びチャンバー用ポート
内を清浄ガスで清掃することができる。
【0025】従って、請求項4の発明では、チャンバー
内及びチャンバー用ポート内に残留あるいは付着する検
査ガスを清浄ガスで除去して、清浄ガス雰囲気のチャン
バー内に密封したリキッドタンクから検査ガスがリーク
した場合のチャンバー内の検査ガス濃度を検出すること
ができる。
【0026】しかも、請求項4の発明では、有底筒状の
チャンバーの台座に対する昇降によってリキッドタンク
のチャンバーからの出し入れをすることができるので、
チャンバー内からのリキッドタンクの出し入れの際に、
リキッドタンクを把持した手をチャンバー内に出し入れ
する必要が無い。
【0027】また、請求項4の発明では、チャンバーと
台座とでリキッドタンクを押圧挟持して、チャンバー又
は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタンクの冷媒流
入孔と冷媒流出孔を着脱自在に密閉し、密閉部に設けた
導入孔を介してリキッドタンク内を密閉部に連なる開閉
手段付きのタンク用ポートに連通させることができ、こ
のタンク用ポートを利用してリキッドタンクへの検査ガ
スの封入とリキッドタンクからの検査ガスの回収とを行
うことができるので、従来の検査装置のように検査ガス
の封入及び回収用のカプラを使用する必要が無い。
【0028】請求項5の発明は、請求項4記載のリキッ
ドタンクの気密性能検査装置であって、前記チャンバー
を前記台座に対して昇降させる昇降装置を備え、前記固
定手段は、前記昇降装置によりチャンバーを台座上に降
下させた状態でチャンバーを台座に押し付けてロック
し、前記昇降装置によるチャンバーの上昇時にチャンバ
ーの台座へのロックを解除する固定装置であることを特
徴とするものである。
【0029】このため、請求項5の発明では、昇降装置
でチャンバーを台座に向かって降下させ、固定装置でチ
ャンバーを台座に固定することにより、チャンバーと台
座とでリキッドタンクを押圧挟持して密封すると共に、
チャンバー又は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタ
ンクの冷媒流入孔と冷媒流出孔とを密閉して、密閉部に
設けた導入孔を介してリキッドタンク内を密閉部に連な
る開閉手段付きのタンク用ポートに連通させることがで
きる。
【0030】また、請求項5の発明では、固定装置でチ
ャンバーの台座への固定を解除し、昇降装置でチャンバ
ーを台座の上方へ上昇させることにより、チャンバーと
台座によるリキッドタンクの密封を解除してチャンバー
内からリキッドタンクを取り出すこともできる。
【0031】請求項6の発明は、請求項4又は5記載の
リキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記密閉
部が、前記台座に立設された前記冷媒流入孔用の第1密
閉ピンと前記冷媒流入孔用の第2密閉ピンであり、該第
1及び第2の両密閉ピンは、一方にのみ前記導入孔が設
けられ、他方が、前記冷媒流入孔と冷媒流入孔の配置に
応じて位置変更可能に台座に固定されていることを特徴
とするものである。
【0032】このため、請求項6の発明では、台座に位
置変更可能に固定されている密閉ピンの台座への固定位
置を変更することによって、冷媒流入孔と冷媒流入孔の
配置が異なるリキッドタンクの気密性能検査に対応する
ことができる。
【0033】請求項7の発明は、請求項4〜6の何れか
に記載のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、
前記タンク用ポートに接続されて前記リキッドタンク内
を真空引きする真空ポンプと、該真空ポンプによって真
空引きされたリキッドタンク内の真空度を検出する真空
計とを備えていることを特徴とするものである。
【0034】このため、請求項7の発明では、チャンバ
ー内にリキッドタンクを密封した後であってリキッドタ
ンク内に検査ガスを封入する前に真空ポンプでリキッド
タンク内を真空引きし、その真空引きしたリキッドタン
ク内の真空度を真空計で検出して、リキッドタンクが所
定時間内に所定の真空度に到達するか否かを検査するこ
とにより、リキッドタンクのクラック等の欠陥の有無を
リキッドタンク内に検査ガスを封入する前に検出して、
リキッドタンク内からチャンバー内への検査ガスの大量
の漏れを未然に防止することができる。
【0035】また、請求項7の発明では、真空引きの開
始から所定時間内に所定の真空度に到達したリキッドタ
ンクに対して検査ガスを封入することにより、真空状態
のリキッドタンク内に検査ガスを封入して、その封入し
たリキッドタンク内の検査ガス濃度を封入前の検査ガス
濃度と略同一にすることもできる。
【0036】請求項8の発明は、請求項7記載のリキッ
ドタンクの気密性能検査装置であって、前記真空計で検
出した前記リキッドタンク内の真空度と、前記検出装置
で検出した前記チャンバー内の検査ガス濃度とに基づき
リキッドタンクを前記台座から取り出して良品と不良品
とに分類する払出し装置を備えていることを特徴とする
ものである。
【0037】このため、請求項8の発明では、リキッド
タンクの台座からの取り出しと、リキッドタンクの良品
と不良品との分類とを払出し装置で自動的に行うことが
できる。
【0038】
【発明の効果】請求項1の発明では、チャンバー内及び
チャンバー用ポート内に残留あるいは付着する検査ガス
を清浄ガスで除去して、清浄ガス雰囲気のチャンバー内
に密封したリキッドタンクから検査ガスがリークした場
合のチャンバー内の検査ガス濃度を検出することができ
るので、リキッドタンクの気密性能を正確に検査するこ
とができる。
【0039】しかも、請求項1の発明では、チャンバー
内からのリキッドタンクの出し入れの際に、リキッドタ
ンクを把持した手をチャンバー内に出し入れする必要が
無いので、チャンバーの容積を従来のチャンバーより小
さくすることができ、その結果、従来の検査方法と比べ
て、適正な検査に必要なチャンバー内でのリキッドタン
クの放置時間を短くして検査時間を短縮することができ
ると共に、チャンバーの占有空間を小さくすることもで
きる。
【0040】また、請求項1の発明では、従来のように
検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用する必要が無
いので、リキッドタンクへのカプラーの着脱に掛かる人
件費を無くすことができると共に、リキッドタンクから
取り外したカプラーを再利用のためにリキッドタンクへ
の取付場所へ戻すための人件費及びコンベア等の付帯設
備を無くすこともでき、その結果、リキッドタンクの検
査費用を削減することができる。
【0041】更に、請求項1の発明では、従来技術のよ
うに検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用する必要
が無いので、リキッドタンクのネジ孔を利用してリキッ
ドタンクにカプラーを着脱する必要も無く、従って、そ
の着脱時に前記ネジ孔のネジを潰してしまう恐れを解消
することもできる。
【0042】請求項2の発明では、リキッドタンクから
チャンバー内への検査ガスの大漏れを未然に防止するこ
とができるので、チャンバー内及びチャンバー用ポート
内の検査ガスによる大規模な汚染を未然に防止し、その
大規模な汚染を除去する除去作業を無くして検査効率を
向上させることができる。
【0043】また、請求項2の発明では、真空状態のリ
キッドタンク内に検査ガスを封入することにより、その
封入したリキッドタンク内の検査ガス濃度を封入前の検
査ガス濃度と略同一にすることができるので、リキッド
タンクを密封したチャンバー内の検査ガス濃度を検出す
ることによって、リキッドタンクからリークする検査ガ
スのリーク速度(単位はg/年)の算出精度が向上し、
リキッドタンクの良否をより正確に判断することもでき
る。
【0044】請求項3の発明では、検査ガスのリークが
大きいリキッドタンクを早めに検出して、リキッドタン
クからチャンバー内への検査ガスのリーク量の増大を抑
えることができるので、チャンバー内及びチャンバー用
ポート内の洗浄を通常の洗浄工程のみで行うことがで
き、特別な洗浄作業を無くして検査効率を向上させるこ
とができる。
【0045】請求項4の発明では、チャンバー内及びチ
ャンバー用ポート内に残留あるいは付着する検査ガスを
清浄ガスで除去して、清浄ガス雰囲気のチャンバー内に
密封したリキッドタンクから検査ガスがリークした場合
のチャンバー内の検査ガス濃度を検出することができる
ので、リキッドタンクの気密性能を正確に検査すること
ができる。
【0046】しかも、請求項4の発明では、チャンバー
内からのリキッドタンクの出し入れの際に、リキッドタ
ンクを把持した手をチャンバー内に出し入れする必要が
無いので、チャンバーの容積を従来のチャンバーより小
さくすることができ、その結果、従来の検査装置と比べ
て、適正な検査に必要なチャンバー内でのリキッドタン
クの放置時間を短くして検査時間を短縮することができ
ると共に、チャンバーの占有空間を小さくすることもで
きる。
【0047】また、請求項4の発明では、従来の検査装
置のように検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用す
る必要が無いので、リキッドタンクへのカプラーの着脱
に掛かる人件費を無くすことができると共に、リキッド
タンクから取り外したカプラーを再利用のためにリキッ
ドタンクへの取付場所へ戻すための人件費及びコンベア
等の付帯設備を無くすこともでき、その結果、リキッド
タンクの検査費用を削減することができる。
【0048】更に、請求項4の発明では、従来の検査装
置のように検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用す
る必要が無いので、リキッドタンクのネジ孔を利用して
リキッドタンクにカプラーを着脱する必要も無く、従っ
て、その着脱時に前記ネジ孔のネジを潰してしまう恐れ
を解消することもできる。
【0049】請求項5の発明では、昇降装置でチャンバ
ーを台座に向かって降下させ、固定装置でチャンバーを
台座に固定することにより、チャンバーと台座とでリキ
ッドタンクを押圧挟持して密封すると共に、チャンバー
又は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタンクの冷媒
流入孔と冷媒流出孔とを密閉して、密閉部に設けた導入
孔を介してリキッドタンク内を密閉部に連なる開閉手段
付きのタンク用ポートに連通させることができるので、
チャンバーと台座によるリキッドタンクのセットが容易
である。
【0050】また、請求項5の発明では、固定装置でチ
ャンバーの台座への固定を解除し、昇降装置でチャンバ
ーを台座の上方へ上昇させることにより、チャンバーと
台座によるリキッドタンクの密封を解除してチャンバー
内からリキッドタンクを取り出すことができるので、チ
ャンバー内からのリキッドタンクの取り出しも容易であ
る。
【0051】請求項6の発明では、台座に位置変更可能
に固定されている密閉ピンの台座への固定位置を変更す
ることによって、冷媒流入孔と冷媒流入孔の配置が異な
るリキッドタンクの気密性能検査に対応することができ
るので、前記配置が異なるリキッドタンクの気密性能を
検査することができる。
【0052】請求項7の発明では、リキッドタンクから
チャンバー内への検査ガスの大漏れを未然に防止するこ
とができるので、チャンバー内及びチャンバー用ポート
内の検査ガスによる大規模な汚染を未然に防止し、その
大規模な汚染を除去する除去作業を無くして検査効率を
向上させることができる。
【0053】また、請求項7の発明では、真空状態のリ
キッドタンク内に検査ガスを封入して、その封入したリ
キッドタンク内の検査ガス濃度を封入前の検査ガス濃度
と略同一にすることができるので、リキッドタンクを密
封したチャンバー内の検査ガス濃度を検出することによ
って、リキッドタンクからリークする検査ガスのリーク
速度(単位はg/年)の算出精度が向上し、リキッドタ
ンクの良否をより正確に判断することもできる。
【0054】請求項8の発明では、リキッドタンクの台
座からの取り出しと、リキッドタンクの良品と不良品と
の分類を払出し装置で自動的に行うことができるので、
前記取り出しと分類とを正確かつ確実に行うことがで
き、リキッドタンクの製造ライン等で大量のリキッドタ
ンクに対して気密性能検査を行う場合には、その気密性
能検査に掛かる人件費を削減して、検査費用を削減する
こともできる。
【0055】
【発明の実施の形態】図1は、請求項4〜8記載の各発
明を併せて実施した実施の形態の一例を示す平面図であ
る。なお、以下に行う説明では、リキッドタンクに関し
ては、従来技術の項で既に説明した図13,図14図示
のリキッドタンク10と同一であるので、リキッドタン
ク10と同一の符号を付し、その説明を省略する。
【0056】図1に示すように、リキッドタンク10の
気密性能検査装置1は、回転駆動装置によって所定時間
毎に回転角度30度づつ時計回りに回転駆動される円形
のターンテーブル30を備え、このターンテーブル30
の上面の外周縁部分におけるターンテーブル30を30
度の等角度で12分割した各部位に、リキッドタンク1
0を載置させる台座40がそれぞれ取り付けられてい
る。
【0057】また、この気密性能検査装置1は、ターン
テーブル30の上面における各台座40より中心側の部
位に、ターンテーブル30の上面から垂直に延びるレー
ル51を備えた摺動装置50がレール51を台座40側
へ向けて放射状に配設され、各摺動装置50のレール5
1に、摺動部材52がレール51に沿って摺動自在に取
り付けられ、各摺動部材52に、有底筒状のチャンバー
60が開口部を下に向けて取り付けられて、各チャンバ
ー60が台座40に対して昇降自在に配設されている。
【0058】なお、図1の各符号S1〜S12は、台座
40が間欠的に停止するターンテーブル30の停止位置
を示しており、以下、各停止位置S1〜S12をそれぞ
れ第1ステージ〜第12ステージと呼ぶこととする。
【0059】ターンテーブル30の第3ステージS3の
外側には第1ステーションST1が配設され、第4ステ
ージS4の外側には第2ステーションST2が配設さ
れ、第5ステージS5の外側には第3ステーションST
3が配設され、第6ステージS6の外側には第4ステー
ションST4が配設され、第7ステージS7の外側には
第5ステーションST5が配設され、第10ステージS
10の外側には第6ステーションST6が配設され、第
11ステージS11の外側には第7ステーションST7
が配設され、第12ステージS12の外側には、第8ス
テーションST8と、良品のリキッドタンク10用のシ
ューター71及び不良品のリキッドタンク10用のシュ
ーター72を備えた払出し装置70とが配設されてい
る。
【0060】図2は、図1に示すもののX−X線断面を
示す説明図である。図2に示すように、ターンテーブル
30の第3ステージS3の下方には、摺動部材52と共
にチャンバー60を下降させる第1シリンダ装置A1が
配設され、第12ステージS12のターンテーブル30
の下方には、摺動部材52と共にチャンバー60を上昇
させる第2シリンダ装置A2が配設されている。
【0061】そして、ターンテーブル30における各摺
動部材52の下方に位置する部位には、第1及び第2の
両シリンダ装置A1,A2のロッドA1a,A2aが昇
降するための昇降孔31が貫設されている。従って、チ
ャンバー60を台座40に対して昇降させる昇降装置2
は、摺動装置50,第1及び第2の両シリンダ装置A
1,A2を備えている。
【0062】図3は、昇降装置を示す斜視図であり、図
4は、図3に示すもののチャンバーを固定した状態を示
す斜視図である。図3,図4に示すように、摺動装置5
0は、レール51を支持する支持部材53の一方の側面
の上方部位に、摺動部材52と共にチャンバー60を保
持する保持部54を備えている。
【0063】この保持部54は、支持部材53に固定さ
れた固定部材54aに、回転軸54bがその軸方向をタ
ーンテーブル30の半径方向に一致させて回転自在に保
持され、この回転軸54bのターンテーブル30中心側
の端部に、該端部から上方へ向かう第1アーム部材54
cが固定され、回転軸54bのターンテーブル30外周
側の端部に、該端部から上方へ向かう第2アーム部材5
4dが固定され、第1アーム部材54cの上端部がスプ
リング54eを介して支持部材53に連結され、このス
プリング54eの弾撥力によって第1及び第2の両アー
ム部材54c,54dがほぼ垂直に状態保持されてい
る。
【0064】そして、第2アーム部材54dのレール5
1側の側面には、チャンバー60を摺動部材52にボル
ト固定するための矩形の取付部材61を係止するフック
部54fが形成され、このフック部54fは、第2アー
ム部材54dのレール51側の側面の下端から上方へ向
かってレール51側へ徐々に突出した傾斜面54gと、
水平な上端面54hとを備えている。
【0065】図5は、第12ステージでの昇降装置の作
用を説明する説明図であって、(a)はシリンダ装置の
ロッドの上昇途中の状態を示し、(b)はロッドの下降
途中の状態を示している。図5に示すように、昇降装置
2の第2シリンダ装置A2は、そのロッドA2aの先端
がチャンバー60の取付部材61には当接するが摺動装
置50の保持部54の第2アーム部材54dには当接し
ない位置に配設されている。
【0066】このため、第12ステージS12では、昇
降装置2は、第2シリンダ装置A2のロッドA2aが上
昇し、ロッドA2aの先端がチャンバー60の取付部材
61に当接してチャンバー60を摺動部材52と共にレ
ール51に沿って上昇させ、チャンバー60の取付部材
61が第2アーム部材54dのフック部54fの傾斜面
54gに当接して、第1及び第2の両アーム部材54
c,54dを回転軸54bを中心に回動させ、チャンバ
ー60の取付部材61が第2アーム部材54dのフック
部54fの上端を通過した時点でスプリング54eによ
り第1及び第2の両アーム部材54c,54dが初期位
置に復帰する。
【0067】この後、第2シリンダ装置A2のロッドA
2aが降下し、チャンバー60の取付部材61が第2ア
ーム部材54dのフック部54fの上端面54hで支持
されて、摺動装置50の保持部54によりチャンバー6
0が台座40上方の上昇位置で保持される。なお、第2
シリンダ装置A2のロッドA2aは、シリンダ内に収納
されて、最終的にはターンテーブル30より下方に配置
される。
【0068】従って、ターンテーブル30の第12ステ
ージS12に続く第1及び第2の両ステージS1,S2
では、チャンバー60は、摺動装置50の保持部54に
よって前記上昇位置で保持されたままとなる。なお、こ
の上昇位置では、チャンバー60の開口部は、台座40
上に載置されたリキッドタンク10の上端より上方に位
置している。
【0069】図6は、第3ステージでの昇降装置の作用
を説明する説明図であって、(a)はシリンダ装置のロ
ッドの上昇途中の状態を示し、(b)はロッドの下降直
後の状態を示している。図6に示すように、昇降装置2
の第1シリンダ装置A1は、そのロッドA2aの先端
が、摺動装置50の第2アーム部材54dのフック部5
4fの傾斜面54gに当接しフック部54fによるチャ
ンバー60の取付部材61の係止を解除して取付部材6
1に当接する位置に配設されている。
【0070】このため、第3ステージでは、昇降装置2
は、第1シリンダ装置A1のロッドA1aが上昇し、ロ
ッドA1aの先端が摺動装置50の第2アーム部材54
dのフック部54fの傾斜面54gに当接して第1及び
第2の両アーム部材54c,54dを回転軸54bを中
心に回動させ、第2アーム部材54dのフック部54f
によるチャンバー60の取付部材61の係止を解除した
状態でロッドA1aの先端面がチャンバー60の取付部
材61に当接する。
【0071】この後、第1シリンダ装置A1のロッドA
1aと共にチャンバー60及び摺動部材52がレール5
1に沿って降下し、チャンバー60が開口部を台座40
によって塞がれた状態で台座40上に載置され、ロッド
A1aが第1シリンダ装置A1のシリンダ内に収納され
てターンテーブル30より下方に配置される。
【0072】図7は、チャンバーを示す断面図である。
図7に示すように、有底筒状のチャンバー60は、その
開口部を囲む底面に、台座40に押し付けられてチャン
バー60内を密閉するOリング62が配設され、頂部の
上面側に、密閉状態のチャンバー60内の圧力が所定圧
以上になるとチャンバー60の密閉状態を開放するリリ
ーフ弁63と、チャンバー60内に連通可能なチャンバ
ー用ポート64とが配設されている。
【0073】このチャンバー用ポート64は、その先端
に開閉手段としての開閉弁64aを備え、この開閉弁6
4aは、弁座にスプリング等の弾性体で押し付けられた
弁体64bの一部がチャンバー用ポート64の先端から
突出している。このため、この弁体64bをニードル等
で開閉弁64aの奥部へ押し込んで開閉弁64aを開け
ることにより、チャンバー用ポート64を介してチャン
バー60内を外部と連通させることができる。
【0074】チャンバー60の頂部の下面側には、台座
40と協働してリキッドタンク10を押圧挟持する押圧
部65が配設され、この押圧部65は、リキッドタンク
10の頂部と係合する係合部材65aと、チャンバー6
0の頂部にボルト固定される固定部材65bと、係合部
材65aと固定部材65bとを連結し係合部材65aを
伸縮自在に支持する合成ゴム等の弾性部材65cよりな
っている。
【0075】また、チャンバー60は、図3に図示され
ているように、その下端部の左右両側に、後述する台座
40の固定部材と係合する係合ボルト66が高さ調整可
能に配設されている。
【0076】図8は、台座を示す斜視図である。図8に
示すように、台座40には、リキッドタンク10の冷媒
流入孔11を密閉する第1密閉ピン41と、リキッドタ
ンク10の冷媒流出孔12を密閉する第2密閉ピン42
と、リキッドタンク10を支持する3本の支持ピン43
とが立設されている。
【0077】第1密閉ピン41は、リキッドタンク10
の冷媒流入孔11に挿入される先端部41aと、冷媒流
入孔11の内径より大径でチャンバー60の押圧部65
と協働してリキッドタンク10を押圧挟持する支持部4
1bと、支持部41bの下端に突設された固定用のネジ
部と、軸心に沿って貫設された導入孔41cとを備え、
先端部41aと支持部41bとの境界の段差面には、リ
キッドタンク10を押圧挟持した際にリキッドタンク1
0の冷媒流入孔11をその開口縁で密閉するOリング4
1dが取り付けられている。
【0078】そして、第1密閉ピン41は、ねじ部が台
座40のネジ孔に螺着されて該ネジ孔を密閉した状態で
台座40に固定されており、台座40の前面に設けられ
台座40を介して第1密閉ピン41に連なるタンク用ポ
ート44に導入孔41dが連通している。
【0079】第2密閉ピン42は、リキッドタンク10
の冷媒流出孔12に挿入される先端部42aと、冷媒流
出孔12の内径より大径でチャンバー60の押圧部65
と協働してリキッドタンク10を押圧挟持する支持部4
2bと、支持部42bの下端に突設された固定用の保持
部とを備え、保持部が台座40の保持孔に着脱自在に嵌
合されて台座40に抜き差し自在に固定されており、先
端部42aと支持部42bとの境界の段差面には、リキ
ッドタンク10を押圧挟持した際にリキッドタンク10
の冷媒流出孔12をその開口縁で密閉するOリング42
dが取り付けられている。
【0080】なお、第1及び第2の両密閉ピン41,4
2は、その先端部41a,42aが軟質の合成樹脂製の
保護部材で覆われている。このため、両密閉ピン41,
42の先端部41a,42aでリキッドタンク10の冷
媒流入孔11及び冷媒流出孔12を傷つけるのを防止す
ることができる。
【0081】3本の支持ピン43は、台座40の上面か
ら突出しリキッドタンク10を支持する支持部43a
と、この支持部43aの下端に突設された固定用の保持
部よりなり、支持部43aの長さが第1及び第2の両密
閉ピン41,42の支持部41b,42bの長さと略同
一とされ、保持部が台座40の保持孔に着脱自在に嵌合
されて台座40に抜き差し自在に固定されている。
【0082】なお、各支持ピン43の保持部は第2密閉
ピン42の保持部と同一形状とされ、従って、台座40
の各支持ピン43用の保持孔も第2密閉ピン42用の保
持孔と同一形状とされている。このため、各支持ピン4
3と第2密閉ピン42とは、台座40への固定箇所が互
いに交換可能とされている。
【0083】しかも、台座40における第2密閉ピン4
2及び各支持ピン43の配置は、形状が略同一で冷媒流
入孔11と冷媒流出孔12の配置が異なる各種リキッド
タンク10において冷媒流入孔11を一致させた場合の
冷媒流出孔12の配置に対応している。
【0084】従って、この気密性能検査装置1では、各
支持ピン43と第2密閉ピン42との間で台座40への
固定位置を変更することによって、形状が略同一で冷媒
流入孔11と冷媒流出孔12の配置が異なる各種リキッ
ドタンク10の気密性能検査を行うことができる。
【0085】台座40の前面には、第1密閉ピン41の
導入孔41cを介してリキッドタンク10内に連通可能
なタンク用ポート44と、リキッドタンク10を密封し
た状態のチャンバー60内に連通可能なチャンバー用ポ
ート45とが設けられており、台座40の上面中央部に
は、チャンバー用ポート45に連通する開口部45cが
開口している。
【0086】台座40のタンク用ポート44及びチャン
バー用ポート45は、その先端に開閉手段としての開閉
弁44a,45aを備えている。なお、この開閉弁44
a,45aは、既に説明したチャンバー60のチャンバ
ー用ポート64の開閉弁64aと同一の構造を有してお
り、先端から弁体44b,45bの一部が突出してい
る。
【0087】台座40の両側面には、リキッドタンク1
0を密封した状態でチャンバー60を台座40に固定す
る固定部材46が回動自在に取り付けられており、この
固定部材46は、台座40への取付部から台座40の前
面側へ突出する第1腕部46aと、その第1腕部46a
の基部から上方へ突出する第2腕部46bと、その第2
腕部46bの先端から台座40の後面側へ突出しチャン
バー60の係合ボルト66と係脱自在に係合する第3腕
部46cとを備え、第1及び第2の両腕部46a、46
bの先端部に、ローラー46dが回転自在に取り付けら
れている。
【0088】図9は、第3ステージにおけるチャンバー
の台座への固定を示す説明図である。なお、図9におい
ては、チャンバー60のリリーフ弁63及びチャンバー
用ポート64は図示を省略している。
【0089】図9に示すように、ターンテーブル30の
第3ステージS3の外側に配設された第1ステーション
ST1には、チャンバー60を台座40に押し付ける押
圧装置80と、固定部材46の第2腕部46bのローラ
46dに当接して固定部材46を回動させ固定部材46
の第3腕部46cをチャンバー60の係合ボルト66に
係合させる固定用のシリンダ装置A3とが設けられてい
る。
【0090】この押圧装置80は、第1ステーションS
T1に回動自在に取り付けられたシリンダ装置81と、
このシリンダ装置81のロッド81aの先端に設けられ
た倍力機構部82と、この倍力機構部82に取り付けら
れてチャンバー60を押圧する長さ調整可能な押圧ボル
ト83とを備えている。
【0091】押圧装置80の倍力機構部82は、シリン
ダ装置81のロッド81aの先端と、その先端よりター
ンテーブル30寄りに位置する第1ステーションST1
の取付部84との間に配設された逆く字状の第1部材8
2aと、この第1部材82aと押圧ボルト83とを連結
する第2部材82bとを備えている。
【0092】第1部材82aは、一端が、シリンダ装置
81のロッドの先端に回動自在に取り付けられ、他端
が、第1ステーションST1の取付部84に固定ピン8
4aにより回動自在に取り付けられている。第2部材8
2bは、一端が、取付部84に固定ピン83aにより回
動自在に取り付けられ、中央部位が第1部材82aの取
付部84寄りの部位に固定され、他端に、押圧ボルト8
3が長さ調整可能に取り付けられている。
【0093】この押圧装置80では、回動軌跡Kに沿っ
てシリンダ装置81のロッド81aの先端が上昇する
と、倍力機構部82の第1部材82aが第1ステーショ
ンST1の取付部84の固定ピン84aを回動中心とし
て回動し、この第1部材84aの回動に伴い第2部材8
2bが固定ピン84aを回動中心として回動し、この第
2部材82bの回動に伴い押圧ボルト83がチャンバー
60の頂部の上面に当接してチャンバー60を台座40
に押し付ける。
【0094】このとき、シリンダ装置81により第1部
材82aに作用する力は、てこの原理により第2部材8
2bで増大されて押圧ボルト83に伝達され、押圧ボル
ト83を介してチャンバー60を台座40に押し付け、
チャンバー60の底面に配設したOリング62によりチ
ャンバー60内にリキッドタンク10を密封すると共
に、チャンバー60の押圧部65と台座40の第1及び
第2の両密閉ピン41,42並びに支持ピン43とでリ
キッドタンク10を押圧挟持し、第1及び第2の両密閉
ピン41,42のOリング41d,42dでリキッドタ
ンク10の冷媒流入孔11及び冷媒流出孔12を密閉す
る。
【0095】この状態で、固定用のシリンダ装置A3に
より固定部材46が回動し、固定部材46の第3腕部4
6cがチャンバー60の係合ボルト66と係合して、チ
ャンバー60をリキッドタンク10を密封した状態で台
座40に固定する。
【0096】この後、押圧装置80は、シリンダ装置8
1が回動しながらシリンダ装置81のロッド81aがシ
リンダ内に収納され、倍力機構部82の第1及び第2の
両部材82a,82bが取付部84の固定ピン84aを
中心に回動して、押圧ボルト83が二点鎖線で示す待機
位置に移動する。
【0097】図10は、第12ステージにおけるチャン
バーと台座との固定解除を示す説明図である。なお、図
10においては、チャンバー60のリリーフ弁63及び
チャンバー用ポート64は図示を省略している。
【0098】図10に示すように、ターンテーブル30
の第12ステージS12の外側に配設された第8ステー
ションST8には、チャンバー60を台座40に押し付
ける押圧装置80と、固定部材46の第1腕部46aの
ローラ46dに当接して固定部材46を回動させ固定部
材46の第3腕部46cとチャンバー60の係合ボルト
66との係合を解除する固定解除用のシリンダ装置A3
とが設けられている。
【0099】なお、第8ステーションST8の押圧装置
80は、既に説明した第1ステーションST8の押圧装
置80と同一のものであるので、その説明を省略する。
【0100】第12ステージS12では、第8ステーシ
ョンST8の押圧装置80によりチャンバー60が台座
40に押し付けられた状態で、固定解除用のシリンダ装
置A4により固定部材46の第3腕部46cとチャンバ
ー60の係合ボルト66との係合が解除されて、チャン
バーの台座への固定が解除され、押圧装置80のリンダ
装置81のロッド81aがシリンダ内に収納されて、押
圧ボルト83が二点鎖線で示す待機位置に移動する。
【0101】従って、この気密性能検査装置1では、チ
ャンバー60を台座40に解除可能に固定する固定手段
である固定装置3は、第1及び第8の両ステーションS
T1,ST8に配設された押圧装置80,各台座40に
配設された固定部材46,固定用及び固定解除用の両シ
リンダ装置A3,A4並びにチャンバー60の係合ボル
ト66によって構成されている。
【0102】図11は、ターンテーブルの第12ステー
ジの外側に設けられたリキッドタンク用の払出し装置を
示す正面図である。図11に示すように、この払出し装
置70は、ターンテーブル30の外に配設されリキッド
タンク10を良品と不良品に分類する良品用及び不良品
用の両シューター71,72と、第12ステージS12
の台座40からリキッドタンク10を取り出して両シュ
ーター71,72の上方まで運び該上方でリキッドタン
ク10を落下させる搬出装置73とを備えている。
【0103】この搬出装置73は、ターンテーブル30
の上方に配設されてターンテーブル30の外からターン
テーブル30の第12ステージS12の台座40近傍の
上方まで延びるレール部材74を備え、このレール部材
74に、シリンダ装置75によって駆動される摺動部材
76が摺動自在に取り付けられ、この摺動部材76に、
リキッドタンク10を把持し或いはその把持を解除する
開閉自在の2本のアーム77aを備えた把持装置77
と、その把持装置77を昇降自在に支持する支持装置7
8とが取り付けられている。
【0104】第12ステージS12において、固定装置
3によりチャンバー60の台座40への固定が解除さ
れ、昇降装置2によりチャンバー60が台座40上方の
上昇位置で保持された後、払出し装置70は、シリンダ
装置75により摺動部材76と共に支持装置78及び把
持装置77がレール部材74に沿って台座40近傍位置
まで摺動し、把持装置77の2本のアーム77aが開い
た状態で支持装置78により把持装置77が降下して、
両アーム77a間にリキッドタンク10が配置され、両
アーム77aが閉じ両アーム77aでリキッドタンク1
0を把持した状態で支持装置78により把持装置77が
上昇してリキッドタンク10を台座40から取り外す。
【0105】この後、シリンダ装置75により摺動部材
76と共に支持装置78及び把持装置77がレール部材
74に沿ってリキッドタンク10の投下位置まで摺動
し、この投下位置で把持装置77の両アーム77aが開
いてリキッドタンク10を良品用又は不良品用の何れか
一方のシューター71,72上に投下する。なお、リキ
ッドタンク10を良品用又は不良品用の何れのシュータ
ー71,72に投下するかは、リキッドタンク10の気
密性能検査の結果に基づいて図示を省略したコントロー
ラが判断する。
【0106】すなわち、このコントローラは、リキッド
タンク10の気密性能検査の結果が良好な場合には、シ
リンダ装置75により摺動部材76を良品用の停止位置
まで摺動させて、リキッドタンク10を良品用のシュー
ター71上に投下させ、リキッドタンク10の気密性能
検査の結果が不良な場合には、シリンダ装置75により
摺動部材76を不良品用の停止位置まで摺動させて、リ
キッドタンク10を不良品用のシューター72上に投下
させる。
【0107】ここで、第1〜第8の各ステーションST
1,ST2,ST3,ST4,ST5,ST6,ST
7,ST8について説明する。第1ステーションST1
には、既に説明した押圧装置80、台座40の左右両側
に配設された固定部材46を回動させる2台の固定用の
シリンダ装置A3以外に、図1,図2に示すように、リ
キッドタンク10を密封したチャンバー60のチャンバ
ー用ポート64に対しシリンダ装置A5で進退してチャ
ンバー用ポート64に着脱自在かつ気密に接続される第
1接続ポートP1と、台座40の前面に配設されたチャ
ンバー用ポート45に対しシリンダ装置A6で進退して
チャンバー用ポート45に着脱自在かつ気密に接続され
る第2接続ポートP2が配設されている。
【0108】図1に示すように、第2ステーションST
2には、台座40の前面に配設されたタンク用ポート4
4に対しシリンダ装置A7で進退してタンク用ポート4
4に着脱自在かつ気密に接続される接続ポートP3が配
設され、第3ステーションST3には、台座40のタン
ク用ポート44に対しシリンダ装置A8で進退してタン
ク用ポート44に着脱自在かつ気密に接続される接続ポ
ートP4が配設されている。
【0109】第4ステーションST4には、台座40の
前面に配設されたチャンバー用ポート45に対しシリン
ダ装置A9で進退してチャンバー用ポート45に着脱自
在かつ気密に接続される接続ポートP5が配設され、第
5ステーションST5には、台座40のタンク用ポート
44に対しシリンダ装置A10で進退してタンク用ポー
ト44に着脱自在かつ気密に接続される接続ポートP6
が配設されている。
【0110】第6ステーションST6には、台座40の
チャンバー用ポート45に対しシリンダ装置A11で進
退してチャンバー用ポート45に着脱自在かつ気密に接
続される接続ポートP7が配設され、第7ステーション
ST7には、台座40のタンク用ポート44に対しシリ
ンダ装置A12で進退してタンク用ポート44に着脱自
在かつ気密に接続される接続ポートP8が配設されてい
る。
【0111】図1,図2に示すように、第8ステーショ
ンST8には、既に説明した押圧装置80、台座の左右
両側に配設された固定部材46を回動させる2台の固定
解除用のシリンダ装置A4以外に、昇降装置2により上
昇位置に保持されたチャンバー60のチャンバー用ポー
ト64に対しシリンダ装置A13で進退してチャンバー
用ポート64に着脱自在かつ気密に接続される第1接続
ポートP9と、台座40のチャンバー用ポート45に対
しシリンダ装置A14で進退してチャンバー用ポート4
5に着脱自在かつ気密に接続される第2接続ポートP1
0が配設されている。
【0112】なお、全ての接続ポートP1,P2,P
3,P4,P5,P6,P7,P8,P9,P10は、
その先端に、台座40のタンク用ポート44,台座40
のチャンバー用ポート45又はチャンバー60のチャン
バー用ポート64に気密に接続された状態でタンク用ポ
ート44又はチャンバー用ポート45,64の開閉弁4
4a,45a,64aの弁体44b,45b,64bに
当接して該弁体44b,45b,64bを開閉弁44
a,45a,64aの奥部へ押し込みタンク用ポート4
4又はチャンバー用ポート45,64と連通するニード
ルを備えている。
【0113】図12は、気密検査装置の配管を示す配管
図である。図10に示すように、第1ステーションST
1の第1接続ポートP1には、検査ガスであるフッ素ガ
スを含まない清浄ガスとしての窒素ガスを供給する清浄
ガス供給装置4に電磁弁B1を介して接続可能な清浄ガ
ス配管が配管されている。この電磁弁B1は、常時は接
続ポートP1と清浄ガス供給装置4との接続を遮断して
おり、必要に応じて接続ポートP1と清浄ガス供給装置
4とを接続する。なお、第1ステーションST1の第2
接続ポートP2は、その後端が開放されている。
【0114】第2ステーションST2の接続ポートP3
には、電磁弁B2を介して真空ポンプ5に接続可能な真
空配管が配管されており、この真空配管には、ピラニー
真空計90が取り付けられている。電磁弁B2は、常時
は接続ポートP3と真空ポンプ5との接続を遮断してお
り、必要に応じて接続ポートP6と検査ガス回収装置7
とを接続する。
【0115】第3ステーションST3の接続ポートP4
には、検査ガスであるフッ素ガスを窒素ガスと混合させ
た混合ガスを供給する検査ガス供給装置6に電磁弁B3
を介して接続可能な検査ガス配管が配管されている。こ
の電磁弁B3は、常時は接続ポートP4と検査ガス供給
装置6との接続を遮断しており、必要に応じて接続ポー
トP4と検査ガス供給装置6とを接続する。
【0116】第4ステーションST4の接続ポートP5
には、検査ガスであるフッ素ガスの濃度を検出する第1
検出装置8に電磁弁B4を介して接続可能な検査用配管
が配管されている。この電磁弁B4には清浄ガス供給装
置4からの清浄ガス配管も配管されており、電磁弁B4
は、常時は第1検出装置8と清浄ガス供給装置4とを接
続して第1検出装置8を窒素ガスで清掃し、必要に応じ
て接続ポートP5と第1検出装置8とを接続する。
【0117】第5ステーションST5の接続ポートP6
には、検査ガスと窒素ガスとの混合ガスを回収する検査
ガス回収装置7に電磁弁B5を介して接続可能なガス回
収配管が配管されている。この電磁弁B5は、常時は接
続ポートP6と検査ガス回収装置7との接続を遮断して
おり、必要に応じて接続ポートP6と検査ガス回収装置
7とを接続する。
【0118】第6ステーションST6の接続ポートP7
には、検査ガスであるフッ素ガスの濃度を検出する第2
検出装置9に電磁弁B6を介して接続可能な検査用配管
が配管されている。この電磁弁B6には清浄ガス供給装
置4からの清浄ガス配管も配管されており、電磁弁B6
は、常時は第2検出装置9と清浄ガス供給装置4とを接
続して第2検出装置9を窒素ガスで清掃し、必要に応じ
て接続ポートP7と第2検出装置9とを接続する。な
お、第2検出装置9は、第1検出装置8と比べて検出レ
ンジが狭く、検査素ガスの濃度をより精密に検出するこ
とができる。
【0119】第7ステーションST7の接続ポートP8
には、検査ガス回収装置7に電磁弁B7を介して接続可
能なガス回収配管が配管されている。この電磁弁B7
は、常時は接続ポートP8と検査ガス回収装置7との接
続を遮断しており、必要に応じて接続ポートP8と検査
ガス回収装置7とを接続する。
【0120】なお、検査ガス回収装置7と検査ガス供給
装置6とは互いに配管で接続されており、検査ガス回収
装置7で回収した前記混合ガスをその混合比率を調整し
た上で検査ガス供給装置7により再利用できるようにな
っている。
【0121】第8ステーションST8の第1及び第2の
両接続ポートP9,P10には、清浄ガス供給装置4に
電磁弁B8を介して接続可能な清浄ガス配管が配管され
ている。この電磁弁B8は、常時は両接続ポートP9,
P10と清浄ガス供給装置4との接続を遮断しており、
必要に応じて両接続ポートP9,P10と清浄ガス供給
装置4とを接続する。
【0122】以上説明した気密性能検査装置1を使用し
てリキッドタンク10の気密性能を検査する気密性能検
査方法について以下に説明する。先ず、ターンテーブル
30の第1ステージS1において、台座40の第1密閉
ピン41の先端部41aをリキッドタンク10の冷媒流
入孔11に挿入させ、台座40の第2密閉ピン42の先
端部42aをリキッドタンク10の冷媒流出孔12に挿
入させて、台座40の所定位置にリキッドタンク10を
セットする。
【0123】このセットがターンテーブル30の間欠駆
動時間内にうまく行われなかった場合には、ターンテー
ブル30の第2ステージS2で対処するか、あるいは、
気密性能検査装置1を緊急停止させて対処する。なお、
第1及び第2の両ステージS1,S2では、チャンバー
60は摺動装置50の保持部54によって台座40上方
の上昇位置に保持されている。
【0124】ターンテーブル30の第3ステージS3で
は、ターンテーブル30の下方に配設された第1シリン
ダ装置A1によりチャンバー60を前記上昇位置から台
座40上に降下させてリキッドタンク10にチャンバー
60を被せ、第1ステーションST1の押圧装置80で
チャンバー60を台座40に押し付け、第1ステーショ
ンST1の固定用のシリンダ装置A3で台座40の固定
部材46を回動させてチャンバー60を台座40に固定
する。
【0125】この固定により、チャンバー60と台座4
0とでリキッドタンク10を押圧挟持して密封し、台座
40の第1密閉ピン41でリキッドタンク10の冷媒流
入孔11を密閉すると共に、台座40の第2密閉ピン4
2でリキッドタンク10の冷媒流出孔12を密閉し、第
1密閉ピン41の導入孔41cを介してリキッドタンク
10内を台座40のタンク用ポート44に連通させる。
【0126】この後、ターンテーブル30の第3ステー
ジS3では、第1ステーションST1の第1接続ポート
P1をチャンバー60のチャンバー用ポート64に接続
し、第1ステーションST1の第2接続ポートP2を台
座40のチャンバー用ポート45に接続して、チャンバ
ー60のチャンバー用ポート45からチャンバー60内
に清浄ガス供給装置4からの窒素ガスを流入させると共
に、この流入した窒素ガスを台座40のチャンバー用ポ
ート45から流出させ、所定時間経過後に第1及び第2
の両接続ポートP1,P2とチャンバー用ポート64,
45との接続を解除して、チャンバー60内の雰囲気を
窒素ガスで置換する。
【0127】ターンテーブル30の第4ステージS4で
は、第2ステーションST2の接続ポートP3を台座4
0のタンク用ポート44に接続して、真空ポンプ5でリ
キッドタンク10内を真空引きし、リキッドタンク10
内の真空度をピラニー真空計90で検出する。
【0128】そして、所定時間内にリキッドタンク10
が3トール以下の真空度に到達しなかった場合には、以
下に説明する第5,6,7,10及び11の各ステージ
S5,S6,S7,S10,S11での検査工程を全て
省略し、第12ステージS12において払出し装置70
によりリキッドタンク10を不良品として搬出する。
【0129】ターンテーブル30の第5ステージS5で
は、第3ステーションST3の接続ポートP4を台座4
0のタンク用ポート44に接続して、検査ガス供給装置
6から供給される検査ガスと窒素ガスとの混合ガスをリ
キッドタンク10内に封入する。なお、この混合ガスの
圧力はゲージ圧で約17気圧に設定されている。
【0130】ターンテーブル30の第6ステージS6で
は、第4ステーションST4の接続ポートP5を台座4
0のチャンバー用ポート45に接続し、チャンバー60
内の検査ガス(フッ素ガス)濃度を第1検出装置8で検
出して、リキッドタンク10の気密性能の粗検査を行
う。
【0131】第1検出装置8での検出結果が所定値以上
である場合には、第7ステージS7において第5ステー
ションST5の接続ポートP6を台座40のタンク用ポ
ート44に接続し、検査ガス回収装置7によってリキッ
ドタンク10内の混合ガスを回収する。そして、以下に
説明する第10及び11の両ステージS10,S11で
の検査工程を省略し、第12ステージS12において払
出し装置70によりリキッドタンク10を不良品として
搬出する。
【0132】第1検出装置8での検出結果が所定値以下
である場合には、第7ステージS7では何も行わず、第
7ステージS7は、続く第8及び第9の両ステージS
8,S9と共に、リキッドタンク10内からチャンバー
60内への検査ガスの所定リーク時間を確保するために
使用される。
【0133】ターンテーブル30の第10ステージS1
0では、第6ステーションST6の接続ポートP7を台
座40のチャンバー用ポート45に接続し、チャンバー
60内の検査ガス(フッ素ガス)濃度を第2検出装置9
で検出して、リキッドタンク10の気密性能の本検査を
行う。
【0134】第2検出装置9での検出結果が所定値以上
である場合には、第12ステージS12において払出し
装置70によりリキッドタンク10を不良品として搬出
し、第2検出装置9での検出結果が所定値以下である場
合には、第12ステージにおいて払出し装置70により
リキッドタンク10を良品として搬出する。
【0135】ターンテーブル30の第11ステージS1
1では、第7ステーションST7の接続ポートP8を台
座40のタンク用ポート44に接続し、検査ガス回収装
置7によってリキッドタンク10内の混合ガスを回収す
る。
【0136】ターンテーブル30の第12ステージS1
2では、第8ステーションST8の押圧装置80でチャ
ンバー60を台座40に押し付け、第8ステーションS
T8の固定解除用のシリンダ装置A4で台座40の固定
部材46を回動させて台座40へのチャンバー60の固
定を解除し、ターンテーブル30の下方に配設した第2
シリンダ装置A2でチャンバー60を台座40の上方へ
持ち上げて、摺動装置50の保持部54でチャンバー6
0を保持する。
【0137】この後、第12ステージS12では、第8
ステーションST8の第1接続ポートP9をチャンバー
60のチャンバー用ポート64に接続し、このチャンバ
ー用ポート64からチャンバー60内に清浄ガス供給装
置4からの窒素ガスを流入させて、チャンバー60内及
びチャンバー60のチャンバー用ポート64内を窒素ガ
スで清掃すると共に、第8ステーションST8の第2接
続ポートP10を台座40のチャンバー用ポート45に
接続し、このチャンバー用ポート45内に清浄ガス供給
装置4からの窒素ガスを流入させて、台座40のチャン
バー用ポート45内も窒素ガスで清掃する。
【0138】また、第12ステージS12では、窒素ガ
スによるチャンバー60内及び両チャンバー用ポート4
5,64内の清掃と平行して、払出し装置70によるリ
キッドタンク10の台座40からの取り出し,リキッド
タンク40の良品と不良品との分類及び搬出も行う。
【0139】以上説明したリキッドタンク10の気密性
能検査方法及びその装置1では、チャンバー60内及び
チャンバー用ポート45,64内に残留あるいは付着し
た検査ガスを窒素ガスで清掃して取り除き、しかも、窒
素ガス雰囲気のチャンバー内に密封したリキッドタンク
10から検査ガスがリークした場合のチャンバー60内
の検査ガス濃度を、清浄ガスで洗浄した検出器で検出す
ることができるので、リキッドタンク10の気密性能を
正確に検査することができる。
【0140】また、リキッドタンク10の気密性能検査
方法及びその装置1では、リキッドタンク10を把持し
た人の手をチャンバー60内に出し入れする必要が無い
ので、チャンバー60の容積を従来のチャンバーより小
さくすることができ、その結果、従来技術と比べて、適
正な検査に必要なチャンバー60内でのリキッドタンク
10の放置時間を短くして検査時間を短縮することがで
きると共に、チャンバー60の占有空間を小さくするこ
ともできる。
【0141】また、リキッドタンク10の気密性能検査
方法及びその装置1では、検査用治具である図15図示
のカプラ22を使用する必要がないので、リキッドタン
ク10のネジ孔13を利用してリキッドタンク10にカ
プラ22を着脱する必要も無く、従って、この着脱の際
にリキッドタンク10のネジ孔13のネジを潰す恐れを
解消することもできる。
【0142】また、リキッドタンク10の気密性能検査
方法及びその装置1では、カプラ22を使用する必要が
ないので、リキッドタンク10へのカプラー22の着脱
に掛かる人件費を無くすことができると共に、リキッド
タンク10から取り外したカプラー22をリキッドタン
ク10への取付場所へ戻すための人件費及びコンベア等
の付帯設備を無くすことができ、その結果、従来技術と
比べてリキッドタンク10の検査費用を削減することも
できる。
【0143】また、リキッドタンク10の気密性能検査
方法及びその装置1では、リキッドタンク10内に検査
ガスを封入する前にリキッドタンク10の真空引きを行
ってリキッドタンク10の真空度を検出するので、リキ
ッドタンク10のクラック等の欠陥をリキッドタンク1
0内への検査ガス封入前に発見して、リキッドタンク1
0内からチャンバー60内への検査ガスの大量の漏れに
よるチャンバー60内及びチャンバー用ポート45,6
4内の大規模な検査ガス汚染を未然に防止し、その大規
模な検査ガス汚染を除去する除去作業を無くして、検査
効率を向上させることもできる。
【0144】また、リキッドタンク10の気密性能検査
方法及びその装置1では、真空状態のリキッドタンク1
0内に検査ガスを封入するので、リキッドタンク10内
の検査ガス濃度を検査ガス供給装置6から供給される検
査ガス濃度と略同一にすることができ、従って、リキッ
ドタンク10を密封したチャンバー60内の検査ガス濃
度を検出することにより、リキッドタンク10からの検
査ガスのリーク速度(単位はg/年)の算出精度が向上
し、リキッドタンク10の良否をより正確に判断するこ
ともできる。
【0145】ところで、リキッドタンク10の気密性能
検査方法及びその装置1では、リキッドタンク10を密
封したチャンバー60内の検査ガス濃度を、第10ステ
ージS10において第2検出装置9で検出する前に第6
ステージS6において第1検出装置8で検出し、第6ス
テージS6での検出結果が所定値以上の場合には第7ス
テージS7においてリキッドタンク10内の検査ガスを
回収する。
【0146】このため、検査ガスのリークが大きいリキ
ッドタンク10を早めに検出して、リキッドタンク10
内からチャンバー60内への検査ガスのリーク量の増大
を阻止することができ、従って、チャンバー60内及び
チャンバー用ポート45,64内の窒素ガスによる清掃
を第12ステージS12での清掃のみで完了させること
ができ、第12ステージS12での清掃以上の清掃作業
を無くして検査効率を向上させることができる。
【0147】加えて、リキッドタンク10の気密性能検
査装置1では、昇降装置2でチャンバー60を台座40
上に降下させ、固定装置3でチャンバー60を台座40
に固定することにより、チャンバー60と台座40とで
リキッドタンク10を押圧挟持して密封すると共に、台
座40に設けた第1及び第2の両密閉ピン41,42で
リキッドタンク10の冷媒流入孔11と冷媒流出孔12
とを密閉して、第1密閉ピン41に設けた導入孔41c
を介してリキッドタンク10内を台座40のタンク用ポ
ート44に連通させることができるので、チャンバー6
0と台座40によるリキッドタンク10のセットが容易
である。
【0148】また、リキッドタンク10の気密性能検査
装置1では、固定装置3でチャンバー60の台座40へ
の固定を解除し、昇降装置2でチャンバー60を台座4
0の上方の上昇位置に保持することにより、チャンバー
60と台座40によるリキッドタンク10の密封を解除
してチャンバー60内からリキッドタンク10を取り出
すことができるので、チャンバー60内からのリキッド
タンク10の取り出しも容易である。
【0149】また、リキッドタンク10の気密性能検査
装置1では、第12ステージS12において払出し装置
70により、リキッドタンク10の台座40からの取り
出しと、リキッドタンク10の良品・不良品の分類とを
自動的に行うことができるので、前記取り出し及び分類
を正確かつ確実に行うことができ、リキッドタンク10
の製造ライン等で大量のリキッドタンク10に対して気
密性能検査を行う場合には、その気密性能検査に掛かる
人件費を削減して、検査費用を削減することもできる。
【0150】更に、リキッドタンク10の気密性能検査
装置1では、第2密閉ピン42と支持ピン43との台座
40への固定位置を交換することにより、冷媒流入孔1
1と冷媒流出孔12の配置が異なるリキッドタンク10
に対応することができるので、冷媒流入孔11と冷媒流
出孔12の配置が異なるリキッドタンク10の気密性能
検査を行うこともできる。
【0151】なお、以上説明したリキッドタンク10の
気密性能検査方法及びその装置1は、車両用空調装置で
使用されるリキッドタンク10用のものであるが、本発
明に係るリキッドタンクの気密性能検査方法及びその装
置は、車両用空調装置で使用されるリキッドタンク10
用のものに限定されず、一般の空調装置で使用されるリ
キッドタンク用のものであっても良いのは勿論のことで
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項4〜8記載の各発明を併せて実施した実
施の形態の一例を示す平面図である。
【図2】図1に示すもののX−X線断面を示す説明図で
ある。
【図3】図1に示すものの昇降装置を示す斜視図であ
る。
【図4】図3に示すもののチャンバーを固定した状態を
示す斜視図である。
【図5】図1に示すものの第12ステージでの昇降装置
の作用を示す説明図であって、(a)はロッドの上昇途
中の状態を示し、(b)はロッドの下降途中の状態を示
している。
【図6】図1に示すものの第3ステージでの昇降装置の
作用を示す説明図であって、(a)はロッドの上昇途中
の状態を示し、(b)はロッドの下降直後の状態を示し
ている。
【図7】図1に示すもののチャンバーを示す断面図であ
る。
【図8】図1に示すものの台座を示す斜視図である。
【図9】図1に示すものの第3ステージでのチャンバー
の固定を示す説明図である。
【図10】図1に示すものの第12ステージでのチャン
バーの固定解除を示す説明図である。
【図11】図1に示すものの払出し装置を示す正面図で
ある。
【図12】図1に示すものの配管を示す配管図である。
【図13】リキッドタンクを示す正面図である。
【図14】図13に示すものの底面図である
【図15】図13に示すものに検査用治具を取り付けた
状態を示す正面図である
【符号の説明】
1 気密性能検査装置 2 昇降装置 3 固定装置(固定手段) 4 清浄ガス供給装置 5 真空ポンプ 6 検査ガス供給装置 7 回収装置 8 第1検出装置(検出装置) 9 第2検出装置(検出装置) 10 リキッドタンク 11 リキッドタンクの冷媒流入孔 12 リキッドタンクの冷媒流出孔 40 台座 41 第1密閉ピン(密閉部) 42 第2密閉ピン(密閉部) 41c 導入孔 44a,45a,64a 開閉弁(開閉手段) 44 タンク用ポート 45,64 チャンバー用ポート 60 チャンバー 70 払出し装置 90 ピラニー真空計(真空計)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神原 久雄 東京都中野区南台5丁目24番15号 カルソ ニック株式会社内 (72)発明者 石引 武尋 東京都東久留米市下里2丁目11番22号 カ ルソニックプロダクツ株式会社内 (72)発明者 柿沼 誠 東京都東久留米市下里2丁目11番22号 カ ルソニックプロダクツ株式会社内 (72)発明者 塚原 和彦 東京都東久留米市下里2丁目11番22号 カ ルソニックプロダクツ株式会社内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 冷媒流入孔(11)と冷媒流出孔(1
    2)を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能検
    査方法であって、 台座(40)の所定位置にリキッドタンク(10)を配
    置して該リキッドタンク(10)に有底筒状のチャンバ
    ー(60)を被せ、該チャンバー(60)を台座(4
    0)に固定することにより、前記チャンバー(60)と
    台座(40)とでリキッドタンク(10)を押圧挟持し
    て密封すると共に、チャンバー(60)又は台座(4
    0)の一方に設けた密閉部(41,42)で前記冷媒流
    入孔(11)と冷媒流出孔(12)とを密閉し、該密閉
    部(41)に設けた導入孔(41c)を介してリキッド
    タンク(10)内を該密閉部(41)に連なる開閉手段
    (44a)付きのタンク用ポート(44)に連通させる
    第1行程と、 前記チャンバー(60)又は台座(40)の少なくとも
    一方に設けた開閉手段(45a,64a)付きのチャン
    バー用ポート(45,64)を利用してチャンバー(6
    0)内を検査ガスを含まない清浄ガスで置換する第2行
    程と、前記タンク用ポート(44)を利用してリキッド
    タンク(10)内に所定正圧の検査ガスを封入する第3
    行程と、該封入から所定時間経過後のチャンバー(6
    0)内の検査ガス濃度を前記チャンバー用ポート(4
    5)を利用して検出する第4行程と、前記タンク用ポー
    ト(44)を利用してリキッドタンク(10)内の検査
    ガスを回収する第5行程と、 前記チャンバー(60)の台座(40)への固定を解除
    してチャンバー(60)を台座(40)の上方へ持ち上
    げ、チャンバー(60)と台座(40)によるリキッド
    タンク(10)の密封を解除してリキッドタンク(1
    0)を台座(40)から取り出すと共に、少なくともチ
    ャンバー(60)内及びチャンバー用ポート(45,6
    4)内を前記清浄ガスで清掃する第6工程とを備えてい
    ることを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査方
    法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のリキッドタンクの気密性
    能検査方法であって、前記第2行程の前又は後に、前記
    タンク用ポート(44)を利用してリキッドタンク(1
    0)内の真空引きを行い、リキッドタンク(10)が所
    定時間内に所定の真空度に到達しなかった場合には、少
    なくとも前記第3行程から前記第5行程までを省略する
    ことを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査方法。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載のリキッドタンクの
    気密性能検査方法であって、前記第4行程では、前記所
    定時間の経過途中にチャンバー(10)内の検査ガス濃
    度を少なくとも1回検出し、該検出結果が所定値以上で
    ある場合には直ちにリキッドタンク(10)内の検査ガ
    スを回収することを特徴とするリキッドタンクの気密性
    能検査方法。
  4. 【請求項4】 冷媒流入孔(11)と冷媒流出孔(1
    2)を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能検
    査装置であって、 前記リキッドタンク(10)を載置させる台座(40)
    と、該台座(40)に対して昇降自在に配設され該台座
    (40)との協働でリキッドタンク(10)を押圧挟持
    して密封する有底筒状のチャンバー(60)と、該チャ
    ンバー(60)をリキッドタンク(10)を密封した状
    態で台座(40)に解除可能に固定する固定手段(3)
    と、前記チャンバー(60)又は台座(40)の一方に
    設けられチャンバー(60)と台座(40)によるリキ
    ッドタンク(10)の押圧挟持によって前記冷媒流入孔
    (11)と冷媒流出孔(12)を密閉する密閉部(4
    1,42)と、該密閉部(41)に連なり該密閉部(4
    1)に設けた導入孔(41c)を介してリキッドタンク
    (10)内に連通可能な開閉手段(44a)付きのタン
    ク用ポート(44)と、前記台座(40)又はチャンバ
    ー(60)の少なくとも一方に設けられリキッドタンク
    (10)を密封したチャンバー(60)内に連通可能な
    開閉手段(45a,64a)付きのチャンバー用ポート
    (45,64)と、前記タンク用ポート(44)に接続
    されてリキッドタンク(10)内に所定正圧の検査ガス
    を封入する検査ガス供給装置(6)と、前記チャンバー
    用ポート(45)に接続されてリキッドタンク(10)
    を密封したチャンバー(60)内の検査ガス濃度を検出
    する検出装置(8,9)と、前記タンク用ポート(4
    4)に接続されてリキッドタンク(10)内の検査ガス
    を回収する回収装置(7)と、リキッドタンク(10)
    を密封したチャンバー(60)内の雰囲気置換時に前記
    チャンバー用ポート(45,64)に接続されて検査ガ
    スを含まない清浄ガスをチャンバー(60)内に供給す
    ると共に、少なくともチャンバー(60)内及びチャン
    バー用ポート(45,64)内の清掃時に少なくともチ
    ャンバー(60)内及びチャンバー用ポート(45,6
    4)内に前記清浄ガスを供給する清浄ガス供給装置
    (4)とを備えていることを特徴とするリキッドタンク
    の気密性能検査装置。
  5. 【請求項5】 請求項4記載のリキッドタンクの気密性
    能検査装置であって、前記チャンバー(10)を前記台
    座(40)に対して昇降させる昇降装置(2)を備え、
    前記固定手段(3)は、前記昇降装置(2)によりチャ
    ンバー(60)を台座(40)上に降下させた状態でチ
    ャンバー(60)を台座(40)に押し付けてロック
    し、前記昇降装置(2)によるチャンバー(60)の上
    昇時にチャンバー(60)の台座(40)へのロックを
    解除する固定装置(2)であることを特徴とするリキッ
    ドタンクの気密性能検査装置。
  6. 【請求項6】 請求項4又は5記載のリキッドタンクの
    気密性能検査装置であって、前記密閉部(41,42)
    が、前記台座(40)に立設された前記冷媒流入孔(1
    1)用の第1密閉ピン(41)と前記冷媒流入孔(1
    2)用の第2密閉ピン(42)であり、該第1及び第2
    の両密閉ピン(41,42)は、一方にのみ前記導入孔
    (41c)が設けられ、他方が、前記冷媒流入孔(1
    1)と冷媒流入孔(12)の配置に応じて位置変更可能
    に台座(40)に固定されていることを特徴とするリキ
    ッドタンクの気密性能検査装置。
  7. 【請求項7】 請求項4〜6の何れかに記載のリキッド
    タンクの気密性能検査装置であって、前記タンク用ポー
    ト(44)に接続されて前記リキッドタンク(10)内
    を真空引きする真空ポンプ(5)と、該真空ポンプ
    (5)によって真空引きされたリキッドタンク(10)
    内の真空度を検出する真空計(90)とを備えているこ
    とを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査装置。
  8. 【請求項8】 請求項7記載のリキッドタンクの気密性
    能検査装置であって、前記真空計(90)で検出した前
    記リキッドタンク(10)内の真空度と、前記検出装置
    (8,9)で検出した前記チャンバー(60)内の検査
    ガス濃度とに基づきリキッドタンク(10)を前記台座
    (40)から取り出して良品と不良品とに分類する払出
    し装置(70)を備えていることを特徴とするリキッド
    タンクの気密性能検査装置。
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