JPH1194085A - 高圧処理装置における密封チャンバの安全装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高圧容器に対する被処理体の出し入れを真空
下で行うべく高圧容器の被処理体出入口に連通する真空
チャンバを備えた高圧処理装置において、被処理体の高
温高圧処理中に、高圧容器から真空チャンバへと高圧ガ
スが漏出した際の、該真空チャンバ等の破損防止を図
る。 【解決手段】 真空チャンバ１３内の圧力が所定圧力以
上となったときに、該チャンバ１３内のガスを外部に逃
がす逃がし手段２２を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高圧ガス等の流体
の圧力を利用して、高圧容器内で被処理体（固体材料）
の、固相拡散接合、気孔状欠陥除去等の処理を行うと共
に、処理前後における高圧容器に対する被処理体の出し
入れ等のハンドリング操作を密封チャンバ内で真空下又
は活性、不活性雰囲気下で行う高圧処理装置における、
密封チャンバ等の機器類の破損を防止するための安全装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、被処理体の高温高圧処理を行う装
置で、被処理体の高圧容器に対する出し入れを真空中で
行う高圧処理装置としては、実公平２−３４５９３号公
報（従来技術例１）又は特表平７−５０２３７６号公報
（従来技術２）に記載されたものがある。

【０００３】前記従来技術１のものは、熱間静水圧加圧
装置に適用した例であり、図８（ａ）に示すように、高
圧容器６１の下蓋６２が昇降シリンダ６３によって昇降
自在とされており、下蓋６２を昇降することによって高
圧容器６１の円筒胴部６４の下端開口が開閉自在とされ
ている。この円筒胴部６４の下端開口が被処理体６５を
高圧容器６１に対して出し入れするための被処理体出入
口６６とされ、この被処理体出入口６６に気密状に連通
する真空チャンバ６７が高圧容器６１の下方側に設けら
れている。

【０００４】また、この装置では、被処理体６５の被処
理体出入口６６及び下蓋６２が真空チャンバ６７によっ
て覆われているので、下蓋６２に設けられたシール材６
８の損傷状況を観察できないこと、及びこのシール部分
からの高圧ガスの漏れが真空チャンバ６７の破損等に繋
がることから、図８（ｂ）に示すように、シール部分で
の高圧ガスの漏れを検出するガス漏れ検出装置６９が設
けられている。

【０００５】また、従来技術２のものは、図９に示すよ
うに、シリコンウェーハを１枚ずつ高温高圧処理する装
置で、高圧容器７１は、上部構成体７１Ａと下部構成体
７１Ｂとから構成され、上下の構成体７１Ａ，７１Ｂの
対向面外周部を上下方向に関して相互に接離自在に接合
することによって、上下構成体７１Ａ，７１Ｂの間に処
理室７２が形成され、下部構成体７１Ｂを昇降シリンダ
７３によって下降させることによって、上部構成体７１
Ａと下部構成体７１Ｂとの対向面外周部間の間隔が開
き、高圧容器７１に対して被処理体の出し入れが可能と
なる。

【０００６】このものにあっては、上部構成体７１Ａと
下部構成体７１Ｂとの対向面外周部間が被処理体を高圧
容器７１に対して出し入れするための被処理体出入口と
され、この被処理体出入口に気密状に連通する真空チャ
ンバ７４が、高圧容器７１の側方周囲を覆うように設け
られている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前記従来技術１のもの
にあっては、高圧容器６１のシール部分での高圧ガスの
漏れを検知するが、高圧ガスが真空チャンバ６７内に漏
れたときの対策については何ら考慮されておらず、ま
た、従来技術２のものにあっても、高圧ガスが真空チャ
ンバ７４内に漏れたときの対策については考慮されてい
ないものである。

【０００８】そして、高圧容器６１，７１のシール材あ
るいはシール部の機能が低下して高圧容器６１，７１内
の高圧ガスが真空チャンバ６７，７４内に漏出すると、
真空チャンバ６７，７４自体が破損したり、また、真空
チャンバ６７，７４内を真空ポンプで排気している際
に、高圧ガスが漏出すると、この真空ポンプをも破損し
かねないという問題を有している。

【０００９】そこで、本発明は、高圧容器に対する被処
理体の出し入れを所定雰囲気下で行うべく高圧容器の被
処理体出入口に連通する密封チャンバへと高圧容器から
高圧ガスが漏出した際の、該密封チャンバ等の破損防止
を図った高圧処理装置の密封チャンバの安全装置を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明が前記目的を達成
すために講じた技術的手段は、圧力流体を利用して高圧
下で被処理体１の処理を行う高圧容器２を備え、この高
圧容器２に対して被処理体１を所定雰囲気下で出し入れ
すべく、該高圧容器２の被処理体出入口１０に気密状に
連通する密封チャンバ１３を備えた高圧処理装置におい
て、前記密封チャンバ１３内の圧力が所定圧力以上とな
ったときに、該チャンバ１３内の流体を外部に逃がす逃
がし手段を設けたことを特徴とする。

【００１１】また、密封チャンバ１３に、外部に連通す
る連通口２４を設けると共に、押し付け手段によって密
封チャンバ１３側に向けて押し付けられて前記連通口２
４と外部との連通を遮断する蓋材２７を設けることで逃
がし手段を構成し、密封チャンバ１３内の圧力が前記押
し付け手段の押付力以上となったときに、該チャンバ１
３内の流体を外部に逃がすようにしたことも特徴とす
る。

【００１２】また、密封チャンバ１３内の気体を排気す
べく、密封チャンバ１３内と排気ポンプとを連通させる
排気系を遮断するゲート装置２１を設けたことも特徴と
する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基いて説明する。図１〜図４は第１の実施の形態を示
し、本発明に係る高圧処理装置として、熱間等方圧加圧
装置（ＨＩＰ装置）を例示しており、該装置は、被処理
体１を高圧ガス（又はその他の流体）の圧力によって成
形、焼結等の処理を行う高圧容器２を備えている。

【００１４】この高圧容器２は、上下方向の軸心を有す
る円筒形状の胴部２Ａと、胴部２Ａの上端開口にシール
材３を介して嵌合して該上端開口を閉塞する上蓋２Ｂ
と、胴部２Ａの下端開口にシール材４を介して嵌合して
下端開口を閉塞する下蓋２Ｃとから主構成されている。
この高圧容器２の内部には、断熱構造体５と加熱装置６
とから構成されていて被処理体１を加熱する電気炉７が
組み込まれている。

【００１５】また、下蓋２Ｃ上には試料台８が載置さ
れ、この試料台８上に被処理体１が載置される。この下
蓋２Ｃの下方には、油圧（又は空圧）シリンダ等からな
る昇降手段９が設けられ、この昇降手段９によって、下
蓋２Ｃが胴部２Ａに対して昇降され、この下蓋２Ｃが昇
降することによって、胴部２Ａの下端開口が開閉され、
この胴部２Ａの下端開口を介して被処理体１が高圧容器
２に対して出し入れされる。したがって、この胴部２Ａ
の下端開口が、高圧容器２に対して被処理体１を出し入
れするための被処理体出入口１０とされている。

【００１６】また、上蓋２Ｂには、ガス導入孔１１が形
成され、このガス導入孔１１を介して、高圧容器２内に
高圧の圧媒ガスが供給され、又は高圧容器２内の圧媒ガ
スが排出される。高圧容器２の下方には、被処理体１を
高圧容器２に対して真空下で出し入れするための真空室
１２を形成する真空チャンバ（密封チャンバ）１３が設
けられている。この真空チャンバ１３は箱形に形成され
ると共に、上端が開口状とされ、この開口部１４がシー
ル材１５を介して高圧容器２の胴部２Ａの下端側に下方
から外嵌されており、下蓋２Ｃを下降させて高圧容器２
の被処理体出入口１０を開いたときに、該被処理体出入
口１０に真空チャンバ１３が気密状に連通する。

【００１７】また、真空チャンバ１３の一側壁には、真
空に保持された隣の前処理室（図示省略）に気密状に連
通する通行口１６が形成されると共に、昇降動作するゲ
ート弁１７によって前記通行口１６を開閉するゲート装
置１８が設けられている。また、真空チャンバ１３の他
側壁下部側には、真空ポンプ（排気ポンプ）に接続（連
通）される真空排気系管１９が設けられ、この真空排気
系管１９を介して真空ポンプにより真空チャンバ１３内
の気体が排気されて真空チャンバ１３内が真空とされ
る。この真空排気系管１９には、管内の気体流通路を開
閉自在に閉塞するゲート弁２０を有するゲート装置２１
が設けられている。

【００１８】前記真空チャンバ１３の他側壁上部側に
は、真空チャンバ１３内の圧力が所定圧力以上となった
ときに、該チャンバ１３内の気体を外部に逃がす逃がし
手段としての安全弁２２が設けられている。また、この
高圧処理装置には、高圧容器２内の高圧ガスにより発生
する上下方向の軸荷重を支える鋼板枠形のプレスフレー
ム２３を一対備えている。この一対のプレスフレーム２
３は高圧容器２及び真空チャンバ１３を包囲するように
形成され、このプレスフレーム２３の下部間の真空チャ
ンバ１３下方側には、前記昇降手段９のシリンダチュー
ブ９Ａが配置されており、このシリンダチューブ９Ａは
プレスフレーム２３に着脱自在に取付固定され、昇降手
段９のピストンロッド９Ｂは真空チャンバ１３の底壁を
貫通して下蓋２Ｃの下面に取付固定されている。また、
ピストンロッド９Ｂはロック機構等によってシリンダチ
ューブ９Ａに対してロック可能とされており、下蓋２Ｃ
に作用する軸荷重を昇降手段９を介してプレスフレーム
２３で受けるように構成されている。

【００１９】前記構成の高圧処理装置にあっては、真空
チャンバ１３内を真空とし、ゲート弁１７を開いて隣の
前処理室から通行口１６を介して真空チャンバ１３内に
真空下で被処理体１が供給される。この被処理体１は下
端位置に降下した下蓋２Ｃ上の試料台８上に載せられ、
その後、昇降手段９によって下蓋２Ｃを押し上げること
により、被処理体出入口１０を介して被処理体１が高圧
容器２内に装入されると共に、下蓋２Ｃによって被処理
体出入口１０が閉塞される。

【００２０】その後、ガス導入孔１１から圧媒ガスを高
圧容器２内に供給すると共に、加熱装置６に電力を供給
して高圧容器２内を所定の温度まで昇温し、被処理体１
を高温高圧下で処理する。このとき、胴部２Ａ内面と下
蓋２Ｃの嵌合部分との接触面に配置されたシール材４が
十分に機能しないと、高圧の圧媒ガスが高圧容器２内か
ら真空チャンバ１３内に漏出して、該真空チャンバ１３
を破損させることとなる。しかしながら、本発明では、
真空チャンバ１３に安全弁２２が設けられているので、
高圧の圧媒ガスが漏出して真空チャンバ１３内の圧力が
ほぼ外部圧力よりも高くなった時には、安全弁２２が作
用して、圧媒ガスが真空チャンバ１３の外部に放出さ
れ、真空チャンバ１３が破損することがない。

【００２１】また、真空ポンプに連通する真空排気系管
１９に高圧容器２から漏出した高圧の圧媒ガスが流入す
れば、真空ポンプを破損させる危険性が高いが、真空チ
ャンバ１３と真空ポンプとの間に設けたゲート弁２０に
よって、真空チャンバ１３から真空ポンプに至る真空排
気系を遮断することにより、真空ポンプの破損も防止で
きる。特に、真空チャンバ１３の内部を１０^-5Ｔｏｒｒ
以下の高真空に維持する必要がある時には、ターボ分子
ポンプのような高価なポンプが用いられるが、このポン
プは吸い込み口が大気圧に晒されただけでも大気突入し
て破損してしまうので、本発明のようなゲート弁２０の
設置が奨励される。

【００２２】次に、前記安全弁２２の構造を、図３及び
図４に基づいて詳細に説明する。真空チャンバ１３の他
側壁の上部には、真空チャンバ１３の外部に連通（真空
チャンバ１３の内部と外部とを連通）する連通口２４が
形成されており、この連通口２４を介して真空チャンバ
１３内部に連通するように連通管２５が真空チャンバ１
３の他側壁外面に溶接等によって真空チャンバ１３から
突出状に固定されている。この連通管２５の突出端部に
はフランジ２６が一体形成（又は別体で形成されて固
定）されていると共に、このフランジ２６と対向状に連
通管２５の端部開口を閉塞して連通口２４と外部との連
通を遮断する蓋材２７が設けられている。

【００２３】前記フランジ２６の、蓋材２７との対向面
内周側には、真空シールに敵したＯ−リング等のシール
リング２８が設けられ、フランジ２６の、蓋材２７との
対向面外周側には、同一円周上に等間隔をおいて４つの
ボルト挿通孔２９が形成されている。一方、蓋材２７
は、連通管２５の内部の孔に対応する孔３０を有するリ
ング体３１と、このリング体３１の、フランジ２６対向
面側に前記孔３０を塞ぐように設けられたガラス板又は
透明樹脂板等からなる透明板材３２とから構成されてい
て、内部が観察可能とされている。

【００２４】なお、蓋材２７は、このように内部観察用
のガラス窓を装着した構造としなくても、単なる平滑な
板で構成してもよい。また、リング体３１には、フラン
ジ２６のボルト挿通孔２９に対応するボルト挿通孔３３
が４つ形成されており、フランジ２６のボルト挿通孔２
９から蓋材２７のボルト挿通孔３３へと頭付ボルト３４
を挿通し、このボルト３４の先端側から押し付け手段と
しての圧縮コイルバネ３５を套嵌すると共に、ナット３
６をボルト３４に先端側から螺合させることで、蓋材２
７の透明板材３２がシールリング２８に押し付けられ
て、連通管２５が塞がれて、気密性が確保されている。

【００２５】したがって、高圧容器２から圧媒ガスが漏
出して、真空チャンバ１３内の圧力が、外側（通常大
気）の圧力とコイルバネ３５のバネ力（押し付け手段の
押付力）以上になると、真空チャンバ１３内のガスによ
って蓋材２７が外方に押されて、フランジ２６（シール
リング２８）と蓋材２７との間に隙間ができ、真空チャ
ンバ１３内のガスを外部に放出する（逃がす）。

【００２６】このものにあっては、ナット３６のねじ込
み量を調節することによって、コイルバネ３のバネ力、
即ち蓋材２７を押し付ける力が調節可能とされ、ある部
分のコイルバネ３５のバネ力を弱くする（他の部分のコ
イルバネ３５のバネ力と異ならせる）ことによって、ガ
スが吹き出す方向を常に同一方向とすることができる。
また、前記ボルト３４の本数とコイルバネ３５の個数に
必ずしも制限はなく、また、１２本のボルトを用いて、
４本のボルトにだけコイルバネを装着し、他のボルトは
緩めた状態としておくような使用法も当然可能である。

【００２７】また、コイルバネ３５がバネ力の調節が容
易であるが、バネも必ずしもコイルバネに限定する必要
はなく、皿バネ等の他の付勢部材を用いてもよい。さら
に、前述のものにあっては、蓋材２７を真空チャンバ１
３側に押し付ける押し付け手段をコイルバネによって構
成しているが、コイルバネを設けなくてもよく、前記安
全弁２２を上向きとし、平板状の蓋材２７自体によって
あるいは重錘を併用して押し付け手段を構成し、重力
（蓋材２７自体の自重又は蓋材２７自体の自重と重錘の
重量）により蓋材２７をフランジに密着させておく構造
も変形例として適用が可能である。

【００２８】図５及び図６は第２の実施の形態を示し、
この高圧処理装置は、シリコンウェーハ等の被処理体１
を１枚ずつ高温高圧処理するＨＩＰ装置である。高圧容
器２は、上下方向ほぼ中央部で２分割されており、上部
構成体２Ａと下部構成体２Ｂとから構成され、上下の構
成体２Ａ，２Ｂの対向面外周部を上下方向に関して接離
自在にシールリング３７を介して相互に接合することに
よって、上下構成体２Ａ，２Ｂの間に処理室３８が形成
されるようになっている。この処理室３８内には上下に
２分割された断熱構造体５と、加熱装置６とが組み込ま
れ、加熱装置６上に被処理体１が載置される。

【００２９】上部構成体２Ａには高圧ガス導入孔３９が
形成され、下部構成体２Ｂの下方には昇降加圧装置４０
が設けられ、高圧容器２及び昇降加圧装置４０を包囲す
るようにプレスフレーム４１が設けられており、このプ
レスフレーム４１は台車走行用レール４２上を走行する
台車４３上に設けられている。したがって、高圧容器２
の上部構成体２Ａに作用する軸荷重はプレスフレーム４
１で直接支持され、下部構成体２Ｂに作用する軸荷重は
昇降加圧装置４０を介してプレスフレーム４１で支持さ
れる。

【００３０】昇降加圧装置４０は、高圧容器２の下部構
成体２Ｂが載置される加圧ラム４４と、加圧ラム４４が
嵌合される本体部４５とから構成され、本体部４５には
ガス導入孔４６が形成されている。そして、本体部４５
と加圧ラム４４との間のシリンダ室４７にガスを導入又
はシリンダ室４７からガスを排出させることによって、
高圧容器２の下部構成体２Ｂが昇降可能とされており、
図６に示すように、下部構成体２Ｂを下降させることに
よって、上部構成体２Ａと下部構成体２Ｂとの対向面外
周部間の間隔が開き、高圧容器２に対して被処理体１の
出し入れが可能となる。

【００３１】したがって、上部構成体２Ａと下部構成体
２Ｂとの対向面外周部間が、高圧容器２に対して被処理
体１を出し入れするための被処理体出入口１０とされて
いる。また、高圧容器２内の処理室３８に高圧ガス導入
孔３９から高圧ガスを導入して被処理体１を処理する際
には、同時に昇降加圧装置４０のシリンダ室４７内にも
同じ圧力の高圧ガスが供給され、このとき加圧ラム４４
の受圧面積を高圧容器２の下部構成体２Ｂの受圧面積よ
りも大きくしておくことにより、高圧容器２のシーリン
グ部分が常に密着するように考慮されている。

【００３２】真空チャンバ１３は前記高圧容器２の側方
周囲に設けられており、高圧容器２の側方を取り囲むよ
うに形成されており、底壁４８Ａと側壁４８Ｂとから上
端開口状に形成された容器本体４８と、この容器本体４
８の上端開口を閉塞する蓋材２７とから構成されてい
る。この容器本体４８の上端開口が外部に連通して真空
チャンバ１３内部と外部とを連通させる連通口２４とさ
れている。

【００３３】容器本体４８の底壁４８Ａには下部構成体
２Ｂが上下移動可能に挿通される挿通孔５０が形成さ
れ、この挿通孔５０の内周面には下部構成体２Ｂ外面に
接当するシールリング５１が設けられている。また、蓋
材２７には上部構成体２Ａが上下移動可能に挿通される
挿通孔５２が形成され、この挿通孔５２内周面には上部
構成体２Ａ外面に接当するシールリング５３が設けられ
ている。

【００３４】なお、図例で用いられているシールリング
５１，５３の一方、あるいは両方に、ベローズなどの可
撓性のある部材と、平面シール用Ｏ−リングとを組み合
わせたような構成を適用することも可能である。したが
って、高圧容器２の下部構成体２Ｂの下降時に、被処理
体出入口１０に、真空チャンバ１３内の真空室１２が連
通すると共に、被処理体出入口１０が該真空室１２で覆
われるようになっている。

【００３５】また、容器本体４８の一側壁４８Ｂには、
ハンドリング室に気密状に連通する通行口５４が形成さ
れ、この通行口５４を介して被処理体１がウェーハハン
ドリングロボットのアームによって、真空室１２内に入
れられるか又は真空室１２から取り出される。真空チャ
ンバ１３の蓋材２７は、図７にも示すように、該蓋材２
７を上方側から貫通すると共に容器本体４８の側壁４８
Ｂの上端側に螺合される複数本のボルト３４によって容
器本体４８に取り付けられ、各ボルト３４の、頭部３４
Ａと蓋材２７上面との間には、押し付け手段としての圧
縮コイルバネ３５が介装され、さらに、蓋材２７と容器
本体４８の側壁４８Ｂの上面との間にはシールリング５
７が介装されている。

【００３６】したがって、被処理体１の処理時に高圧容
器２から高圧ガスが真空チャンバ１３内に漏出して、真
空チャンバ１３内の圧力が所定圧以上になると、高圧ガ
スが真空チャンバ１３の蓋材２７を押圧して、コイルバ
ネ３５のバネ力に抗して蓋材２７を押し上げ、連通口２
７を介して真空チャンバ１３内のガスを外部に逃がす。

【００３７】なお、前記真空チャンバ１３にも、前記第
１の実施の形態のような、真空ポンプに連通する真空排
気系管が設けられている。前記のような高圧処理装置に
あっては、短時間で高真空に排気する必要がある上に、
設置面積を小さくすることが要求され、必然的に真空チ
ャンバ１３の容積を小さくせざるを得ないことから、少
しの高圧ガスが真空チャンバ１３内に漏出しても、すぐ
に真空チャンバ１３内の圧力が上昇してしまう。

【００３８】これに対応するためには、真空チャンバ１
３内の圧力が所定圧力以上となったときに、該チャンバ
１３内の気体を外部に逃がす逃がし手段としては、微小
の圧力上昇で動作することが好ましく、これを達成する
手法として、真空チャンバ１３の内外の圧力差を検知す
るための部材の受圧面積を大きくすることが効果的であ
る。

【００３９】この考え方から、本実施の形態では、受圧
面積の大きい真空チャンバ１３の蓋材２７と、ボルト３
４及びコイルバネ３５等から逃がし手段を構成してお
り、真空チャンバ１３内部の圧力が外部の圧力よりわず
かに高くなっただけでも、真空チャンバ１３内のガスが
外部に放出され、極めて高い安全性を確保することが可
能となる。

【００４０】なお、前記各実施の形態では、密封チャン
バとして、内部が真空に保持される真空チャンバを用い
て被処理体１を真空下で、高圧容器２に対して出し入れ
するように構成しているが、密封チャンバの内部を活
性、不活性ガス雰囲気としたものに採用してもよい。ま
た、高圧処理装置の高圧容器に供給される圧力媒体とし
て液体を用いたものであってもよい。

【００４１】

【発明の効果】本発明により、高圧容器２の被処理体出
入口１０を密封チャンバ１３により覆って、被処理体１
を真空下等の所定雰囲気下で高圧容器２に対して出し入
れするように構成された装置において、高圧容器２から
の高圧ガスの密封チャンバ１３内への漏出に伴う密封チ
ャンバ１３の破損に対する安全性を確保することが可能
となる。

【００４２】近年、このような処理を必要とする高温高
圧ガスでの処理が注目を浴びているが、安全性の確保に
ついての検討が必ずしも十分になされた状況にはなかっ
たが、本発明により実際に、すなわち工業的にこのよう
なプロセスを利用していく際の安全の確保が確実とな
り、実用化に寄与するところ多大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態に係る高圧処理装置の正面断
面図である。

【図２】第１の実施の形態に係る高圧処理装置の側面断
面図である。

【図３】逃がし手段としての安全弁の断面図である。

【図４】図３のＡ−Ａ線矢示図である。

【図５】第２の実施の形態に係る高圧処理装置の正面断
面図である。

【図６】第２の実施の形態に係る高圧処理装置の正面断
面面図である。

【図７】図５のＢ部の拡大断面図である。

【図８】従来例１の高圧処理装置を示す正面断面図
（ａ）及び高圧容器下蓋のシール部分の断面図（ｂ）で
ある。

【図９】従来例２の高圧処理装置を示す正面断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 被処理体 ２ 高圧容器 １０ 被処理体出入口 １３ 真空チャンバ（密封チャンバ） ２２ 安全弁（逃がし手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂下 由彦 兵庫県高砂市荒井町新浜２丁目３番１号 株式会社神戸製鋼所高砂製作所内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力流体を利用して高圧下で被処理体
   （１）の処理を行う高圧容器（２）を備え、この高圧容
   器（２）に対して被処理体（１）を所定雰囲気下で出し
   入れすべく、該高圧容器（２）の被処理体出入口（１
   ０）に気密状に連通する密封チャンバ（１３）を備えた
   高圧処理装置において、 前記密封チャンバ（１３）内の圧力が所定圧力以上とな
   ったときに、該チャンバ（１３）内の流体を外部に逃が
   す逃がし手段を設けたことを特徴とする高圧処理装置に
   おける密封チャンバの安全装置。
2. 【請求項２】 密封チャンバ（１３）に、外部に連通す
   る連通口（２４）を設けると共に、押し付け手段によっ
   て密封チャンバ（１３）側に向けて押し付けられて前記
   連通口（２４）と外部との連通を遮断する蓋材（２７）
   を設けることで逃がし手段を構成し、密封チャンバ（１
   ３）内の圧力が前記押し付け手段の押付力以上となった
   ときに、該チャンバ（１３）内の流体を外部に逃がすよ
   うにしたことを特徴とする請求項１に記載の高圧処理装
   置における密封チャンバの安全装置。
3. 【請求項３】 密封チャンバ（１３）内の気体を排気す
   べく、密封チャンバ（１３）内と排気ポンプとを連通さ
   せる排気系を遮断するゲート装置（２１）を設けたこと
   を特徴とする請求項１又は２に記載の高圧処理装置にお
   ける密封チャンバの安全装置。