JP2001272298A - 漏洩試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業性およびスペース効率が向上するととも
に、試験効率がよくて試験装置の稼働率も向上した漏洩
試験装置を提供する。 【解決手段】 本発明の漏洩試験装置は、検査チャンバ
１０にワーク１を搬入するための開口部を有し、この開
口部にワーク１を載置するための載置台１１ａ，１２ａ
を有する開閉扉１１，１２を備えている。また、各開閉
扉１１，１２にはワーク１にトレーサガスを供給するた
めのフレキシブル配管１７，１８を備えている。これに
より、開閉扉１１，１２の一方１１（１２）を開扉状態
で載置台１１ａ（１２ａ）にワーク１を載置した状態で
配管の接続作業ができるようになるため、スペース効率
が向上するとともに、配管の接続作業も容易となって、
試験効率が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検体を搬入する
ための開口部を備えたチャンバー内に被検体を収納して
トレーサガス（Ｈｅガス等）の検出を行う漏洩試験装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ドラム缶、エアコン室外機、
コンプレッサ、アルミホイール、自動車用燃料タンクな
どの各種被検査ワークの溶接箇所や壁面にある微少な孔
や亀裂等を検出するために、これらの各種被検査ワーク
にトレーサガス（Ｈｅガス等）を充填し、この被検査ワ
ークから漏れ出たトレーサガスを検出するトレーサガス
検査法が知られている。

【０００３】この種のトレーサガス検査法を実施するた
めの試験装置としては、例えば、図４（正面図）、図５
（上面図）に示すように、被検体（被検査ワーク：以下
では単にワークという）５０を収納する検査チャンバ６
０と、この検査チャンバ６０内のトレーサガス（Ｈｅガ
ス等）の濃度を検出するディテクタ７０と、検査チャン
バ６０内に配置されたワーク５０にトレーサガス（Ｈｅ
ガス等）を供給するとともに供給されたトレーサガスを
回収するトレーサガス給排気装置８０と、検査チャンバ
６０内を真空状態にする真空ポンプ６６と、これらの検
査チャンバ６０、ディテクタ７０、トレーサガス供給排
気装置８０を載置する試験台９０とから構成される。

【０００４】なお、真空ポンプ６６は検査チャンバ６０
の下部に配置されて検査チャンバ６０内と真空ポンプ６
６とは配管を介して接続されている。また、検査チャン
バ６０内とディテクタ７０とは配管７１を介して接続さ
れており、検査チャンバ６０内とトレーサガス給排気装
置８０とは配管８１を介して接続されている。この配管
８１の検査チャンバ６０内に延出した先端部には配管接
続具８１ａが設けられている。また、試験台９０には移
動可能とするためのキャスターがこの底面に取り付けら
れている。さらに、試験装置の周囲には、検査用のワー
ク５０を載置するための搬入用作業台Ｄ１および搬出用
作業台Ｄ２を配置している。

【０００５】このような試験装置を用いてワーク５０の
漏洩検査を行う場合、ワーク５０の漏洩検査終了から次
のワーク５０の漏洩検査を開始するまでに、作業者Ｐは
以下の（１）〜（１０）の手順の作業をする必要があ
る。 （１）まず、漏洩検査終了後に、検査チャンバ６０に設
けられた開閉扉６１を開ける。 （２）ワーク５０（Ｗ１）が検査チャンバ６０内に載置
された状態で、ワーク５０（Ｗ１）に装着されたトレー
サガス用配管８１より検査チャンバ６０内に延出して設
けられた配管接続具８１ａを取り外す。

【０００６】（３）検査チャンバ６０に載置されたワー
ク５０（Ｗ１）を取り出して、試験装置の周囲に配置さ
れた搬出用作業台Ｄ２に載置する。 （４）搬入用作業台Ｄ１に載置されているワーク５０
（Ｗ２）を検査チャンバ６０内に配置する。 （５）ワーク５０（Ｗ２）が検査チャンバ６０に載置さ
れた状態で、トレーサガス用配管８１より検査チャンバ
６０に延出して設けられた配管接続具８１ａをワーク５
０（Ｗ２）に装着する。 （６）検査チャンバ６０に設けられた開閉扉６１を閉め
て、漏洩検査を開始する。

【０００７】（７）漏洩検査を開始すると、（３）の工
程で搬出用作業台Ｄ２に載置されたワーク５０（Ｗ１）
からワーク治具を取り外す。 （８）搬出用作業台Ｄ２に載置されたワーク５０（Ｗ
１）を搬出用ラインＬ２に載置して次の工程に搬出す
る。 （９）搬入用ラインＬ１で運ばれてきた次のワーク５０
を搬入用作業台Ｄ１に載置する。 （１０）搬入用作業台Ｄ１に載置されたワーク５０にワ
ーク治具を装着する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た試験装置にあっては、検査チャンバ６０内にワーク５
０を載置した状態で、検査チャンバ６０内に延出した配
管接続具８１ａをワーク５０に装着したり、取り外した
りする必要があるため、作業者Ｐは検査チャンバ６０内
に腕のみならず、場合によっては、頭まで突っ込む必要
が生じて、作業性が極めて悪いという問題を生じた。ま
た、試験装置の周囲に、検査用のワーク５０を載置する
ための搬入用作業台Ｄ１および搬出用作業台Ｄ２を配置
する必要があるため、スペース効率が低下するという問
題も生じた。

【０００９】さらに、１つのワークの試験が終了してか
ら次のワークの試験を開始するまでに、上述した（１）
〜（６）までの作業工程が必要で、（１）〜（６）まで
の作業工程を終了するまでは試験装置が休止状態となる
ため、結局は、１つのワークの試験が終了するまでの試
験時間が長時間になって試験効率が極めて悪いととも
に、試験装置の稼働率も悪いという問題を生じた。そこ
で、本発明は上記問題点を解消するべくなされたもので
あって、作業性およびスペース効率が向上するととも
に、試験効率がよくて試験装置の稼働率も向上した試験
装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
記目的を達成するため、本発明の漏洩試験装置は、被検
体（ワーク）を搬入するための開口部に被検体を載置す
るための載置台を有する開閉扉を備えるとともに、この
開閉扉に被検体にトレーサガスを供給するための配管を
備え、開閉扉を開扉状態で載置台に被検体を載置して配
管を接続できるようにして、チャンバー内に被検体を収
納してトレーサガスの検出を行うようにしている。

【００１１】このように、ワークを載置するための載置
台を有する開閉扉を開口部に備えるようにすると、この
載置台にワークを載置することができるようになるた
め、試験装置の周囲に搬入用作業台や搬出用作業台など
を配置する必要がなくなってスペース効率が向上する。
また、ワークにトレーサガスを供給するための配管を備
えるようにすると、載置台に載置されたワークに配管を
接続することができるようになるので、配管の装着、脱
着作業も容易となるため、結果的に試験時間を短縮でき
るとともに、試験効率が向上する。

【００１２】そして、開口部に一方が閉扉状態にあると
きに他方を開扉状態にできる複数の開閉扉を備え、チャ
ンバー内に収納されたワークの検査時にはいずれかの開
閉扉が閉じられるようにすると、１つのワークの試験中
に、トレーサガスを供給するための配管に接続された接
続具を別のワークに装着したり、あるいはワークの開口
部にめくら蓋を装着するなどの準備ができるようになる
ので、試験装置の稼働率が向上する。また、複数の開閉
扉のそれぞれにトレーサガスを供給するための配管を備
えるようにすると、１つのワークの試験中に別のワーク
に配管するための作業を同時に行えるようになるので、
試験装置の稼働率がさらに向上する。

【００１３】なお、開閉扉にトレーサガスを供給するた
めの配管を備える場合は、開閉扉を開閉した際に伸縮で
きるようにする必要があるため、このような配管として
はフレキシブルな配管にすることが望ましい。また、こ
の配管をワークにトレーサガスを供給するとともにトレ
ーサガスを回収するための配管として兼用させるように
すると、別にトレーサガスの回収用の配管を設ける必要
がなくなるので、この種の試験装置の構成が簡単にな
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
１〜図３に基づいて詳細に説明するが、本発明はこの実
施の形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を変
更しない範囲において適宜変更して実施することが可能
なものである。なお、図１は本発明の漏洩試験装置を模
式的に示す正面図であり、図２はその上面図である。図
３は被検体（ワーク）に配管を接続する状態を模式的に
示す正面図である。

【００１５】１．漏洩試験装置 本発明の漏洩試験装置は、図１、図２に示すように、検
査用のワーク１を収納して漏洩試験を行う検査チャンバ
１０と、この検査チャンバ１０内のトレーサガス（Ｈｅ
ガス等）の濃度を検出するディテクタ２０と、検査チャ
ンバ１０内に配置されたワーク１内にトレーサガス（Ｈ
ｅガス等）を供給するとともに、ワーク１内に充填され
たトレーサガスを回収するトレーサガス供給回収装置３
０と、検査チャンバ１０内を真空状態にする真空ポンプ
１５と、これらの検査チャンバ１０とディテクタ２０と
トレーサガス供給回収装置３０等を載置する試験台４０
とから構成される。

【００１６】検査チャンバ１０は、その開口部の左右
に、第１開閉扉１１と第２開平扉１２とが設けられてお
り、第１開閉扉１１の下端部にはワークの載置台１１ａ
が配設されており、第２開閉扉１２の下端部にはワーク
の載置台１２ａが配設されている。そして、各開閉扉１
１，１２は同時に開扉状態にできるとともに、一方が閉
扉状態にあるときに他方を開扉状態にできるように構成
されている。これにより、閉じた扉の載置台上のワーク
を検査チャンバー１０内に収容でき、検査チャンバー１
０内に収納されたワーク１の検査時には、開閉扉１１，
１２のいずれかは閉じられて、検査チャンバー１０内を
密閉状態にすることが可能となる。

【００１７】また、第１開閉扉１１内には後述する給排
気用配管３１に接続されるフレキシブル配管１７が配設
されており、同様に第２開閉扉１２内には後述する給排
気用配管３２に接続されるフレキシブル配管１８が配設
されている。そして、フレキシブル配管１７の先端部に
は、図３に示されるように、接続配管３１ａが連結され
ており、この接続配管３１ａの先端部に配管治具３１ｂ
が連結されている。なお、配管治具３１ｂは、ワーク１
の開口部Ｗａに接続されたワーク治具（カプラー）３１
ｃにワンタッチで連結されるものである。同様に、図示
しないが、フレキシブル配管１８の先端部には接続配管
が連結されており、この接続配管の先端部に配管治具が
連結されている。

【００１８】この検査チャンバ１０はチャンバ架台１６
上に載置されており、チャンバ架台１６内には、検査チ
ャンバ１０内を真空にする真空ポンプ１５が配設されて
いる。検査チャンバ１０内と真空ポンプ１５とは、図示
しない電磁バルブおよび配管を介して接続されている。
そして、真空ポンプ１５を駆動して電磁バルブを開状態
にすることにより、検査チャンバ１０内と真空ポンプ１
５とは連通して検査チャンバ１０内に存在する空気を排
気して、検査チャンバ１０内を真空状態（１トール以下
の減圧状態）にする。

【００１９】また、検査チャンバ１０の上部には、ディ
テクタ２０に接続された検出用配管２１を接続するため
の第１配管接続部１３と、トレーサガス供給回収装置３
０に接続された給排気用配管３１を接続するための２個
の第２配管接続部１４とが配設されている。なお、この
第１配管接続部１３は検査チャンバ１０内に連通して配
設されている。また、第２配管接続部１４の一方にはフ
レキシブル配管１７が接続され、他方にはフレキシブル
配管１８が接続されている。

【００２０】ディテクタ２０は、トレーサガス（Ｈｅガ
ス）の濃度を検出するために設けられており、ディテク
タ２０に設けられた電磁開閉弁２０ａを介して検出用配
管２１が接続されている。これにより、電磁開閉弁２０
ａが開状態になると、検査チャンバ１０内に漏れ出たト
レーサガス（Ｈｅガス）を検出用配管２１を通して検出
し、これを電気信号に変換して、ワーク１からトレーサ
ガスが漏洩しているか否か、あるいは許容限度以上の漏
洩であるか否かの測定を行うことができるようになる。

【００２１】トレーサガス供給回収装置３０は、検査チ
ャンバ１０内に配置されたワーク１内にトレーサガス
（Ｈｅガス等）を供給するトレーサガス（Ｈｅガス等）
の収納容器（図示せず）と、ワーク１内に充填されたト
レーサガスを回収する回収容器（図示せず）とを備えて
おり、トレーサガス供給回収装置３０に設けられた２個
の電磁切換弁３０ａ，３０ｂを介して給排気用配管３
１，３２が接続されている。これにより、電磁切換弁３
０ａ（３０ｂ）を供給状態にして給排気用配管３１，３
２を介してワーク１内にトレーサガス（Ｈｅガス）を充
填し、電磁切換弁３０ａ（３０ｂ）を排気状態にしてワ
ーク１内に充填されたトレーサガス（Ｈｅガス）を給排
気用配管３１，３２を介して回収できるようになる。

【００２２】２．漏洩試験の手順 ついで、上述のように構成される漏洩試験装置を用い
て、ワーク１の検査終了から次のワーク１の検査を開始
するまでの作業者Ｐの作業手順を、以下に説明する。

【００２３】ここで、検査チャンバ１０の開口部に設け
られた第１開閉扉１１は閉扉状態にあり、かつ検査チャ
ンバ１０内には検査用ワーク１（Ｗ１）が既に収納され
て、ワークＷ１には配管治具３２が既に接続されてトレ
ーサガスが充填され、漏洩試験を開始した状態にあるも
のとする。また、第２開閉扉１２の下端部に配設され載
置台１２ａには何も載置されていない状態とする。

【００２４】この第１開閉扉１１の載置台１１ａに載置
された検査用ワーク１（Ｗ１）の試験中に、第２開閉扉
１２の載置台１２ａで次の試験ができるための準備を行
う。具体的には、載置台１２ａにワーク１（Ｗ２）を載
置し、このワーク１（Ｗ２）の開口部Ｗａにワーク治具
（カップラー）３１ｃを装着するとともに、フレキシブ
ル配管１８を介して給排気用配管３１に連結された接続
配管３１ｂを連結する。 ついで、ワーク１（Ｗ１）の
漏洩試験が終了すると、検査チャンバー１０内の減圧状
態を解き、検査チャンバ１０内に収納されたワーク１
（Ｗ１）を載置台１１ａに載せたまま、第１開閉扉１１
を開けるとともに、先にワーク１（Ｗ２）を載置した第
２開閉扉１２を閉じて、ワーク１（Ｗ２）を検査チャン
バー１０内に収納して自動漏洩試験を開始する。なお、
自動漏洩試験の動作については後述する。

【００２５】ついで、開状態とされた第１開閉扉１１の
載置台１１ａに載置された検査済みワーク１（Ｗ１）の
ワーク治具３１ｃに装着された配管治具３１ｂをワーク
治具３１ｃから取り外すとともに、ワーク治具（カプラ
ー）３１ｃをワーク１（Ｗ１）の開口部Ｗａから取り外
す。この後、検査済みワーク１（Ｗ１）を搬出ラインＬ
２に乗せて、後の工程に搬送する。

【００２６】ついで、搬入用ラインＬ１で運ばれてきた
検査待ちワーク１（Ｗ２）を第１開閉扉１１の下端部に
配設され載置台１１ａに載置した後、この検査待ちワー
ク１の開口部Ｗａにワーク治具（カプラー）３１ｃを装
着して連結する。ついで、フレキシブル配管１８を介し
て給排気用配管３２に連結された接続配管３１ａの先端
部に設けられた配管治具３１ｂをワーク治具３１ｃに装
着する。これにより、検査待ちワーク１は検査可能状態
となる。そして、作業者Ｐは、このような作業手順を順
次繰り返して行うことにより、ワーク１の漏洩試験を作
業性よく、かつ効率よく、短時間に行えるようになる。

【００２７】３．自動漏洩試験 ついで、上述した漏洩試験の自動動作を以下に説明す
る。なお、この場合、第１開閉扉１１が閉じられて、検
査チャンバ１０内には検査用ワーク１（Ｗ１）が既に収
納された状態にあるものとする。まず、図示しない制御
装置に設けられた開始スイッチをオンにすると、真空ポ
ンプ１５が駆動して、検査チャンバ１０内の空気が排気
されて、検査チャンバ１０内は検査ワークＷよりも減圧
状態となる。

【００２８】ついで、電磁バルブ２０ａを開状態にし
て、検査チャンバ１０内とディテクタ２０内とを連通さ
せた後、電磁切換弁３０ａを供給状態にする。これによ
り、検査用ワーク１（Ｗ１）は、ワーク治具３１ｃ、配
管治具３１ｂ、接続配管３１ａ、フレキシブル配管１
７、給排気用配管３１、および電磁切換弁３０ａを介し
てトレーサガス供給回収装置３０のトレーサガス（Ｈｅ
ガス等）の収納容器（図示せず）に所定時間連通し、検
査用ワーク１（Ｗ１）内にトレーサガス（Ｈｅガス）が
流入して、所定量のトレーサガス（Ｈｅガス）が検査用
ワーク１（Ｗ１）に充填される。

【００２９】ついで、検出用配管２１を通してディテク
タ２０にトレーサガス（Ｈｅガス）が流入すると、ディ
テクタ２０はトレーサガス（Ｈｅガス）の検出動作を開
始し、これを電気信号に変換して、ワーク１（Ｗ１）か
らトレーサガスが漏洩しているか否か、あるいは許容限
度以上の漏洩であるか否かの測定を行う。この後、ディ
テクタ２０がトレーサガス（Ｈｅガス）の測定を終了す
ると、検査チャンバ１０内の真空状態を解除するととも
に、電磁切換弁３０ａを排気状態に切り換えて、トレー
サガス供給回収装置３０の回収容器（図示せず）にトレ
ーサガス（Ｈｅガス等）を回収し、検査用ワーク１（Ｗ
１）の漏洩試験を終了して、再度、待機状態となる。

【００３０】上述したように、本発明においては、ワー
ク１を載置するための載置台１１ａ，１２ａを有する開
閉扉１１，１２を検査チャンバ１０の開口部に備えてい
るので、この載置台１１ａ，１２ａにワーク１を載置す
ることができるようになり、試験装置の周囲に作業台な
どを配置する必要がなくなってスペース効率が向上す
る。また、各開閉扉１１，１２にトレーサガスを供給す
るための配管３１，３２に接続されたフレキシブル配管
１７，１８を備えているので、載置台１１ａ，１２ａに
ワーク１を載置した状態で配管の接続作業が容易にでき
るようになって、結果的に試験時間を短縮できるように
なり、試験効率が向上する。

【００３１】また、検査チャンバ１０の開口部の左右に
開閉扉１１，１２を備えているので、一方の開閉扉１１
（１２）を閉じて検査チャンバー１０内に収納されたワ
ーク１の漏洩試験を行っているときに、他方の開閉扉１
２（１１）を開けて、載置台１２ａ（１１ａ）に別のワ
ーク１を載置して準備作業ができるようになるので、試
験装置の稼働率が向上する。

【００３２】なお、上述した実施の形態においては、ワ
ークにトレーサガスを供給するようにして、検査チャン
バ内を真空にしてこの検査チャンバ内のトレーサガスを
検出する例について説明したが、検査チャンバ内トレー
サガスを供給するようにして、ワーク内を真空にしてこ
のワーク内のトレーサガスを検出するようにしてもよ
い。

【００３３】また、上述した実施の形態においては、扉
にフレキシブル配管１７を備えるようにしたが、載置台
上で治具を装着できるだけでも、搬送装置から直接載置
台に載置できるので、搬送効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の漏洩試験装置を模式的に示す正面図
である。

【図２】 図１の上面図である。

【図３】 被検体（ワーク）に配管を接続する状態を模
式的に示す正面図である。

【図４】 従来例の漏洩試験装置を模式的に示す正面図
である。

【図５】 図４の上面図である。

【符号の説明】

１…被検体（ワーク）、１０…検査チャンバ、１１…第
１開閉扉、１１ａ…載置台、１２…第２開閉扉、１２ａ
…載置台、１３…第１配管接続部、１４…第２配管接続
部、１５…真空ポンプ、１６…チャンバ架台、１７，１
８…フレキシブル配管、２０…ディテクタ（トレーサガ
ス検出器）、２０ａ…電磁開閉弁、２１…検出用配管、
３０…トレーサガス供給回収装置、３０ａ，３０ｂ…電
磁切換弁、３１，３２…給排気用配管、３１ａ…接続配
管、３１ｂ…配管治具、３１ｃ…ワーク治具（カプ
ラ）、４０…試験台

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川路 裕章 静岡県浜松市中沢町10番１号 ヤマハ株式 会社内 Ｆターム(参考） 2G067 AA44 BB31 CC13 DD17 DD18

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検体を搬入するための開口部を備えた
   チャンバー内に被検体を収納してトレーサガスの検出を
   行う漏洩試験装置であって、 前記開口部に前記被検体を載置するための載置台を有す
   る開閉扉を備えるとともに、 前記開閉扉に前記トレーサガスを供給するための配管を
   備え、 前記開閉扉を開扉状態で前記載置台に前記被検体を載置
   して前記配管を同被検体に接続できるようにしたことを
   特徴とする漏洩試験装置。
2. 【請求項２】 前記開口部に一方が閉扉状態にあるとき
   に他方を開扉状態にできる複数の開閉扉を備え、前記チ
   ャンバー内に収納された前記被検体の検査時にはいずれ
   かの開閉扉が閉じられるようにしたことを特徴とする請
   求項１に記載の漏洩試験装置。
3. 【請求項３】 前記トレーサガスを供給するための配管
   を前記複数の開閉扉のそれぞれに備えるようにしたこと
   を特徴とする請求項２に記載の漏洩試験装置。
4. 【請求項４】 前記配管はフレキシブルな配管であるこ
   とを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載
   の漏洩試験装置。
5. 【請求項５】 前記配管は前記被検体にトレーサガスを
   供給するとともに、同被検体に供給されたトレーサガス
   を回収するための配管を兼用していることを特徴とする
   請求項１から請求項４のいずれかに記載の漏洩試験装
   置。
6. 【請求項６】 被検体を搬入するための開口部を備えた
   チャンバー内に被検体を収納してトレーサガスの検出を
   行う漏洩試験装置であって、 前記開口部に前記被検体を載置するための載置台を有す
   る開閉扉を備えるとともに、 前記開閉扉を開扉状態で前記載置台に前記被検体を載置
   して治具の着脱作業を可能とし、前記載置台に前記被検
   体を載置した状態で扉の開閉動作によって前記チャンバ
   内に収納可能としたことを特徴とする漏洩試験装置。