JPS5961738A - リ−クテスト装置 - Google Patents
リ−クテスト装置Info
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- JPS5961738A JPS5961738A JP17302682A JP17302682A JPS5961738A JP S5961738 A JPS5961738 A JP S5961738A JP 17302682 A JP17302682 A JP 17302682A JP 17302682 A JP17302682 A JP 17302682A JP S5961738 A JPS5961738 A JP S5961738A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
- G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空チャンバ（室）内の被検体内にヘリウムガ
スを加圧封入し、この被検体から真空チャンバにリーク
（漏洩）するヘリウムガスの有無をリークデテクタによ
って検知することによって被検体のリークの有無を検査
するり−クチスト装置に関するものである。
スを加圧封入し、この被検体から真空チャンバにリーク
（漏洩）するヘリウムガスの有無をリークデテクタによ
って検知することによって被検体のリークの有無を検査
するり−クチスト装置に関するものである。
従来よりこの種の装置によってリークテストを行なう場
合、被検体の容量の大小にもよるが、通常ヘリウムガス
の加圧封入は２０〜３０ ｋｑ／ｄの高圧によって行な
われる。これは大体において被検体にはリークがなく、
あるとしても小さく、シたがって一定の高圧による加圧
封入で一定の塑性変形を起させるようにしなければ小さ
いリーク（孔）の存在の：＃無を正確に検査できないた
めである。
合、被検体の容量の大小にもよるが、通常ヘリウムガス
の加圧封入は２０〜３０ ｋｑ／ｄの高圧によって行な
われる。これは大体において被検体にはリークがなく、
あるとしても小さく、シたがって一定の高圧による加圧
封入で一定の塑性変形を起させるようにしなければ小さ
いリーク（孔）の存在の：＃無を正確に検査できないた
めである。
ところが被検体に大きなリーク（グロースリーク）が存
在する場合、この高圧でヘリウムガスをＪ＋ｎ ＴＥ封
入すると、リークデテクタの検知器を破壊したり検知ｎ
４ ｎｌシを低下させる。したがって多頁の被検体を順
次検査する場合、その途中にグロースリークの被検体が
存在するとそれ以後の検査が不可能となる。
在する場合、この高圧でヘリウムガスをＪ＋ｎ ＴＥ封
入すると、リークデテクタの検知器を破壊したり検知ｎ
４ ｎｌシを低下させる。したがって多頁の被検体を順
次検査する場合、その途中にグロースリークの被検体が
存在するとそれ以後の検査が不可能となる。
しかし他方グロースリークを目視検査などすることは非
能率であり、しかも精度も悪いなどの間ｐ１を有してい
る。また、このグロースリークの場合ヘリウムガスが多
量に使用されて不鮭済であるばかりか、ＭＵ気系なりリ
ークデテクタへ流入したヘリウムガスの排出（クリーン
アップ）に時間を要するなどｔＲ々の欠点を有している
。
能率であり、しかも精度も悪いなどの間ｐ１を有してい
る。また、このグロースリークの場合ヘリウムガスが多
量に使用されて不鮭済であるばかりか、ＭＵ気系なりリ
ークデテクタへ流入したヘリウムガスの排出（クリーン
アップ）に時間を要するなどｔＲ々の欠点を有している
。
本発明はこのような従来の問題を解決したり一りデスト
装置を提供せんとするものである。
装置を提供せんとするものである。
本発明のリークテスト装置は、２０〜３０ ｋｑ／ｃＡ
の高圧ヘリウムガス封入によるリークテストの前段にグ
ロースリークチスト操作を行なうようにしたものである
。グロースリークテスト操作は次の２方式によって行な
われる。すなわち、第１の方式は２〜５に一程度の低圧
ヘリウムガス封入を高圧ガス封入前段に行なう機構を設
けたものであり１ｇ２の方式はヘリウムガス以外の不活
性ガスたとえば窒素ガスを高圧で封入してその排気時間
からグロースリークの有無をチェックする機構を設けた
ものである。
の高圧ヘリウムガス封入によるリークテストの前段にグ
ロースリークチスト操作を行なうようにしたものである
。グロースリークテスト操作は次の２方式によって行な
われる。すなわち、第１の方式は２〜５に一程度の低圧
ヘリウムガス封入を高圧ガス封入前段に行なう機構を設
けたものであり１ｇ２の方式はヘリウムガス以外の不活
性ガスたとえば窒素ガスを高圧で封入してその排気時間
からグロースリークの有無をチェックする機構を設けた
ものである。
以下図示実施例を説明する。まず、低圧ヘリウムガスと
高圧ヘリウムガスを順次２段で加圧封入する方式のリー
クテスト装置を第１図、第３図によって説明する。
高圧ヘリウムガスを順次２段で加圧封入する方式のリー
クテスト装置を第１図、第３図によって説明する。
第１図において、ｌは真空チャンバで、吸気管６、排気
管６１からなる排気系を介して真空ポンプ３により内部
が排気される。２は被検体で、真空チャンバ１の内部に
置かれた試験時の状態が示されている。
管６１からなる排気系を介して真空ポンプ３により内部
が排気される。２は被検体で、真空チャンバ１の内部に
置かれた試験時の状態が示されている。
被検体２は、導管５の上端口に接続された状即で置かれ
ており、試験に際してはその内方が排気されそして後述
のようにヘリウムガスが加圧封入される。すなわち、被
検体２の内部に接続された導管５には排気管５ｇ を介
して真空ポンプ４が接続されており、その内方が排気さ
れるが、その後は後述するようにヘリウムガス８がその
内方に加圧封入される。
ており、試験に際してはその内方が排気されそして後述
のようにヘリウムガスが加圧封入される。すなわち、被
検体２の内部に接続された導管５には排気管５ｇ を介
して真空ポンプ４が接続されており、その内方が排気さ
れるが、その後は後述するようにヘリウムガス８がその
内方に加圧封入される。
他方、真空チャンバ１に接続された吸気管６には導管６
２ を介してヘリウムガスを検知してリークを検査する
リークデテクタ７が接続されている。
２ を介してヘリウムガスを検知してリークを検査する
リークデテクタ７が接続されている。
なお、排気￥Ｒ’ ６＋にはメインパルプＭＶが、導管
６２にはテストパルプＴＶが、そして排気管５１には吸
引パルプＳＶが、それぞれ介設されておりさらに導管５
に接続される供給１１Ｐ５２および導管６にはそれぞれ
クリーニング用リークパルプＬｖ２、ＬＶ、が接続され
ている。
６２にはテストパルプＴＶが、そして排気管５１には吸
引パルプＳＶが、それぞれ介設されておりさらに導管５
に接続される供給１１Ｐ５２および導管６にはそれぞれ
クリーニング用リークパルプＬｖ２、ＬＶ、が接続され
ている。
ヘリウム加圧封入にいたるまでの検査準備としては、ま
ず被検体２を真空チャンバ１内に置いた後、メインパル
プＭＶを開いて真空ｌンブ３により真空チャンバｌ内を
排気する。このときリークパルブＬＶ電およびテストパ
ルプＴＶは閉めておく。
ず被検体２を真空チャンバ１内に置いた後、メインパル
プＭＶを開いて真空ｌンブ３により真空チャンバｌ内を
排気する。このときリークパルブＬＶ電およびテストパ
ルプＴＶは閉めておく。
次に１メインバルブＭＶを閉じ被検体２の内部を真空ポ
ンプ４によって排気する。この場合、吸引バルブＳＶを
開き他のパルプは閉じておく。その後この吸引バルブＳ
Ｖを閉じる。真空チャンバ１内が１０ ｔｏｒｒ程度に
なった状態で、つぎにテストパルプＴＶを開き真空ヂャ
ンバ〕内をリークーー４・ ７７クタに接続する。
ンプ４によって排気する。この場合、吸引バルブＳＶを
開き他のパルプは閉じておく。その後この吸引バルブＳ
Ｖを閉じる。真空チャンバ１内が１０ ｔｏｒｒ程度に
なった状態で、つぎにテストパルプＴＶを開き真空ヂャ
ンバ〕内をリークーー４・ ７７クタに接続する。
以上の作業でリークテストの準備が完了するとつぎにヘ
リウム供給パルプＨＶを開いてヘリウムガス８を被検体
２内に加圧封入しリークテストを行なうが、この点は後
述する。
リウム供給パルプＨＶを開いてヘリウムガス８を被検体
２内に加圧封入しリークテストを行なうが、この点は後
述する。
ＩＪ−クチストが完了すると、リークパルプＬＶ２を開
いてヘリウムガス供給系および被検体２の排気系を低圧
にし１さらに吸引バルブＳＶを開にしてこれら系の管内
に流入しているヘリウムガスを排出しクリーンアップす
る。同時にテストバルブＴＶを閉めてリークパルプＬＶ
１を開き真空チャンバ１を上昇させ被検体２を取り出す
。以上のリークテスト作業は従来とかわるところはない
。
いてヘリウムガス供給系および被検体２の排気系を低圧
にし１さらに吸引バルブＳＶを開にしてこれら系の管内
に流入しているヘリウムガスを排出しクリーンアップす
る。同時にテストバルブＴＶを閉めてリークパルプＬＶ
１を開き真空チャンバ１を上昇させ被検体２を取り出す
。以上のリークテスト作業は従来とかわるところはない
。
本発明は上記のように、ヘリウムガス８を被検体２内に
加圧封入する方式に特徴があり、その加圧封入ｊＰ％
ｔＭはつぎのとおりである。
加圧封入する方式に特徴があり、その加圧封入ｊＰ％
ｔＭはつぎのとおりである。
ＨＶは前述のようにヘリウム供給バルブで、ヘリウムガ
ス供Ｍｊ Ｗ ５２ に介設されており、ソレノイドＳ
Ｌにより遠隔制御で自動的に開閉される。
ス供Ｍｊ Ｗ ５２ に介設されており、ソレノイドＳ
Ｌにより遠隔制御で自動的に開閉される。
このバルブＨＶより真空チャンバ１側の供給管５２には
低圧（２〜５ ｋｑ／ｃＡ ）用の圧力計Ｍ１ と高圧
（２０〜３０ ｈａｃｄ ）用の圧力計Ｍ２がそれぞれ
接続管５４．５５を介して接続されている。
低圧（２〜５ ｋｑ／ｃＡ ）用の圧力計Ｍ１ と高圧
（２０〜３０ ｈａｃｄ ）用の圧力計Ｍ２がそれぞれ
接続管５４．５５を介して接続されている。
ｖ、 、ｖ２はぞれぞれの接続管５４と５５に介設され
た開閉弁で、ともにそれぞれソレノイド５ｌｉｌ、Ｉ２
によって遠隔制御により自動的に開閉駆動される。面圧
力計Ｍ、 、Ｍ２は接点イ１き圧力Ｒ１で、たとえば低
圧用圧力ＮｔＭ１はヘリウムガスの圧力が５ ｋｙ／ｒ
Ｊになったとき接点が作動して電気的信号を出力し、ま
た高圧用圧力ＩＩ’ Ｍ２はヘリウムガスの圧力が３０
ｋｙ／ｃ４になったとき接点が作」Ｉノシて電気的信
号を出力する形式のものである。
た開閉弁で、ともにそれぞれソレノイド５ｌｉｌ、Ｉ２
によって遠隔制御により自動的に開閉駆動される。面圧
力計Ｍ、 、Ｍ２は接点イ１き圧力Ｒ１で、たとえば低
圧用圧力ＮｔＭ１はヘリウムガスの圧力が５ ｋｙ／ｒ
Ｊになったとき接点が作動して電気的信号を出力し、ま
た高圧用圧力ＩＩ’ Ｍ２はヘリウムガスの圧力が３０
ｋｙ／ｃ４になったとき接点が作」Ｉノシて電気的信
号を出力する形式のものである。
これらの信号はバルブ駆動制御回路りに入力され、後述
するようにヘリウムガス供給バルブＨＶおよび開閉弁Ｖ
ＩｓＶ２の開閉が適宜駆動される。
するようにヘリウムガス供給バルブＨＶおよび開閉弁Ｖ
ＩｓＶ２の開閉が適宜駆動される。
本発明においてはまず低圧のヘリウムガス８が加圧封入
されて被検体２のグロースリークがチェックされ、もし
グロースリークがなければ１次は高圧のヘリウムガス８
が加圧封入され、正規のリークテストが行なわれるよう
に構成されている点に特徴があり、バルブ駆動制御回路
りがこの動作の進行を制御する。
されて被検体２のグロースリークがチェックされ、もし
グロースリークがなければ１次は高圧のヘリウムガス８
が加圧封入され、正規のリークテストが行なわれるよう
に構成されている点に特徴があり、バルブ駆動制御回路
りがこの動作の進行を制御する。
以下、バルブＥＶおよび開閉弁ｖｌ 、Ｖ２とそのソレ
ノイドＳＬ ５ＳＬ１、！１１１１２を含む制御回路り
の構成および動作を第３図によってａＦｒＪ′Ｊする。
ノイドＳＬ ５ＳＬ１、！１１１１２を含む制御回路り
の構成および動作を第３図によってａＦｒＪ′Ｊする。
第３図は制御回路りの回路構成と前記ソレノイドＢＸｒ
５ＳＬ１、ｓｒ、＋２さらには圧力計Ｍｌ、Ｍ２の関
係を示す。回路りにおいて電源１０に並列にスイッチＳ
、〜８１６およびリレーＲ１〜Ｒ７が接続されてびｓ１
２〜８１Ｂは常時は回路を接続しないで開としている常
開スイッチ（接点）、さらにスイッチ８８〜＋９１１は
常時は図示のとおり回路を接続すべく閉成している常閉
スイッチ（接点）である。
５ＳＬ１、ｓｒ、＋２さらには圧力計Ｍｌ、Ｍ２の関
係を示す。回路りにおいて電源１０に並列にスイッチＳ
、〜８１６およびリレーＲ１〜Ｒ７が接続されてびｓ１
２〜８１Ｂは常時は回路を接続しないで開としている常
開スイッチ（接点）、さらにスイッチ８８〜＋９１１は
常時は図示のとおり回路を接続すべく閉成している常閉
スイッチ（接点）である。
さらにスイッチＳ、とＳ４はリレーＲ１の動作により回
路を接続しスイッチＳ５とＳ６はリレーＲ２続するよう
に動作する。またリレーＲ４の動作によってスイッチＳ
、ｌｌが回路を開き、スイッチ８１２が回路を接続する
。同様に、リレーＲ５の動作によってスイッチ８１１が
回路を開きスイッチＳ１５が回路を接続する。またスイ
ッチ８１４と８１５はそれぞれ圧力用Ｍ、、Ｍ２からの
信号によって動作する半導体スイッチ１１．１２によっ
てそれぞれ動作し回路を接続する。リレーＲ６が動作す
るとスイッチ・Ｓ８が回路を開き、リレーＲ７が動作す
るとスイッチＳ９が回路を開くように構成されている。
路を接続しスイッチＳ５とＳ６はリレーＲ２続するよう
に動作する。またリレーＲ４の動作によってスイッチＳ
、ｌｌが回路を開き、スイッチ８１２が回路を接続する
。同様に、リレーＲ５の動作によってスイッチ８１１が
回路を開きスイッチＳ１５が回路を接続する。またスイ
ッチ８１４と８１５はそれぞれ圧力用Ｍ、、Ｍ２からの
信号によって動作する半導体スイッチ１１．１２によっ
てそれぞれ動作し回路を接続する。リレーＲ６が動作す
るとスイッチ・Ｓ８が回路を開き、リレーＲ７が動作す
るとスイッチＳ９が回路を開くように構成されている。
以上の構成において、まずグルースリークチストのため
に低圧のヘリウムガス８を加圧封入するＪ＋？作につい
て説明する。
に低圧のヘリウムガス８を加圧封入するＪ＋？作につい
て説明する。
最初に、操作スイッチＳ１ を押して回路を閉じる。す
るとリレーＲ１が動作してスイッチ！３δ、Ｓ４が動作
しリレーＲ１の閉回路が自己保持されてリレーＲ１の動
作が継続されるとともに、スイッチＳ４の動作でソレノ
イドＳＬ１が動作し開閉弁ｖ１が開かれる。同時にリレ
ーＲＡ も動作してスイッチＳ７が回路を閉じソレノイ
ド８Ｌが動作してヘリウムガス供給バルブＨＶが開かれ
ヘリウムガス８が供給管５２へ流入する。
るとリレーＲ１が動作してスイッチ！３δ、Ｓ４が動作
しリレーＲ１の閉回路が自己保持されてリレーＲ１の動
作が継続されるとともに、スイッチＳ４の動作でソレノ
イドＳＬ１が動作し開閉弁ｖ１が開かれる。同時にリレ
ーＲＡ も動作してスイッチＳ７が回路を閉じソレノイ
ド８Ｌが動作してヘリウムガス供給バルブＨＶが開かれ
ヘリウムガス８が供給管５２へ流入する。
ヘリウムガス８が直ちに被検体２に加圧封入されなおも
供給が続行されることによって、供給系は内圧が上昇を
はじめる。
供給が続行されることによって、供給系は内圧が上昇を
はじめる。
内圧が５ ＆ｓ＋／ｄに達すると、圧力計Ｍ１の接点が
動作してその出力信号により半導体スイッチ１１が動作
してスイッチＳマ４が回路を閉じる。これによってリレ
ーＲ４が動作せしめられスイッチ８１０が回路を開くの
と同時にスイッチＳ１２が回路を閉じる。
動作してその出力信号により半導体スイッチ１１が動作
してスイッチＳマ４が回路を閉じる。これによってリレ
ーＲ４が動作せしめられスイッチ８１０が回路を開くの
と同時にスイッチＳ１２が回路を閉じる。
このスイッチＳ、。、８１２の動作によってソレノイド
ＳＬの動作が停止されバルブＨＶが供給管路を閉止する
と同時に、リレーＲ６が動作してスイッチＳ８が回路を
開き、これによってリレーＲ１の動作が解かれスイッチ
Ｓ３、Ｓ４が回路を開いてソレノイドＳＬ、がソレノイ
ドＳ、ｔＩの動作停止につづいて停止し開閉弁ｖ１が閉
動作する。
ＳＬの動作が停止されバルブＨＶが供給管路を閉止する
と同時に、リレーＲ６が動作してスイッチＳ８が回路を
開き、これによってリレーＲ１の動作が解かれスイッチ
Ｓ３、Ｓ４が回路を開いてソレノイドＳＬ、がソレノイ
ドＳ、ｔＩの動作停止につづいて停止し開閉弁ｖ１が閉
動作する。
上記一連の作動によってすなわちバルブＨＶが開かれた
後閉じられるまでの一定時間中においてヘリウムガス８
が低圧（５切り以下）で被検体２に加圧封入されること
になる。この加圧封入で被検体２にグ四−スリークが存
在すれば、リークデテクタがこれを検知しチェックでき
る。
後閉じられるまでの一定時間中においてヘリウムガス８
が低圧（５切り以下）で被検体２に加圧封入されること
になる。この加圧封入で被検体２にグ四−スリークが存
在すれば、リークデテクタがこれを検知しチェックでき
る。
リークデテクタがリークを検知しない場合は、グ四−ス
リークが存在しないので、高圧（３０にμ４程度）のヘ
リウムガスによるリークテストを開始する。
リークが存在しないので、高圧（３０にμ４程度）のヘ
リウムガスによるリークテストを開始する。
このテストに際しては１１％ ｆｔｆスイッヂＳ２ を
押し回路を閉じる。すると、リレーＲ２が動作してスイ
ッチｓ５ 、Ｂｉｔが回路を閉じリレーＲ２の閉回路が
自己保持される。また、ソレノイドＢ Ｔｒ ２が動イ
トして開閉弁ｖ２が開き同時にリレーＲ，／が動作して
スイッチ Ｓ７が回路を閉じソレノイドＢ Ｌが動作し
てヘリウムガス供給バルブＨＶが開かれる。
押し回路を閉じる。すると、リレーＲ２が動作してスイ
ッチｓ５ 、Ｂｉｔが回路を閉じリレーＲ２の閉回路が
自己保持される。また、ソレノイドＢ Ｔｒ ２が動イ
トして開閉弁ｖ２が開き同時にリレーＲ，／が動作して
スイッチ Ｓ７が回路を閉じソレノイドＢ Ｌが動作し
てヘリウムガス供給バルブＨＶが開かれる。
したがって、ヘリウムガス８が供給管５２に供給され被
検体２内にヘリウムガスが加圧封入される。そして封入
が続行されると内圧が上昇する。
検体２内にヘリウムガスが加圧封入される。そして封入
が続行されると内圧が上昇する。
内圧が高圧すなわち３０ ｋｙ／ｄに達すると圧力Ｉｆ
Ｍ ２の接点が動作しその出力信号によって半導体ス
イッチ１２が動作しスイッチｓ１５が回路を閉じリレー
Ｒ５を動作させる。
Ｍ ２の接点が動作しその出力信号によって半導体ス
イッチ１２が動作しスイッチｓ１５が回路を閉じリレー
Ｒ５を動作させる。
リレーＲ５の作動によってスイッチＳ口が回路を開きス
イッチ８１５が回路を閉じるべく動作する。
イッチ８１５が回路を閉じるべく動作する。
そしてソレノイド８Ｌの動作が解かれバルブＨＶが閉じ
られてヘリウムガスの供給を断つと同時にリレーＲ７が
動作してスイッチｓ９が回路を開きリレーＲ２の動作が
停止される。
られてヘリウムガスの供給を断つと同時にリレーＲ７が
動作してスイッチｓ９が回路を開きリレーＲ２の動作が
停止される。
リレーＲ２の停止によりスイッチｓ５、Ｓ６が回路を開
き、ソレノイドＳＬ２の動作を停止させ開閉弁ｖ２が閉
じる。このような動作においてバルブ７１ｖの開かれて
から閉じられるまでの時間において、被検体２には高圧
のヘリウムガスが加圧封入され、テス、トが行なわれる
。この加圧封入によってリークデテクタがヘリウムガス
を検知するとリークの存在が検知される。これは小さな
リークめテストである。
き、ソレノイドＳＬ２の動作を停止させ開閉弁ｖ２が閉
じる。このような動作においてバルブ７１ｖの開かれて
から閉じられるまでの時間において、被検体２には高圧
のヘリウムガスが加圧封入され、テス、トが行なわれる
。この加圧封入によってリークデテクタがヘリウムガス
を検知するとリークの存在が検知される。これは小さな
リークめテストである。
１ヅ」ニバルプ動（ｉｆ制御回路りの動作について説明
したが、この場合は低圧ガスの加圧封入の場合にしろ高
圧ガスの加圧封入の場合にしろ、一定時間すなわら供給
系がそれぞれの設定圧力に達するまでの時間が経過する
とバルブＭＹや開閉弁ｖ、 、ｖ２が自動的に閉塞され
るようになっているが、本発明はこのような自動方式に
限定されるものではない。
したが、この場合は低圧ガスの加圧封入の場合にしろ高
圧ガスの加圧封入の場合にしろ、一定時間すなわら供給
系がそれぞれの設定圧力に達するまでの時間が経過する
とバルブＭＹや開閉弁ｖ、 、ｖ２が自動的に閉塞され
るようになっているが、本発明はこのような自動方式に
限定されるものではない。
たとえば、バルブＭＹおよび開閉弁ｖ１、ｖ２が手動操
作形の弁で圧力ｆｆｌ’ Ｍｌ、Ｍ２を観察しながら開
閉することもできる。もちろん、図示実施例は自動的で
迅速にテストが行なわれ能率的で操ｆＦ性が良く精度良
好である。
作形の弁で圧力ｆｆｌ’ Ｍｌ、Ｍ２を観察しながら開
閉することもできる。もちろん、図示実施例は自動的で
迅速にテストが行なわれ能率的で操ｆＦ性が良く精度良
好である。
本願第２の発明はグロースリークテストをヘリウムガス
以外の他の不活性ガスによって行なうリークテスト装置
に関する。このリークテスト装置の特徴は、高圧のヘリ
ウムガスによる正規のテスト前に、たとえば窒素ガスを
高圧で被検体に加圧封入１−その後真空チャンバ内を排
気するのに必要な時間からグロースリークの有無をチェ
ックするようにした点である。その４１り成を第２図に
示すが第２図において第１図におけると同一の機能を有
する要素は同一符号で示す。これらの要素およびリーク
テストのための準備伶恭は第１図におけると同様であり
、詳細は省略する。
以外の他の不活性ガスによって行なうリークテスト装置
に関する。このリークテスト装置の特徴は、高圧のヘリ
ウムガスによる正規のテスト前に、たとえば窒素ガスを
高圧で被検体に加圧封入１−その後真空チャンバ内を排
気するのに必要な時間からグロースリークの有無をチェ
ックするようにした点である。その４１り成を第２図に
示すが第２図において第１図におけると同一の機能を有
する要素は同一符号で示す。これらの要素およびリーク
テストのための準備伶恭は第１図におけると同様であり
、詳細は省略する。
第２図において、９は窒素ガス源でヘリウムガス源８と
並置され、その供給管５５がヘリウムガス管５２に接続
−れている。ＭＶはこの窒素ガスの供給を制御するバル
ブである。この開閉弁ＭＶにはこの弁の開動作時間を測
定するタイマーＴが連設されている。Ｍは真空ヂャンバ
１に付設された真空計、Ｖ３は開閉弁である。
並置され、その供給管５５がヘリウムガス管５２に接続
−れている。ＭＶはこの窒素ガスの供給を制御するバル
ブである。この開閉弁ＭＶにはこの弁の開動作時間を測
定するタイマーＴが連設されている。Ｍは真空ヂャンバ
１に付設された真空計、Ｖ３は開閉弁である。
以上の構成においてグロースリークをチェックする場合
は、バルブＭＶを開い°Ｃ窒素ガス９を被検体２に加圧
封入する。このときタイマーＴは同時に時間を計測する
よう動作する。窒素ガス９は圧力計Ｍ５が３０ ｋｙ／
ｄ程度に設定されているから１高圧で被検体２内に加圧
封入されることになる。
は、バルブＭＶを開い°Ｃ窒素ガス９を被検体２に加圧
封入する。このときタイマーＴは同時に時間を計測する
よう動作する。窒素ガス９は圧力計Ｍ５が３０ ｋｙ／
ｄ程度に設定されているから１高圧で被検体２内に加圧
封入されることになる。
この加圧封入は縛時に完了し、つぎにメインバルブＭＶ
を開いて真空チャンバｌ内を排気する。この排気時間は
タイマーＴによって設定された時間たとえば２５秒行な
われる。この排気によって真空ヂャンバ１は所定の真空
度に達するよう設定されている。
を開いて真空チャンバｌ内を排気する。この排気時間は
タイマーＴによって設定された時間たとえば２５秒行な
われる。この排気によって真空ヂャンバ１は所定の真空
度に達するよう設定されている。
ところが、被検体２にグロースリークが存在すると窒素
ガスの加圧封入の供給系も含めて被検体２内の空間も排
気することになって長時間を要ししたがって上記の排気
時間では真空チャンバ１内の真空度は所定の値（例えば
１Ｑｔｏｒｒ）に達しないことになる。この真空の値は
真空ｉｔ Ｍにより目視ｗｌ察する。
ガスの加圧封入の供給系も含めて被検体２内の空間も排
気することになって長時間を要ししたがって上記の排気
時間では真空チャンバ１内の真空度は所定の値（例えば
１Ｑｔｏｒｒ）に達しないことになる。この真空の値は
真空ｉｔ Ｍにより目視ｗｌ察する。
リークがないか小さなリークの場合は大体において所定
時間の排気で所要の真空度が得られる。
時間の排気で所要の真空度が得られる。
このようにしてグロースリークの存在をチェック°す
る 。
る 。
＞ｑ １４ガスの代りに空気を封入することも可能でノ
、るが、空気が汚なく系内そして被検体内、真空チャン
バ内に湿気をもたらすと不都合であるのでｉ′ｌ’？浄
か窒素ガスが良い。窒素ガスを高圧で加圧封入するのは
前述のように塑性変形を起させてＩＪ−クチストの精度
を高めるためであるが、窒素ガス封入は低圧でもよい。
、るが、空気が汚なく系内そして被検体内、真空チャン
バ内に湿気をもたらすと不都合であるのでｉ′ｌ’？浄
か窒素ガスが良い。窒素ガスを高圧で加圧封入するのは
前述のように塑性変形を起させてＩＪ−クチストの精度
を高めるためであるが、窒素ガス封入は低圧でもよい。
また窒素ガスの封入開始と停止、さらには真空チャンバ
の内圧測定などを第３図に示すような制御回路を用いて
自動的に行なわせるようにしてもよい。
の内圧測定などを第３図に示すような制御回路を用いて
自動的に行なわせるようにしてもよい。
窒素ガスの封入開始と同時にタイマーを動作させる実施
例について説明したが、このタイマーはメインバルブの
開放により真空チャンバを排気しはじめてから計時する
ようにメインバルブに連設することもできる。
例について説明したが、このタイマーはメインバルブの
開放により真空チャンバを排気しはじめてから計時する
ようにメインバルブに連設することもできる。
なお、第３図に示す制御回路は一実施例であって図示以
外の回路構成も可能である。さらに第１図、第２図に示
すリークテスト装置には通常各種バルブ、排気系、吸気
系そして供給系に他の機能が付加されているが、図示を
省略する。
外の回路構成も可能である。さらに第１図、第２図に示
すリークテスト装置には通常各種バルブ、排気系、吸気
系そして供給系に他の機能が付加されているが、図示を
省略する。
第２の発明の装置において、グロースリークの存在の有
無のチェックを上記実施例では排気時間を設定してその
時の真空度から行なうようにしているが、排気時間を設
定せずに所定真空度に達するまでｔ！Ｘ気しその排気時
間の長短からチェックすて）方式も考えられる。たくこ
の場合もグロースリークがないＩｊ！＋作は排気時間が
相当長くなるので９時間を越えたときはグロースリーク
なしと判断し′Ｃ操住を中止するようにしてもよい。
無のチェックを上記実施例では排気時間を設定してその
時の真空度から行なうようにしているが、排気時間を設
定せずに所定真空度に達するまでｔ！Ｘ気しその排気時
間の長短からチェックすて）方式も考えられる。たくこ
の場合もグロースリークがないＩｊ！＋作は排気時間が
相当長くなるので９時間を越えたときはグロースリーク
なしと判断し′Ｃ操住を中止するようにしてもよい。
本発明が提供するリーク・Σスト装置は、ヘリウムガス
を有効利用することができ操（Ｈ性および経済性がすぐ
れている。特に第１の発明は１グロースリークがイｒ在
する被検体のテストにおいてヘリウムの使用飛を少なく
でき、かつチェック後のヘリウムのクリーンアップを迅
速に行なうことができる。リークチストとしてはヘリウ
ムガスのみを準備するだけでよく装置の大形化にはなら
ない。
を有効利用することができ操（Ｈ性および経済性がすぐ
れている。特に第１の発明は１グロースリークがイｒ在
する被検体のテストにおいてヘリウムの使用飛を少なく
でき、かつチェック後のヘリウムのクリーンアップを迅
速に行なうことができる。リークチストとしてはヘリウ
ムガスのみを準備するだけでよく装置の大形化にはなら
ない。
さらに第２の発明は、グロースリークが存在する被検体
に対してはヘリウムガスの使用が２Ｓつたく不要となり
清浄な窒素ガスなどの使用でクリーンアップも良好にな
りヘリウムガスの消費が少なくてきわめて経済的である
。
に対してはヘリウムガスの使用が２Ｓつたく不要となり
清浄な窒素ガスなどの使用でクリーンアップも良好にな
りヘリウムガスの消費が少なくてきわめて経済的である
。
第１図は第１の発明の装置の構成を概略的に示す図、第
２図は第２の発明の装置の構成を概略的に示す図、第３
図はｆｆｒ ］、図の装置の制御回路の一例を示す図で
ある。 ｌ・・・真空チャンバ、 ２・・・被検体、３．４・
・・真空ポンプ、 ５・・・ンη老、５、・・・排気管
、＋、）７．５５・・・供給管、６・・・吸気管、６１
・・・胡気竹、６２ ・・・導管、 ７
・・・リークデテクタ、８・・・ヘリウムガス、 ９
會・・窒素ガス、ＭＹ・・・メインバルブ、 ＴＶ−・
・テストバルブ、ｓｖ・・・吸引バルブ、 ＨＶ・・・ヘリウムガス供給バルブ、 ＮＶ・・・窒素供給バルブ、 ＳＬ、 ＳＬ、、 ５ＩＪ２ φ・・ソレノイド、
■１、■２、ｖ５ ・・・開閉弁、 Ｍ７、Ｍ２、Ｍ５ 争・６圧力計、 Ｍ・・・真空ｆｉｔ、Ｔ・・・タイマー、８１〜８１５
・Ｑ・スイッチ、 Ｒ１−Ｒ１・・・リレー、 Ｄ・・・バルブ作動制御回路。 特許出願人 株式会社島津製作所
２図は第２の発明の装置の構成を概略的に示す図、第３
図はｆｆｒ ］、図の装置の制御回路の一例を示す図で
ある。 ｌ・・・真空チャンバ、 ２・・・被検体、３．４・
・・真空ポンプ、 ５・・・ンη老、５、・・・排気管
、＋、）７．５５・・・供給管、６・・・吸気管、６１
・・・胡気竹、６２ ・・・導管、 ７
・・・リークデテクタ、８・・・ヘリウムガス、 ９
會・・窒素ガス、ＭＹ・・・メインバルブ、 ＴＶ−・
・テストバルブ、ｓｖ・・・吸引バルブ、 ＨＶ・・・ヘリウムガス供給バルブ、 ＮＶ・・・窒素供給バルブ、 ＳＬ、 ＳＬ、、 ５ＩＪ２ φ・・ソレノイド、
■１、■２、ｖ５ ・・・開閉弁、 Ｍ７、Ｍ２、Ｍ５ 争・６圧力計、 Ｍ・・・真空ｆｉｔ、Ｔ・・・タイマー、８１〜８１５
・Ｑ・スイッチ、 Ｒ１−Ｒ１・・・リレー、 Ｄ・・・バルブ作動制御回路。 特許出願人 株式会社島津製作所
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔｉｔ Ｊ’＜空ヂャンバ内の被検体内にヘリウムガス
を加圧上１人して被検体からのヘリウムガスのリークの
消無を検査する装置において、ヘリウムガスを２〜５
ｋｇＡの低「で被検体に加圧封入する手段と、ヘリウム
ガスを２０−３０ ｋｑ／ｃｄの高圧で被検体に加圧お
１人する手段とを備え、低圧のヘリウムガス封入で被検
体のグロースリークの有無を検査し、その後高圧のヘリ
ウムガス封入で被検体のリークの右焦を検査するように
したことを特徴とするり−ファストｇ；＞ｌｉり。 （２１貞ｑｙ＋チーヤンバ内の被検体内にヘリウム、ガ
スを加圧封入し゛Ｃ被検体からのヘリウムガスのリーク
のＹＩ餅を検査する装置において、ヘリウム以外の不活
性ガスを所定のガス圧力で被検体に加圧封入する干ｌＪ
′Ｉと、ヘリウムガスを２０〜３０ ｋφｄの高圧で被
検体に加圧封入する手段とを備え、前記不活性ガスの被
検体への封入後、真空チャンバを排気する時間と真空度
との関係から被検体のグロースリークの有無をヂエツク
し、その後高圧のヘリウムガスを封入して被検体のリー
クの有無を検査するようにしたことを特徴とするリーク
テスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17302682A JPS5961738A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | リ−クテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17302682A JPS5961738A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | リ−クテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961738A true JPS5961738A (ja) | 1984-04-09 |
Family
ID=15952829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17302682A Pending JPS5961738A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | リ−クテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961738A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02242131A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-26 | Nippondenso Co Ltd | 漏れ検査方法及びその装置 |
| JP2002277342A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏洩試験装置 |
| DE102014013522A1 (de) * | 2014-09-12 | 2016-03-17 | Sartorius Stedim Biotech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung eines Integritätstests an einem flexiblen Testbehälter |
| JP2016080438A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 日鉄住金ドラム株式会社 | 密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置 |
| DE102016000365A1 (de) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | Sartorius Stedim Biotech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung eines Integritätstests an einem flexiblen Testbehälter |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS541685A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-08 | Ulvac Corp | Leak testing apparatus |
| JPS5450390A (en) * | 1977-09-28 | 1979-04-20 | Toshiba Corp | Gas leak testing method |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP17302682A patent/JPS5961738A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS541685A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-08 | Ulvac Corp | Leak testing apparatus |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE102014013522A1 (de) * | 2014-09-12 | 2016-03-17 | Sartorius Stedim Biotech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung eines Integritätstests an einem flexiblen Testbehälter |
| DE102014013522B4 (de) | 2014-09-12 | 2017-03-30 | Sartorius Stedim Biotech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung eines Integritätstests an einem flexiblen Testbehälter |
| JP2016080438A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 日鉄住金ドラム株式会社 | 密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置 |
| DE102016000365A1 (de) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | Sartorius Stedim Biotech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung eines Integritätstests an einem flexiblen Testbehälter |
| US10088381B2 (en) | 2016-01-15 | 2018-10-02 | Sartorius Stedium Biotech Gmbh | Method and device for conducting an integrity test on a flexible test container |
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