JP4395262B2 - シート漏洩検出機を運転する方法および該方法を実施するのに適したシート漏洩検出機 - Google Patents

Description

【０００１】
本発明は、被検体が挿入された状態でテスト室を制限する、各１つのフレームに張設された２つのシートと、２つの真空ポンプとを有するシート漏洩検出機を運転するための方法であって、まずテスト室を排気し、該排気運転の後、漏洩検出運転に切り換える方法に関する。さらに本発明はこの方法を実施するのに適したシート漏洩検出機に関する。
【０００２】
このような形式のシート漏洩検出機はドイツ連邦共和国特許出願公開第１９６４２０９９号明細書により公知である。
【０００３】
本発明の課題は、上記した形式のシート漏洩検出機を、誤測定を生ぜしめる汚染および／または汚濁を防止するように形成しかつ運転することである。
【０００４】
この課題は請求項に記載した構成によって解決された。
【０００５】
本発明による別の利点および特徴を図面に記載した実施例に基づき詳説する。
【０００６】
図１にはシート漏洩検出機が回路図とともに概略的に示されており、
図２にはシートが張設されたフレームの部分断面図と他の詳細部の側面図とが示されており、
図３にはシートに取り付けられた接続管片と、さらに先に案内された管路との解除可能な接続部の断面図が示されており、
図４には継ぎ布を有する被検体が示されている。
【０００７】
図１には、リンク２を介して結合されている両フレーム３，４とこれらのフレーム３，４に張設されたシート５，６とを有するシート漏洩検出機１が概略的に示されている。これらのフレーム３，４は円形である。下方のフレームは皿状の（有利には鋼から成る）底部８の縁部７上で支持されている。シート５，６上に位置するフリース区分９は、被検体が挿入された際に、関連したテスト室の形成を保証する。ついでにこのような形式のシート漏洩検出機の原理的な構造はドイツ連邦共和国特許出願公開第１９６４２０９９号明細書（ＤＥ−Ａ−１９６４２０９９）に基づき公知である。
【０００８】
下方のフレーム４には、詳しくは図示されていない複数の孔が設けられている。これらの孔はテスト室の内部に開口する。このテスト室は被検体が挿入された際に両シート５，６によって形成される。孔には管路区分１０が接続されており、これらの管路区分１０は弁１２を有する共通の管路１１を介して補助真空ポンプ１３に接続されている。さらに弁１２に関連して流れ上流側で管路１１に圧力測定装置１４と換気弁１５が接続されている。
【０００９】
下方のシート６にはそのほぼ中央に管路接続部１８が設けられている。この管路接続部１８には管路区分１９と、フィルタ２０と、弁２２を有する管路２１とが接続している。この管路２１にも圧力測定装置２３と換気弁２４が設けられている。
【００１０】
圧力測定装置２３の接続部と弁２２との間に位置する、管路２１の区分は互いに平行な２つの管路２６，２７を介して、テストガス検出機２９と第２の補助真空ポンプ３０との間に延在する管路２８に接続している。管路２６には絞り弁３２が位置している。管路２７には弁３３が設けられている。
【００１１】
補助真空ポンプ１３は有利には一段式に形成されていて、補助真空ポンプ３０は二段式に形成されている。このポンプ３０にはガスバラスト装置が設けられている。弁３１が開放されると、空気（または不活性ガス）がポンプ３０に流入する。
【００１２】
テストガス検出機２９にはターボ分子ポンプ３５が位置しており、このターボ分子ポンプ３５の流出部は管路２８に接続されている。ターボ分子ポンプ３５の流入部には質量分析計３６が接続している。さらに管路２８の圧力を測定する圧力測定装置３７は漏洩検出機２９の構成部材である。
【００１３】
両管路１１，２８は弁１２，２２に関連して流れ下流側で管路３８を介して接続されている。この管路３８には管路２１も開口している。この管路３８には管路２１の開口部と管路２８との間に弁４１，４２が位置している。これらの弁４１，４２の間に位置する、管路３８の区分には管路４４が開口しており、この管路４４はカップリング４５に接続されている。このカップリング４５は管路４４をスニッファ４８のスニッファ管路４７に繋ぐ接続部を形成するために働く。部材番号５１の付与された、スニッファ４８のスニッファ探針はハンドグリップ５２とスニッファ先端部５３とを有している。
【００１４】
スニッファ探針５１の保管のために保持体５４が設けられている。この保持体５４はシート漏洩検出機１に取り付けられているか、または別個のスタンドとして形成されている。この保持体５４は中空室５５を有しており、この中空室５５はスニッファ探針５１の保管時にはスニッファ先端部５３を収容する。さらにシール部材５６が設けられており、このシール部材５６はスニッファ探針５１の保管時に中空室５５をハンドグリップ５２に対してシールする。この中空室５５には管路５７が接続していて、この管路５７はカップリング５８を介して、シート漏洩検出機１のケーシング内に収容された負圧切換機５９に接続されている。スニッファ管路４７として公知の形式で毛管（直径約０．５ｍｍ）が働く。この毛管は、スニッファ先端部５３によって中空室５５に生ぜしめられる負圧が迅速に負圧切換機５９に対して作用するために、管路５７にも適用される。
【００１５】
図１に基づいたシート漏洩検出機では漏洩検出サイクルが自動的に経過する。この経過を制御するために、単にブロック６１としてだけ図示された中央制御部が設けられている。この中央制御部６１には全ての測定装置および制御したい全ての構成部材が接続されている。この中央制御部はテスト室の閉鎖によって操作される切換機にも適用される。図示した実施例はフレーム３に設けられた金属ピン６２とフレーム４に配置されたセンサ６３とを有する近接切換機である。センサ６３は中央制御部に接続されている。電気的、機械的または光学的に運転される、別の切換機もこの目的のために使用することができる。
【００１６】
中央制御部６１と構成部材との間にある多数の電気的な接続管路は、見やすいように図示されていない。２つの信号ランプ６４，６５も中央制御部に接続されている。これらの信号ランプ６４，６５によって、被検体が密であると認識された場合には信号ランプの一方の青が点灯され、被検体が密でないと認識された場合には、信号ランプの他方の赤が点灯する。
【００１７】
運転準備されたシート漏洩検出機１では、図１に示したようなテスト室が開放されているかもしくは上方のフレーム３が下方のフレーム４から持ち上げられている場合には、弁４１を除く全ての弁は閉鎖されている。被検体を下方のシート６上に載置しかつ上方のフレーム３を下方のフレーム４上に載置した後、近接切換機６２，６３は漏洩検出工程の経過をリリースする。このためにまず、漏洩測定の精度をおとし得る高められた残存ヘリウムがシステム内に存在するかどうかを検査される。この検査は質量分析計３６によって行われる。高すぎる残存ヘリウム量が告げられると、この残存ヘリウムが害にならない値になるまで弁３１は開放されて、ポンプ３０がガスバラストを用いて運転される。
【００１８】
一般的には高められた残存ヘリウムは存在しないので、したがってテスト室の閉鎖とともに本来の漏洩検出サイクルも始まる。まず弁１２，２２が開放される。これにより結果としてシート５，６との間の空間の著しく迅速な排気が行われる。フリース区分９がある領域の外側で、直接接触するシート５，６はテスト室のシール部を形成する。
【００１９】
第１の排気段階において弁１２，２２だけが開放されていることが重要である。この第１排気段階においてだけ、被検体の、漏洩部を検出したい薄壁／包装材が被害を被る例えば破裂し得るということが生じる。この段階ではテスト室と漏洩検出機との間の接続部が閉鎖されているので、ヘリウム汚染または被検体から生じる生成物による汚れの危険性は生じない。
【００２０】
少なくとも１００ｍｂａｒ（１００〜３００ｍｂａｒ）の圧力では、絞り弁３２は開放されている。この絞り弁３２はターボ分子ポンプ３５の必然的な補助真空圧が、許容できない程高い値を引き受けないように設定されている。絞り弁３２の開放とともに粗漏洩検出が始まる。ヘリウムが絞り弁３２を通って流れると、このヘリウムは対向流の中、ターボ分子ポンプ３５を介して質量分析計３６に到達する。ヘリウムが記録されると、被検体は密ではないということになり、漏洩検出サイクルは中断される。
【００２１】
ヘリウムが記録されない場合には排気工程が続く。圧力が、圧力測定装置２３で測定された、ターボ分子ポンプ３５の補助真空圧オーダにある値に達すると、弁１２，２２，３２が閉鎖されかつ弁３３が開放される。感度のよい漏洩検出工程が始まる。この漏洩検出工程はテストガスが確認された場合、つまり被検体が密ではない場合か、または所定の時間後に中断される。決まった期間が設定されているか、または圧力（装置２３で測定）が規定の値を下回るまでの間検査される。この時間内にテストガスが確認されないと、密な被検体であるという結果におちつく。
【００２２】
感度の高い漏洩検出工程の間、管路１９，２１，２７だけが、テスト室と漏洩検出機２９との間の接続部を形成する。被検体の破裂はもはや生じ得ない。通常、管路１９と管路２１との間には粒子フィルタ２０が位置しており、このフィルタ２０は漏洩検出機２９からあらゆる不純物を取り除く。
【００２３】
漏洩経過の終結は、漏洩検出装置の開放されている全ての弁（弁４１を除く）を閉鎖し、弁１５，２４は開放されることによって行われる。テスト室は換気され、上方のフレーム３を下方のフレーム４から持ち上げることができる。互いに枢着的に接続された両フレーム３，４はリンク２の領域で、図示してないばね方向の作用下にあると有利である。このばね方向の力は常に開放方向に作用する。この力は漏洩検出の間生じる真空が、テスト室を閉鎖した状態に保ちかつフレーム３は換気工程後に開放位置をとるように設定したい。
【００２４】
漏洩検査の間、被検体が密ではないと確認されると、使用者は漏洩の位置を知りたくなる。このために本発明によるシート漏洩検出機にはスニッファ４８が設けられている。このスニッファ４８はそのスニッファ管路４７でカップリング４５を介して管路４４に接続されている。
【００２５】
このスニッファ４８は使用されない限り、保持体５４内に保管されている。この保持体５４にはすでに記載された部材５５〜５９が設けられており、これらの部材５５〜５９によって中央制御部６１は探針５１が保持体５４内に保管されているかどうか検知することができる。別の手段（機械的、電気的または誘電的に操作される切換機）をこのために使用することもできる。
【００２６】
探針５１が保持体５４内に位置している限り、前述したように弁４１は開放された状態に保たれる。これによりスニッファ４８は常にスタンドバイ状態にある。このスニッファ４８が保持体５４から取り出されると初めて、弁４１は閉鎖されかつ弁４２が開放される。このスニッファ４８を通り抜けるガス流はこれにより管路２８に到達し、ポンプ３０によって維持される。この状態においてスニッファ漏洩検出が可能である。ヘリウムがスニッファ先端部から収容されると、このヘリウムは対向流中において、ターボ分子ポンプ３５を介して質量分析計３６に到達する。
【００２７】
中央制御部６１は、近接切換機６２，６３が閉じられている限り、スタンバイ状態から漏洩検出運転へのスニッファ４８の切換え（弁４１と４２の切換え）が生じないようにプログラミングされている。これにより、誤測定を生ぜしめる、シート漏洩検出機１とスニッファ４８とによる同時の漏洩検出はなくなる。
【００２８】
量的な漏洩検出では大抵の場合、検出された漏洩部の、ｍｂａｒ ｌ／ｓｅｃで測定される漏洩率に関心が生じる。
【００２９】
しかし多くの部材数で製造される被検体の検査では、被検体におけるテストガスの濃度を測定することにも関心が生じる。このことは、スニッファ先端部５３が被検体内に差し込まれるか、または被検体に規定された漏洩部を設けてシート漏洩検出機１で漏洩検出サイクルを実施することによって実施することもできる。そのために中央制御部は図示されていないディスプレイ上で漏洩率も濃度も読み取り可能であるように形成されている。
【００３０】
図２ではフレーム３，４の構造を見ることができる。これらのフレーム３，４はそれぞれ１つの外側リング７１；７２と、それぞれ１つの内側リング７３，７４とからなっている。これらのリング対の間にシート５，６が取り付けられており、有利には接着されている。各内側リングは互いに相応し合う切欠７５，７６内に位置している。これらの切欠７５，７６は外側リング７１，７２が、テスト室に面した領域で互いに直接向かい合って位置していて、これにより張設されたシート５，６の平面が規定されるように配置されている。外側の領域では内側リング７３，７４が互いに直接向かい合って位置している。これらの内側リング７３，７４の間にはリップシール部材７７が設けられている。シート５，６は各リング対の間のアングル状の間隙にわたって延在しており、ひいては全面で接着される。
【００３１】
図２においてシート５，６が、それらの間に被検体７９を挿入した際に、テスト室８０を形成しているのが分かる。フリース区分９は関連したテスト室８０の形成を保証する。
【００３２】
下方のフレーム４のリング７２は皿状の底部８の縁部７で支持されて、この縁部７に接着されている（接着層７８）。上方のフレーム３には支持体が対応配置されており、この支持体は、前記フレーム３を外側からかつ部分的に上方から取り囲む鋼成形体８１によって形成されている。このフレーム３は軸線方向で片持ち式に鋼成形体８１に取り付けられているので、このフレーム３は下げられた際に均等にフレーム４の全周にわたって接触する。テスト室８０の排気によって付加的にさらに圧着力が生ぜしめられる。軸線方向で鋼成形体８１はフレーム３を超えて下方に向かって延びており、鋼成形体８１は下降移動の最終段階においてガイド部を形成する。鋼リング（鋼成形体）８１をカバーするために検出機リング８５が働く。
【００３３】
図２にはさらに、図示したシート漏洩検出機に、環状に延びるハンドグリップ８２が設けられていることが示されている。このハンドグリップ８２にはスニッファ４８のための保持体５４が取り付けられている。保持体５４には、スニッファ４８の探針５１が保持体５４内に保管されているかどうか検知できる、すでに図２に記載した手段が位置している。この保持体５４とケーシング８６との間には、カップリング５８に差し込まれる毛管ホース５７が延びている。
【００３４】
図３には接続管片１８と、さらに先に延びる管路区分１９との移行部が示されている。両部材１８，１９はプラスチック、有利にはポリアミドから構成されている。管路区分１９は波状管として形成されていて、シールリング８３，８４と一緒に接続管片１８を取り囲んでいる。
【００３５】
さらに上記したように、被検体に漏洩部が設けられた場合、被検体内のテストガスの濃度を測定するためにもこの漏洩検出機１を使用することができる。被検体の壁部における十分に小さな漏洩部の形成は困難である。すでに比較的細い針の刺込みによって、もはや正確な濃度測定を許容しない粗漏れが生ぜしめられる。テストガスは漏洩検出サイクルの最初に、つまりテスト室の排気中および漏洩測定への切換前にすでに完全に被検体から流出する危険性が生ぜしめられる。そのため本発明の範疇ではさらに、被検体に規定された漏洩部が設けられるようになっている。このことは、検出しようとする被検体を例えば針によって穿孔し、その後すぐにこの穴を継ぎ布で閉鎖することによって実施されている。包装物の内側の総合圧と外側の総合圧は概して同じかまたは少なくとも著しい差はないので、穿孔時と継ぎ布の被着時との間では被検体内の濃度は変化しないかもしくは少しだけしか変化しない。そのあと、改めて漏洩検出が行われる。この継ぎ布は規定された非密性を有している。この非密性は検査中、包装材内の濃度が変わらない程度に小さい。検査の際に示される漏洩率信号は包装材内にあるテストガス濃度のための単位である。
【００３６】
本発明による別の利点および構成は図面に基づき詳説する。
【００３７】
図４には比較的薄い壁部９２（例えば包装材カバー）と内容物９３とを有する被検体８０の一部が示されている。この内容物９３は所望の形式の包装された対象物（粉末も可）であってよい。このような形式の被検体８０は大量生産されているので、ランダムサンプル形式で漏れの検査をすることができるように、少なくともこれらの被検体の幾つかにテストガスを封入すると有利である。テストガスとしてヘリウムガスを使用する場合、５〜２５％、有利には１０％の濃度であると有利である。まだ傷つけられていない、図示された被検体８０のランダムサンプル形式の漏れ検査においてヘリウムが検出されなかった場合、実際に密な被検体であるかどうか検出しなければならない。これは、被検体内のテストガスの濃度を測定することによって行われる。このために被検体に、例えば針を用いて漏洩部９４を設け、この漏洩部９４上に継ぎ布９５を取り付ける。その後包装材はもう一度テスト室に挿入され漏洩を検査される。すでに上記したように、結果から生産物の品質を逆推することができる。
【００３８】
この継ぎ布９５がテストガスにとって透過性の、非常に薄いシート区分９６から成っている。このシート区分８６が粘着性でない場合、このシート区分に接着縁部９７を設けることができる。この継ぎ布９５は絆創膏の形式で、包装材を突き刺すことによって形成した漏洩部９４に接着される。シート材料としてはフッ化炭化水素が有利であるとされている。厚さとシートの自由面とが漏洩率を規定するテストガスとしてのヘリウムに関連して、２５γｍの厚さのフッ化炭化水素シートは約１０^−４ｍｂ.ｌ／ｓ.ｃｍ^２の漏洩率を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】 回路図とともに示したシート漏洩検出機の概略図である。
【図２】 シートが張設されているフレームの部分断面図と他の詳細部の側面図である。
【図３】 シートに取り付けられた接続管片と先に案内する管路との解除可能な結合部の断面図である。
【図４】 継ぎ布を有する被検体である。
【符号の説明】
１ シート漏洩検出機、 ２ リンク、 ３，４ フレーム、 ５，６ シート、 ７ 縁部、 ８ 底部、 ９ フリース区分、 １０ 管路区分、 １１ 管路、 １２ 弁、 １３ 補助真空ポンプ、 １４ 圧力測定装置、 １５ 換気弁、 １８ 管路接続部、 １９ 管路区分、 ２０ フィルタ、 ２１ 管路、 ２２ 弁、 ２３ 圧力測定装置、 ２４ 換気弁、 ２６，２７，２８ 管路、 ２９ テストガス検出機、 ３０ 補助真空ポンプ、 ３１ 弁、 ３２ 絞り弁、 ３３ 弁、 ３５ ターボ分子ポンプ、 ３６ 質量分析計、 ３７ 圧力測定装置、 ３８ 管路、 ４１，４２ 弁、 ４４ 管路、 ４５ カップリング、 ４７ スニッファ管路、 ４８ スニッファ、 ５１ スニッファ探針、 ５２ ハンドグリップ、 ５３ スニッファ先端部、 ５４ 保持体、 ５５ 中空室、 ５６ シール部材、 ５７ 管路、 ５８ カップリング、 ５９ 負圧切換装置、 ６１ ブロック、 ６３ センサ、 ６４，６５ 信号ランプ、 ７１，７２ 外側リング、 ７３，７４ 内側リング、 ７５，７６ 切欠、 ７７ シール部材、 ７８ 接着層、 ７９ 被検体、 ８０ テスト室、 ８２ ハンドグリップ ８３，８４ シールリング、 ８５ 検出リング、 ８６ ケーシング、 ９２ 壁部、 ９３ 内容物、 ９４ 漏洩部、 ９５ 継ぎ布、 ９６ シート区分、 ９７ 接着縁部

Claims (13)

1. シート漏洩検出機であって、テスト室（８０）と、テストガス検出機（２９）と、２つの真空ポンプ（１３，３０）と、前記構成部材の間に設けられた接続管路（１１，１９，２１，２６，２７，２８，３８）と、該接続管路に設けられた弁（１２，２２，３３，４１，４２）とが設けられており、
   −テスト室（８０）が、２つのシート（５，６）によって形成されるようになっており、両シート（５，６）が、それぞれ１つのフレーム（３，４）に張設されており、
   −該フレーム（３，４）の一方のフレーム（４）が、複数の孔を備えており、該孔が、管路区分（１０）と、該管路区分（１０）に続く、第１の弁（１２）を備えた共通の第１の管路（１１）とを介して両真空ポンプ（１３，３０）の第１の真空ポンプ（１３）に接続されており、
   −両シート（５，６）の一方のシート（６）が、ほぼその中央に管路接続部（１８）を備えており、該管路接続部（１８）に、第２の弁（２２）を備えた第２の管路（１９，２１）が続いており、
   −テストガス検出機（２９）が、第３の管路（２８）を介して第２の真空ポンプ（３０）に接続されている形式のものにおいて、
   −第２の管路（２１）が、第４の管路（３８）に開口しており、該第４の管路（３８）が、第１の弁（１２）と第１の真空ポンプ（１３）との間で第１の管路（１１）に接続されており、
   −第３の弁（３３）を備えた第５の管路（２７）が設けられており、該第５の管路（２７）が、第２の管路（２１）と第３の管路（２８）との間に延びており、第５の管路（２７）が、第２の管路（２１）の、管路接続部（１８）と第２の弁（２２）との間に位置する区分に接続されており、
   −絞り弁（３２）を備えた第６の管路（２６）が設けられており、該第６の管路（２６）が、第２の管路（２１）と第３の管路（２８）との間に延びており、第６の管路（２６）が、第２の管路（２１）の、管路接続部（１８）と第２の弁（２２）との間に位置する区分に接続されており、
   −テストガス検出機（２９）の構成要素が、ターボ分子ポンプ（３５）および該ターボ分子ポンプ（３５）の流入部に接続された質量分析計（３６）であることを特徴とする、シート漏洩検出機。
2. 第２の管路（１９，２１）の構成要素が、粒子フィルタ（２０）であり、該粒子フィルタ（２０）が、管路接続部（１８）と第２の弁（２２）との間に位置している、請求項１記載のシート漏洩検出機。
3. シート漏洩検出機（１）が、中央制御部（６１）を備えている、請求項１または２記載のシート漏洩検出機。
4. フレーム（３，４）が、フレーム（３，４）相互の載置を検知する切換機（６２，６３）、有利には近接切換機を備えている、請求項３記載のシート漏洩検出機。
5. シート漏洩検出機（１）が、スニッファ（４８）を備えており、該スニッファ（４８）が、スニッファ探針（５１）と、該スニッファ探針（５１）のための保持体（５４）とを有しており、該保持体（５４）が、該保持体（５４）内へのスニッファ探針（５１）の保管を検知する手段を備えている、請求項３または４記載のシート漏洩検出機。
6. テスト室（８０）と、テストガス検出機（２９）と、２つの真空ポンプ（１３，３０）と、前記構成部材の間に設けられた接続管路（１１，１９，２１，２６，２７，２８，３８）と、該接続管路に設けられた弁（１２，２２，３３，４１，４２）とが設けられており、
   −テスト室（８０）が、２つのシート（５，６）によって形成されるようになっており、両シート（５，６）が、それぞれ１つのフレーム（３，４）に張設されており、
   −該フレーム（３，４）の一方のフレーム（４）が、複数の孔を備えており、該孔が、管路区分（１０）と、該管路区分（１０）に続く、第１の弁（１２）を備えた共通の第１の管路（１１）とを介して両真空ポンプ（１３，３０）の第１の真空ポンプ（１３）に接続されており、
   −両シート（５，６）の一方のシート（６）が、ほぼその中央に管路接続部（１８）を備えており、該管路接続部（１８）に、第２の弁（２２）を備えた第２の管路（１９，２１）が続いており、
   −テストガス検出機（２９）が、第３の管路（２８）を介して第２の真空ポンプ（３０）に接続されており、
   −第２の管路（２１）が、第４の管路（３８）に開口しており、該第４の管路（３８）が、第１の弁（１２）と第１の真空ポンプ（１３）との間で第１の管路（１１）に接続されており、
   −第３の弁（３３）を備えた第５の管路（２７）が設けられており、該第５の管路（２７）が、第２の管路（２１）と第３の管路（２８）との間に延びており、第５の管路（２７）が、第２の管路（２１）の、管路接続部（１８）と第２の弁（２２）との間に位置する区分に接続されており、
   −テストガス検出機（２９）の構成要素が、ターボ分子ポンプ（３５）および該ターボ分子ポンプ（３５）の流入部に接続された質量分析計（３６）である形式のシート漏洩検出機によって漏洩検出を実施するための方法において、
   −フレーム（４）に設けられた孔と、第１の管路（１１）と、管路接続部（１８）と、第２の管路（１９，２１）とを介して行われるテスト室（８０）の排気の第１の段階の間、第３の弁（３３）を閉鎖したまま、第１の弁（１２）と第２の弁（２２）とを開放することによって、第１の真空ポンプ（１３）だけを使用し、
   −テスト室（８０）の排気の第１の段階の間、少なくとも１００ｍｂａｒの圧力への到達後、絞り弁（３２）を開放することによって、粗漏洩検出を実施し、これによって、場合により被検体に存在する粗漏洩部を通って流れるテストガスが、テストガス検出機（２９）の流入領域に到達し、テストガス検出機（２９）に設けられたターボ分子ポンプ（３５）の所要の補助真空圧が、許容不能な高い値を取らなくなるまでしか絞り弁（３２）を開放せず、
   −ターボ分子ポンプ（３５）の補助真空圧のオーダにある圧力への到達後、第１の弁（１２）と第２の弁（２２）とを閉鎖しかつ第３の弁（３３）を開放することによって、排気プロセスを継続し、これによって、継続した排気プロセスの間、第２の真空ポンプ（３０）だけを使用し、
   −継続した排気プロセスの間、感度の高い漏洩検出を実施することを特徴とする、漏洩検出を実施するための方法。
7. 漏洩検出サイクルの開始前に残存テストガスの検査を実施する、請求項６記載の方法。
8. 高められた残存テストガスを取り除くために、第２の真空ポンプ（３０）をガスバラストで運転する、請求項７記載の方法。
9. テスト室（８０）内での漏洩検査時に密でないと判った被検体（７９）をスニッファ（４８）によって漏洩部の位置測定のために検査する、請求項６から８までのいずれか１項記載の方法。
10. テスト室（８０）内での漏洩検出時にも、スニッファ漏洩検出時にも、同じ漏洩検出機（２９）を使用する、請求項９記載の方法。
11. テスト室（８０）内での漏洩検出の間にテストガスが流出しない被検体において、該被検体内に存在するガスのテストガス濃度の測定を実施し、被検体内のテストガス濃度をコントロールするために、被検体の壁（９２）に漏洩部を設けかつ被検体によって漏洩検出過程を実施することによって、少なくとも１つの被検体におけるテストガス濃度を測定する、請求項７から９までのいずれか１項記載の方法。
12. テストガス濃度をコントロールするために働く被検体が、先行した漏洩検出過程時に密であると判った被検体である、請求項１１記載の方法。
13. 漏洩部（９４）を、該漏洩部（９４）の形成後にすぐ、テストガスに対して透過性のシート区分（９６）から成る、テストガスに対して透過性の継ぎ布（９５）で閉鎖する、請求項１１または１２記載の方法。

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