JP4382287B2 - フィルム式リークディテクタ - Google Patents

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Description

【0001】
本発明は、それぞれ1つのフレーム内に緊締された2つのフィルムを備えたフィルム式リークディテクタ(フィルム式漏れ検出器)に関する。このような形式のフィルム式リークディテクタは、ドイツ連邦共和国特許出願公開第19642099号明細書に基づき公知である。
【0002】
本発明の課題は、このような公知の形式のフィルム式リークディテクタを改良して、単純でかつ安定的に構成されていて、しかもその操作性に関して改善されているようなフィルム式リークディテクタを提供することである。
【0003】
この課題は、特許請求の範囲に記載の手段により解決される。
【0004】
以下に、本発明の利点および詳細を図面に示した実施例につき詳しく説明する。
【0005】
図1には、ジョイント2を介して互いに結合された2つのフレーム3,4と、両フレーム3,4内にそれぞれ緊締されたフィルム5,6とを備えたフィルム式リークディテクタ1が概略的に図示されている。フレーム3,4は円形に形成されている。下側のフレーム4は皿形の底部8(有利には鋼から成る)の縁部7に支持されている。両フィルム5,6に設けられたフリース区分9は、被検体もしくは試験体が挿入された状態で1つの繋がったテスト室が形成されることを確保している。このような形式のフィルム式リークディテクタの原理的な構造は、ドイツ連邦共和国特許出願公開第19642099号明細書に基づき公知である。
【0006】
下側のフレーム4は複数の孔(図示しない)を備えており、これらの孔は、試験体が挿入された状態で両フィルム5,6により形成されるテスト室の内部に開口している。これらの孔には、複数の管路区分10が接続されており、これらの管路区分10は弁12を有する共通の管路11を介して、フォアバキュームポンプもしくは前真空ポンプ13に接続されている。弁12に関して上流側では、管路11にさらに圧力測定器14と通気弁15とが接続されている。
【0007】
下側のフィルム6はほぼその中心部に管路接続部18を備えている。この管路接続部18には、管路区分19と、粒子フィルタ20と、弁22を備えた管路21とが続いている。管路21も、圧力測定器23と通気弁24とを備えている。
【0008】
管路21の、圧力測定器23の接続部と弁22との間に位置する区分は、互いに平行な2つの管路26,27を介して管路28に接続されており、この管路28はサーチガス検出器29と第2の前真空ポンプ30との間に延びている。管路21の上記区分と管路28との間を接続する両管路のうち、一方の管路26には、絞り弁32が設けられており、他方の管路27は弁33を備えている。
【0009】
第1の前真空ポンプ13が単段式に形成されていて、第2の前真空ポンプ30が二段式に形成されていると有利である。第2の前真空ポンプ30はガスバラスト装置を備えている。弁31が開いていると、空気(あるいはまた不活性ガス)が第2の前真空ポンプ30内に流入する。
【0010】
サーチガス検出器29には、ターボ分子真空ポンプ35が設けられている。このターボ分子真空ポンプ35の出口は管路28に接続されている。ターボ分子真空ポンプ35の入口には、質量分析計36が接続されている。さらに、サーチガス検出器29の構成要素として、圧力測定器37が設けられており、この圧力測定器37は管路28内の圧力を測定する。
【0011】
両管路11,28は弁12,22に関して下流側で管路38を介して互いに接続されており、この管路38には、管路21も開口している。この管路38には、管路21の開口部と管路28の開口部との間で2つの弁41,42が設けられている。管路38の、両弁41,42の間に位置する区分には、管路44が開口しており、この管路44は継手もしくはカップリング45に接続されている。カップリング45は管路44と、スニッファ48のスニッファ管路47との接続を形成するために働く。スニッファ48の、符号51で示したスニッファプローブは、ハンドグリップ52とスニッファ先端部53とを有している。
【0012】
スニッファプローブ51を格納するためには、ホルダ54が設けられている。このホルダ54はフィルム式リークディテクタ1本体に取り付けられているか、または別個のスタンドとして形成されている。ホルダ54は中空室55を有しており、この中空室55は、スニッファプローブ51が格納された状態でスニッファ先端部53を収容する。さらに、シール部材56が設けられており、このシール部材56は、スニッファプローブ51が格納された状態で中空室55をハンドグリップ52に対してシールする。中空室55には管路57が続いており、この管路57は継手もしくはカップリング58を介して、フィルム式リークディテクタ1のハウジング内に収納された負圧スイッチ59に接続されている。スニッファ管路47としては、公知の形式で毛細管(直径約0.5mm)が使用される。このことは、管路57にも云える。これによって、スニッファ先端部53によって中空室55内に形成された負圧が迅速に負圧スイッチ59に作用するようになる。
【0013】
図1に示したフィルム式リークディテクタ1では、リークテストサイクルが自動的に行われる。自動的に行われるテスト経過を制御するためには、単にブロックとしてしか図示していない制御センタ61が設けられている。この制御センタ61には、全ての測定器具および制御されるべき全ての構成部分が接続されている。このことは、テスト室の閉鎖と共に操作されるスイッチにも云える。図示の実施例では、このスイッチが近接スイッチであり、この近接スイッチは上側のフレーム3に設けられた金属ピン62と、下側のフレーム4に配置されたセンサ63とを有している。センサ63は制御センタ61に接続されている。また、電気作動式であれ、機械作動式であれ、光学作動式であれ、別のスイッチをこの目的のために使用することもできる。
【0014】
中央制御部である制御センタ61と各構成部分との間の多数の電気的な接続線路は、図面を見易くするために図示されていない。制御センタ61には、2つの信号ランプ64,65も接続されており、試験体が気密であると判定された場合には両信号ランプのうちの一方の信号ランプが緑色に点灯し、試験体が不密であると判定された場合には他方の信号ランプが赤色に点灯する。
【0015】
すぐに運転できる状態のフィルム式リークディテクタ1では、テスト室が図1に示したように開放されている場合もしくは上側のフレーム3が下側のフレーム4から持ち上げられている場合に、弁41を除く全ての弁が閉じられている。試験体が下側のフィルム6に載置され、そして上側のフレーム3が下側のフレーム4へ被せられた後に、近接スイッチ62,63がリークテスト過程の進行をリリースする。このためにはまず、システム内に、リーク測定を誤める恐れのある高められたヘリウムバックグラウンドが存在しているかどうかがチェックされる。このことは質量分析計36を用いて行われる。質量分析計36が、高すぎるバックグラウンドを報知した場合には、弁31が開放され、そしてヘリウムバックグラウンドが無害の値をとるまで第2の前真空ポンプ30がガスバラストによって運転される。
【0016】
たいていの場合には、高められたヘリウムバックグラウンドは存在していないので、テスト室の閉鎖と共に固有のリークテストサイクルも開始する。まず、弁12,22が開放される。その結果、両フィルム5,6の間の室が極めて迅速に排気される。フリース区分9が設けられている範囲外では、直接に接触し合うフィルム5,6がテスト室のシールを形成する。
【0017】
第1の排気段階では、弁12,22しか開放されていないことが重要となる。この第1の排気段階でのみ、試験体の、リークテストしたい壁や包装が欠陥を受け、たとえば破裂する恐れがある。この第1の排気段階ではテスト室とリーク検出器との間の接続が閉じられているので、ヘリウム汚染の危険や、試験体から流出した製品による汚染の危険は生じない。
【0018】
僅か数百ミリバール(100〜300ミリバール)の圧力で、絞り弁32が開放される。この絞り弁32は、ターボ分子真空ポンプ35の所要の前真空圧が、許容され得ないほど高い値をとらないように設定されている。絞り弁32の開放と共に、粗リークテストが開始する。ヘリウムが絞り弁32を通って流れると、このヘリウムは向流でターボ分子真空ポンプ35を通って質量分析計36に流入する。ヘリウムが記録された場合、試験体は不密である。リークテストサイクルは中断される。
【0019】
ヘリウムがまだ記録されない場合には、排気プロセスが進行される。圧力が、圧力測定器23によって測定された、ターボ分子真空ポンプ35の前真空圧のオーダにある値に到達すると、弁12,22と絞り弁32とが閉鎖され、弁33が開放される。敏感なリークテストの段階が開始する。この敏感なリークテストは、サーチガスが記録された場合、つまり試験体が不密であった場合か、または規定された時間が経過した後に中断される。固定の時間間隔が設定されるか、または圧力(圧力測定器23を用いて測定)が規定の値を超過するまで検査が行われる。この時間内でサーチガスが記録されなかった場合には、この結果から試験体が気密であると推量される。
【0020】
敏感なリークテスト段階の間では、管路区分19と管路21と管路27だけがテスト室とサーチガス検出器29との間の接続部を成している。試験体の破裂はもはや予想され得ない。さらに、管路区分19と管路21との間には、粒子フィルタ20が設けられており、この粒子フィルタ20はあらゆる不純物をサーチガス検出器29から遠ざけている。
【0021】
リークテストサイクルの終了は、これまで開いていた全ての弁が、弁41を除いて閉鎖され、そして両通気弁15,24が開放されるようにして行われる。テスト室が通気され、上側のフレーム3を下側のフレーム4から持ち上げることができる。互いに枢着結合された両フレーム3,4がジョイント2の範囲でばね装置(図示しない)の作用を受けていると有利である。このばね装置のばね力は常時、開放方向に作用している。ばね装置のこの力は、一方ではリークテスト中に形成される真空がテスト室を閉鎖状態に保持するように、そして他方では上側のフレーム3が通気過程後に自動的に開放位置をとるように設定されていると望ましい。
【0022】
リークテスト中に試験体が不密であることが確認された場合、使用者の関心は、リーク個所を知ることにある。このために、本発明によるフィルム式リークディテクタ1はスニッファ48を備えている。このスニッファ48はスニッファ管路47でカップリング45を介して管路44に接続されている。
【0023】
スニッファ48が使用されない限りは、スニッファ48はホルダ54内に格納されている。このホルダ54は既に説明した手段、つまり中空室55とシール部材56と管路57とカップリング58と負圧スイッチ59とを備えており、これらの手段を用いて、制御センタ61は、スニッファプローブ51がホルダ54内に格納されているのか、またはいないのかを検知することができる。また、別の手段(機械式に作動させられるスイッチであれ、電気式に作動させられるスイッチであれ、誘導式に作動させられるスイッチであれ)をこの目的のために使用することもできる。
【0024】
スニッファプローブ51がホルダ54内に位置している場合には、既に説明したように弁41が開いた状態に保持される。これにより、スニッファ48はいつでも「スタンドバイ(待機)」の状態となる。スニッファプローブがホルダ54から取り出されたときに、はじめて弁41が閉鎖され、弁42が開放される。これにより、スニッファ48を通過するガス流は管路28に流入して、第2の前真空ポンプ30によって維持される。この状態で、スニッファリークテストが可能となる。スニッファ先端部53によってヘリウムが吸収されると、このヘリウムは向流でターボ分子真空ポンプ35を通って質量分析計36へ到達する。
【0025】
制御センタ61は、近接スイッチ62,63が閉鎖されている限りはスニッファ48の「スタンドバイ」から「リークテスト運転」への切換(弁41,42の切換)が行われないようにプログラミングされている。これにより、フィルム式リークディテクタ1によるリークテストと、スニッファ48によるリークテストとが同時に行われて、誤測定を招く危険が排除されている。
【0026】
定量的なリークテストの場合、試験者の関心を抱かせるのは、探知されたリークの漏れ量もしくはリーク量(mbar l/secで測定)である。
【0027】
しかし、高い個数で製造された試験体の検査では、試験者の関心は、試験体内のサーチガスの濃度を測定することにもある。このことは、スニッファ先端部53を試験体内に刺し込むことによるか、または試験体に規定されたリーク部を施与し、そしてフィルム式リークディテクタ1でリークテストサイクルを実施することにより行うことができる。それゆえに、制御センタ61は、ディスプレイ(図示しない)上でリーク量も濃度も読取り可能となるように形成されている。
【0028】
図2により、両フレーム3,4の構造が判る。両フレーム3,4はそれぞれ1つの外側のリング71;72と内側のリング73;74とを有している。リングペアもしくはリング対の間には、それぞれフィルム5,6が固定されていて、有利には接着されている。それぞれ内側のリング73;74は、互いに対応する切欠き75,76内に配置されている。両切欠き75,76は、外側のリング71,72の、テスト室に面した側の範囲が互いに直接に向かい合って位置し、これによって緊締されたフィルム5,6の平面を規定するように配置されている。外側の範囲では、内側のリング73,74が互いに直接に向かい合って位置している。両内側のリング73,74の間には、リップシール部材77が設けられている。両フィルム5,6は、各リング対の間のアングル状のギャップを通って延びていて、これによって全面にわたって接着されているか、またはねじ締結されている。
【0029】
図2からさらに判るように、両フィルム5,6は、両フィルム5,6の間に試験体79が挿入された状態でテスト室80を形成している。フリース区分9により、1つの繋がったテスト室80の形成が確保される。
【0030】
下側のフレーム4の外側のリング72は、皿形の底部8の縁部7に支持されていて、この縁部7と接着されている(接着層78)。上側のフレーム3には支持体が対応配置されており、この支持体は、上側のフレーム3を外方から取り囲むと同時に部分的に上方からも取り囲む鋼プロファイルもしくは鋼異形成形体81によって形成される。上側のフレーム3は軸方向で鋼異形成形体81にフローティング式もしくは浮動式に取り付けられているので、この上側のフレーム3は降下後に下側のフレーム4の全周に均一に載置される。テスト室80の排気により、付加的にさらに押圧力が形成される。鋼異形成形体81は軸方向で下方へ向かって上側のフレーム3を超えて延びていて、降下運動の最後の段階ではガイドを形成する。環状の鋼異形成形体81をカバーするためには、装飾リング85が役立つ。
【0031】
図2からさらに判るように、図示のフィルム式リークディテクタは環状のハンドグリップ82を備えている。このハンドグリップ82には、スニッファ48のためのホルダ54が取り付けられている。ホルダ54内には、既に図2につき説明した複数の手段が設けられていて、これらの手段を用いて、スニッファ48のスニッファプローブ51がホルダ54内に格納されているのか、または格納されていないのかを検知することができる。ホルダ54とハウジング86との間には、毛細管チューブとして形成された管路57が延びており、この毛細管チューブはカップリング58内に差し込まれている。
【0032】
図3には、接続管片として形成された管路接続部18と、その先へ続く管路区分19との間の移行部が示されている。接続管片18と管路区分19とはプラスチック、有利にはポリアミドから成っている。管路区分19は波形管として形成されていて、シールリング83,84と一緒に接続管路18を取り囲んでいる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるフィルム式リークディテクタを、その回路図と共に概略的に示す図である。
【図2】 両フィルムが緊締されている両フレームと、別の細部とを示す部分断面図である。
【図3】 フィルムに固定された接続管片と、後続の管路区分との解離可能な結合部の断面図である。
【符号の説明】
1 フィルム式リークディテクタ、2 ジョイント、3,4 フレーム、5,6 フィルム、7 縁部、8 底部、9 フリース区分、10 管路区分、11 管路、12 弁、13 前真空ポンプ、14 圧力測定器、15 通気弁、18 管路接続部、19 管路区分、20 粒子フィルタ、21 管路、22 弁、23 圧力測定器、24 通気弁、26,27,28 管路、29 サーチガス検出器、30 第2の前真空ポンプ、31 弁、32 絞り弁、33 弁、35 ターボ分子真空ポンプ、36 質量分析計、37 圧力測定器、38 管路、41,42 弁、 44 管路、 45 カップリング、 47 スニッファ管路、 48 スニッファ、 51 スニッファプローブ、 52 ハンドグリップ、 53 スニッファ先端部、 54 ホルダ、 55 中空室、 56 シール部材、 57 管路、 58 カップリング、 59 負圧スイッチ、 61 制御センタ、 62 金属ピン、 63 センサ、 64,65 信号ランプ、 71,72 外側のリング、 73,74 内側のリング、 75,76 切欠き、 77 リップシール部材、 78 接着層、 79 試験体、 80 テスト室、 81 鋼異形成形体、 82 ハンドグリップ、 83,84 シールリング、 85 装飾リング、 86 ハウジング

Claims (9)

  1. それぞれ1つのフレーム(3,4)内に緊締された2つのフィルム(5,6)を備えたフィルム式リークディテクタにおいて、各フレーム(3;4)が、それぞれ2つのプラスチック製の部分フレーム(71,73;72,74)から成っており、該部分フレーム(71,73;72,74)の間に各フィルム(5;6)が固定されており、両フィルム(5,6)が、該フィルムに接触するフレーム面と全面で接着されているか、またはねじ締結されており、フレーム(3,4)が、それぞれ1つの外側の部分フレーム(71,72)と内側の部分フレーム(73,74)とから成っており、それぞれ外側の部分フレーム(71,72)が切欠き(75,76)を備えており、該切欠き(75,76)内にそれぞれ内側の部分フレーム(73,74)が配置されており、互いに対応する前記切欠き(75,76)が、外側の部分フレーム(71,72)の、両フィルム(5,6)により形成されたテスト室(80)とは反対の側の範囲に設けられており、前記切欠き(75,76)内に配置された内側の部分フレーム(73,74)のうちの一方が、シール部材を備えており、上側のフレーム(3)の支持体として、上側のフレーム(3)を取り囲む鋼成形体(81)が設けられており、該鋼成形体(81)が、アングル状に形成されていて、上側のフレーム(3)を少なくとも部分的に上方と外方とから取り囲んでおり、フレーム(3,4)と前記鋼成形体(81)とが円形に形成されており、フレーム(3,4)がプラスチックから成っており、両フレーム(3,4)が、ジョイント(2)を介して互いに結合されていることを特徴とするフィルム式リークディテクタ。
  2. 下側のフレーム(4)が、皿形の底部(8)の縁部(7)に支持されている、請求項1記載のフィルム式リークディテクタ。
  3. 上側のフレーム(3)が、前記鋼成形体(81)にフローティング式に取り付けられている、請求項1記載のフィルム式リークディテクタ。
  4. テスト室(80)が閉鎖された状態で、前記鋼成形体(81)が、下側のフレーム(4)をも部分的に取り囲んでいる、請求項1または3記載のフィルム式リークディテクタ。
  5. 下側のフレーム(4)のフィルム(6)が、中心の接続管片(18)を備えており、該接続管片(18)に管路(19)が着脱可能に結合されている、請求項1からまでのいずれか1項記載のフィルム式リークディテクタ。
  6. 前記接続管片(18)が、プラスチックから成る管区分である、請求項記載のフィルム式リークディテクタ。
  7. 前記管路(19)が、前記接続管片(18)寄りの範囲でプラスチック波形管として形成されており、該プラスチック波形管が、結合状態で前記接続管片(18)を取り囲んでいる、請求項記載のフィルム式リークディテクタ。
  8. 前記プラスチック管区分(18)および/または前記波形管(19)がポリアミドから成っている、請求項6または7記載のフィルム式リークディテクタ。
  9. 両フレーム(3,4)がばね装置の作用を受けており、該ばね装置のばね力が常時、開放方向に作用している、請求項記載のフィルム式リークディテクタ。
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