CN1323391A - 薄膜式检漏仪 - Google Patents

薄膜式检漏仪 Download PDF

Info

Publication number
CN1323391A
CN1323391A CN99811973A CN99811973A CN1323391A CN 1323391 A CN1323391 A CN 1323391A CN 99811973 A CN99811973 A CN 99811973A CN 99811973 A CN99811973 A CN 99811973A CN 1323391 A CN1323391 A CN 1323391A
Authority
CN
China
Prior art keywords
framework
leak locator
film
leak
pipeline
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN99811973A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1207544C (zh
Inventor
鲁道夫·弗洛斯巴赫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inficon GmbH Deutschland
Original Assignee
Inficon GmbH Deutschland
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inficon GmbH Deutschland filed Critical Inficon GmbH Deutschland
Publication of CN1323391A publication Critical patent/CN1323391A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1207544C publication Critical patent/CN1207544C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/22Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/224Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for valves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/22Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/226Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
    • G01M3/229Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell

Abstract

本发明涉及一种具有两张分别绷紧在一个框架(3,4)中的薄膜(5,6)的薄膜式检漏仪。为了获得简单稳定的结构而规定了每个框架(3,4)由两个塑料框架部构成,各薄膜(5,6)被固定在它们之间。

Description

薄膜式检漏仪
本发明涉及具有两片个分别在框架内被绷紧的薄膜的薄膜式检漏仪。从DE-A-19642099中知道了这种薄膜式检漏仪。
本发明的目的是简单且稳定地构成上述类型的薄膜式检漏仪以及改善其使用性。
通过权利要求书所述的措施实现了上述目的。
结合附图所示的实施例来说明本发明的细节和优点,其中:
图1包括其电路图地示意示出了本发明的薄膜式检漏仪;
图2是其中绷紧薄膜的框架以及其它部件的局剖图;
图3是将一个被固定在薄膜上的接管与继续输送管路可脱开连接的结构的截面图。
图1示意地表示其两个框架3、4通过铰链2相连以及薄膜5、6被绷紧在其中的薄膜式检漏仪1。框架3、4成圆形。下框架支承在一个盘形底板8(最好是钢制的)的边缘7上。在薄膜5、6上的无纺布片9确保在放入受检物时形成一个有关的检查空间。此外,这种薄膜式检漏仪的原则结构由DE-A-19642099公开了。
下框架4配设有许多个未具体画出的孔,这些孔与在放入受检物时由两片薄膜5、6构成的检查空间连通。通过带有阀12的公用管11与预真空泵13连接的管路段10与这些孔相连。在阀12的上游,压力计14和通风阀15与管路11相连。
下薄膜6大约在其中心配设有管路接头18,管路段19、过滤件20和带阀22的管路21与该管路接头相连。管路21也配备有一个压力计23和一个通风阀24。
位于压力计23接口与阀22之间的管路21部分通过两个平行的管道26、27与管路28相连,所述管路28本身分布在检查气体探测器29与第二预真空泵30之间。一个节流阀32位于管路26中。管路27配备有一个阀33。
预真空泵13适当地被设计成是单级式的,而预真空泵30被设计成是双级式的。泵30配备有载气装置。在阀31打开时,空气(或惰性气体)流入泵30中。
一个涡轮分子真空泵35位于检查气体探测器29中,其出口与管路28相连。一个质谱仪36与涡轮分子真空泵的入口相连。另外,一个压力计37是泄漏探测器29的组成部分,它测量管路28中的压力。
这两条管路11、28在阀12、22的下游侧通过一个管路38相连,管路21也与所述管路38连通。在管路38中,阀41、42位于管路21与管路28的通口之间。一条管路44与位于阀41、42之间的管路38部分连通,所述管路44与一个连接器45相连。连接器45用于使管路44与嗅敏检漏器48的嗅敏检漏管路47相连。用51表示的嗅敏检漏器48的嗅敏探针包括把手52和嗅敏探测头53。
为了存放嗅敏探针而设置了一个支架54。它或是固定在薄膜式检漏仪1上,或是被设计成独立支座。它具有一个空腔55,该空腔在存放探针51的情况下容纳嗅敏探测头。此外,设置了一个密封件56,它在存放探针51的情况下使空腔55与把手52隔绝开。一条管路57与空腔55连通,所述管路通过一个连接器58与一个安装在薄膜式检漏仪1外壳中的负压开关59相连。一个毛细管以众所周知的方式起到了嗅敏检漏管47的作用(其直径约为0.5毫米)。这也适用于管路57,因而,由嗅敏探测头53在空腔55内产生的负压快速地作用到负压开关59上。
在图1的薄膜式检漏仪中,检漏周期自动运行。为了控制运行过程,设置了只用方框61表示的控制中心。所有测量仪器和所有要控制的部件都与控制中心相连。这也适用于通过关闭检查空间而启动的开关。它在所示实施例中涉及的是一个接近开关,所述开关包括一个设置在框架3上的金属销62和一个安装在框架4上的传感器63。传感器63与控制中心2相连。也可以为此采用其它的通过机械、电或光学方式来操作的开关。
为清楚起见,没有画出在控制中心61与部件之间的许多连接电线。此外,两盏信号灯64、65与控制中心相连,其中当受检物被认为是密封的时候,一盏亮绿灯,当检查物被认为是不密封的时候,则另一盏亮红灯。
在薄膜检漏仪1准备工作时,如果检查空间(如图1所示)被打开或者上框架3被抬离框架4,则所有阀(直到阀41)被关闭。在将受检物放到下薄膜6上并且将上框架3压到下框架4上之后,接近开关62、63才触发检漏过程。为此要先检查系统中检查是否存在升高的氦基础,这可能会使检漏出错。借助质谱仪36来进行这种检查。如果报告存在高基础,则阀31被打开并且泵30一直在气载下工作,直到氦基础表现为一个无害值。
一般不存在升高的氦基础,从而随着检查空间的封闭,也开始进行本来的检漏周期。首先,阀12、22被打开。它们最快速地将薄膜5、6之间的空间抽成真空。在无纺布片9所在区域外,直接接触的薄膜5、6构成检查空间的密封。
在第一次抽真空阶段内只打开阀12、22是很重要的。只有在这个第一阶段内,受检物的查漏壁/包装才会可能遇到问题如爆裂。由于在该阶段内封闭了检查空间与检漏探测器之间的连接部,所以,不会出现由流出受检物的产品造成的氦传播或污染。
在压力为几百毫巴(100毫巴-300毫巴)的情况下,节流阀32被打开。测量涡轮分子真空泵35的所需预真空压力没有表现为不允许的高值。随着节流阀32的打开,开始粗检漏。氦流过节流阀32并逆流穿过涡轮分子真空泵35地到达质谱仪36。如果记录下氦,则受检物不是密封的,中断检漏周期。
如果没有记录下氦,继续进行抽真空。如果压力达到了一个用仪器23测得的且位于涡轮分子真空泵35的预真空压力数量级内的值,则阀12、22、32被关闭并且打开阀33。开始敏感的检漏阶段。当记录下检查气体(受检物也不是密封的)时,或者在经过一定时间后,中断检查过程。规定了一个固定时间段或者一直进行检查,直到压力(用仪器23所测的压力)低于预定值为止。如果检查气体在这段时间内没有被记录下来,则可以以受检物是密封的而告终。
在敏感检漏阶段内,只有管路19、21、27是检查空间与检漏探测器29之间的连接管道。受检物爆裂不再是预期的。此外,颗粒过滤件20位于管路19、21之间,它阻止了杂质污染检漏探测器29。
检漏周期的结束是这样实现的,即所有目前还打开的阀(直到阀41)被关闭并且打开阀15、24。给检查空间通风并可以使上框架3抬离框架4。如果这两个铰接框架3、4在铰链2区内处于未示出的弹簧件的作用下,则这是适宜的,所述弹簧力始终作用在打开方向上。应该如此确定弹簧力,即使得在检漏期间内产生的真空封闭了检查空间并且框架3在通风之后处于其打开位置上。
如果在检漏期间内确定了受检物是不密封的,则使用者随后要关注的是识别泄漏位置。为此,本发明的薄膜式检漏仪配备有一个嗅敏检漏器48,它通过其嗅敏检漏管路47并利用连接器45与管路44相连。
只要不使用嗅敏检漏器48,就将它放在支架54上。支架54配备有上述机构55-59,控制中心61可以借助这些机构来识别探针51是否放置在支架54中。为此也能够采用其它机构(如通过机械、电或感应方式启动的开关)。
只要探针51位于支架54中,则阀41如上所述地保持开启状态。嗅敏检漏器48由此总是处于备用状态。只有当从支架54上取出它时,才关闭阀41并打开阀42。流过嗅敏检漏器48的气流由此进入管路28并由泵30保持。在这种状态下,可以进行嗅敏检漏。如果嗅敏探测头53接收到了氦,则它逆流地穿过涡轮分子泵35进入质谱仪36。
如此对控制中心61进行编程,即使得只要接近开关62、63是关闭的,嗅敏检漏器48就不从备用状态转入检漏工作(阀41、42的切换)。由此一来,消除了同时通过薄膜式检漏仪1和嗅敏检漏器48的并导致误测的检漏。
在进行大量检漏时,检查人员主要关心所找到的泄漏的流速(单位为毫巴/秒)。
但在检查由许多部件构成的受检物时,焦点集中在测量受检物中的检查气体浓度上。这可以如此实现,即嗅敏探测头53被插入受检物中,或者受检物出现明确泄漏并且在薄膜式检漏仪1中进行检漏周期。因此,如此形成控制中心,即使得可以在未示出的显示器上读到泄漏速率以及浓度。
从图2中可以看到框架3、4的结构。它们分别由一个外圈71或72和一个内圈73、74构成。在圈对之间固定着且最好是粘固着薄膜5、6。内圈分别位于相互对应的凹窝75、76中。凹窝是如此设置的,即外圈71、72在其面对检查空间的区域内是正好相互直接相对的并且由此一来确定出绷紧薄膜5、6的平面。在外部区域内,内圈73、74也是正好相互直接相对的。一个密封唇77位于它们之间。薄膜5、6穿过各对圈之间的角状缝隙并因而在整个面积上被粘接住或拧紧。
还可以在图2中看到,薄膜5、6在受检物79被放入其中间时形成了一个检查空间80。无纺布片9确保了形成一个有关的检查空间80。
下框架4的圈72支承在盘形底板8的边缘7上并且它与所述边缘粘接在一起(粘接层78)。给上框架3配设了一个支座,所述支座由一个从外面裹住框架3的并且从上面部分地包裹住框架3的异型钢材81构成。框架3可以轴向浮动地固定在异型钢材81上,从而它在其降低后均匀地贴靠在框架4的整个外周面上。通过对检查空间80进行抽真空,还附加产生一个压合力。异型钢材81沿轴向向下通过框架3延伸并且在下降最后阶段内起到了导向作用。装饰环85起到了盖住异型钢材81的作用。
图2还示出了所示薄膜式检漏仪配备有一个环绕把手82,用于嗅敏检漏器48的支架54就固定在该把手上。已参见图2描述的机构位于支架54内,它们可以识别出嗅敏检漏器48的探针51是否安放在支架54内。毛细软管57延伸于支架54与外壳86之间,它被插入连接器58中。
图3表示接管18与继续输送管路段19之间的过渡部分。这两个管路都是塑制的且最好是由聚酰胺制成的。管路段19成波纹管形状并且和密封圈83、84一起围绕着接管18。

Claims (20)

1.一种具有两张分别绷紧在一个框架(3,4)中的薄膜(5,6)的薄膜式检漏仪,其特征在于,每个框架(3,4)由两个塑料框架部(71,72;73,74)构成,各薄膜(5,6)被固定在它们之间。
2.如权利要求1所述的检漏仪,其特征在于,薄膜(5,6)全面地和与所述薄膜相贴的框架面粘接或拧接在一起。
3.如权利要求1或2所述的检漏仪,其特征在于,框架(3,4)分别由一个外框架部(71,72)和一个内框架部(73,74)构成,每个外框架部(71,72)配备有一个凹窝(75,76),各有一个内框架部(73,74)被安置在所述凹窝中。
4.如权利要求3所述的检漏仪,其特征在于,彼此对应的凹窝(75,76)位于背对检查空间(80)的外框架部区域内,一个设置在凹窝中的内框架部配备有一个密封件且优选地配备有一个密封唇(77)。
5.如权利要求1-4之一所述的检漏仪,其特征在于,下框架(4)本身支承在一个盘形底板(8)上。
6.如权利要求1-5之一所述的检漏仪,其特征在于,作为上框架(3)支座地设置了一个包围住框架的异型钢材(81)。
7.如权利要求6所述的检漏仪,其特征在于,异型钢材(81)成角钢形并且它至少部分地从上面和从外侧包套住框架(3)。
8.如权利要求6或7所述的检漏仪,其特征在于,上框架(3)浮动地被固定在异型钢材(81)上。
9.如权利要求6、7或8所述的检漏仪,其特征在于,异型钢材(81)在检查空间(80)的封闭状态下也部分地包套住下框架(4)。
10.如前述权利要求之一所述的检漏仪,其特征在于,所述的框架(3,4)和异型钢材(81)成圆形。
11.如前述权利要求之一所述的检漏仪,其特征在于,框架(3,4)是塑制的且优选地是由聚酰胺制成的。
12.如前述权利要求之一所述的检漏仪,其特征在于,它配备有一个可安放在一个支架(54)内的嗅敏检漏器(48)。
13.如权利要求12所述的检漏仪,其特征在于,它配备有一个用于嗅敏检漏器(48)支架(54)的支座(82)。
14.如前述权利要求之一所述的检漏仪,其特征在于,下框架(4)的薄膜(6)配备有一个中心接管(18)并且管路(19)与接管(18)可松脱地连接。
15.如权利要求14所述的检漏仪,其特征在于,接管(18)是一个塑制管段。
16.如权利要求15所述的检漏仪,其特征在于,管路(19)在面对接管(18)的区域内被设计成塑料波纹管的形状,它在连接状态下围绕着接管(18)。
17.如权利要求16所述的检漏仪,其特征在于,在波纹管与接管之间设有至少一个密封圈(83,84)。
18.如权利要求15-18之一所述的检漏仪,其特征在于,塑料管段(18)和/或波纹管(19)是由聚酰胺制成的。
19.如前述权利要求之一所述的检漏仪,其特征在于,框架(3,4)通过一个铰链(2)相连。
20.如权利要求19所述的检漏仪,其特征在于,这两个框架(3,4)处于一个弹簧机构的作用下,所述弹簧机构的力始终作用在打开方向上。
CNB998119733A 1998-10-10 1999-07-28 薄膜式检漏仪 Expired - Fee Related CN1207544C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19846800.8 1998-10-10
DE19846800A DE19846800A1 (de) 1998-10-10 1998-10-10 Folien-Lecksucher

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1323391A true CN1323391A (zh) 2001-11-21
CN1207544C CN1207544C (zh) 2005-06-22

Family

ID=7884087

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB998119733A Expired - Fee Related CN1207544C (zh) 1998-10-10 1999-07-28 薄膜式检漏仪

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6732571B1 (zh)
EP (1) EP1119752B1 (zh)
JP (1) JP4382287B2 (zh)
CN (1) CN1207544C (zh)
BR (1) BR9914415A (zh)
DE (2) DE19846800A1 (zh)
WO (1) WO2000022398A1 (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103998910A (zh) * 2012-01-03 2014-08-20 英福康有限责任公司 用于在非刚性待测样本上进行泄漏检测的方法
CN102667467B (zh) * 2009-12-22 2016-01-20 Ima生命北美股份有限公司 使用对真空泵排气的气体测量来监控冷冻干燥
CN108780019A (zh) * 2016-02-17 2018-11-09 英福康有限责任公司 真空贝尔探头和用于泄露检测的方法
CN111656152A (zh) * 2018-01-29 2020-09-11 英福康有限责任公司 使用具有通风测量体积的薄膜腔进行泄漏测试的方法
CN111886488A (zh) * 2018-03-21 2020-11-03 气体运输技术公司 用于密封膜的钟形泄漏检测设备
CN112469983A (zh) * 2018-05-22 2021-03-09 气体运输技术公司 泄漏检测设备

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7253002B2 (en) * 2003-11-03 2007-08-07 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing vessels having colorimetrically verifiable leak-tightness, and method of making same
DE102011106162B3 (de) * 2011-06-30 2012-09-13 Sartorius Stedim Biotech Gmbh Bioreaktorbehälter und Integritätsprüfungsverfahren für Bioreaktorbehälter
US10845266B2 (en) 2011-11-16 2020-11-24 Inficon Gmbh Quick leak detection on dimensionally stable/slack packaging without the addition of test gas
DE102011086486B4 (de) * 2011-11-16 2023-01-19 Inficon Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur schnellen Lecksuche an formsteifen/schlaffen Verpackungen ohne Zusatz von Prüfgas
DE102013217288A1 (de) * 2013-08-29 2015-03-05 Inficon Gmbh Dichtheitsprüfung während der Evakuierung einer Folienkammer
DE102014205027A1 (de) * 2014-03-18 2015-09-24 Inficon Gmbh Evakuierbare flexible Leckageprüfkammer
DE102014219473A1 (de) 2014-09-25 2016-03-31 Inficon Gmbh Folienkammer mit Halteprofil
US9663259B2 (en) * 2015-02-27 2017-05-30 Pall Corporation Gas evacuation system and method
DE102016201359A1 (de) * 2016-01-29 2017-08-03 Inficon Gmbh Lecksuche an einem flexiblen Prüfling in einer Folienkammer
DE102017201004A1 (de) * 2017-01-23 2018-07-26 Inficon Gmbh Folienkammer mit Doppelfolie
DE102017222308A1 (de) * 2017-12-08 2019-06-13 Inficon Gmbh Verfahren zur Leckprüfung mit einer Folienkammer mit belüftetem Messvolumen
US10914652B2 (en) * 2018-05-31 2021-02-09 Wcr, Inc. Leak detection for heat exchanger plate
DE102021100147A1 (de) 2021-01-07 2022-07-07 Inficon Gmbh Folienkammer mit Trägergaszufuhr und Verfahren
DE102022115562A1 (de) * 2022-06-22 2023-12-28 Inficon Gmbh Verfahren zur Messung der Umgebungskonzentration eines leichten Gases mit einer massenspektrometrischen Gegenstrom-Lecksuchvorrichtung

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3027753A (en) 1960-04-29 1962-04-03 Gen Electric Leak detection device
BE795542A (fr) * 1972-02-18 1973-06-18 Dynamit Nobel Ag Procede et dispositif pour controler sous vide l'etancheite des cordons de soudure des bandes en matiere plastique
US3813923A (en) * 1972-05-23 1974-06-04 Universal Sales Eng Inc Adaptive fixture for leak testing of containers
JPS50109785A (zh) * 1974-02-04 1975-08-29
US4791806A (en) * 1987-10-23 1988-12-20 Wade James H Leak detection system
EP0313678B1 (de) 1987-10-28 1992-06-17 Martin Lehmann Verfahren und Anordnung zur Dichteprüfung eines Hohlkörpers sowie Verwendung des Verfahrens
DE3940922A1 (de) * 1989-12-12 1991-06-13 Froehlich J W Maschf Vorrichtung zur pruefung der dichtheit von behaeltern
US5513516A (en) * 1992-05-01 1996-05-07 Visi-Pack, Inc. Method and apparatus for leak testing a container
JPH07325006A (ja) * 1994-05-30 1995-12-12 Horie Metal Co Ltd 漏洩検査装置
DE19524050A1 (de) * 1995-07-01 1997-01-09 Gevas Verpackungsmaschinen Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen der Dichtigkeit einer Schweißnaht an gefüllten Beuteln aus Kunststoffolie
DE19642099A1 (de) * 1996-10-12 1998-04-16 Leybold Vakuum Gmbh Prüfung der Dichtheit von Verpackungen
JP3688083B2 (ja) * 1996-12-26 2005-08-24 東洋自動機株式会社 密封体の漏れ検査方法および装置
JPH11166698A (ja) * 1997-12-02 1999-06-22 Nippon Air Liquide Kk ガス漏れ検知装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102667467B (zh) * 2009-12-22 2016-01-20 Ima生命北美股份有限公司 使用对真空泵排气的气体测量来监控冷冻干燥
CN103998910A (zh) * 2012-01-03 2014-08-20 英福康有限责任公司 用于在非刚性待测样本上进行泄漏检测的方法
US9810600B2 (en) 2012-01-03 2017-11-07 Infinicon Gmbh Method for detecting a leak on a non-rigid test specimen
CN108780019A (zh) * 2016-02-17 2018-11-09 英福康有限责任公司 真空贝尔探头和用于泄露检测的方法
CN108780019B (zh) * 2016-02-17 2020-07-28 英福康有限责任公司 真空贝尔探头和用于泄露检测的方法
US11009422B2 (en) 2016-02-17 2021-05-18 Inficon Holding Ag Vacuum bell probe and method for leak detection
CN111656152A (zh) * 2018-01-29 2020-09-11 英福康有限责任公司 使用具有通风测量体积的薄膜腔进行泄漏测试的方法
CN111656152B (zh) * 2018-01-29 2022-10-18 英福康有限责任公司 使用具有通风测量体积的薄膜腔进行泄漏测试的方法
US11630024B2 (en) 2018-01-29 2023-04-18 Inficon Gmbh Method for leak testing using a film chamber with ventilated measuring volume
CN111886488A (zh) * 2018-03-21 2020-11-03 气体运输技术公司 用于密封膜的钟形泄漏检测设备
CN112469983A (zh) * 2018-05-22 2021-03-09 气体运输技术公司 泄漏检测设备

Also Published As

Publication number Publication date
EP1119752A1 (de) 2001-08-01
CN1207544C (zh) 2005-06-22
DE59903352D1 (de) 2002-12-12
WO2000022398A1 (de) 2000-04-20
JP2002527735A (ja) 2002-08-27
DE19846800A1 (de) 2000-04-13
US6732571B1 (en) 2004-05-11
EP1119752B1 (de) 2002-11-06
BR9914415A (pt) 2001-06-26
JP4382287B2 (ja) 2009-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1207544C (zh) 薄膜式检漏仪
US6550314B2 (en) Apparatus and method for on-line detection of leaky valves
JPH07501622A (ja) 真空装置のための漏えい検出装置並びに真空装置の漏えい検出を実施する方法
JP4182187B2 (ja) 漏洩試験及び漏洩検出方法及び装置
JP3391027B2 (ja) サーチガス漏洩検出器
CN1130757A (zh) 对流式嗅敏检漏仪
US7204127B2 (en) Method and apparatus for large leak testing
JPS62259033A (ja) リーク検査装置のディテクタを較正する装置
US7107822B2 (en) Apparatus and method for on-line detection of leaky valve seals and defective flow diverters
US5226314A (en) Tracer-gas leak detector
JP2002527737A (ja) 総合テストガス漏洩検出するための装置並びに該装置のための運転方法
CN107462675A (zh) 具有一体式传感器防护罩的环境检测装置
JP2726646B2 (ja) 漏れ検出器
JP3390011B2 (ja) テストガス・漏洩探知機
CN208420318U (zh) 一种差压式气密封检测设备
JP2625342B2 (ja) 質量分析型ガス漏れ検知器に適用されるガス濃度校正法及び校正器具
JPS61100630A (ja) 導管の漏洩検出方法
JPS6258127A (ja) エアリ−クテスタ
JPH0210430Y2 (zh)
KR200262600Y1 (ko) 가스검지 장치
CN207850875U (zh) 空气质量气态在线监测设备滤膜缺陷智能检测仪
EP1860419A1 (en) Apparatus for leak detection
JP3189516B2 (ja) ガス圧力検知装置
JP2589882Y2 (ja) 気体漏洩検出器
JPH0460290A (ja) ガス供給管の漏洩検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
REG Reference to a national code

Ref country code: HK

Ref legal event code: GR

Ref document number: 1082095

Country of ref document: HK

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20050622

Termination date: 20180728

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee