JP2002527736A - シート漏洩検出機を運転する方法および該方法を実施するのに適したシート漏洩検出機 - Google Patents
シート漏洩検出機を運転する方法および該方法を実施するのに適したシート漏洩検出機Info
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Abstract
(57)【要約】
本発明は被検体が挿入された状態でテスト室を制限する、各１つのフレーム（３，４）に張設された２つのシート（５，６）と、２つの真空ポンプ（１３，３０）とを有するシート漏洩検出機を運転するための方法であって、まずテスト室（８０）を排気し、該排気運転の後、漏洩検出運転に切り換える方法に関する。テストガス汚染と汚れを防止するために、テスト室（８０）の排気の第１段階の間、前記２つの真空ポンプの一方だけを使用し、漏洩検出運転の間第２の真空ポンプ（３０）だけを使用する。
Description
【０００１】 本発明は、被検体が挿入された状態でテスト室を制限する、各１つのフレーム
に張設された２つのシートと、２つの真空ポンプとを有するシート漏洩検出機を
運転するための方法であって、まずテスト室を排気し、該排気運転の後、漏洩検
出運転に切り換える方法に関する。さらに本発明はこの方法を実施するのに適し
たシート漏洩検出機に関する。
に張設された２つのシートと、２つの真空ポンプとを有するシート漏洩検出機を
運転するための方法であって、まずテスト室を排気し、該排気運転の後、漏洩検
出運転に切り換える方法に関する。さらに本発明はこの方法を実施するのに適し
たシート漏洩検出機に関する。
【０００２】 このような形式のシート漏洩検出機はドイツ連邦共和国特許出願公開第１９６
４２０９９号明細書により公知である。
４２０９９号明細書により公知である。
【０００３】 本発明の課題は、上記した形式のシート漏洩検出機を、誤測定を生ぜしめる汚
染および／または汚濁を防止するように形成しかつ運転することである。
染および／または汚濁を防止するように形成しかつ運転することである。
【０００４】 この課題は請求項に記載した構成によって解決された。
【０００５】 本発明による別の利点および特徴を図面に記載した実施例に基づき詳説する。
【０００６】 図１にはシート漏洩検出機が回路図とともに概略的に示されており、 図２にはシートが張設されたフレームの部分断面図と他の詳細部の側面図とが
示されており、 図３にはシートに取り付けられた接続管片と、さらに先に案内された管路との
解除可能な接続部の断面図が示されており、 図４には継ぎ布を有する被検体が示されている。
示されており、 図３にはシートに取り付けられた接続管片と、さらに先に案内された管路との
解除可能な接続部の断面図が示されており、 図４には継ぎ布を有する被検体が示されている。
【０００７】 図１には、リンク２を介して結合されている両フレーム３，４とこれらのフレ
ーム３，４に張設されたシート５，６とを有するシート漏洩検出機１が概略的に
示されている。これらのフレーム３，４は円形である。下方のフレームは皿状の
（有利には鋼から成る）底部８の縁部７上で支持されている。シート５，６上に
位置するフリース区分９は、被検体が挿入された際に、関連したテスト室の形成
を保証する。ついでにこのような形式のシート漏洩検出機の原理的な構造はドイ
ツ連邦共和国特許出願公開第１９６４２０９９号明細書（ＤＥ−Ａ−１９６４２
０９９）に基づき公知である。
ーム３，４に張設されたシート５，６とを有するシート漏洩検出機１が概略的に
示されている。これらのフレーム３，４は円形である。下方のフレームは皿状の
（有利には鋼から成る）底部８の縁部７上で支持されている。シート５，６上に
位置するフリース区分９は、被検体が挿入された際に、関連したテスト室の形成
を保証する。ついでにこのような形式のシート漏洩検出機の原理的な構造はドイ
ツ連邦共和国特許出願公開第１９６４２０９９号明細書（ＤＥ−Ａ−１９６４２
０９９）に基づき公知である。
【０００８】 下方のフレーム４には、詳しくは図示されていない複数の孔が設けられている
。これらの孔はテスト室の内部に開口する。このテスト室は被検体が挿入された
際に両シート５，６によって形成される。孔には管路区分１０が接続されており
、これらの管路区分１０は弁１２を有する共通の管路１１を介して補助真空ポン
プ１３に接続されている。さらに弁１２に関連して流れ上流側で管路１１に圧力
測定装置１４と換気弁１５が接続されている。
。これらの孔はテスト室の内部に開口する。このテスト室は被検体が挿入された
際に両シート５，６によって形成される。孔には管路区分１０が接続されており
、これらの管路区分１０は弁１２を有する共通の管路１１を介して補助真空ポン
プ１３に接続されている。さらに弁１２に関連して流れ上流側で管路１１に圧力
測定装置１４と換気弁１５が接続されている。
【０００９】 下方のシート６にはそのほぼ中央に管路接続部１８が設けられている。この管
路接続部１８には管路区分１９と、フィルタ２０と、弁２２を有する管路２１と
が接続している。この管路２１にも圧力測定装置２３と換気弁２４が設けられて
いる。
路接続部１８には管路区分１９と、フィルタ２０と、弁２２を有する管路２１と
が接続している。この管路２１にも圧力測定装置２３と換気弁２４が設けられて
いる。
【００１０】 圧力測定装置２３の接続部と弁２２との間に位置する、管路２１の区分は互い
に平行な２つの管路２６，２７を介して、テストガス検出機２９と第２の補助真
空ポンプ３０との間に延在する管路２８に接続している。管路２６には絞り弁３
２が位置している。管路２７には弁３３が設けられている。
に平行な２つの管路２６，２７を介して、テストガス検出機２９と第２の補助真
空ポンプ３０との間に延在する管路２８に接続している。管路２６には絞り弁３
２が位置している。管路２７には弁３３が設けられている。
【００１１】 補助真空ポンプ１３は有利には一段式に形成されていて、補助真空ポンプ３０
は二段式に形成されている。このポンプ３０にはガスバラスト装置が設けられて
いる。弁３１が開放されると、空気（または不活性ガス）がポンプ３０に流入す
る。
は二段式に形成されている。このポンプ３０にはガスバラスト装置が設けられて
いる。弁３１が開放されると、空気（または不活性ガス）がポンプ３０に流入す
る。
【００１２】 テストガス検出機２９にはターボ分子ポンプ３５が位置しており、このターボ
分子ポンプ３５の流出部は管路２８に接続されている。ターボ分子ポンプ３５の
流入部には質量分析計３６が接続している。さらに管路２８の圧力を測定する圧
力測定装置３７は漏洩検出機２９の構成部材である。
分子ポンプ３５の流出部は管路２８に接続されている。ターボ分子ポンプ３５の
流入部には質量分析計３６が接続している。さらに管路２８の圧力を測定する圧
力測定装置３７は漏洩検出機２９の構成部材である。
【００１３】 両管路１１，２８は弁１２，２２に関連して流れ下流側で管路３８を介して接
続されている。この管路３８には管路２１も開口している。この管路３８には管
路２１の開口部と管路２８との間に弁４１，４２が位置している。これらの弁４
１，４２の間に位置する、管路３８の区分には管路４４が開口しており、この管
路４４はカップリング４５に接続されている。このカップリング４５は管路４４
をスニッファ４８のスニッファ管路４７に繋ぐ接続部を形成するために働く。部
材番号５１の付与された、スニッファ４８のスニッファ探針はハンドグリップ５
２とスニッファ先端部５３とを有している。
続されている。この管路３８には管路２１も開口している。この管路３８には管
路２１の開口部と管路２８との間に弁４１，４２が位置している。これらの弁４
１，４２の間に位置する、管路３８の区分には管路４４が開口しており、この管
路４４はカップリング４５に接続されている。このカップリング４５は管路４４
をスニッファ４８のスニッファ管路４７に繋ぐ接続部を形成するために働く。部
材番号５１の付与された、スニッファ４８のスニッファ探針はハンドグリップ５
２とスニッファ先端部５３とを有している。
【００１４】 スニッファ探針５１の保管のために保持体５４が設けられている。この保持体
５４はシート漏洩検出機１に取り付けられているか、または別個のスタンドとし
て形成されている。この保持体５４は中空室５５を有しており、この中空室５５
はスニッファ探針５１の保管時にはスニッファ先端部５３を収容する。さらにシ
ール部材５６が設けられており、このシール部材５６はスニッファ探針５１の保
管時に中空室５５をハンドグリップ５２に対してシールする。この中空室５５に
は管路５７が接続していて、この管路５７はカップリング５８を介して、シート
漏洩検出機１のケーシング内に収容された負圧切換機５９に接続されている。ス
ニッファ管路４７として公知の形式で毛管（直径約０．５ｍｍ）が働く。この毛
管は、スニッファ先端部５３によって中空室５５に生ぜしめられる負圧が迅速に
負圧切換機５９に対して作用するために、管路５７にも適用される。
５４はシート漏洩検出機１に取り付けられているか、または別個のスタンドとし
て形成されている。この保持体５４は中空室５５を有しており、この中空室５５
はスニッファ探針５１の保管時にはスニッファ先端部５３を収容する。さらにシ
ール部材５６が設けられており、このシール部材５６はスニッファ探針５１の保
管時に中空室５５をハンドグリップ５２に対してシールする。この中空室５５に
は管路５７が接続していて、この管路５７はカップリング５８を介して、シート
漏洩検出機１のケーシング内に収容された負圧切換機５９に接続されている。ス
ニッファ管路４７として公知の形式で毛管（直径約０．５ｍｍ）が働く。この毛
管は、スニッファ先端部５３によって中空室５５に生ぜしめられる負圧が迅速に
負圧切換機５９に対して作用するために、管路５７にも適用される。
【００１５】 図１に基づいたシート漏洩検出機では漏洩検出サイクルが自動的に経過する。
この経過を制御するために、単にブロック６１としてだけ図示された中央制御部
が設けられている。この中央制御部６１には全ての測定装置および制御したい全
ての構成部材が接続されている。この中央制御部はテスト室の閉鎖によって操作
される切換機にも適用される。図示した実施例はフレーム３に設けられた金属ピ
ン６２とフレーム４に配置されたセンサ６３とを有する近接切換機である。セン
サ６３は中央制御部に接続されている。電気的、機械的または光学的に運転され
る、別の切換機もこの目的のために使用することができる。
この経過を制御するために、単にブロック６１としてだけ図示された中央制御部
が設けられている。この中央制御部６１には全ての測定装置および制御したい全
ての構成部材が接続されている。この中央制御部はテスト室の閉鎖によって操作
される切換機にも適用される。図示した実施例はフレーム３に設けられた金属ピ
ン６２とフレーム４に配置されたセンサ６３とを有する近接切換機である。セン
サ６３は中央制御部に接続されている。電気的、機械的または光学的に運転され
る、別の切換機もこの目的のために使用することができる。
【００１６】 中央制御部６１と構成部材との間にある多数の電気的な接続管路は、見やすい
ように図示されていない。２つの信号ランプ６４，６５も中央制御部に接続され
ている。これらの信号ランプ６４，６５によって、被検体が密であると認識され
た場合には信号ランプの一方の青が点灯され、被検体が密でないと認識された場
合には、信号ランプの他方の赤が点灯する。
ように図示されていない。２つの信号ランプ６４，６５も中央制御部に接続され
ている。これらの信号ランプ６４，６５によって、被検体が密であると認識され
た場合には信号ランプの一方の青が点灯され、被検体が密でないと認識された場
合には、信号ランプの他方の赤が点灯する。
【００１７】 運転準備されたシート漏洩検出機１では、図１に示したようなテスト室が開放
されているかもしくは上方のフレーム３が下方のフレーム４から持ち上げられて
いる場合には、弁４１を除く全ての弁は閉鎖されている。被検体を下方のシート
６上に載置しかつ上方のフレーム３を下方のフレーム４上に載置した後、近接切
換機６２，６３は漏洩検出工程の経過をリリースする。このためにまず、漏洩測
定の精度をおとし得る高められた残存ヘリウムがシステム内に存在するかどうか
を検査される。この検査は質量分析計３６によって行われる。高すぎる残存ヘリ
ウム量が告げられると、この残存ヘリウムが害にならない値になるまで弁３１は
開放されて、ポンプ３０がガスバラストを用いて運転される。
されているかもしくは上方のフレーム３が下方のフレーム４から持ち上げられて
いる場合には、弁４１を除く全ての弁は閉鎖されている。被検体を下方のシート
６上に載置しかつ上方のフレーム３を下方のフレーム４上に載置した後、近接切
換機６２，６３は漏洩検出工程の経過をリリースする。このためにまず、漏洩測
定の精度をおとし得る高められた残存ヘリウムがシステム内に存在するかどうか
を検査される。この検査は質量分析計３６によって行われる。高すぎる残存ヘリ
ウム量が告げられると、この残存ヘリウムが害にならない値になるまで弁３１は
開放されて、ポンプ３０がガスバラストを用いて運転される。
【００１８】 一般的には高められた残存ヘリウムは存在しないので、したがってテスト室の
閉鎖とともに本来の漏洩検出サイクルも始まる。まず弁１２，２２が開放される
。これにより結果としてシート５，６との間の空間の著しく迅速な排気が行われ
る。フリース区分９がある領域の外側で、直接接触するシート５，６はテスト室
のシール部を形成する。
閉鎖とともに本来の漏洩検出サイクルも始まる。まず弁１２，２２が開放される
。これにより結果としてシート５，６との間の空間の著しく迅速な排気が行われ
る。フリース区分９がある領域の外側で、直接接触するシート５，６はテスト室
のシール部を形成する。
【００１９】 第１の排気段階において弁１２，２２だけが開放されていることが重要である
。この第１排気段階においてだけ、被検体の、漏洩部を検出したい薄壁／包装材
が被害を被る例えば破裂し得るということが生じる。この段階ではテスト室と漏
洩検出機との間の接続部が閉鎖されているので、ヘリウム汚染または被検体から
生じる生成物による汚れの危険性は生じない。
。この第１排気段階においてだけ、被検体の、漏洩部を検出したい薄壁／包装材
が被害を被る例えば破裂し得るということが生じる。この段階ではテスト室と漏
洩検出機との間の接続部が閉鎖されているので、ヘリウム汚染または被検体から
生じる生成物による汚れの危険性は生じない。
【００２０】 少なくとも１００ｍｂａｒ（１００〜３００ｍｂａｒ）の圧力では、絞り弁３
２は開放されている。この絞り弁３２はターボ分子ポンプ３５の必然的な補助真
空圧が、許容できない程高い値を引き受けないように設定されている。絞り弁３
２の開放とともに粗漏洩検出が始まる。ヘリウムが絞り弁３２を通って流れると
、このヘリウムは対向流の中、ターボ分子ポンプ３５を介して質量分析計３６に
到達する。ヘリウムが記録されると、被検体は密ではないということになり、漏
洩検出サイクルは中断される。
２は開放されている。この絞り弁３２はターボ分子ポンプ３５の必然的な補助真
空圧が、許容できない程高い値を引き受けないように設定されている。絞り弁３
２の開放とともに粗漏洩検出が始まる。ヘリウムが絞り弁３２を通って流れると
、このヘリウムは対向流の中、ターボ分子ポンプ３５を介して質量分析計３６に
到達する。ヘリウムが記録されると、被検体は密ではないということになり、漏
洩検出サイクルは中断される。
【００２１】 ヘリウムが記録されない場合には排気工程が続く。圧力が、圧力測定装置２３
で測定された、ターボ分子ポンプ３５の補助真空圧オーダにある値に達すると、
弁１２，２２，３２が閉鎖されかつ弁３３が開放される。感度のよい漏洩検出工
程が始まる。この漏洩検出工程はテストガスが確認された場合、つまり被検体が
密ではない場合か、または所定の時間後に中断される。決まった期間が設定され
ているか、または圧力（装置２３で測定）が規定の値を下回るまでの間検査され
る。この時間内にテストガスが確認されないと、密な被検体であるという結果に
おちつく。
で測定された、ターボ分子ポンプ３５の補助真空圧オーダにある値に達すると、
弁１２，２２，３２が閉鎖されかつ弁３３が開放される。感度のよい漏洩検出工
程が始まる。この漏洩検出工程はテストガスが確認された場合、つまり被検体が
密ではない場合か、または所定の時間後に中断される。決まった期間が設定され
ているか、または圧力（装置２３で測定）が規定の値を下回るまでの間検査され
る。この時間内にテストガスが確認されないと、密な被検体であるという結果に
おちつく。
【００２２】 感度の高い漏洩検出工程の間、管路１９，２１，２７だけが、テスト室と漏洩
検出機２９との間の接続部を形成する。被検体の破裂はもはや生じ得ない。通常
、管路１９と管路２１との間には粒子フィルタ２０が位置しており、このフィル
タ２０は漏洩検出機２９からあらゆる不純物を取り除く。
検出機２９との間の接続部を形成する。被検体の破裂はもはや生じ得ない。通常
、管路１９と管路２１との間には粒子フィルタ２０が位置しており、このフィル
タ２０は漏洩検出機２９からあらゆる不純物を取り除く。
【００２３】 漏洩経過の終結は、漏洩検出装置の開放されている全ての弁（弁４１を除く）
を閉鎖し、弁１５，２４は開放されることによって行われる。テスト室は換気さ
れ、上方のフレーム３を下方のフレーム４から持ち上げることができる。互いに
枢着的に接続された両フレーム３，４はリンク２の領域で、図示してないばね方
向の作用下にあると有利である。このばね方向の力は常に開放方向に作用する。
この力は漏洩検出の間生じる真空が、テスト室を閉鎖した状態に保ちかつフレー
ム３は換気工程後に開放位置をとるように設定したい。
を閉鎖し、弁１５，２４は開放されることによって行われる。テスト室は換気さ
れ、上方のフレーム３を下方のフレーム４から持ち上げることができる。互いに
枢着的に接続された両フレーム３，４はリンク２の領域で、図示してないばね方
向の作用下にあると有利である。このばね方向の力は常に開放方向に作用する。
この力は漏洩検出の間生じる真空が、テスト室を閉鎖した状態に保ちかつフレー
ム３は換気工程後に開放位置をとるように設定したい。
【００２４】 漏洩検査の間、被検体が密ではないと確認されると、使用者は漏洩の位置を知
りたくなる。このために本発明によるシート漏洩検出機にはスニッファ４８が設
けられている。このスニッファ４８はそのスニッファ管路４７でカップリング４
５を介して管路４４に接続されている。
りたくなる。このために本発明によるシート漏洩検出機にはスニッファ４８が設
けられている。このスニッファ４８はそのスニッファ管路４７でカップリング４
５を介して管路４４に接続されている。
【００２５】 このスニッファ４８は使用されない限り、保持体５４内に保管されている。こ
の保持体５４にはすでに記載された部材５５〜５９が設けられており、これらの
部材５５〜５９によって中央制御部６１は探針５１が保持体５４内に保管されて
いるかどうか検知することができる。別の手段（機械的、電気的または誘電的に
操作される切換機）をこのために使用することもできる。
の保持体５４にはすでに記載された部材５５〜５９が設けられており、これらの
部材５５〜５９によって中央制御部６１は探針５１が保持体５４内に保管されて
いるかどうか検知することができる。別の手段（機械的、電気的または誘電的に
操作される切換機）をこのために使用することもできる。
【００２６】 探針５１が保持体５４内に位置している限り、前述したように弁４１は開放さ
れた状態に保たれる。これによりスニッファ４８は常にスタンドバイ状態にある
。このスニッファ４８が保持体５４から取り出されると初めて、弁４１は閉鎖さ
れかつ弁４２が開放される。このスニッファ４８を通り抜けるガス流はこれによ
り管路２８に到達し、ポンプ３０によって維持される。この状態においてスニッ
ファ漏洩検出が可能である。ヘリウムがスニッファ先端部から収容されると、こ
のヘリウムは対向流中において、ターボ分子ポンプ３５を介して質量分析計３６
に到達する。
れた状態に保たれる。これによりスニッファ４８は常にスタンドバイ状態にある
。このスニッファ４８が保持体５４から取り出されると初めて、弁４１は閉鎖さ
れかつ弁４２が開放される。このスニッファ４８を通り抜けるガス流はこれによ
り管路２８に到達し、ポンプ３０によって維持される。この状態においてスニッ
ファ漏洩検出が可能である。ヘリウムがスニッファ先端部から収容されると、こ
のヘリウムは対向流中において、ターボ分子ポンプ３５を介して質量分析計３６
に到達する。
【００２７】 中央制御部６１は、近接切換機６２，６３が閉じられている限り、スタンバイ
状態から漏洩検出運転へのスニッファ４８の切換え（弁４１と４２の切換え）が
生じないようにプログラミングされている。これにより、誤測定を生ぜしめる、
シート漏洩検出機１とスニッファ４８とによる同時の漏洩検出はなくなる。
状態から漏洩検出運転へのスニッファ４８の切換え（弁４１と４２の切換え）が
生じないようにプログラミングされている。これにより、誤測定を生ぜしめる、
シート漏洩検出機１とスニッファ４８とによる同時の漏洩検出はなくなる。
【００２８】 量的な漏洩検出では大抵の場合、検出された漏洩部の、ｍｂａｒ ｌ／ｓｅｃ
で測定される漏洩率に関心が生じる。
で測定される漏洩率に関心が生じる。
【００２９】 しかし多くの部材数で製造される被検体の検査では、被検体におけるテストガ
スの濃度を測定することにも関心が生じる。このことは、スニッファ先端部５３
が被検体内に差し込まれるか、または被検体に規定された漏洩部を設けてシート
漏洩検出機１で漏洩検出サイクルを実施することによって実施することもできる
。そのために中央制御部は図示されていないディスプレイ上で漏洩率も濃度も読
み取り可能であるように形成されている。
スの濃度を測定することにも関心が生じる。このことは、スニッファ先端部５３
が被検体内に差し込まれるか、または被検体に規定された漏洩部を設けてシート
漏洩検出機１で漏洩検出サイクルを実施することによって実施することもできる
。そのために中央制御部は図示されていないディスプレイ上で漏洩率も濃度も読
み取り可能であるように形成されている。
【００３０】 図２ではフレーム３，４の構造を見ることができる。これらのフレーム３，４
はそれぞれ１つの外側リング７１；７２と、それぞれ１つの内側リング７３，７
４とからなっている。これらのリング対の間にシート５，６が取り付けられてお
り、有利には接着されている。各内側リングは互いに相応し合う切欠７５，７６
内に位置している。これらの切欠７５，７６は外側リング７１，７２が、テスト
室に面した領域で互いに直接向かい合って位置していて、これにより張設された
シート５，６の平面が規定されるように配置されている。外側の領域では内側リ
ング７３，７４が互いに直接向かい合って位置している。これらの内側リング７
３，７４の間にはリップシール部材７７が設けられている。シート５，６は各リ
ング対の間のアングル状の間隙にわたって延在しており、ひいては全面で接着さ
れる。
はそれぞれ１つの外側リング７１；７２と、それぞれ１つの内側リング７３，７
４とからなっている。これらのリング対の間にシート５，６が取り付けられてお
り、有利には接着されている。各内側リングは互いに相応し合う切欠７５，７６
内に位置している。これらの切欠７５，７６は外側リング７１，７２が、テスト
室に面した領域で互いに直接向かい合って位置していて、これにより張設された
シート５，６の平面が規定されるように配置されている。外側の領域では内側リ
ング７３，７４が互いに直接向かい合って位置している。これらの内側リング７
３，７４の間にはリップシール部材７７が設けられている。シート５，６は各リ
ング対の間のアングル状の間隙にわたって延在しており、ひいては全面で接着さ
れる。
【００３１】 図２においてシート５，６が、それらの間に被検体７９を挿入した際に、テス
ト室８０を形成しているのが分かる。フリース区分９は関連したテスト室８０の
形成を保証する。
ト室８０を形成しているのが分かる。フリース区分９は関連したテスト室８０の
形成を保証する。
【００３２】 下方のフレーム４のリング７２は皿状の底部８の縁部７で支持されて、この縁
部７に接着されている（接着層７８）。上方のフレーム３には支持体が対応配置
されており、この支持体は、前記フレーム３を外側からかつ部分的に上方から取
り囲む鋼成形体８１によって形成されている。このフレーム３は軸線方向で片持
ち式に鋼成形体８１に取り付けられているので、このフレーム３は下げられた際
に均等にフレーム４の全周にわたって接触する。テスト室８０の排気によって付
加的にさらに圧着力が生ぜしめられる。軸線方向で鋼成形体８１はフレーム３を
超えて下方に向かって延びており、鋼成形体８１は下降移動の最終段階において
ガイド部を形成する。鋼リング（鋼成形体）８１をカバーするために検出機リン
グ８５が働く。
部７に接着されている（接着層７８）。上方のフレーム３には支持体が対応配置
されており、この支持体は、前記フレーム３を外側からかつ部分的に上方から取
り囲む鋼成形体８１によって形成されている。このフレーム３は軸線方向で片持
ち式に鋼成形体８１に取り付けられているので、このフレーム３は下げられた際
に均等にフレーム４の全周にわたって接触する。テスト室８０の排気によって付
加的にさらに圧着力が生ぜしめられる。軸線方向で鋼成形体８１はフレーム３を
超えて下方に向かって延びており、鋼成形体８１は下降移動の最終段階において
ガイド部を形成する。鋼リング（鋼成形体）８１をカバーするために検出機リン
グ８５が働く。
【００３３】 図２にはさらに、図示したシート漏洩検出機に、環状に延びるハンドグリップ
８２が設けられていることが示されている。このハンドグリップ８２にはスニッ
ファ４８のための保持体５４が取り付けられている。保持体５４には、スニッフ
ァ４８の探針５１が保持体５４内に保管されているかどうか検知できる、すでに
図２に記載した手段が位置している。この保持体５４とケーシング８６との間に
は、カップリング５８に差し込まれる毛管ホース５７が延びている。
８２が設けられていることが示されている。このハンドグリップ８２にはスニッ
ファ４８のための保持体５４が取り付けられている。保持体５４には、スニッフ
ァ４８の探針５１が保持体５４内に保管されているかどうか検知できる、すでに
図２に記載した手段が位置している。この保持体５４とケーシング８６との間に
は、カップリング５８に差し込まれる毛管ホース５７が延びている。
【００３４】 図３には接続管片１８と、さらに先に延びる管路区分１９との移行部が示され
ている。両部材１８，１９はプラスチック、有利にはポリアミドから構成されて
いる。管路区分１９は波状管として形成されていて、シールリング８３，８４と
一緒に接続管片１８を取り囲んでいる。
ている。両部材１８，１９はプラスチック、有利にはポリアミドから構成されて
いる。管路区分１９は波状管として形成されていて、シールリング８３，８４と
一緒に接続管片１８を取り囲んでいる。
【００３５】 さらに上記したように、被検体に漏洩部が設けられた場合、被検体内のテスト
ガスの濃度を測定するためにもこの漏洩検出機１を使用することができる。被検
体の壁部における十分に小さな漏洩部の形成は困難である。すでに比較的細い針
の刺込みによって、もはや正確な濃度測定を許容しない粗漏れが生ぜしめられる
。テストガスは漏洩検出サイクルの最初に、つまりテスト室の排気中および漏洩
測定への切換前にすでに完全に被検体から流出する危険性が生ぜしめられる。そ
のため本発明の範疇ではさらに、被検体に規定された漏洩部が設けられるように
なっている。このことは、検出しようとする被検体を例えば針によって穿孔し、
その後すぐにこの穴を継ぎ布で閉鎖することによって実施されている。包装物の
内側の総合圧と外側の総合圧は概して同じかまたは少なくとも著しい差はないの
で、穿孔時と継ぎ布の被着時との間では被検体内の濃度は変化しないかもしくは
少しだけしか変化しない。そのあと、改めて漏洩検出が行われる。この継ぎ布は
規定された非密性を有している。この非密性は検査中、包装材内の濃度が変わら
ない程度に小さい。検査の際に示される漏洩率信号は包装材内にあるテストガス
濃度のための単位である。
ガスの濃度を測定するためにもこの漏洩検出機１を使用することができる。被検
体の壁部における十分に小さな漏洩部の形成は困難である。すでに比較的細い針
の刺込みによって、もはや正確な濃度測定を許容しない粗漏れが生ぜしめられる
。テストガスは漏洩検出サイクルの最初に、つまりテスト室の排気中および漏洩
測定への切換前にすでに完全に被検体から流出する危険性が生ぜしめられる。そ
のため本発明の範疇ではさらに、被検体に規定された漏洩部が設けられるように
なっている。このことは、検出しようとする被検体を例えば針によって穿孔し、
その後すぐにこの穴を継ぎ布で閉鎖することによって実施されている。包装物の
内側の総合圧と外側の総合圧は概して同じかまたは少なくとも著しい差はないの
で、穿孔時と継ぎ布の被着時との間では被検体内の濃度は変化しないかもしくは
少しだけしか変化しない。そのあと、改めて漏洩検出が行われる。この継ぎ布は
規定された非密性を有している。この非密性は検査中、包装材内の濃度が変わら
ない程度に小さい。検査の際に示される漏洩率信号は包装材内にあるテストガス
濃度のための単位である。
【００３６】 本発明による別の利点および構成は図面に基づき詳説する。
【００３７】 図４には比較的薄い壁部９２（例えば包装材カバー）と内容物９３とを有する
被検体８０の一部が示されている。この内容物９３は所望の形式の包装された対
象物（粉末も可）であってよい。このような形式の被検体８０は大量生産されて
いるので、ランダムサンプル形式で漏れの検査をすることができるように、少な
くともこれらの被検体の幾つかにテストガスを封入すると有利である。テストガ
スとしてヘリウムガスを使用する場合、５〜２５％、有利には１０％の濃度であ
ると有利である。まだ傷つけられていない、図示された被検体８０のランダムサ
ンプル形式の漏れ検査においてヘリウムが検出されなかった場合、実際に密な被
検体であるかどうか検出しなければならない。これは、被検体内のテストガスの
濃度を測定することによって行われる。このために被検体に、例えば針を用いて
漏洩部９４を設け、この漏洩部９４上に継ぎ布９５を取り付ける。その後包装材
はもう一度テスト室に挿入され漏洩を検査される。すでに上記したように、結果
から生産物の品質を逆推することができる。
被検体８０の一部が示されている。この内容物９３は所望の形式の包装された対
象物（粉末も可）であってよい。このような形式の被検体８０は大量生産されて
いるので、ランダムサンプル形式で漏れの検査をすることができるように、少な
くともこれらの被検体の幾つかにテストガスを封入すると有利である。テストガ
スとしてヘリウムガスを使用する場合、５〜２５％、有利には１０％の濃度であ
ると有利である。まだ傷つけられていない、図示された被検体８０のランダムサ
ンプル形式の漏れ検査においてヘリウムが検出されなかった場合、実際に密な被
検体であるかどうか検出しなければならない。これは、被検体内のテストガスの
濃度を測定することによって行われる。このために被検体に、例えば針を用いて
漏洩部９４を設け、この漏洩部９４上に継ぎ布９５を取り付ける。その後包装材
はもう一度テスト室に挿入され漏洩を検査される。すでに上記したように、結果
から生産物の品質を逆推することができる。
【００３８】 この継ぎ布９５がテストガスにとって透過性の、非常に薄いシート区分９６か
ら成っている。このシート区分８６が粘着性でない場合、このシート区分に接着
縁部９７を設けることができる。この継ぎ布９５は絆創膏の形式で、包装材を突
き刺すことによって形成した漏洩部９４に接着される。シート材料としてはフッ
化炭化水素が有利であるとされている。厚さとシートの自由面とが漏洩率を規定
するテストガスとしてのヘリウムに関連して、２５γｍの厚さのフッ化炭化水素
シートは約１０−４ｍｂ.ｌ／ｓ.ｃｍ２の漏洩率を有している。
ら成っている。このシート区分８６が粘着性でない場合、このシート区分に接着
縁部９７を設けることができる。この継ぎ布９５は絆創膏の形式で、包装材を突
き刺すことによって形成した漏洩部９４に接着される。シート材料としてはフッ
化炭化水素が有利であるとされている。厚さとシートの自由面とが漏洩率を規定
するテストガスとしてのヘリウムに関連して、２５γｍの厚さのフッ化炭化水素
シートは約１０−４ｍｂ.ｌ／ｓ.ｃｍ２の漏洩率を有している。
【図１】 回路図とともに示したシート漏洩検出機の概略図である。
【図２】 シートが張設されているフレームの部分断面図と他の詳細部の側面図である。
【図３】 シートに取り付けられた接続管片と先に案内する管路との解除可能な結合部の
断面図である。
断面図である。
【図４】 継ぎ布を有する被検体である。
１ シート漏洩検出機、 ２ リンク、 ３，４ フレーム、 ５，６ シー
ト、 ７ 縁部、 ８ 底部、 ９ フリース区分、 １０ 管路区分、 １１
管路、 １２ 弁、 １３ 補助真空ポンプ、 １４ 圧力測定装置、 １５
換気弁、 １８ 管路接続部、 １９ 管路区分、 ２０ フィルタ、 ２１
管路、 ２２ 弁、 ２３ 圧力測定装置、 ２４ 換気弁、 ２６，２７，
２８ 管路、 ２９ テストガス検出機、 ３０ 補助真空ポンプ、 ３１ 弁
、 ３２ 絞り弁、 ３３ 弁、 ３５ ターボ分子ポンプ、 ３６ 質量分析
計、 ３７ 圧力測定装置、 ３８ 管路、 ４１，４２ 弁、 ４４ 管路、
４５ カップリング、 ４７ スニッファ管路、 ４８ スニッファ、 ５１
スニッファ探針、 ５２ ハンドグリップ、 ５３ スニッファ先端部、 ５
４ 保持体、 ５５ 中空室、 ５６ シール部材、 ５７ 管路、 ５８ カ
ップリング、 ５９ 負圧切換装置、 ６１ ブロック、 ６３ センサ、 ６
４，６５ 信号ランプ、 ７１，７２ 外側リング、 ７３，７４ 内側リング
、 ７５，７６ 切欠、 ７７ シール部材、 ７８ 接着層、 ７９ 被検体
、 ８０ テスト室、 ８２ ハンドグリップ ８３，８４ シールリング、
８５ 検出リング、 ８６ ケーシング、 ９２ 壁部、 ９３ 内容物、 ９
４ 漏洩部、 ９５ 継ぎ布、 ９６ シート区分、 ９７ 接着縁部
ト、 ７ 縁部、 ８ 底部、 ９ フリース区分、 １０ 管路区分、 １１
管路、 １２ 弁、 １３ 補助真空ポンプ、 １４ 圧力測定装置、 １５
換気弁、 １８ 管路接続部、 １９ 管路区分、 ２０ フィルタ、 ２１
管路、 ２２ 弁、 ２３ 圧力測定装置、 ２４ 換気弁、 ２６，２７，
２８ 管路、 ２９ テストガス検出機、 ３０ 補助真空ポンプ、 ３１ 弁
、 ３２ 絞り弁、 ３３ 弁、 ３５ ターボ分子ポンプ、 ３６ 質量分析
計、 ３７ 圧力測定装置、 ３８ 管路、 ４１，４２ 弁、 ４４ 管路、
４５ カップリング、 ４７ スニッファ管路、 ４８ スニッファ、 ５１
スニッファ探針、 ５２ ハンドグリップ、 ５３ スニッファ先端部、 ５
４ 保持体、 ５５ 中空室、 ５６ シール部材、 ５７ 管路、 ５８ カ
ップリング、 ５９ 負圧切換装置、 ６１ ブロック、 ６３ センサ、 ６
４，６５ 信号ランプ、 ７１，７２ 外側リング、 ７３，７４ 内側リング
、 ７５，７６ 切欠、 ７７ シール部材、 ７８ 接着層、 ７９ 被検体
、 ８０ テスト室、 ８２ ハンドグリップ ８３，８４ シールリング、
８５ 検出リング、 ８６ ケーシング、 ９２ 壁部、 ９３ 内容物、 ９
４ 漏洩部、 ９５ 継ぎ布、 ９６ シート区分、 ９７ 接着縁部
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１２年７月１４日（２０００．７．１４）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
Claims (18)
- 【請求項１】 被検体が挿入された状態でテスト室を制限する、各１つのフ
レーム（３，４）に張設された２つのシート（５，６）と、２つの真空ポンプ（
１３，３０）とを有するシート漏洩検出機を運転するための方法であって、まず
テスト室（８０）を排気し、該排気運転後、漏洩検出運転に切り換える方法にお
いて、 テスト室（８０）の排気の第１段階の間、前記２つの真空ポンプの一方だけを
使用し、漏洩検出運転の間第２の真空ポンプ（３０）だけを使用することを特徴
とする、シート漏洩検出機を運転するための方法。 - 【請求項２】 シート漏洩検出機（１）のテスト室（８０）を、縁部部材（
３，４）の一方（４）に位置する複数の孔と、シート（５，６）の一方（６）に
取り付けられた接続管片（１８）とを介して排気可能であり、テスト室（８０）
を排気の第１段階の間、第１の真空ポンプ（１３）を用いて、孔を介してだけ排
気し、漏洩検出運転の間、第２の真空ポンプ（３０）に接続された接続管片（１
８）だけを使用する、請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 テスト室（３０）から接続管片（１８）を介して流れるガス
を、粒子フィルタ（２０）を介して導出する、請求項２記載の方法。 - 【請求項４】 漏洩検出サイクルの始まる前に残存テストガスの検査を実施
する、請求項１または２記載の方法。 - 【請求項５】 高められた残存テストガスを取り除くために第２の真空ポン
プをガスバラストを用いて運転させる、請求項４記載の方法。 - 【請求項６】 テスト室（３０）内での総合漏洩検査の際に密でないと判明
された被検体（７９）を、スニッファ（４８）を用いて漏洩部の位置測定のため
に検査する、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。 - 【請求項７】 総合漏洩検出の際にもスニッファ漏洩検出の際にも同じ漏洩
検出機を使用する、請求項６記載の方法。 - 【請求項８】 総合漏洩検出とスニッファ漏洩検出とを同時に実施すること
ができない、請求項７記載の方法。 - 【請求項９】 総合漏洩検出の間、テストガスの流出しなかった被検体を、
次いで被検体内に存在するテストガスのガス濃度測定する、請求項１から５まで
のいずれか１項記載の方法。 - 【請求項１０】 被検体（８０）内のテストガス濃度をコントロールするた
めに、被検体の壁部に漏洩部を設け、該被検体の漏洩経過を実施することにより
、少なくとも１つの被検体のテストガス濃度を測定する、請求項９記載の方法。 - 【請求項１１】 テストガス濃度のコントロールのために働く被検体（８０
）が、先行する漏洩検出経過の際に密であると判明された被検体である、請求項
１０記載の方法。 - 【請求項１２】 漏洩部（９４）を、該漏洩部の形成後にすぐ、テストガス
にとって透過性の継ぎ布（９５）で直接閉鎖する、請求項１０または１１記載の
方法。 - 【請求項１３】 請求項１から１２までのいずれか１項記載の方法を実施す
るために適したシート漏洩検出機（１）において、 中央制御部（６１）が設けられていることを特徴とする、シート漏洩検出機。 - 【請求項１４】 両フレーム（３，４）に切換機（６２，６３）有利には近
接切換機が設けられており、該切換機がフレーム（３，４）の重なり合いを検知
できるように構成されている、請求項１３記載のシート漏洩検出機。 - 【請求項１５】 シート検出機にスニッファ（４８）が設けられており、ス
ニッファ探針（５１）のための保持体（５４）に、該保持体（５４）内における
該スニッファ探針の保管を検知することができる手段が設けられている、請求項
１３または１４記載のシート漏れ検出機。 - 【請求項１６】 請求項１２記載の方法を実施するための継ぎ布であって、
テストガスにとって透過性であるシート区分（６）が設けられていることを特徴
とする継ぎ布。 - 【請求項１７】 一方の側に固着部材（７）が設けられている、請求項１６
記載の継ぎ布。 - 【請求項１８】 円形で、環状に延びる接着縁部（７）が設けられた、請求
項１７記載の継ぎ布。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19846799.0 | 1998-10-10 | ||
| DE19846799A DE19846799A1 (de) | 1998-10-10 | 1998-10-10 | Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher |
| PCT/EP1999/004573 WO2000022399A1 (de) | 1998-10-10 | 1999-07-02 | Verfahren zum betrieb eines folien-lecksuchers sowie für die durchführung dieses verfahrens geeigneter folien-lecksucher |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002527736A true JP2002527736A (ja) | 2002-08-27 |
| JP4395262B2 JP4395262B2 (ja) | 2010-01-06 |
Family
ID=7884086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000576251A Expired - Fee Related JP4395262B2 (ja) | 1998-10-10 | 1999-07-02 | シート漏洩検出機を運転する方法および該方法を実施するのに適したシート漏洩検出機 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6584829B1 (ja) |
| EP (1) | EP1119753B1 (ja) |
| JP (1) | JP4395262B2 (ja) |
| DE (2) | DE19846799A1 (ja) |
| WO (1) | WO2000022399A1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP4567270B2 (ja) * | 1999-12-22 | 2010-10-20 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | シート型漏洩探査器を運転する方法並びに該方法を実施するために適したシート型探査器 |
| DE50015394D1 (de) * | 1999-12-22 | 2008-11-20 | Inficon Gmbh | Verfahren zum betrieb eines folien-lecksuchers sowie für die durchführung dieses verfahrens geeigneter folien-lecksucher |
| DE10354234B4 (de) * | 2003-11-19 | 2008-10-16 | Eaton Fluid Power Gmbh | Messverfahren für CO2-Leckagen und -Permeationen |
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| US9663259B2 (en) * | 2015-02-27 | 2017-05-30 | Pall Corporation | Gas evacuation system and method |
| CN106610636B (zh) * | 2015-10-21 | 2020-05-05 | 河北瑞纳德环保科技有限公司 | 一种污染源远程抽查系统及抽查方法 |
| CN105443368B (zh) * | 2015-11-03 | 2017-09-29 | 中国航发北京航科发动机控制系统科技有限公司 | 一种泵调节器污染试验注入系统 |
| AT519682A1 (de) | 2017-02-24 | 2018-09-15 | Mits Gmbh | Verfahren zum Überprüfen einer Dichtheit eines flexiblen Behälters |
| CN114324119A (zh) * | 2022-01-14 | 2022-04-12 | 贵州卡布婴童用品有限责任公司 | 一种pe膜材料渗漏性能检测方法 |
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