JP4829326B2 - 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 - Google Patents

漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4829326B2
JP4829326B2 JP2009177894A JP2009177894A JP4829326B2 JP 4829326 B2 JP4829326 B2 JP 4829326B2 JP 2009177894 A JP2009177894 A JP 2009177894A JP 2009177894 A JP2009177894 A JP 2009177894A JP 4829326 B2 JP4829326 B2 JP 4829326B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oxygen
gas
container
oxygen sensor
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009177894A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009244284A (ja
Inventor
グローセ ブライ ヴェルナー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inficon GmbH Deutschland
Original Assignee
Inficon GmbH Deutschland
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inficon GmbH Deutschland filed Critical Inficon GmbH Deutschland
Publication of JP2009244284A publication Critical patent/JP2009244284A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4829326B2 publication Critical patent/JP4829326B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/22Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/226Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Description

本発明は、試験体または容器の壁における漏れをガス分圧の変化の測定および評価によって確認するための方法ならびに試験体または容器の壁における漏れをガス分圧の変化の測定および評価によって確認するための装置に関する。
漏れもしくはリークをテストガス、有利にはヘリウムによって検査しかつ場合によっては確認することが知られている。このためには、漏れを検査したい壁が差圧にさらされる。高い方の圧力を伴った側ではテストガス分圧が増加させられる。漏れが存在している場合には、テストガスが通流する。低い方の圧力を伴った面には、テストガス分圧の上昇を記録するテストガスディテクタ、通常は質量分析計が位置している。
質量分析計は比較的高価であると共に敏感である。質量分析計は約10−4mbar以下の圧力でしか運転することができない。したがって、質量分析計の使用は比較的高い技術的な手間と金銭的な費用とに関連している。
本発明の課題は、冒頭で述べた形式の方法を改善すると共に該方法を実施するために適した装置を改良して、技術的な手間と金銭的な費用とが削減されているようにすることである。
この課題を解決するために本発明の方法では、酸素不含のガスで充填された圧下にある容器の壁における漏れの確認を、前記ガスをスニッファ先端部によって吸い込みかつ該スニッファ先端部によって吸い込まれたガスにおける酸素の存在を酸素センサによって検査するように実施するようにした。さらに、前記課題を解決するために本発明の第1の装置によれば、酸素をテストガスとして使用する場合に酸素センサが設けられており、該酸素センサが、測定・評価装置に接続されており、酸素不含のガスで充填された圧下にある容器の壁における漏れの確認が、前記ガスをスニッファ先端部によって吸い込みかつ該スニッファ先端部によって吸い込まれたガスにおける酸素の存在を酸素センサによって検査するように実施されるようにした。さらに、前記課題を解決するために本発明の第2の装置によれば、スニッファ先端部が、チャンバを備えた管路に接続されており、チャンバ内に酸素センサが位置しており、酸素不含のガスで充填された圧下にある容器の壁における漏れの確認が、前記ガスをスニッファ先端部によって吸い込みかつ該スニッファ先端部によって吸い込まれたガスにおける酸素の存在を酸素センサによって検査するように実施されるようにした。
酸素をテストガスとして使用することによって、酸素センサをテストガスディテクタとして使用することができる。固体電解質型酸素センサが使用されると有利である。この固体電解質型酸素センサは、かなりの時間以来、たとえば自動車触媒に対する排ガス監視で使用されている。固体電解質型酸素センサでは、この固体電解質型酸素センサを運転するために高真空は不要となる。固体電解質型酸素センサは、マイクロ構造で形成されている場合には広い範囲で線形であり、とりわけ十分に敏感であるので、本発明による漏れ検査は、ヘリウムリークテストに匹敵し得る感度で実施することができる。さらに、酸素をテストガスとして使用することは、この漏れ検査法の使用者に、多くの使用事例において特に有利であるガス、つまり酸素の存在が直接報知されるという別の利点を有している。
負圧下にある容器における漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための装置を示す図である。 組み合わされた酸素/圧力センサを示す図である。 酸素不含のガスで充填された、圧下にある容器における漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための装置を示す図である。 酸素含有のガスで充填された試験体における漏れを積分法により検査するための装置を示す図である。
以下に、本発明を実施するための形態を図面につき詳しく説明する。
図1には、負圧下にある容器が符号1で示してある。この容器1には真空ポンプ2が弁3を介して接続されている。容器1内には酸素センサ4が位置している。この酸素センサ4は線路5を介して記録装置6に接続されている。付加的に容器1内には圧力センサ7が位置している。この圧力センサ7は線路8を介して記録装置9に接続されている。両装置6,9は評価ユニット11に接続されている。この評価ユニット11は警報器12に接続されている。容器1の壁に位置する漏れもしくはリークは符号13で示してある。
漏れ13が容器1の排気された状態で発生すると、空気が容器1内に到達する。これによって、酸素分圧が変化する。このことは測定装置6によって確認される。この測定装置6自体は評価ユニット11を介して漏れ表示を生ぜしめる。圧力センサ7と測定装置9とによって、酸素分圧と全圧との比率、すなわち酸素濃度を評価することが可能となる。酸素濃度が、たとえば15%よりも高くなると漏れ表示が生ぜしめられ得る。
さらに、容器1の排気の間、影響を与える予め既存の漏れ13を確認することも可能である。このことは、たとえば排気の間、規定された時点で測定された酸素分圧の値が評価ユニット11において、密な容器1に関して収容されかつメモリされた早期の測定値と比較されることによって行うことができる。
さらに、図1に示した装置はスプレイガン15を有している。このスプレイガン15は、酸素不含のガス、たとえばNを備えた圧力容器16に接続されている。第1の測定段階で容器1の壁における漏れ13が確認された場合には、容器1の、酸素不含のガスによる局所的な噴霧によって漏れ13の箇所をつきとめることができる。ガス噴流が漏れ13を通過する場合には、この時間の間、酸素は容器1内に進入しない。この結果、容器1内の酸素分圧の短時間の減少が生ぜしめられる。この減少は酸素センサ4によって記録され、測定装置6によって表示される。これによって、噴霧動作と漏れ13の位置との直接的な相関関係が付与されているので、漏れ13の箇所を正確につきとめることが可能となる。
酸素分圧の減少が急勾配であればあるほどかつ/または酸素センサ4の応答時間が小さければ小さいほど、益々迅速に漏れの箇所のつきとめを実施することができる。したがって、漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめることは、容器1の元々のガス充填が酸素不含である場合に特に敏感となる。さらに、分圧の減少には、酸素を消費するガスをテストガスとして使用することによって影響を与えることができる。このガス、たとえばプロパン、ブタンまたはこれに類するものでは、漏れ13の手前の酸素押退けの他にさらに、容器1に設けられた酸素センサ4の熱い表面で酸素消費が生ぜしめられるので、測定効果が増大されている。
図1に示した構成では、酸素センサ4と圧力センサ7とが空間的に分離されている。この分離は固体電解質型酸素センサの場合には省略することができる。なぜならば、通常、この固体電解質型酸素センサが加熱線材を装備しているからである。図2には、この種の酸素センサ4が示してある。共通の支持体18には、酸素センサ構成素子19(たとえば相互間に位置する固体電解質を備えた2つの白金電極)だけでなく加熱線材21も取り付けられている。この加熱線材21は、自体公知の形式で測定ブリッジ(図示せず)の構成部分を成していて、ひいては同時に熱伝導真空計の圧力センサの機能を有している。
図3に示した実施例では、酸素不含のガスで充填された、圧下にある容器1の漏れが検査される。この容器1は、その都度のガスに対する蓄え容器または試験体であってよい。この試験体は、漏れ検査の目的のために圧力容器20によって酸素不含のガスで充填されている。
漏れ検査と漏れの箇所のつきとめとはスニッファ22によって行われる。このスニッファ22の先端部23は容器1にわたって案内される。スニッファ22には管路24が接続されている。この管路24はフィードポンプ25、たとえばダイヤフラムポンプの入口側に接続されている。吸い込まれたガス流は、スニッファ22とフィードポンプ25との間の経路に設けられたチャンバ26に到達する。このチャンバ26内には酸素センサ4が位置している。この酸素センサ4の信号は、図1に示した構成と同様に線路5を介して測定装置6に供給される。
スニッファ22が空気を吸い込んでいる限り、センサ4は空気中の酸素に基づき一定の信号を供給している。スニッファ先端部23が漏れを通過すると、酸素供給が減少させられるかまたは中断される。図1に示した実施例における漏れの箇所のつきとめに対して説明したように、酸素センサ4は酸素分圧の変化を記録するので、漏れの存在だけでなく漏れの位置も確認可能となる。この方法でも、酸素を消費するガスが容器または試験体1内に位置している場合には測定効果が増大される。
図4に示した構成では、酸素含有のガスで充填された試験体1の漏れが試験チャンバ31内で積分法により検査される。自体公知の形式では、試験チャンバ31が管路32を介して真空ポンプ33によって排気される。管路32には、酸素センサ4を備えたチャンバ26が位置している。排気の間、酸素が試験体1から流出すると、この酸素がチャンバ26を通流しかつセンサ4と測定装置6とによって記録される。説明したように、測定結果と、密な試験体1における早期の測定との比較によって、より良好な漏れ検査結果が得られる。この目的は、試験チャンバ31が試験体1の挿入後に酸素不含のガスで充填され、これによって、既存の大気酸素が漏れ検査を妨害しないことによっても達成される。
1 容器
2 真空ポンプ
3 弁
4 酸素センサ
5 線路
6 測定装置
7 圧力センサ
8 線路
9 測定装置
11 評価ユニット
12 警報器
13 漏れ
15 スプレイガン
16 圧力容器
18 支持体
19 酸素センサ構成素子
20 圧力容器
21 加熱線材
22 スニッファ
23 先端部
24 管路
25 フィードポンプ
26 チャンバ
31 試験チャンバ
32 管路
33 真空ポンプ

Claims (8)

  1. 試験体または容器の壁における漏れを酸素センサ(4)による酸素分圧の減少の記録によって確認するための方法において、酸素不含のガスで充填された正圧下にある前記試験体または容器(1)の壁における漏れの確認を、前記ガスをスニッファ先端部(23)によって吸い込みかつ該スニッファ先端部(23)によって吸い込まれたガスにおける酸素の存在を酸素センサ(4)によって検査するように実施し、スニッファ(22)に管路(24)が接続されており、該管路(24)が、ダイヤフラムポンプの形のフィードポンプ(25)の入口側に接続されており、スニッファ先端部(23)を前記試験体または容器にわたって案内することを特徴とする、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサによる酸素分圧の減少の記録によって確認するための方法。
  2. 酸素不含のガスが、酸素を消費するガスである、請求項1記載の方法。
  3. スニッファ先端部(23)によって吸い込まれたガスを、酸素センサ(4)が位置しているチャンバ(26)を通して通流させる、請求項1または2記載の方法。
  4. 請求項1から3までのいずれか1項記載の方法により、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサ(4)による酸素分圧の減少の記録によって確認するための装置において、酸素をテストガスとして使用する場合に酸素センサ(4)が設けられており、該酸素センサ(4)が、測定・評価装置(6,11,12)に接続されており、酸素不含のガスで充填された正圧下にある前記試験体または容器(1)の壁における漏れの確認が、前記ガスをスニッファ先端部(23)によって吸い込みかつ該スニッファ先端部(23)によって吸い込まれたガスにおける酸素の存在を酸素センサ(4)によって検査するように実施されることを特徴する、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサによる酸素分圧の減少の記録によって確認するための装置。
  5. 酸素センサ(4)が、固体電解質型酸素センサである、請求項4記載の装置。
  6. 酸素センサ(4)が、共通の支持体(18)を有しており、該支持体(18)に加熱線材(21)が取り付けられており、該加熱線材(21)が、圧力センサ(7)を形成している、請求項5記載の装置。
  7. 請求項1から3までのいずれか1項記載の方法により、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサ(4)による酸素分圧の減少の記録によって確認するための装置において、スニッファ先端部(23)が、チャンバ(26)を備えた管路(24)に接続されており、チャンバ(26)内に酸素センサ(4)が位置しており、酸素不含のガスで充填された正圧下にある前記試験体または容器(1)の壁における漏れの確認が、前記ガスをスニッファ先端部(23)によって吸い込みかつ該スニッファ先端部(23)によって吸い込まれたガスにおける酸素の存在を酸素センサ(4)によって検査するように実施されることを特徴する、試験体または容器の壁における漏れを酸素センサによる酸素分圧の減少の記録によって確認するための装置。
  8. ガス流れを発生させるフィードポンプ(25)がダイヤフラムポンプである、請求項記載の装置。
JP2009177894A 1999-12-14 2009-07-30 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 Expired - Fee Related JP4829326B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19960174A DE19960174A1 (de) 1999-12-14 1999-12-14 Verfahren zur Lecksuche und Lecklokalisierung sowie zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Vorrichtungen
DE19960174.7 1999-12-14

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001545818A Division JP4499332B2 (ja) 1999-12-14 2000-11-10 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009244284A JP2009244284A (ja) 2009-10-22
JP4829326B2 true JP4829326B2 (ja) 2011-12-07

Family

ID=7932564

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001545818A Expired - Fee Related JP4499332B2 (ja) 1999-12-14 2000-11-10 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置
JP2009177894A Expired - Fee Related JP4829326B2 (ja) 1999-12-14 2009-07-30 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001545818A Expired - Fee Related JP4499332B2 (ja) 1999-12-14 2000-11-10 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7156976B2 (ja)
EP (1) EP1238253B1 (ja)
JP (2) JP4499332B2 (ja)
CN (1) CN1318828C (ja)
DE (2) DE19960174A1 (ja)
WO (1) WO2001044775A1 (ja)

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2834066B1 (fr) * 2001-12-21 2004-02-13 Air Liquide Procede et dispositif de mesure du debit d'oxygene s'infiltrant dans un contenant
ITRM20030451A1 (it) * 2003-09-30 2005-04-01 Xsemisys Di Fabio La Spina & C S N C Metodo e dispositivo per la rivelazione e la
DE102004045803A1 (de) * 2004-09-22 2006-04-06 Inficon Gmbh Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung
DE102004058606B4 (de) * 2004-12-03 2006-10-05 Eads Deutschland Gmbh Verfahren zur Prüfung der Dichtigkeit von Behältern
DE102004059485A1 (de) * 2004-12-10 2006-06-22 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
WO2006076110A2 (en) * 2005-01-10 2006-07-20 Mocon, Inc Instrument and method for detecting leaks in hermetically sealed packaging
US20070240493A1 (en) * 2006-04-18 2007-10-18 Shane Conlan Sprayer-sniffer probe
DE102006034735A1 (de) * 2006-07-27 2008-01-31 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
DE102007035932A1 (de) * 2007-07-31 2009-02-05 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
US7707871B2 (en) * 2007-09-24 2010-05-04 Raytheon Company Leak detection system with controlled differential pressure
DE102007057944A1 (de) * 2007-12-01 2009-06-04 Inficon Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung
DE102008037058A1 (de) * 2008-08-08 2010-02-11 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage sowie eine Vakuumanlage
DE102008048625A1 (de) * 2008-09-24 2010-03-25 Inficon Gmbh Verfahren zur Leckprüfung einer Vakuumprozessanlage
FR2940834B1 (fr) * 2009-01-07 2011-06-10 Commissariat Energie Atomique Dispositif de detection de micro-fuites
DE102009009370A1 (de) * 2009-02-18 2010-08-19 Inficon Gmbh Verfahren zur Funktionsprüfung eines Lecksuchgerätes
DE102009059824A1 (de) * 2009-12-21 2011-06-22 Inficon GmbH, 50968 Verfahren und Vorrichtung zur Leckbestimmung
AU2011237624B2 (en) * 2010-04-09 2015-01-22 Shell Internationale Research Maatschappij B.V. Leak detection in circulated fluid systems for heating subsurface formations
US8297109B2 (en) * 2010-04-09 2012-10-30 Inficon Gmbh Method for performing a leak test on a test object
RU2517985C2 (ru) * 2010-04-19 2014-06-10 ООО "Политест" Узел регистрации ионного тока в масс-спектрометрическом течеискателе
CN101943325B (zh) * 2010-08-06 2013-07-03 胡嘉林 一种主动检测燃气系统的泄漏与保护的装置及方法
DE102010048982B4 (de) * 2010-09-03 2022-06-09 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
CN102494849B (zh) * 2011-11-17 2014-04-02 四川嘉宝莉涂料有限公司 气密性检测装置及其实现方法
CN102384827A (zh) * 2011-11-23 2012-03-21 安徽淮化股份有限公司 U型废热锅炉管束检漏装置
CN102519681A (zh) * 2012-01-06 2012-06-27 重庆生竹科技发展有限公司 密封容器焊缝质量检测方法
CN102645305A (zh) * 2012-05-11 2012-08-22 重庆市建设技术发展中心 一种检验门窗安装密封性能的方法
CN103091055A (zh) * 2013-01-14 2013-05-08 湖州剑力金属制品有限公司 一种工件气密性测试装置
RU2532232C1 (ru) * 2013-06-13 2014-10-27 Общество с Ограниченной Ответственностью "НОВАТЭК-ТАРКОСАЛЕНЕФТЕГАЗ" Система локализованного контроля утечек горючего газа по первичным параметрам измерительных устройств
JP2015004645A (ja) * 2013-06-24 2015-01-08 株式会社村田製作所 酸素濃度測定装置
CN103335795B (zh) * 2013-07-02 2016-05-04 中国科学院光电研究院 真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法
CN103728929B (zh) * 2013-09-13 2016-05-18 长春北方化工灌装设备有限公司 一种防灌装过程泄漏检测的泄漏检测方法
CN105300625A (zh) * 2014-07-12 2016-02-03 鞍钢股份有限公司 一种顶枪煤气泄露预知检测系统及检测方法
CN105987796A (zh) * 2015-02-12 2016-10-05 广州市和晋自动化控制技术有限公司 一种气体浓度探测方法及装置
DE102015219250A1 (de) * 2015-10-06 2017-04-06 Inficon Gmbh Erfassung von Prüfgasschwankungen bei der Schnüffellecksuche
DE102015222554A1 (de) 2015-11-16 2017-05-18 Inficon Gmbh Lecksuche mit Sauerstoff
DE102016205381B4 (de) * 2016-03-31 2023-11-30 Inficon Gmbh Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung
CN106971963B (zh) * 2017-03-17 2020-02-14 武汉华星光电技术有限公司 干法蚀刻机台制程腔及其快速抽底压漏率的方法
DE102017217374A1 (de) * 2017-09-29 2019-04-04 Inficon Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Unterscheidung eines aus einem Leck austretenden Prüfgases von Störgas
CN108663167A (zh) * 2018-06-22 2018-10-16 湖南耐普恩科技有限公司 一种超级电容器检漏用防泄漏的检测装置
JP7072468B2 (ja) * 2018-08-21 2022-05-20 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理装置における外気漏洩箇所特定方法
EP3719471A1 (en) * 2019-04-03 2020-10-07 Daspos A/S A leakage detector system
TWI701428B (zh) * 2019-05-21 2020-08-11 吳柄村 測漏裝置及測漏方法
CN110486629A (zh) * 2019-08-15 2019-11-22 上海中船三井造船柴油机有限公司 用于双燃料主机天然气管路的气密性检测装置及方法
EP4427008A1 (en) * 2021-11-01 2024-09-11 Ultra Clean Holdings, Inc. Leak detection apparatus employing helium and a helium detector
WO2024098150A1 (en) * 2022-11-09 2024-05-16 Proflex+ Distribution Inc. Automated vapor generating machine

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54109491A (en) * 1978-02-15 1979-08-28 Nichiden Varian Kk Method and device for detecting leakage
JPS5853752A (ja) * 1981-09-25 1983-03-30 Toshiba Corp ハロゲン化炭化水素ガス漏洩検知素子
DE3247975A1 (de) * 1982-12-24 1984-06-28 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Verfahren und vorrichtung zur auffindung von lecks in waenden
DE3506327A1 (de) * 1984-02-23 1985-09-05 NGK Insulators Ltd., Nagoya, Aichi Sauerstoff-fuehler mit einem rohrfoermigen festelektrolytkoerper
US4591423A (en) * 1984-03-16 1986-05-27 Ngk Insulators, Ltd. Oxygen sensor
US4704897A (en) * 1985-09-30 1987-11-10 Tokyo Gas Co. Limited Locating method of and the locating unit for leaks on piping
US4768371A (en) * 1985-12-06 1988-09-06 Ceramatec, Inc. Leak detector
JPS63200032A (ja) * 1987-02-16 1988-08-18 Shinkosumosu Denki Kk 容器の漏洩検知方法
JPS63214635A (ja) * 1987-03-02 1988-09-07 Fujikura Ltd ガス漏れ検出方法
JPH0750014B2 (ja) * 1988-03-05 1995-05-31 高砂熱学工業株式会社 気密容器の漏洩率測定法および装置
JPH0786498B2 (ja) * 1988-06-02 1995-09-20 日本碍子株式会社 加熱型酸素センサ
US4890459A (en) * 1988-12-08 1990-01-02 Thermo King Corporation Monitor for refrigeration system
JPH0594745U (ja) * 1992-05-29 1993-12-24 三菱電機株式会社 気密容器のリーク検出装置
JP2825172B2 (ja) * 1992-07-10 1998-11-18 東京エレクトロン株式会社 減圧処理装置および減圧処理方法
US5293771A (en) * 1992-09-01 1994-03-15 Ridenour Ralph Gaylord Gas leak sensor system
JP2612999B2 (ja) * 1992-10-26 1997-05-21 日本電信電話株式会社 質量分析型ガス漏れ検知器
JPH0712670A (ja) * 1993-06-28 1995-01-17 Kokusai Electric Co Ltd 半導体製造装置のリークガス検出方法及びその装置
DE4325419C2 (de) * 1993-07-29 2001-06-13 Ust Umweltsensortechnik Gmbh Lecksuchgerät für Vakuumanlagen
JPH07103843A (ja) * 1993-10-05 1995-04-21 Hitachi Bill Shisetsu Eng Kk 真空漏洩検出方法および同装置
JPH0815082A (ja) * 1994-06-29 1996-01-19 Horie Metal Co Ltd 漏洩検査方法及び漏洩検査装置
JP3688083B2 (ja) * 1996-12-26 2005-08-24 東洋自動機株式会社 密封体の漏れ検査方法および装置
JP3649544B2 (ja) * 1997-02-13 2005-05-18 日本碍子株式会社 ガス分析装置
US6196056B1 (en) * 1998-04-15 2001-03-06 Vacuum Instrument Corp. System for determining integrity of a gas-sealed compartment
US6286362B1 (en) * 1999-03-31 2001-09-11 Applied Materials, Inc. Dual mode leak detector
US6432721B1 (en) * 1999-10-29 2002-08-13 Honeywell International Inc. Meso sniffer: a device and method for active gas sampling using alternating flow

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003517598A (ja) 2003-05-27
DE19960174A1 (de) 2001-06-28
JP2009244284A (ja) 2009-10-22
EP1238253A1 (de) 2002-09-11
DE50016057D1 (de) 2011-02-24
EP1238253B1 (de) 2011-01-12
WO2001044775A1 (de) 2001-06-21
CN1391651A (zh) 2003-01-15
JP4499332B2 (ja) 2010-07-07
US7156976B2 (en) 2007-01-02
US20030047465A1 (en) 2003-03-13
CN1318828C (zh) 2007-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4829326B2 (ja) 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置
US9632067B2 (en) Leak detector
JP5337802B2 (ja) 吸込み式漏れ検出器
JP4182187B2 (ja) 漏洩試験及び漏洩検出方法及び装置
JP2011179975A (ja) 漏れ検査装置及び漏れ検査方法
CN105675224B (zh) 封装管壳密封性检测系统的检测方法
US10935453B2 (en) Leak detection with oxygen
JP2008209220A (ja) 漏れ検査方法及び装置
JP2012047651A (ja) リーク検出装置
JP2003240670A (ja) 気密漏れ検査方法及び装置
JP4395262B2 (ja) シート漏洩検出機を運転する方法および該方法を実施するのに適したシート漏洩検出機
JP2005055263A (ja) リークガス検出装置
JP4402427B2 (ja) ヘリウムガス漏れ検出装置
JP4377070B2 (ja) 総合テストガス漏洩検出するための装置並びに該装置のための運転方法
JP4391682B2 (ja) 漏洩ガス測定装置、及び漏洩ガス測定装置の評価装置
JP7150013B2 (ja) 漏洩個所から漏出する試験ガスを妨害ガスから区別する装置および方法
JPH1137883A (ja) リーク量の計測方法
JP4249675B2 (ja) 低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システム
US20230204447A1 (en) Sniffing gas leak detector with hand probe
JPH09292302A (ja) リークデテクタ
JP3348489B2 (ja) 漏洩試験方法
JPH05172686A (ja) リークテスト装置と方法
McKinney Practical application of leak detection methods
JPH05118949A (ja) ヘリウムリーク検査方法
JPH0130095B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090730

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20101227

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20101228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110121

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110415

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110511

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110802

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110824

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110915

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4829326

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees