JPH05118949A - ヘリウムリーク検査方法 - Google Patents
ヘリウムリーク検査方法Info
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- JPH05118949A JPH05118949A JP34253891A JP34253891A JPH05118949A JP H05118949 A JPH05118949 A JP H05118949A JP 34253891 A JP34253891 A JP 34253891A JP 34253891 A JP34253891 A JP 34253891A JP H05118949 A JPH05118949 A JP H05118949A
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Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 粗引ポンプで真空状態にした被試験体にＨｅ
を供給してリークの有無を検査する方法において、真空
計のみでリークを検知できるようにすること 【構成】 被試験体に粗引ポンプを接続したリークライ
ンにピラニー真空計を接続すると、リーク存在時に真空
計内にＨｅが侵入し、真空計内の白金フィラメントから
熱を奪って真空圧測定値を変化させるため、リークの存
在を検知することができる。この場合、ピラニー真空計
の測定値の変化量によってリークの大きさを測定するこ
とができる。 【効果】 真空計のみでリークを検知することができる
結果、ヘリウムリークディテクタを使用しなくても、極
めて簡便にリークテストを行なえる。
を供給してリークの有無を検査する方法において、真空
計のみでリークを検知できるようにすること 【構成】 被試験体に粗引ポンプを接続したリークライ
ンにピラニー真空計を接続すると、リーク存在時に真空
計内にＨｅが侵入し、真空計内の白金フィラメントから
熱を奪って真空圧測定値を変化させるため、リークの存
在を検知することができる。この場合、ピラニー真空計
の測定値の変化量によってリークの大きさを測定するこ
とができる。 【効果】 真空計のみでリークを検知することができる
結果、ヘリウムリークディテクタを使用しなくても、極
めて簡便にリークテストを行なえる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粗引ポンプで真空状態
にした被試験体にＨｅを供給してリークの有無を検査す
る方法に関するものである。
にした被試験体にＨｅを供給してリークの有無を検査す
る方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術とその問題点】ヘリウムを使用したリーク検
査については、ヘリウムリークディテクタが使用されて
おり、特開平３−４１３３号公報においてその利用形態
が解説されている。代表的な検査方法として、被試験体
に油回転真空ポンプ等の粗引ポンプを接続したリークラ
インに直接Ｈｅ分析管を接続してその排気系を高真空ポ
ンプによって排気する方式、並びに前記リークラインに
高真空ポンプの排気口を接続し、その高真空ポンプの吸
気口に分析管を接続して逆拡散したＨｅのみを分析管に
よって測定する方式がある。
査については、ヘリウムリークディテクタが使用されて
おり、特開平３−４１３３号公報においてその利用形態
が解説されている。代表的な検査方法として、被試験体
に油回転真空ポンプ等の粗引ポンプを接続したリークラ
インに直接Ｈｅ分析管を接続してその排気系を高真空ポ
ンプによって排気する方式、並びに前記リークラインに
高真空ポンプの排気口を接続し、その高真空ポンプの吸
気口に分析管を接続して逆拡散したＨｅのみを分析管に
よって測定する方式がある。
【０００３】前者の方式では、高真空ポンプによって排
気しているため排気すべき容量が多くなる問題があり、
後者の方式では、リーク量が測定される毎に残留するＨ
ｅ分圧が次の測定に影響しないように粗引ポンプによる
排気を続ける必要がある。従って、いずれの方式でも測
定に時間が掛り過ぎる問題があり、また、装置自体も大
掛かりで高価となる不都合もある。
気しているため排気すべき容量が多くなる問題があり、
後者の方式では、リーク量が測定される毎に残留するＨ
ｅ分圧が次の測定に影響しないように粗引ポンプによる
排気を続ける必要がある。従って、いずれの方式でも測
定に時間が掛り過ぎる問題があり、また、装置自体も大
掛かりで高価となる不都合もある。
【０００４】また、上記の公知文献では、リークライン
にＮ２の供給手段を接続してＨｅを強制的にパージし、
リークテストを連続的に行なえるようにすることが提案
されている。しかしながら、Ｎ２の供給方式では、測定
時間の短縮化を図れる利点はあるものの、装置を更に複
雑化する新たな問題を惹起することになる。
にＮ２の供給手段を接続してＨｅを強制的にパージし、
リークテストを連続的に行なえるようにすることが提案
されている。しかしながら、Ｎ２の供給方式では、測定
時間の短縮化を図れる利点はあるものの、装置を更に複
雑化する新たな問題を惹起することになる。
【０００５】
【技術的課題】本発明は、粗引ポンプ２で真空状態にし
た被試験体１にＨｅ４を供給してリークの有無を検査す
る方法において、真空計のみでリークを検知できるよう
にすることを課題としたものである。
た被試験体１にＨｅ４を供給してリークの有無を検査す
る方法において、真空計のみでリークを検知できるよう
にすることを課題としたものである。
【０００６】
【技術的手段】この技術的課題を解決するための技術的
手段は、（イ）被試験体１に粗引ポンプ２を接続したリ
ークラインにピラニー真空計３を接続し、（ロ）Ｈｅ４
に起因する真空圧測定値の変化によってリークを検知す
ること、である。
手段は、（イ）被試験体１に粗引ポンプ２を接続したリ
ークラインにピラニー真空計３を接続し、（ロ）Ｈｅ４
に起因する真空圧測定値の変化によってリークを検知す
ること、である。
【０００７】この場合、ピラニー真空計３の測定値の変
化量によってリークの大きさを測定することができる。
化量によってリークの大きさを測定することができる。
【０００８】
【技術的手段の作用】真空中に張設した白金製フィラメ
ントに通電加熱すると、圧力変化に対応して気体分子が
フィラメントから熱を奪う量が変化する。ピラニー真空
計はこの原理を応用し、このフィラメントを定温度に保
つための電力をフィードバックする量で圧力を測定する
ようにしたものである。
ントに通電加熱すると、圧力変化に対応して気体分子が
フィラメントから熱を奪う量が変化する。ピラニー真空
計はこの原理を応用し、このフィラメントを定温度に保
つための電力をフィードバックする量で圧力を測定する
ようにしたものである。
【０００９】被試験体１と粗引ポンプ２とのリークライ
ンにピラニー真空計３を接続し、被試験体１にノズル５
等を使用してＨｅ４を供給してやると（図面参照）、リ
ークが存在する場合には、この真空計３内にＨｅ４が侵
入し、フィラメントから熱を奪う結果となる。そのた
め、フィラメントを定温度に保とうとして電力がフィー
ドバックされ、真空圧測定量に変化を生じさせることに
なる。
ンにピラニー真空計３を接続し、被試験体１にノズル５
等を使用してＨｅ４を供給してやると（図面参照）、リ
ークが存在する場合には、この真空計３内にＨｅ４が侵
入し、フィラメントから熱を奪う結果となる。そのた
め、フィラメントを定温度に保とうとして電力がフィー
ドバックされ、真空圧測定量に変化を生じさせることに
なる。
【００１０】従って、一旦真空値が安定したあと、Ｈｅ
４の供給によってその値が変化する場合には、その供給
箇所にリークが存在することを意味し、ピラニー真空計
３のみでリークを検知することができるのである。
４の供給によってその値が変化する場合には、その供給
箇所にリークが存在することを意味し、ピラニー真空計
３のみでリークを検知することができるのである。
【００１１】この真空圧の測定値の変化量の大きさは、
単位時間におけるＨｅ量に対応するため、測定値の変化
量をリークの大きさに対応させることができるのであ
る。この場合、キャピラリ等を利用した模擬リークによ
って測定値の変化量とリークの大きさの関係をモデル化
しておけば、リークの大きさの測定も容易となる。尚、
真空計の測定レンジをアンプ等を利用して増幅すること
で、測定値の変化量の把握が容易となり、比例計算等に
よってリークの大きさが求められる。
単位時間におけるＨｅ量に対応するため、測定値の変化
量をリークの大きさに対応させることができるのであ
る。この場合、キャピラリ等を利用した模擬リークによ
って測定値の変化量とリークの大きさの関係をモデル化
しておけば、リークの大きさの測定も容易となる。尚、
真空計の測定レンジをアンプ等を利用して増幅すること
で、測定値の変化量の把握が容易となり、比例計算等に
よってリークの大きさが求められる。
【００１２】
【本発明の効果】真空計のみでリークを検知することが
できる結果、極めて簡便にリークテストを行なえる利点
がある。また、真空圧測定値の変化量によってリークの
凡その大きさをも知ることができるため、測定値によっ
てはその段階で事後の検査を打ち切ることができ、検査
の合理化をも図れる利点もある。
できる結果、極めて簡便にリークテストを行なえる利点
がある。また、真空圧測定値の変化量によってリークの
凡その大きさをも知ることができるため、測定値によっ
てはその段階で事後の検査を打ち切ることができ、検査
の合理化をも図れる利点もある。
【図１】回路図
１ 被試験体、 ２ 粗引ポンプ、 ３ ピラニー真空
計、 ５ Ｈｅノズル
計、 ５ Ｈｅノズル
Claims (2)
- 【請求項１】 粗引ポンプで真空状態にした被試験体に
Ｈｅを供給してリークを検査する方法において、被試験
体に粗引ポンプを接続したリークラインにピラニー真空
計を接続し、Ｈｅに起因する真空圧測定値の変化によっ
てリークを検知する検査方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の方法において、ピラニ
ー真空計の測定値の変化量によってリークの大きさを測
定する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34253891A JPH05118949A (ja) | 1991-10-23 | 1991-10-23 | ヘリウムリーク検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34253891A JPH05118949A (ja) | 1991-10-23 | 1991-10-23 | ヘリウムリーク検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05118949A true JPH05118949A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=18354525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34253891A Pending JPH05118949A (ja) | 1991-10-23 | 1991-10-23 | ヘリウムリーク検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05118949A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2921488A1 (fr) * | 2007-09-26 | 2009-03-27 | Alcatel Lucent Sas | Dispositif et procede pour la detection de fuites a haute pression pr gaz traceur dans une piece a tester. |
| JP2016024011A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | 株式会社アルバック | 漏洩検知方法 |
-
1991
- 1991-10-23 JP JP34253891A patent/JPH05118949A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2921488A1 (fr) * | 2007-09-26 | 2009-03-27 | Alcatel Lucent Sas | Dispositif et procede pour la detection de fuites a haute pression pr gaz traceur dans une piece a tester. |
| JP2016024011A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | 株式会社アルバック | 漏洩検知方法 |
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