JPH11108792A - グロスリーク検査方法 - Google Patents

グロスリーク検査方法

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JPH11108792A
JPH11108792A JP28295997A JP28295997A JPH11108792A JP H11108792 A JPH11108792 A JP H11108792A JP 28295997 A JP28295997 A JP 28295997A JP 28295997 A JP28295997 A JP 28295997A JP H11108792 A JPH11108792 A JP H11108792A
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JP
Japan
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atmosphere
exposed
exposure
module
sealed
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Pending
Application number
JP28295997A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuya Kobayashi
哲也 小林
Tadashi Ono
位 小野
Original Assignee
Mitsumi Electric Co Ltd
ミツミ電機株式会社
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Publication date
Application filed by Mitsumi Electric Co Ltd, ミツミ電機株式会社 filed Critical Mitsumi Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、微小容量モジュールの封止雰囲気
の漏洩を確実且つ簡単に検査できるようにするグロスリ
ーク検査方法を提供する。 【解決手段】 圧電振動子を内蔵し、封止雰囲気を包蔵
して気密封止されたモジュール(2)を2種類の暴露雰
囲気に載置し、前記2種類の各暴露雰囲気における前記
モジュールの動作特性を直接測定して、前記封止雰囲気
の漏洩の有無を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ベアの圧電振動子
を内蔵し、気密封止された容積の微小なモジュールのグ
ロスリーク検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ベアの圧電振動子を内蔵し、溶接、溶着
等の封止手法で気密封止された容積の微小な(1cc以
下の)いわゆるCCモジュールのリーク検出法は、リー
ク(漏洩)量に応じて2つに大別される。即ち、(a)
10^−4atm.cc/sec以上の大きなグロスリ
ークを測定する場合は、バブルテスタかエアリークテス
タを使用する。(b)10^−4〜10^−9atm.
cc/secの小さなファインリークを測定する場合
は、Heリークテスタを使用する。
【0003】一般的に、リーク量の大きなグロスリーク
状態を確認するには、以下の2つの方法が使用される。
1つは、(1)バブルリークチェック法である。これ
は、図4に示すバブルテスタ10内でヒータ11により
120°C程度に加熱されたフロロカーボン媒体12中
に試料(CCモジュール)20を浸漬し、この試料20
の内圧上昇に伴う封止雰囲気ガス(N2、Ar等)の漏
洩を、媒体12中を通過する際の気泡13として確認す
る検査方法である。
【0004】他の1つは、(2)エアリークチェック法
である。これは、図5のように、同一容量の2つの試料
室30A,30Bにそれぞれ基準試料20Sと被検試料
20Tを載置し、これら2つの試料室30A,30Bに
導入管50を通して同一圧力、同一容量のドライエア
(乾燥空気)を導入した場合の、それぞれの圧力差を差
圧センサー40A,40Bによって検出して、リークの
有無を判定する方法である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記(1)のバブルリ
ークチェック法には、空隙容量が非常に小さい場合や、
余りに大きな封止不完全部がある状態では、気泡状態が
安定せず、検査ミスが多発する問題がある。前記(2)
のエアリークチェック法には、空隙容量が非常に小さい
場合や、余りに大きな封止不完全部がある状態では、圧
力差を正確に検出する事が難しい問題がある。また、こ
れらの測定方法は、間接検出法であるため、媒体や検知
器が必要不可欠である難点もある。これらが本発明で解
決しようとする課題である。
【0006】本発明は、微小容量モジュールの封止雰囲
気の漏洩を確実且つ簡単に検査できるようにするグロス
リーク検査方法を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、圧
電振動子を内蔵し、封止雰囲気を包蔵して気密封止され
たモジュールを2種類の暴露雰囲気に載置し、前記2種
類の各暴露雰囲気における前記モジュールの動作特性を
直接測定して、前記封止雰囲気の漏洩の有無を判定する
グロスリーク検査方法で実現できる。
【0008】本発明の実施形態では、一方の暴露雰囲気
が大気雰囲気であり、他方の暴露雰囲気が真空雰囲気で
あるか、あるいは一方の暴露雰囲気が真空雰囲気であ
り、他方の暴露雰囲気が加圧雰囲気である。また、前記
動作特性は、例えば前記圧電振動子の励振周波数特性で
ある。一般に、前記封止雰囲気は不活性ガス、より具体
的には、前記不活性ガスは窒素、またはアルゴンであ
る。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、図面に示した実施形態を参
照して、本発明を詳細に説明する。図1は、本発明の方
法を実施する測定装置の概略構成図である。図中、1は
試料チャンバであり、この中に検査される試料2が載置
される。チャンバ1の内部は、真空ポンプ3により一方
の暴露雰囲気である真空雰囲気(VAC)にされるか、
あるいは窒素供給源4により他方の暴露雰囲気である大
気、即ち近似的に窒素(N2)が充填される。試料2に
対しては予め外部の測定器5が接続されており、これに
より2種類の暴露雰囲気での動作特性がそれぞれ測定さ
れる。
【0010】試料2は、図2に断面を示すように、凹部
を有したベース21の内部に圧電振動子(水晶振動子)
22を中空状態で振動可能に配設し、内部にAr、N2
等の不活性ガスの封止雰囲気を封入して、カバー23を
かぶせてシーム溶接等で封止したCCモジュールであ
る。
【0011】この試料2の動作特性、例えば励振周波数
を、前記2つの暴露雰囲気中でそれぞれ測定器5で測定
する。図3は測定結果を示す特性図で、縦軸は周波数変
化Δf、横軸は2種類の暴露雰囲気VAC(真空)とA
TM(大気)である。特性線はA,Bの2種類あり、A
はリークのない(小さい)試料の場合、Bは10^−5
オーダーのリークがある試料の場合である。
【0012】図3に示されるように、リークの少ない試
料では、暴露雰囲気を切り換えても周波数変化は特性A
のように小さい。これに対し、リークの大きい試料で
は、暴露雰囲気を切り換えると特性Bのように大きく周
波数が変化する。従って、暴露雰囲気の切換えによっ
て、許容できる周波数変化の限界値を実験的に定め、こ
れより大きければ封止雰囲気が大きく漏洩した不良品、
小さければ漏洩の少ない良品であると判断することがで
きる。
【0013】実測によると、10^−1〜10^−7a
tm.cc/secの範囲の漏洩を検査することができ
ることが確認された。本発明の検査方法は、非破壊型で
あり、また短時間で完了できる。
【0014】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、微小
容量モジュールの封止雰囲気の漏洩を確実且つ簡単に検
査できるようにするグロスリーク検査方法を提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の方法を実施する測定装置の概略構成図
である。
【図2】測定対象とされる試料の断面図である。
【図3】本発明の方法による漏洩度検出図である。
【図4】従来のバブルリークチェック法の説明図であ
る。
【図5】従来のエアリークチェック法の説明図である。
【符号の説明】
1 試料チャンバ 2 試料 21 ベース 22 圧電振動子 23 カバー 3 真空ポンプ 4 窒素供給源 5 測定器

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電振動子を内蔵し、封止雰囲気を包蔵
    して気密封止されたモジュールを2種類の暴露雰囲気に
    載置し、 前記2種類の各暴露雰囲気における前記モジュールの動
    作特性を直接測定して、前記封止雰囲気の漏洩の有無を
    判定することを特徴とするグロスリーク検査方法。
  2. 【請求項2】 一方の暴露雰囲気が大気雰囲気であり、
    他方の暴露雰囲気が真空雰囲気であることを特徴とする
    請求項1のグロスリーク検査方法。
  3. 【請求項3】 一方の暴露雰囲気が真空雰囲気であり、
    他方の暴露雰囲気が加圧雰囲気であることを特徴とする
    請求項1のグロスリーク検査方法。
  4. 【請求項4】 前記動作特性が前記圧電振動子の励振周
    波数特性であることを特徴とする請求項1〜3のグロス
    リーク検査方法。
  5. 【請求項5】 前記封止雰囲気が不活性ガスであること
    を特徴とする請求項1のグロスリーク検査方法。
  6. 【請求項6】 前記不活性ガスが窒素、またはアルゴン
    であることを特徴とする請求項1のグロスリーク検査方
    法。
JP28295997A 1997-09-30 1997-09-30 グロスリーク検査方法 Pending JPH11108792A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008523597A (ja) * 2004-12-07 2008-07-03 フラウンホーファー・ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デア・アンゲヴァンテン・フォルシュング・エー・ファウ 真空カプセル化したデバイスのリークレート測定方法
JP2009071570A (ja) * 2007-09-13 2009-04-02 Epson Toyocom Corp 圧電振動子の気密検査装置及び気密検査方法
JP2009085678A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Akim Kk センサ用リーク検査装置およびセンサのリーク検査方法
JP2012257152A (ja) * 2011-06-10 2012-12-27 Daishinku Corp 圧電振動デバイスの製造装置

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