KR920016830A - 가스누출 검사장치 및 방법 - Google Patents

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KR920016830A
KR920016830A KR1019920001645A KR920001645A KR920016830A KR 920016830 A KR920016830 A KR 920016830A KR 1019920001645 A KR1019920001645 A KR 1019920001645A KR 920001645 A KR920001645 A KR 920001645A KR 920016830 A KR920016830 A KR 920016830A
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gas
inspection
probe
container
inspected object
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KR1019920001645A
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히로미츄 토다
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가와가미 히로시
야마하 가부시끼가이샤
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G—PHYSICS
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    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures

Abstract

내용 없음

Description

가스누출 검사장치 및 방법.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 본 발명의 제1실시예의 가스누출 검사장치의 모식도 이고, 제7도는 본 발명의 제2실시예의 가스누출 검사장치의 모식도이고, 제8도는 질소(N2)가스를 사용하여 가스치환한 헬륨(He)가스 누출속도의 변화를 나타낸 그래프이고, 제9도는 터어보 분자펌프식 헬륨(He)가스 누출 검사장치의 구조를 나타내는 모식도이다.

Claims (9)

  1. 피검사체를 기밀되게 격납하는 검사용기와, 상기 검사용기내를 배기시키는 검사용기 배기수단과, 상기 피검사체 내부로 탐침가스를 도입시키는 탐침가스 도입수단과, 상기 검사용기와 연결되어 상기 검사용기내의 탐침가스를 감지하는 탐침가스 감지수단과, 상기 검사용기에 치환가스를 공급하는 치환가스를 공급수단으로 이루어진가스누출 검사장치.
  2. 피검사체를 기밀되게 격납하는 검사용기와, 상기 검사용기내를 배기시키는 검사용기 배기수단과, 피검사체내를 배기시키는 피검사체 배기수단과, 상기 검사체 내부로 탐침가스를 도입시키는 탐침가스 도입수단과, 상기 검사용기와 연결되어 상기 검사용기내의 탐침가스를 감지하는 탐침가스 감지수단과, 상기 검사용기에 치환가스를 공급하는 치환가스 공급수단으로 이루어진 가스누출 검사장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 탐침가스로 헬륨가스를 사용하는 가스누출 검사장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 치환가스로 질소가스를 사용하는 가스누출 검사장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 탐침가스로 헬륨가스를 사용하는 가스누출 검사장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 탐침가스로 질소가스를 사용하는 가스누출 검사장치.
  7. 검사용기에 피검사체를 격납하는 단계와, 상기 검사용기의 공기를 치환가스로 치환하는 단계와, 백그라운드 치를 얻기위해, 상기 검사용기내의 탐침가스의 농도를 감지하는 단계와, 상기 피검사체내로 탐침가스를 도입하는 단계와, 상기 백그라운드치에 근거하여 상기 피검사체로 부터 탐침가스 누출여부를 판단하기 위해 상기 검사용기의 탐침가스의 농도를 감지하는 단계로 이루어진 가스노출 검사방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 백그라운드치를 위한 탐침가스의 농도 감지가 상기 검사용기를 배기시킨 후에 이루어지는 가스누출 검사방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 피검사체로의 탐침가스 도입이 상기 피검사체를 배기시킨 후에 이루어지는 가스누출 검사방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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