JP2003254855A - 漏洩検出装置 - Google Patents

漏洩検出装置

Info

Publication number
JP2003254855A
JP2003254855A JP2002057244A JP2002057244A JP2003254855A JP 2003254855 A JP2003254855 A JP 2003254855A JP 2002057244 A JP2002057244 A JP 2002057244A JP 2002057244 A JP2002057244 A JP 2002057244A JP 2003254855 A JP2003254855 A JP 2003254855A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
container
inspection
leakage
suction
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002057244A
Other languages
English (en)
Inventor
Toru Shimogaki
徹 霜垣
Kazuhisa Aoeda
一久 青枝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yutaka Giken Co Ltd
Original Assignee
Yutaka Giken Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yutaka Giken Co Ltd filed Critical Yutaka Giken Co Ltd
Priority to JP2002057244A priority Critical patent/JP2003254855A/ja
Publication of JP2003254855A publication Critical patent/JP2003254855A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】気密容器の漏洩検査にかかる時間を短縮するこ
と。 【解決手段】検査容器Aにおける漏洩の有無を検出する
漏洩検出装置において、検査容器A内の絶対圧力を測定
する測定手段5と、検査容器A内の圧力を下げる吸引手
段2と、検査容器Aと吸引手段2とを遮断する第1バル
ブ3と、吸引手段2により検査容器A内が真空にされ、
第1バルブ3により検査容器Aと吸引手段2とが遮断さ
れた後に、測定手段5で測定する絶対圧力の経時変化と
漏洩のないマスターについて予め測定した絶対圧力の経
時変化とを比較し、漏洩の有無を判断する比較判断手段
6と、を有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象の検査容
器内部の圧力を基に漏洩を検出する漏洩検出装置に関す
る。 【0002】 【従来の技術】従来、検査対象となる検査容器及び漏れ
のないことを予め確認した基準容器の2つの容器を用意
し、各容器に空気等の圧力媒体を供給して密閉した後、
各容器間の差圧を検出することにより、この差圧の大小
で前記検査容器の漏洩の有無を検出していた。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、各容器
に圧力媒体を導入し、各容器間の差圧測定にて漏洩検査
をする構成の場合、導入した圧力媒体の圧力変動が落ち
着くまでの時間(平衡時間という)が経過しないと、差
圧計による差圧測定が開始できない。 【0004】漏洩検査にかかる全体の時間は、平衡時間
と差圧測定による測定時間との和であるが、上記構成で
平衡時間を短縮することは困難であるため、漏洩検査に
かかる時間を短縮することが困難であった。 【0005】そこで本発明の目的は、気密容器の漏洩検
査にかかる時間を短縮することである。 【0006】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の、本発明の代表的な構成は、検査容器における漏洩の
有無を検出する漏洩検出装置において、前記検査容器内
の絶対圧力を測定する測定手段と、前記検査容器内の圧
力を下げる吸引手段と、前記検査容器と前記吸引手段と
を遮断する遮断手段と、前記吸引手段により前記検査容
器内が真空にされ、前記遮断手段により前記検査容器と
前記吸引手段とが遮断された後に、前記測定手段で測定
する絶対圧力の経時変化と漏洩のない基準容器について
予め測定した絶対圧力の経時変化とを比較し、漏洩の有
無を判断する比較判断手段と、を有することを特徴とす
る。 【0007】上記構成によれば、従来のような圧力媒体
を検査容器に導入するのではなく、検査容器から空気等
の媒体を吸引する構成のため、圧力媒体の圧力変動がな
く、平衡時間がなくなるため、平衡時間を待たずして検
査容器内の圧力測定を開始することができる。 【0008】 【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図面を用いて
詳細に説明する。図1は漏洩検出装置の概略説明図であ
り、図2は検査容器内の絶対圧力と経過時間との関係を
示す図である。 【0009】図1に示すように、本発明の漏洩検出装置
は容器取付部1a、1bを有し、検査対象となる検査容
器Aを取り付ける構成となっている。取付部1aには、
検査容器A内の空気等を吸引することで圧力を下げる真
空ポンプ等の吸引手段2が配設されており、取付部1b
には、検査容器A内の圧力を測定するための測定手段5
が配設されている。また、測定手段5には、測定手段5
による測定結果を比較し判断する比較判断手段6が配設
されている。 【0010】尚、測定手段5は検査容器A内の絶対圧力
を測定する絶対圧力計であり、差圧計の一方を取付部1
bに接続し、前記差圧計の他方を略真空にする吸引手段
2に接続して、検査容器A内部の圧力と真空との差圧を
測定する構成である。 【0011】検査容器Aの圧力を略真空に下げた時に検
査容器A内部と吸引手段2とを遮断するため、取付部1
aと吸引手段2との間に第1バルブ3(遮断手段)が配
設されており、また、測定時の測定手段5の差圧計の片
方を真空に封じるため、測定手段5と吸引手段2との間
に第2バルブ4(遮断手段)が配設されている。尚、吸
引手段2の動作や、バルブ3、4等の開閉等の制御は、
不図示の制御手段により行なう。 【0012】図1及び図2を用いて検査容器Aの漏洩有
無を検査方法を説明する。まず、検査容器Aを容器取付
部1a、1bに取付ける。次に、制御手段が第1バルブ
3及び第2バルブ4を開いて吸引手段2を作動させる。
すると、吸引手段2は検査容器A内部にある空気等を吸
引し、検査容器A内圧を下降させる。また、同時に、測
定手段5の差圧計の前記片方の圧力も同様に下降させ
る。 【0013】所定時間が経過して検査容器A内圧が略真
空になったとき、制御手段は第1バルブ3及び第2バル
ブ4を閉じる。こうして検査容器A内は略真空で密閉さ
れ、測定手段5の差圧計の片方は略真空に封じられる。 【0014】ここで、検査容器A内は密閉状態になるた
め、理論的には検査容器A内の圧力に経時的変化はない
はずであるが、実際には各手段の接続部等のシール材か
ら微小の空気等が入り込むこと等の要因によって、時間
の経過とともに検査容器Aの内圧は徐々に上昇していく
ことが確認されている。このため、本発明では予め漏れ
のないことが確認されており漏洩の基準となる基準容器
(マスター)を本装置に設置し、前述のようにマスター
を略真空で密閉した後、マスター内圧の経時変化のデー
タを予め取得しておく。そして、この経時変化のデータ
を基準として検査容器Aの漏洩検出を行なう。 【0015】具体的には、まず前述のように第1バルブ
3を閉じて検査容器A内を密閉した後、測定手段5によ
り所定時間経過ごとに検査容器A内圧を測定する。この
測定したデータを比較判断手段6に送り、図2に示すよ
うな横軸を時間(sec)、縦軸を絶対圧力(kPa)
とした変化量曲線を作成して、比較判断手段6に記憶さ
せる。所定の検査時間経過後、比較判断手段6は記憶し
た検査容器Aの変化量曲線と、予めマスターから得られ
た変化量曲線とを比較する。 【0016】ここで、検査容器Aに傷等の漏れる箇所が
ある場合、その箇所から空気等が流入して検査容器Aの
内圧を上昇させるため、検査容器Aの変化曲線はマスタ
ーの変化曲線と比較して単位時間あたりの圧力の上昇が
大きい傾向を示す(図2、漏れ有り品の変化曲線参
照)。一方、検査容器Aに漏れる箇所がない場合、検査
容器A内圧はマスターと同様に経時変化をするため、検
査容器Aの変化曲線はマスターの変化曲線と同様の傾向
の曲線となる(図2、漏れ無し品の変化曲線参照)。 【0017】尚、変化量曲線の比較をする際には、曲線
の傾向を比較するのみで足り、測定開始の絶対圧力まで
も完全に一致させる必要はない。漏れ有り品の変化量曲
線と漏れ無し品の変化量曲線とは傾向が大きく異なるた
め、検査容器Aの変化量曲線をマスターの変化量曲線と
完全に一致させなくとも漏れの有無は確認できるからで
ある。 【0018】こうして、制御手段は比較判断手段6によ
り前記所定の検査時間における検査容器Aの変化量曲線
とマスターの変化量曲線とを比較し、両曲線の傾向が同
様ならば検査容器Aを漏れ無し品と判断させ、両曲線の
傾向が異なるならば検査容器Aを漏れ有り品と判断さ
せ、漏洩検査を終了する。 【0019】以上のように、本発明は、圧力媒体を検査
容器Aに導入するのではなく、検査容器Aから空気等の
媒体を吸引する構成のため、検査容器A内部での圧力変
動がない。圧力媒体の変動が落ち着くまでの平衡時間が
なくなることで、測定手段5による検査を速やかに開始
することができ、漏洩検査にかかる時間を測定手段5に
よる測定時間のみにすることができる。 【0020】また、測定手段5による絶対圧力測定は、
検査精度を高くする場合には測定時間を長くし、検査精
度が低くてもよい場合には測定時間を短く設定するな
ど、検査精度に応じた測定時間を自由に設定することが
できる。このため、検査精度が低くてもよい場合には、
漏洩検査にかかる時間を大幅に短縮することができる。 【0021】また、検査容器Aに圧力媒体を導入するの
ではなく、検査容器Aから空気等の媒体を吸引し真空状
態にて絶対圧力を測定するため、検査容器Aの熱影響を
受けることなく測定することができ、安定した検査精度
を維持することが可能である。 【0022】更に、検査容器Aの変化量曲線とマスター
の変化量曲線との傾向のみを比較する構成であるため、
制御手段は吸引手段2等に対して複雑な制御をする必要
がなく、簡単で安価な構成とすることができる。 【0023】(他の実施形態)前述した実施形態におい
ては、測定手段5である絶対圧力計の片方を、検査容器
Aの内部の空気等を吸引する吸引手段2に接続したが、
これに限るものではなく、測定手段5のために独立した
吸引手段を使用して片方を略真空に封じてもよい。 【0024】また、前述した実施形態においては、比較
判断手段6により漏洩の有無を判断する構成としたが、
これに限るものではなく、比較判断手段6にモニターを
付帯して目視できる構成とし、目視により漏洩の有無を
判断する構成としてもよい。 【0025】 【発明の効果】以上のように本発明においては、比較判
断手段は、吸引手段により検査容器内が真空にされ、遮
断手段により前記検査容器と前記吸引手段とが遮断され
た後に、測定手段で測定する絶対圧力の経時変化と漏洩
のない基準容器について予め測定した絶対圧力の経時変
化とを比較し、漏洩の有無を判断するため、測定手段に
よる測定が速やかに開始することができるため、気密容
器の漏洩検査にかかる時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】 【図1】漏洩検出装置の概略説明図である。 【図2】検査容器内の絶対圧力と経過時間との関係を示
す図である。 【符号の説明】 A …検査容器 1a …容器取付部 1b …容器取付部 2 …吸引手段 3 …第1バルブ 4 …第2バルブ 5 …測定手段 6 …比較判断手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F055 AA39 BB01 CC60 DD20 EE40 FF49 GG49 HH19 2G067 AA44 BB02 BB03 BB04 BB22 CC04 DD02 EE01

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 検査容器における漏洩の有無を検出する
    漏洩検出装置において、 前記検査容器内の絶対圧力を測定する測定手段と、 前記検査容器内の圧力を下げる吸引手段と、 前記検査容器と前記吸引手段とを遮断する遮断手段と、 前記吸引手段により前記検査容器内が真空にされ、前記
    遮断手段により前記検査容器と前記吸引手段とが遮断さ
    れた後に、前記測定手段で測定する絶対圧力の経時変化
    と漏洩のない基準容器について予め測定した絶対圧力の
    経時変化とを比較し、漏洩の有無を判断する比較判断手
    段と、 を有することを特徴とする漏洩検出装置。
JP2002057244A 2002-03-04 2002-03-04 漏洩検出装置 Pending JP2003254855A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002057244A JP2003254855A (ja) 2002-03-04 2002-03-04 漏洩検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002057244A JP2003254855A (ja) 2002-03-04 2002-03-04 漏洩検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003254855A true JP2003254855A (ja) 2003-09-10

Family

ID=28667561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002057244A Pending JP2003254855A (ja) 2002-03-04 2002-03-04 漏洩検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003254855A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012255687A (ja) * 2011-06-08 2012-12-27 Fukuda:Kk 圧力洩れ測定方法
JP2013204057A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Ebara Corp めっき方法及びめっき装置
JP2016135923A (ja) * 2014-12-24 2016-07-28 株式会社荏原製作所 めっき装置
JP2017110303A (ja) * 2016-02-25 2017-06-22 株式会社荏原製作所 めっき装置に使用される基板ホルダの漏れ検査方法
JP2020105616A (ja) * 2018-12-28 2020-07-09 株式会社荏原製作所 漏れ検査方法、漏れ検査装置、めっき方法、およびめっき装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012255687A (ja) * 2011-06-08 2012-12-27 Fukuda:Kk 圧力洩れ測定方法
JP2013204057A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Ebara Corp めっき方法及びめっき装置
JP2015063761A (ja) * 2012-03-27 2015-04-09 株式会社荏原製作所 めっき方法及びめっき装置
US9340891B2 (en) 2012-03-27 2016-05-17 Ebara Corporation Plating method and plating apparatus
US9611563B2 (en) 2012-03-27 2017-04-04 Ebara Corporation Plating method and plating apparatus
US10309030B2 (en) 2012-03-27 2019-06-04 Ebara Corporation Plating method and plating apparatus
US10641677B2 (en) 2012-03-27 2020-05-05 Ebara Corporation Plating method and plating apparatus
JP2016135923A (ja) * 2014-12-24 2016-07-28 株式会社荏原製作所 めっき装置
JP2017110303A (ja) * 2016-02-25 2017-06-22 株式会社荏原製作所 めっき装置に使用される基板ホルダの漏れ検査方法
JP2020105616A (ja) * 2018-12-28 2020-07-09 株式会社荏原製作所 漏れ検査方法、漏れ検査装置、めっき方法、およびめっき装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100309361B1 (ko) 누설검출방법및장치
CN103998910A (zh) 用于在非刚性待测样本上进行泄漏检测的方法
KR101131948B1 (ko) 압력평형을 이용한 기밀검사장치 및 방법
US5600996A (en) Method and apparatus for testing the tightness of housings
JPH1194687A (ja) ガスリーク検査方法と装置及び記録媒体
JP2003254855A (ja) 漏洩検出装置
JP5049199B2 (ja) 外圧検出型漏れ検査装置及びそれを使った漏れ検査方法
KR100832345B1 (ko) 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치
JPH10185749A (ja) リーク検査方法及びその装置
JP5806462B2 (ja) 洩れ検査装置及び方法
JP4061779B2 (ja) 漏れ量計測装置、および漏れ検査装置
JP2009198431A (ja) 漏れ検査装置および漏れ検査方法
KR101061938B1 (ko) 연료탱크의 누유 검사 시스템
JP2005315784A (ja) リーク検出方法及びその検出装置
JP3062530B2 (ja) 漏れ検出方法及び漏れ検出装置
JP2000283879A (ja) 電子機器の防水検査装置
JP3383633B2 (ja) リーク検査装置
JP2004085254A (ja) 洩れ検査方法及び装置
KR20060010305A (ko) 가스누설검출장치를 갖는 반도체 제조설비
JP2002280277A (ja) 陰圧式グローブ気密性検査装置及びその検査方法
KR101401495B1 (ko) 특수 가스 누설 확인을 위한 고진공 시스템
JP2650475B2 (ja) 気密試験装置
JP3186644B2 (ja) 気体漏洩検査方法
JP3065777U (ja) 漏れ検査装置
JP3024456B2 (ja) 中空容器の気密性検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050216

A977 Report on retrieval

Effective date: 20060804

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060822

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20061219