JP2003254855A - 漏洩検出装置 - Google Patents
漏洩検出装置Info
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- JP2003254855A JP2003254855A JP2002057244A JP2002057244A JP2003254855A JP 2003254855 A JP2003254855 A JP 2003254855A JP 2002057244 A JP2002057244 A JP 2002057244A JP 2002057244 A JP2002057244 A JP 2002057244A JP 2003254855 A JP2003254855 A JP 2003254855A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】気密容器の漏洩検査にかかる時間を短縮するこ
と。 【解決手段】検査容器Ａにおける漏洩の有無を検出する
漏洩検出装置において、検査容器Ａ内の絶対圧力を測定
する測定手段５と、検査容器Ａ内の圧力を下げる吸引手
段２と、検査容器Ａと吸引手段２とを遮断する第１バル
ブ３と、吸引手段２により検査容器Ａ内が真空にされ、
第１バルブ３により検査容器Ａと吸引手段２とが遮断さ
れた後に、測定手段５で測定する絶対圧力の経時変化と
漏洩のないマスターについて予め測定した絶対圧力の経
時変化とを比較し、漏洩の有無を判断する比較判断手段
６と、を有することを特徴とする。
と。 【解決手段】検査容器Ａにおける漏洩の有無を検出する
漏洩検出装置において、検査容器Ａ内の絶対圧力を測定
する測定手段５と、検査容器Ａ内の圧力を下げる吸引手
段２と、検査容器Ａと吸引手段２とを遮断する第１バル
ブ３と、吸引手段２により検査容器Ａ内が真空にされ、
第１バルブ３により検査容器Ａと吸引手段２とが遮断さ
れた後に、測定手段５で測定する絶対圧力の経時変化と
漏洩のないマスターについて予め測定した絶対圧力の経
時変化とを比較し、漏洩の有無を判断する比較判断手段
６と、を有することを特徴とする。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象の検査容
器内部の圧力を基に漏洩を検出する漏洩検出装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】従来、検査対象となる検査容器及び漏れ
のないことを予め確認した基準容器の２つの容器を用意
し、各容器に空気等の圧力媒体を供給して密閉した後、
各容器間の差圧を検出することにより、この差圧の大小
で前記検査容器の漏洩の有無を検出していた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、各容器
に圧力媒体を導入し、各容器間の差圧測定にて漏洩検査
をする構成の場合、導入した圧力媒体の圧力変動が落ち
着くまでの時間（平衡時間という）が経過しないと、差
圧計による差圧測定が開始できない。 【０００４】漏洩検査にかかる全体の時間は、平衡時間
と差圧測定による測定時間との和であるが、上記構成で
平衡時間を短縮することは困難であるため、漏洩検査に
かかる時間を短縮することが困難であった。 【０００５】そこで本発明の目的は、気密容器の漏洩検
査にかかる時間を短縮することである。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の、本発明の代表的な構成は、検査容器における漏洩の
有無を検出する漏洩検出装置において、前記検査容器内
の絶対圧力を測定する測定手段と、前記検査容器内の圧
力を下げる吸引手段と、前記検査容器と前記吸引手段と
を遮断する遮断手段と、前記吸引手段により前記検査容
器内が真空にされ、前記遮断手段により前記検査容器と
前記吸引手段とが遮断された後に、前記測定手段で測定
する絶対圧力の経時変化と漏洩のない基準容器について
予め測定した絶対圧力の経時変化とを比較し、漏洩の有
無を判断する比較判断手段と、を有することを特徴とす
る。 【０００７】上記構成によれば、従来のような圧力媒体
を検査容器に導入するのではなく、検査容器から空気等
の媒体を吸引する構成のため、圧力媒体の圧力変動がな
く、平衡時間がなくなるため、平衡時間を待たずして検
査容器内の圧力測定を開始することができる。 【０００８】 【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図面を用いて
詳細に説明する。図１は漏洩検出装置の概略説明図であ
り、図２は検査容器内の絶対圧力と経過時間との関係を
示す図である。 【０００９】図１に示すように、本発明の漏洩検出装置
は容器取付部１ａ、１ｂを有し、検査対象となる検査容
器Ａを取り付ける構成となっている。取付部１ａには、
検査容器Ａ内の空気等を吸引することで圧力を下げる真
空ポンプ等の吸引手段２が配設されており、取付部１ｂ
には、検査容器Ａ内の圧力を測定するための測定手段５
が配設されている。また、測定手段５には、測定手段５
による測定結果を比較し判断する比較判断手段６が配設
されている。 【００１０】尚、測定手段５は検査容器Ａ内の絶対圧力
を測定する絶対圧力計であり、差圧計の一方を取付部１
ｂに接続し、前記差圧計の他方を略真空にする吸引手段
２に接続して、検査容器Ａ内部の圧力と真空との差圧を
測定する構成である。 【００１１】検査容器Ａの圧力を略真空に下げた時に検
査容器Ａ内部と吸引手段２とを遮断するため、取付部１
ａと吸引手段２との間に第１バルブ３（遮断手段）が配
設されており、また、測定時の測定手段５の差圧計の片
方を真空に封じるため、測定手段５と吸引手段２との間
に第２バルブ４（遮断手段）が配設されている。尚、吸
引手段２の動作や、バルブ３、４等の開閉等の制御は、
不図示の制御手段により行なう。 【００１２】図１及び図２を用いて検査容器Ａの漏洩有
無を検査方法を説明する。まず、検査容器Ａを容器取付
部１ａ、１ｂに取付ける。次に、制御手段が第１バルブ
３及び第２バルブ４を開いて吸引手段２を作動させる。
すると、吸引手段２は検査容器Ａ内部にある空気等を吸
引し、検査容器Ａ内圧を下降させる。また、同時に、測
定手段５の差圧計の前記片方の圧力も同様に下降させ
る。 【００１３】所定時間が経過して検査容器Ａ内圧が略真
空になったとき、制御手段は第１バルブ３及び第２バル
ブ４を閉じる。こうして検査容器Ａ内は略真空で密閉さ
れ、測定手段５の差圧計の片方は略真空に封じられる。 【００１４】ここで、検査容器Ａ内は密閉状態になるた
め、理論的には検査容器Ａ内の圧力に経時的変化はない
はずであるが、実際には各手段の接続部等のシール材か
ら微小の空気等が入り込むこと等の要因によって、時間
の経過とともに検査容器Ａの内圧は徐々に上昇していく
ことが確認されている。このため、本発明では予め漏れ
のないことが確認されており漏洩の基準となる基準容器
（マスター）を本装置に設置し、前述のようにマスター
を略真空で密閉した後、マスター内圧の経時変化のデー
タを予め取得しておく。そして、この経時変化のデータ
を基準として検査容器Ａの漏洩検出を行なう。 【００１５】具体的には、まず前述のように第１バルブ
３を閉じて検査容器Ａ内を密閉した後、測定手段５によ
り所定時間経過ごとに検査容器Ａ内圧を測定する。この
測定したデータを比較判断手段６に送り、図２に示すよ
うな横軸を時間（ｓｅｃ）、縦軸を絶対圧力（ｋＰａ）
とした変化量曲線を作成して、比較判断手段６に記憶さ
せる。所定の検査時間経過後、比較判断手段６は記憶し
た検査容器Ａの変化量曲線と、予めマスターから得られ
た変化量曲線とを比較する。 【００１６】ここで、検査容器Ａに傷等の漏れる箇所が
ある場合、その箇所から空気等が流入して検査容器Ａの
内圧を上昇させるため、検査容器Ａの変化曲線はマスタ
ーの変化曲線と比較して単位時間あたりの圧力の上昇が
大きい傾向を示す（図２、漏れ有り品の変化曲線参
照）。一方、検査容器Ａに漏れる箇所がない場合、検査
容器Ａ内圧はマスターと同様に経時変化をするため、検
査容器Ａの変化曲線はマスターの変化曲線と同様の傾向
の曲線となる（図２、漏れ無し品の変化曲線参照）。 【００１７】尚、変化量曲線の比較をする際には、曲線
の傾向を比較するのみで足り、測定開始の絶対圧力まで
も完全に一致させる必要はない。漏れ有り品の変化量曲
線と漏れ無し品の変化量曲線とは傾向が大きく異なるた
め、検査容器Ａの変化量曲線をマスターの変化量曲線と
完全に一致させなくとも漏れの有無は確認できるからで
ある。 【００１８】こうして、制御手段は比較判断手段６によ
り前記所定の検査時間における検査容器Ａの変化量曲線
とマスターの変化量曲線とを比較し、両曲線の傾向が同
様ならば検査容器Ａを漏れ無し品と判断させ、両曲線の
傾向が異なるならば検査容器Ａを漏れ有り品と判断さ
せ、漏洩検査を終了する。 【００１９】以上のように、本発明は、圧力媒体を検査
容器Ａに導入するのではなく、検査容器Ａから空気等の
媒体を吸引する構成のため、検査容器Ａ内部での圧力変
動がない。圧力媒体の変動が落ち着くまでの平衡時間が
なくなることで、測定手段５による検査を速やかに開始
することができ、漏洩検査にかかる時間を測定手段５に
よる測定時間のみにすることができる。 【００２０】また、測定手段５による絶対圧力測定は、
検査精度を高くする場合には測定時間を長くし、検査精
度が低くてもよい場合には測定時間を短く設定するな
ど、検査精度に応じた測定時間を自由に設定することが
できる。このため、検査精度が低くてもよい場合には、
漏洩検査にかかる時間を大幅に短縮することができる。 【００２１】また、検査容器Ａに圧力媒体を導入するの
ではなく、検査容器Ａから空気等の媒体を吸引し真空状
態にて絶対圧力を測定するため、検査容器Ａの熱影響を
受けることなく測定することができ、安定した検査精度
を維持することが可能である。 【００２２】更に、検査容器Ａの変化量曲線とマスター
の変化量曲線との傾向のみを比較する構成であるため、
制御手段は吸引手段２等に対して複雑な制御をする必要
がなく、簡単で安価な構成とすることができる。 【００２３】（他の実施形態）前述した実施形態におい
ては、測定手段５である絶対圧力計の片方を、検査容器
Ａの内部の空気等を吸引する吸引手段２に接続したが、
これに限るものではなく、測定手段５のために独立した
吸引手段を使用して片方を略真空に封じてもよい。 【００２４】また、前述した実施形態においては、比較
判断手段６により漏洩の有無を判断する構成としたが、
これに限るものではなく、比較判断手段６にモニターを
付帯して目視できる構成とし、目視により漏洩の有無を
判断する構成としてもよい。 【００２５】 【発明の効果】以上のように本発明においては、比較判
断手段は、吸引手段により検査容器内が真空にされ、遮
断手段により前記検査容器と前記吸引手段とが遮断され
た後に、測定手段で測定する絶対圧力の経時変化と漏洩
のない基準容器について予め測定した絶対圧力の経時変
化とを比較し、漏洩の有無を判断するため、測定手段に
よる測定が速やかに開始することができるため、気密容
器の漏洩検査にかかる時間を短縮することができる。
器内部の圧力を基に漏洩を検出する漏洩検出装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】従来、検査対象となる検査容器及び漏れ
のないことを予め確認した基準容器の２つの容器を用意
し、各容器に空気等の圧力媒体を供給して密閉した後、
各容器間の差圧を検出することにより、この差圧の大小
で前記検査容器の漏洩の有無を検出していた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、各容器
に圧力媒体を導入し、各容器間の差圧測定にて漏洩検査
をする構成の場合、導入した圧力媒体の圧力変動が落ち
着くまでの時間（平衡時間という）が経過しないと、差
圧計による差圧測定が開始できない。 【０００４】漏洩検査にかかる全体の時間は、平衡時間
と差圧測定による測定時間との和であるが、上記構成で
平衡時間を短縮することは困難であるため、漏洩検査に
かかる時間を短縮することが困難であった。 【０００５】そこで本発明の目的は、気密容器の漏洩検
査にかかる時間を短縮することである。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の、本発明の代表的な構成は、検査容器における漏洩の
有無を検出する漏洩検出装置において、前記検査容器内
の絶対圧力を測定する測定手段と、前記検査容器内の圧
力を下げる吸引手段と、前記検査容器と前記吸引手段と
を遮断する遮断手段と、前記吸引手段により前記検査容
器内が真空にされ、前記遮断手段により前記検査容器と
前記吸引手段とが遮断された後に、前記測定手段で測定
する絶対圧力の経時変化と漏洩のない基準容器について
予め測定した絶対圧力の経時変化とを比較し、漏洩の有
無を判断する比較判断手段と、を有することを特徴とす
る。 【０００７】上記構成によれば、従来のような圧力媒体
を検査容器に導入するのではなく、検査容器から空気等
の媒体を吸引する構成のため、圧力媒体の圧力変動がな
く、平衡時間がなくなるため、平衡時間を待たずして検
査容器内の圧力測定を開始することができる。 【０００８】 【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図面を用いて
詳細に説明する。図１は漏洩検出装置の概略説明図であ
り、図２は検査容器内の絶対圧力と経過時間との関係を
示す図である。 【０００９】図１に示すように、本発明の漏洩検出装置
は容器取付部１ａ、１ｂを有し、検査対象となる検査容
器Ａを取り付ける構成となっている。取付部１ａには、
検査容器Ａ内の空気等を吸引することで圧力を下げる真
空ポンプ等の吸引手段２が配設されており、取付部１ｂ
には、検査容器Ａ内の圧力を測定するための測定手段５
が配設されている。また、測定手段５には、測定手段５
による測定結果を比較し判断する比較判断手段６が配設
されている。 【００１０】尚、測定手段５は検査容器Ａ内の絶対圧力
を測定する絶対圧力計であり、差圧計の一方を取付部１
ｂに接続し、前記差圧計の他方を略真空にする吸引手段
２に接続して、検査容器Ａ内部の圧力と真空との差圧を
測定する構成である。 【００１１】検査容器Ａの圧力を略真空に下げた時に検
査容器Ａ内部と吸引手段２とを遮断するため、取付部１
ａと吸引手段２との間に第１バルブ３（遮断手段）が配
設されており、また、測定時の測定手段５の差圧計の片
方を真空に封じるため、測定手段５と吸引手段２との間
に第２バルブ４（遮断手段）が配設されている。尚、吸
引手段２の動作や、バルブ３、４等の開閉等の制御は、
不図示の制御手段により行なう。 【００１２】図１及び図２を用いて検査容器Ａの漏洩有
無を検査方法を説明する。まず、検査容器Ａを容器取付
部１ａ、１ｂに取付ける。次に、制御手段が第１バルブ
３及び第２バルブ４を開いて吸引手段２を作動させる。
すると、吸引手段２は検査容器Ａ内部にある空気等を吸
引し、検査容器Ａ内圧を下降させる。また、同時に、測
定手段５の差圧計の前記片方の圧力も同様に下降させ
る。 【００１３】所定時間が経過して検査容器Ａ内圧が略真
空になったとき、制御手段は第１バルブ３及び第２バル
ブ４を閉じる。こうして検査容器Ａ内は略真空で密閉さ
れ、測定手段５の差圧計の片方は略真空に封じられる。 【００１４】ここで、検査容器Ａ内は密閉状態になるた
め、理論的には検査容器Ａ内の圧力に経時的変化はない
はずであるが、実際には各手段の接続部等のシール材か
ら微小の空気等が入り込むこと等の要因によって、時間
の経過とともに検査容器Ａの内圧は徐々に上昇していく
ことが確認されている。このため、本発明では予め漏れ
のないことが確認されており漏洩の基準となる基準容器
（マスター）を本装置に設置し、前述のようにマスター
を略真空で密閉した後、マスター内圧の経時変化のデー
タを予め取得しておく。そして、この経時変化のデータ
を基準として検査容器Ａの漏洩検出を行なう。 【００１５】具体的には、まず前述のように第１バルブ
３を閉じて検査容器Ａ内を密閉した後、測定手段５によ
り所定時間経過ごとに検査容器Ａ内圧を測定する。この
測定したデータを比較判断手段６に送り、図２に示すよ
うな横軸を時間（ｓｅｃ）、縦軸を絶対圧力（ｋＰａ）
とした変化量曲線を作成して、比較判断手段６に記憶さ
せる。所定の検査時間経過後、比較判断手段６は記憶し
た検査容器Ａの変化量曲線と、予めマスターから得られ
た変化量曲線とを比較する。 【００１６】ここで、検査容器Ａに傷等の漏れる箇所が
ある場合、その箇所から空気等が流入して検査容器Ａの
内圧を上昇させるため、検査容器Ａの変化曲線はマスタ
ーの変化曲線と比較して単位時間あたりの圧力の上昇が
大きい傾向を示す（図２、漏れ有り品の変化曲線参
照）。一方、検査容器Ａに漏れる箇所がない場合、検査
容器Ａ内圧はマスターと同様に経時変化をするため、検
査容器Ａの変化曲線はマスターの変化曲線と同様の傾向
の曲線となる（図２、漏れ無し品の変化曲線参照）。 【００１７】尚、変化量曲線の比較をする際には、曲線
の傾向を比較するのみで足り、測定開始の絶対圧力まで
も完全に一致させる必要はない。漏れ有り品の変化量曲
線と漏れ無し品の変化量曲線とは傾向が大きく異なるた
め、検査容器Ａの変化量曲線をマスターの変化量曲線と
完全に一致させなくとも漏れの有無は確認できるからで
ある。 【００１８】こうして、制御手段は比較判断手段６によ
り前記所定の検査時間における検査容器Ａの変化量曲線
とマスターの変化量曲線とを比較し、両曲線の傾向が同
様ならば検査容器Ａを漏れ無し品と判断させ、両曲線の
傾向が異なるならば検査容器Ａを漏れ有り品と判断さ
せ、漏洩検査を終了する。 【００１９】以上のように、本発明は、圧力媒体を検査
容器Ａに導入するのではなく、検査容器Ａから空気等の
媒体を吸引する構成のため、検査容器Ａ内部での圧力変
動がない。圧力媒体の変動が落ち着くまでの平衡時間が
なくなることで、測定手段５による検査を速やかに開始
することができ、漏洩検査にかかる時間を測定手段５に
よる測定時間のみにすることができる。 【００２０】また、測定手段５による絶対圧力測定は、
検査精度を高くする場合には測定時間を長くし、検査精
度が低くてもよい場合には測定時間を短く設定するな
ど、検査精度に応じた測定時間を自由に設定することが
できる。このため、検査精度が低くてもよい場合には、
漏洩検査にかかる時間を大幅に短縮することができる。 【００２１】また、検査容器Ａに圧力媒体を導入するの
ではなく、検査容器Ａから空気等の媒体を吸引し真空状
態にて絶対圧力を測定するため、検査容器Ａの熱影響を
受けることなく測定することができ、安定した検査精度
を維持することが可能である。 【００２２】更に、検査容器Ａの変化量曲線とマスター
の変化量曲線との傾向のみを比較する構成であるため、
制御手段は吸引手段２等に対して複雑な制御をする必要
がなく、簡単で安価な構成とすることができる。 【００２３】（他の実施形態）前述した実施形態におい
ては、測定手段５である絶対圧力計の片方を、検査容器
Ａの内部の空気等を吸引する吸引手段２に接続したが、
これに限るものではなく、測定手段５のために独立した
吸引手段を使用して片方を略真空に封じてもよい。 【００２４】また、前述した実施形態においては、比較
判断手段６により漏洩の有無を判断する構成としたが、
これに限るものではなく、比較判断手段６にモニターを
付帯して目視できる構成とし、目視により漏洩の有無を
判断する構成としてもよい。 【００２５】 【発明の効果】以上のように本発明においては、比較判
断手段は、吸引手段により検査容器内が真空にされ、遮
断手段により前記検査容器と前記吸引手段とが遮断され
た後に、測定手段で測定する絶対圧力の経時変化と漏洩
のない基準容器について予め測定した絶対圧力の経時変
化とを比較し、漏洩の有無を判断するため、測定手段に
よる測定が速やかに開始することができるため、気密容
器の漏洩検査にかかる時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】漏洩検出装置の概略説明図である。
【図２】検査容器内の絶対圧力と経過時間との関係を示
す図である。 【符号の説明】 Ａ …検査容器 １ａ …容器取付部 １ｂ …容器取付部 ２ …吸引手段 ３ …第１バルブ ４ …第２バルブ ５ …測定手段 ６ …比較判断手段
す図である。 【符号の説明】 Ａ …検査容器 １ａ …容器取付部 １ｂ …容器取付部 ２ …吸引手段 ３ …第１バルブ ４ …第２バルブ ５ …測定手段 ６ …比較判断手段
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フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2F055 AA39 BB01 CC60 DD20 EE40
FF49 GG49 HH19
2G067 AA44 BB02 BB03 BB04 BB22
CC04 DD02 EE01
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 検査容器における漏洩の有無を検出する
漏洩検出装置において、 前記検査容器内の絶対圧力を測定する測定手段と、 前記検査容器内の圧力を下げる吸引手段と、 前記検査容器と前記吸引手段とを遮断する遮断手段と、 前記吸引手段により前記検査容器内が真空にされ、前記
遮断手段により前記検査容器と前記吸引手段とが遮断さ
れた後に、前記測定手段で測定する絶対圧力の経時変化
と漏洩のない基準容器について予め測定した絶対圧力の
経時変化とを比較し、漏洩の有無を判断する比較判断手
段と、 を有することを特徴とする漏洩検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002057244A JP2003254855A (ja) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | 漏洩検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002057244A JP2003254855A (ja) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | 漏洩検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003254855A true JP2003254855A (ja) | 2003-09-10 |
Family
ID=28667561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002057244A Pending JP2003254855A (ja) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | 漏洩検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003254855A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012255687A (ja) * | 2011-06-08 | 2012-12-27 | Fukuda:Kk | 圧力洩れ測定方法 |
| JP2013204057A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Ebara Corp | めっき方法及びめっき装置 |
| JP2016135923A (ja) * | 2014-12-24 | 2016-07-28 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置 |
| JP2017110303A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-06-22 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置に使用される基板ホルダの漏れ検査方法 |
| JP2020105616A (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 株式会社荏原製作所 | 漏れ検査方法、漏れ検査装置、めっき方法、およびめっき装置 |
-
2002
- 2002-03-04 JP JP2002057244A patent/JP2003254855A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012255687A (ja) * | 2011-06-08 | 2012-12-27 | Fukuda:Kk | 圧力洩れ測定方法 |
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| US9340891B2 (en) | 2012-03-27 | 2016-05-17 | Ebara Corporation | Plating method and plating apparatus |
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