DE102008037058A1

DE102008037058A1 - Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage sowie eine Vakuumanlage

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Publication number: DE102008037058A1
Application number: DE102008037058A
Authority: DE
Inventors: Thomas Palten; Gerhard Wilhelm Walter; Damian Ehrensperger
Original assignee: Oerlikon Trading AG Truebbach; Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Current assignee: Oerlikon Surface Solutions AG Pfaeffikon; Leybold GmbH
Priority date: 2008-08-08
Filing date: 2008-08-08
Publication date: 2010-02-11
Also published as: KR20110038736A; RU2011108222A; EP2310823A1; US20110197659A1; TW201011272A; WO2010015663A1; CN102105770A; JP2011530693A

Abstract

Ein Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage kann kontinuierlich oder zyklisch durchgeführt werden. Die Vakuumanlage weist zumindest eine Prozesskammer (10) und eine mit der Prozesskammer (10) verbundene Pumpeinrichtung (16) auf. Bei einem erfindungsgemäßen zyklischen Bestimmungsverfahren erfolgen die folgenden Schritte: - Unterbinden einer Prozessgas-Zufuhr zu der Prozesskammer (10), - Zufuhr eines Trägergases in die Prozesskammer (10), - Fördern des Trägergases und eines Leckagegases mittels der Pumpeinrichtung (16), - Messen eines Gehalts einer Gaskomponente des gepumpten Gases, und - Bestimmen der Gesamt-Leckrate der Vakuumanlage auf Basis des gemessenen Gehalts der Gaskomponente.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage sowie eine Vakuumanlage, bei der das Verfahren durchführbar ist.
Zur Überprüfung der Dichtigkeit einzelner Vorrichtungen sind Dichtigkeits-Prüfverfahren mittels Helium-Lecksuche bekannt. Hierbei wird das zu prüfende Gerät beispielsweise mit einer Helium-Hülle umgeben bzw. in einem mit Helium gefüllten Raum angeordnet. Ferner ist es bekannt, Teile einer zu prüfenden Vorrichtung mit Helium zu besprühen, um eine lokale Prüfung durchzuführen. Es erfolgt sodann ein Betreiben der Vakuumpumpe des zu untersuchenden Geräts bzw. ein Anschließen einer Vakuumpumpe an das Gerät. Anschließend erfolgt ein Messen des von der Pumpe geförderten Heliums. Hieraus kann eine integrale Leckrate des Geräts bestimmt werden. Es handelt sich hierbei um Verfahren, die zwar eine sehr genaue Bestimmung der Leckrate zulassen, jedoch nur für einzelne kleinere Geräte bzw. Vorrichtungen wirtschaftlich durchführbar sind. Die Untersuchung einer gesamten Vakuumanlage ist mit derartigen Verfahren nur bedingt durchführbar. Hierbei ist zu berücksichtigen, dass Vakuumanlagen eine Vielzahl einzelner Geräte und Vorrichtungen umfassen, wobei eine gesamte Vakuumanlage teilweise mehr als fünfzig, ggf. sogar mehr als einhundert Einzelgeräte/Komponenten umfassen kann. Des Weiteren weisen Vakuumanlagen häufig große Prozesskammern auf, die beispielsweise ein Volumen von mehr als 10 m³, insbesondere mehr als 20 m³ aufweisen. Es ist wirtschaftlich nicht zweckmäßig, die gesamten Vakuumanlagen mit einer Helium-Hülle zu umhüllen, um sodann das von einer Pumpeinrichtung gepumpte Helium detektieren zu können.
Zur Überprüfung der Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage ist es ferner möglich, Unterdruck in der Prozesskammer zu erzeugen und sämtliche mit der Prozesskammer verbundenen Zuleitungen zu schließen. Es wird sodann der Druckanstieg in der Prozesskammer über die Zeit gemessen. Auf Grund des Druckanstiegs und bekanntem Volumen kann auf eine Leckrate geschlossen werden. Bei diesem Verfahren werden nur die Komponenten oberhalb der Vakuumpumpen geprüft. Vakuumpumpen und Abgasleitungen sind mit diesem Verfahren nur schwierig zu testen, vor allem, wenn die Volumina groß sind oder unterschiedliche Verunreinigungsgrade zu erwarten sind.
Sofern die Prozessgase brennbar oder explosiv sind bzw. es sich um entsprechende Gasgemische handelt, ist eine exakte Bestimmung des Sauerstoffgehalts jedoch erforderlich, um Explosions- bzw. Entflammgrenzen des zu fördernden Mediums bestimmen zu können. Es handelt sich hierbei um eine sicherheitsrelevante Überprüfung, bei der eine entsprechend Genauigkeit erforderlich ist.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckage einer Vakuumanlage zu schaffen, mit dem auf einfache und insbesondere kostengünstige Weise eine Gesamt-Leckage bestimmt werden kann. Insbesondere dient das Verfahren zur Einhaltung von Explosions- bzw. Flammgrenzen des zu fördernden Mediums bzw. Prozessgases. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Vakuumanlage zu schaffen, bei welcher das erfindungsgemäße Verfahren durchführbar ist.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 bzw. 9 sowie durch eine Vakuumanlage gemäß Anspruch 15.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage kann erfindungsgemäß bei insbesondere großvolumigen und/oder eine Vielzahl von Einzelvorrichtungen bzw. -Geräten aufweisenden Vakuumanlagen eingesetzt werden. Hierbei handelt es sich insbesondere um Vakuumanlagen mit einer Prozesskammer mit mehreren m³ Volumen, insbesondere mehr als 10 m³ oder gar mehr als 20 m³ Volumen. Besonders geeignet ist das erfindungsgemäße Verfahren ferner bei Anlagen mit einer Vielzahl von einzelnen Apparaten bzw. Geräten oder Vorrichtungen, deren Anzahl größer als fünfzig, insbesondere größer als einhundert sein kann. Mit der Prozesskammer ist eine mindestens eine, üblicherweise mehrere Vakuumpumpen aufweisende Pumpeinrichtung verbunden. Die Vakuumanlage kann aus mehreren Prozesskammern bestehen und ggf. mehrere Pumpsysteme aufweisen.
Der Pumpeinrichtung in Strömungsrichtung nachgeschaltet kann ein Abgasreinigungssystem vorgesehen sein. Durch das Abgasreinigungssystem erfolgt die Reinigung von Prozessgasen. Die erfindungsgemäß ausgebildete Vakuumanlage weist ferner eine Sensoreinrichtung, wie einen Sauerstoffsensor auf. Dieser ist in Strömungsrichtung der Pumpeinrichtung nachgeordnet vorgesehen, wobei der Sensor vorzugsweise möglichst nahe vor dem Abgasreinigungssystem angeordnet ist, sofern ein Abgasreinigungssystem vorgesehen ist.
Insbesondere kann der Sensor mit einer Steuerung und/oder Auswerteeinrichtung verbunden sein, wobei diese vorzugsweise auch mit Regelventilen der Anlage verbunden ist und zur Steuerung der Pumpeinrichtung dient.
Bei einem ersten erfindungsgemäßen Verfahren zur Bestimmung der Gesamt-Leckage der Vakuumanlage wird in einem ersten Schritt die Prozessgaszufuhr zu der Vakuumkammer unterbunden. Dies erfolgt beispielsweise durch Abstellen bzw. Verschließen der Prozessgas-Zuführleitung bzw. durch Geschlossenhalten der Zuführleitung. Die Steuerung eines hierzu vorzugsweise vorgesehenen elektrischen Ventils erfolgt vorzugsweise über die Steuereinrichtung. Im nächsten Schritt erfolgt ein Zuführen eines Trägergases, bei dem es sich vorzugsweise um ein Inertisierungsgas handelt, in die Prozesskammer. Als Inertisierungsgas wird vorzugsweise Stickstoff eingesetzt. In Abhängigkeit des verwendeten Sensors können auch andere Gase eingesetzt werden, wobei zu beachten ist, dass durch das Gas eine Beeinflussung der Messung vermieden ist.
Das Trägergas wird mittels der Pumpeinrichtung gefördert. Ferner fördert die Pumpeinrichtung das auf Grund der Leckage in die Prozesskammer eindringende Gas bzw. die eindringende Luft. Mittels des der Pumpeinrichtung in Strömungsrichtung nachgeordneten Sensors erfolgt ein Messen eines Gehalts einer Gaskomponente. Vorzugsweise wird hierbei mittels eines Sauerstoffsensors der Sauerstoffgehalt gemessen, da der Sauerstoff den größten Anteil der Luft darstellt. Auf Grundlage des gemessenen Gehalts der Gaskomponente erfolgt ein Bestimmen der Gesamt-Leckrate der Vakuumanlage. Dies ist erfindungsgemäß auf einfache Weise vorzugsweise möglich, da der Sauerstoffgehalt in der Luft von ca. 21% bekannt ist und beim Pumpen des Trägergases durch die Leckagen Luft in das System eindringt. Beispielsweise über in der Steuerung hinterlegte Tabellen kann auf Basis des gemessenen Sauerstoffgehalts oder des Gehalts einer anderen in der Luft befindlichen Gaskomponente die Gesamt-Leckrate auf einfache Weise und schnell ermittelt werden.
Vorzugsweise ist die Flussrate des Trägergases, d. h. die pro Zeiteinheit der Prozesskammer zugeführte Menge an Trägergas bekannt. Hierdurch ist eine genaue Berechnung der Gesamt-Leckrate der Vakuumanlage, insbesondere in einer Auswerteeinrichtung, der die entsprechenden Daten unmittelbar zugeführt werden, möglich.
Bei dem verwendeten Sauerstoffsensor handelt es sich in besonders bevorzugter Ausführungsform um einen Sauerstoffsensor, der den Sauerstoffgehalt in %Vol. misst. Als Sauerstoffsensor sind insbesondere Sensoren geeignet, die mit Hilfe elektrolytischer Verfahren den Sauerstoffgehalt in %Vol. messen. Hierbei handelt es sich beispielsweise um einen Sensor mit der Bezeichnung „Polytron” der Fa. Dräger. Derartige Sensoren arbeiten zuverlässig in Bereichen, in denen im Wesentlichen Atmosphärendruck herrscht. Dies ist bei der bevorzugten Anordnung des Sensors in Strömungsrichtung nach der Pumpeinrichtung und vor einem Gasreinigungssystem, sofern dieses vorhanden ist, gegeben.
Bei bekannter oder ggf. durch einen geeigneten Sensor zu messender, insbesondere konstanter Flussrate des Trägergases und dem gemessenen Sauerstoffgehalt in %Vol. kann die Bestimmung der Gesamt-Leckrate auf einfache Weise mathematisch oder durch hinterlegte Tabellen erfolgen. Hierzu ist vorzugsweise auch die geförderte Menge Trägergas bekannt.
Beim Fördern brennbarer oder explosiver Gase, z. B. H₂, muss berücksichtigt werden, dass die untere Explosionsgrenze von Wasserstoff in Luft bei ca. 4% liegt. Es muss also sichergestellt werden, dass die Sauerstoffkonzentration im System 0,8%Vol, nicht überschreitet. Bei einem bekannten Wasserstoff-Gasfluss bzw. bei einem bekannten Wasserstoffgehalt in dem Prozessgas ergibt sich somit eine maximal vertretbare Luft-Leckage der gesamten Vakuumanlage. Die entsprechenden Grenzen ändern sich je nach Sicherheitsanforderung und bei der Förderung ggf. zusätzlicher anderer explosiver oder brennbarer Gase bzw. Gasgemische.
In Abhängigkeit einer insbesondere prozessbedingt festgelegten Obergrenze der Gesamt-Leckrate der Vakuumanlage erfolgt erfindungsgemäß eine Freigabe der Anlage nur solange die entsprechende Obergrenze nicht erreicht ist. Ein entsprechendes Sperren bzw. Freigeben der Anlage erfolgt in bevorzugter Ausführungsform automatisch und kann über die vorhandene Steuerung erfolgen.
Beim Festlegen der Obergrenze der Gas-Leckrate oder beim Bestimmen der Gas-Leckrate erfolgt erfindungsgemäß ein Berücksichtigen von Gasanteilen des Prozessgases und/oder während des Prozess entstehender Gase. Es wird somit vorzugsweise berücksichtigt, dass das Prozessgas selbst beispielsweise Sauerstoff aufweist, so dass beispielsweise ein explosives Gasgemisch bereits bei geringeren Gesamt-Leckraten entsteht. Ferner wird vorzugsweise berücksichtigt, dass beim Prozess gefährliche Gase oder Gasgemische oder beispielsweise Sauerstoff entstehen kann. Dies wird in besonders bevorzugter Ausführungsform bei der Festlegung der Obergrenze der Gesamt-Leckrate oder beim Bestimmen der Gesamt-Leckrate berücksichtigt bzw. mit eingerechnet.
Um die Sicherheit der Vakuumanlage zu gewährleisten wird das erfindungsgemäße Verfahren vorzugsweise in zeitlich regelmäßigen Abständen durchgeführt. Ferner ist es möglich, das Verfahren vor jedem Prozessstart, wie beispielsweise vor jeder neuen Charge, durchzuführen. Ggf. kann ein regelmäßiges Durchführen sowie ein Durchführen vor jedem Prozessstart miteinander kombiniert werden. Dies hängt insbesondere von der Häufigkeit eines Prozessstarts und der erforderlichen Sicherheitsstufe ab.
Bei einem weiteren erfindungsgemäßen Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage handelt es sich um ein kontinuierlich durchgeführtes Verfahren. Die Vakuumanlage ist hierbei, wie vorstehend ausgeführt, ausgebildet. Insbesondere ist ein Sensor, vorzugsweise ein Sauerstoffsensor der Pumpeinrichtung in Förderrichtung nachgeordnet sowie, sofern ein Abgasreinigungssystem vorgesehen ist, diesem in Strömungsrichtung vorgelagert. In dieser Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt während des Arbeitsprozesses, d. h. während ein Prozessgas der Prozesskammer zugeführt wird, ein Messen des Gehalts einer Gaskomponente, insbesondere des Sauerstoffgehalts vorzugsweise in dem Abgas. Der Sauerstoffgehalt wird vorzugsweise wiederum an eine Auswerteeinrichtung übermittelt. Der Auswerteeinrichtung sind ferner die Komponenten des Prozessgases bzw. des Prozess-Abgases, insbesondere ein Wasserstoffgehalt bekannt. Hieraus kann eine Gesamt-Leckrate bestimmt und insbesondere eine Obergrenze der Gesamt-Leckrate festgelegt werden, die aus Sicherheitsgründen nicht überschritten werden soll, um das Entstehen explosiver oder brennbarer Gasgemische zu vermeiden.
Der Sauerstoffgehalt des Prozessgases bzw. des Prozess-Abgases muss bekannt sein, um den kritischen Sauerstoffgehalt bestimmen zu können, bei dem explosive oder brennbare Gase entstehen. Der Wasserstoffgehalt ist entweder bekannt oder kann durch einen gesonderten Wasserstoffsensor gemessen werden.
Vorzugsweise erfolgt mit Hilfe des Sauerstoffsensors wiederum die Messung des Sauerstoffgehalts in %Vol. Sofern eine Messung des Wasserstoffgehalts erfolgt, erfolgt diese vorzugsweise ebenfalls in %Vol.
Bei dem kontinuierlichen Bestimmungsverfahren einer Gesamt-Leckage-Rate erfolgt vorzugsweise bei Überschreiten eines ersten Grenzwertes die Ausgabe eines Warnsignals. Hierbei kann es sich um ein akustisches und/oder visuelles Warnsignal handeln. Bei dem unteren Grenzwert handelt es sich vorzugsweise um einen Grenzwert, bei dem ein Prozess ggf. in einen kritischen Bereich hinsichtlich der Entflammbarkeit oder Explosivität der entstehenden Gase gelangt, ein Abschalten der Anlage jedoch noch nicht erforderlich ist. Vorzugsweise erfolgt sodann bei Überschreiten eines zweiten Grenzwertes ein automatisches Ausschalten der Anlage. Hierbei ist der zweite Grenzwert derart gewählt, dass die Entzündungs- oder Explosionsgefahr je nach Anforderungen an die Sicherheit überschritten ist.
Besonders bevorzugt ist es, die beiden vorstehend beschriebenen Verfahren zur zyklischen und kontinuierlichen Bestimmung eines Gesamt-Leckagewertes in Kombination durchzuführen.
Bei der Vakuumanlage, die zur Durchführung des Verfahrens geeignet ist, handelt es sich um eine herkömmliche Vakuumanlage, bei der lediglich ein zusätzlicher Sensor, insbesondere ein Sauerstoffsensor vorgesehen wird. Die Anordnung des Sensors erfolgt hierbei vorzugsweise der Pumpeinrichtung in Strömungsrichtung nachgeordnet, so dass der Sensor insbesondere in einem Bereich der Anlage angeordnet ist, in dem annähernd Atmosphärendruck herrscht. Der Sensor ist vorzugsweise mit einer Auswerteeinrichtung, insbesondere einer elektronischen Auswerteeinrichtung verbunden, durch die unmittelbar ein Berechnen der Gesamt-Leckrate in Abhängigkeit des gemessenen Gehalts einer Gaskomponente, insbesondere des Sauerstoffgehalts erfolgt.
Der Sensor ist in einer besonders bevorzugten Ausführungsform nicht unmittelbar in der sich an die Pumpeinrichtung anschließenden, ggf. zu dem Abgasreinigungssystem führenden Rohrleitung sondern einem Bypass zu dieser Rohrleitung angeordnet. Dies ist insbesondere bei dem erfindungsgemäßen zyklischen Verfahren zweckmäßig, da der Sensor sodann nicht ununterbrochen dem Abgasstrom ausgesetzt ist. Hierzu kann in der Bypassabzweigung ein insbesondere elektrisch steuerbares Ventil vorgesehen sein, dass nur bei der Durchführung des zyklischen Messverfahrens geöffnet wird.
Vorzugsweise ist die Prozesskammer der Vakuumanlage mit einer Trägergas-Zuführeinrichtung verbunden. Die Trägergas-Zuführeinrichtung kann mit einer Durchflussmesseinrichtung über ein Ventil verbunden sein. Das Ventil, bei dem es sich vorzugsweise um ein elektrisch steuerbares Ventil handelt, ist in bevorzugter Ausführungsform über die Steuer- und Auswerteeinrichtung ansteuerbar. So ist es möglich, das erfindungsgemäße zyklische Bestimmungsverfahren vollautomatisch durchzuführen.
Bei der Durchführung des vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen kontinuierlichen Verfahrens ist vorzugsweise eine entsprechende Durchflussmesseinrichtung in Verbindung mit einem vorzugsweise elektrisch steuerbaren Ventil in der Zuführleitung des Prozessgases angeordnet. Hierdurch kann auf einfache Weise die zugeführte Prozessgasmenge gemessen werden.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform näher erläutert.
Die Prinzipskizze zeigt eine Vakuumanlage, mit der die erfindungsgemäßen Verfahren durchführbar sind.
Die Vakuumanlage weist eine Prozesskammer 10 auf, in der beispielsweise ein Beschichtungsprozess für Solarpaneele durchgeführt wird. Über durch Pfeile 12 angedeutete Rohrleitungen können der Prozesskammer 10 unterschiedliche Prozessgase zugeführt werden. Über eine Saugleitung 14 ist die Prozesskammer 10 mit einer Pumpeinrichtung 16 verbunden. Durch die Pumpeinrichtung 16 wird das Prozessgas aus der Prozesskammer 10 gepumpt und über eine Leitung 18 zu einem Abgasreinigungssystem 19 gefördert.
Zur Durchführung der beiden erfindungsgemäßen Verfahren ist in einem Bypass 20 ein Sauerstoffsensor 22 sowie ein elektrisch ansteuerbares Ventil 24 vorgesehen. Der Bypass 20 ist mit der in Strömungsrichtung der Pumpeinrichtung 16 nachgeordneten Leitung 18 vorzugsweise nahe dem Abgasreinigungssystem 19 angeordnet. Der Bypass leitet das abgezweigte Abgas unmittelbar dem Abgasreinigungssystem zu. Der Sauerstoffsensor 22 und das elektrisch betätigbare Ventil 24 sind mit einer Steuer- und Auswerteeinrichtung 26 verbunden.
Zur Durchführung des zyklischen Verfahrens zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate wird der Prozesskammer 10 über eine Leitung 28 Trägergas zugeführt. In der Leitung 28 ist eine Durchflussmesseinrichtung 30 angeordnet. Die Durchflussmesseinrichtung 30 weist ein elektrisch steuerbares Ventil 32 auf. Die Durchflussmesseinrichtung 30 und somit auch das Ventil 32 sind mit der Auswerte- oder Steuereinrichtung 26 verbunden.
Bei der Durchführung des kontinuierlichen erfindungsgemäßen Verfahrens zur Bestimmung der Gesamt-Leckrate ist das Vorsehen der entsprechenden Zuführleitungen zur Prozesskammer 10 nicht erforderlich. Stattdessen ist es jedoch erforderlich, die Gasflüsse 12 zu messen. Hierzu kann in den Prozessgas-Zuführleitungen jeweils eine Durchflussmesseinrichtung vorgesehen sein.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen zyklischen Messverfahrens wird über die Zuleitung 28 der Prozesskammer 10 ein Trägergas in bekannter Flussrate zugeführt. Die zugeführte Flussrate an Trägergas ist bekannt oder kann gemessen werden und der Auswerteeinrichtung 26 übermittelt werden. Die vom Sauerstoffsensor 22 gemessenen %Vol. an Sauerstoff werden ebenfalls der Auswerteeinrichtung 26 übermittelt. Hieraus kann die Auswerteeinrichtung die integrale Luft-Leckage des Systems bestimmen. Da der Sauerstoffgehalt der Luft bekannt ist und bei etwa 21% liegt, kann hieraus auch der Sauerstofffluss auf Grund der Luft-Leckage bestimmt werden.
Werden der Prozesskammer beispielsweise 100 sccm an Trägergas zugeführt und der Sauerstoffsensor zeigt 6%Vol. an, so beträgt die integrale Luft-Leckage des Systems 40 sccm. Dies entspricht bei einem Sauerstoffgehalt der Luft von 21% einem Sauerstofffluss von 8,4 sccm. Entsprechend kann bei einem kontinuierlichen Verfahren bei einem bekannten Fluss an Prozessgas und beispielsweise dem Sauerstoffgehalt des Prozessgases selbst sowie ggf. während des Prozesses entstehenden Sauerstoffs, auf Grund des vom Sauerstoffsensor gemessenen Werts eine Luft-Leckage des Systems bestimmt werden.

Claims

Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage mit einer Prozesskammer (10) und einer mit der Prozesskammer (10) verbundenen Pumpeinrichtung (16) mit den Schritten: – Unterbinden einer Prozessgas-Zufuhr zu der Prozesskammer (10), – Zufuhr eines Trägergases in die Prozesskammer (10), – Fördern des Trägergases und eines Leckagegases mittels der Pumpeinrichtung (16), – Messen eines Gehalts einer Gaskomponente des gepumpten Gases, und – Bestimmen der Gesamt-Leckrate der Vakuumanlage auf Basis des gemessenen Gehalts der Gaskomponente.
Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem das Trägergas in konstanter, bekannter Flussrate der Prozesskammer (10) zugeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem der Gehalt der Gaskomponente in %Vol. gemessen wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei welchem als Trägergas Inertisierungsgas verwendet und/oder der Sauerstoffgehalt gemessen wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei welchem in Abhängigkeit einer festgelegten Obergrenze der Gesamt-Leckrate keine Freigabe der Anlage zur Produktion bei Überschreiten der Obergrenze erfolgt.
Verfahren nach Anspruch 5, bei welchem beim Festlegen der Obergrenze der Gesamt-Leckrate oder beim Bestimmen der Gesamt-Leckrate Gasanteile des Prozessgases und/oder beim Prozess entstehende Gase berücksichtigt werden.
Verfahren nach Anspruch 6, bei welchem die berücksichtigten Prozessgase Sauerstoff und/oder brennbare Gase sind.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei welchem das Verfahren in zeitlich regelmäßigen Abständen und/oder vor insbesondere jedem Prozessstart durchgeführt wird.
Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage mit einer Prozesskammer (10) und einer mit der Prozesskammer (10) verbundenen Pumpeinrichtung (16) mit den Schritten: – Messen eines Gehalts einer Gaskomponente während des Arbeitsprozesses, und – Bestimmen einer Gesamt-Leckrate der Vakuumanlage auf Basis des gemessenen Gehalts der Gaskomponente und des Prozessgasflusses.
Verfahren nach Anspruch 9, bei welchem die Gaskomponente Sauerstoff gemessen wird und/oder der Wasserstoffgehalt des Prozessgases bekannt ist.
Verfahren nach Anspruch 9, bei welchem der Sauerstoffgehalt in %Vol. und/oder der Wasserstoffgehalt in %Vol. gemessen wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, bei welchem bei Überschreiten eines ersten Grenzwertes ein Warnsignal erzeugt wird und/oder bei Überschreiten eines zweiten Grenzwertes ein automatisches Ausschalten der Vakuumanlage erfolgt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, bei welchem der Gehalt der Gaskomponente in Strömungsrichtung nach der Pumpeinrichtung (16) bestimmt wird.
Verfahren zur zyklischen Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei zusätzlich während des Produktionsprozesses das Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der Gesamt-Leckrate der Vakuumanlage nach einem der Ansprüche 9 bis 13 durchgeführt wird.
Vakuumanlage, bei welcher ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14 durchführbar ist, mit einer Prozesskammer (10), einer mit der Prozesskammer (10) verbundenen Pumpeinrichtung (16), einem der Prozesskammer (10) in Strömungsrichtung nachgeordneten Sensor (22) zur Bestimmung eines Gehalts einer Gaskomponente, und einer mit dem Sensor (22) verbundenen Auswerteeinrichtung (26) zur Bestimmung der Gesamt-Leckrate (16).
Vakuumanlage nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor in einer Abzweigung (20), insbesondere einem Bypass einer mit einem Auslass der Pumpeinrichtung (16) verbundenen Rohrleitung (18), angeordnet ist.
Vakuumanlage nach Anspruch 15 oder 16, gekennzeichnet durch eine der Pumpeinrichtung (16) in Strömungsrichtung nachgeordneten Abgas-Reinigungseinrichtung (19), der der Sensor (22) vorgeschaltet ist.
Vakuumanlage nach einem der Ansprüche 15 bis 17, gekennzeichnet durch eine mit der Pumpkammer verbundenen Trägergas-Zuführeinrichtung (28, 30).