RU2011108222A - Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка - Google Patents

Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка Download PDF

Info

Publication number
RU2011108222A
RU2011108222A RU2011108222/28A RU2011108222A RU2011108222A RU 2011108222 A RU2011108222 A RU 2011108222A RU 2011108222/28 A RU2011108222/28 A RU 2011108222/28A RU 2011108222 A RU2011108222 A RU 2011108222A RU 2011108222 A RU2011108222 A RU 2011108222A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
gas
content
total leakage
process chamber
measured
Prior art date
Application number
RU2011108222/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Томас ПАЛЬТЕН (DE)
Томас ПАЛЬТЕН
Герхард Вильхельм ВАЛЬТЕР (DE)
Герхард Вильхельм ВАЛЬТЕР
Дамиан ЭРЕНСПЕРГЕР (CH)
Дамиан ЭРЕНСПЕРГЕР
Original Assignee
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De), Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх filed Critical Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Publication of RU2011108222A publication Critical patent/RU2011108222A/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

1. Способ определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами: ! - прекращение подачи технологического газа к технологической камере (10), ! - подача несущего газа в технологическую камеру (10), перекачивание несущего газа и газа утечки посредством насосного устройства (16), ! - измерение содержания газового компонента перекачиваемого газа и ! - определение совокупной утечки вакуумной установки на основании измеренного содержания газового компонента. ! 2. Способ по п.1, в котором несущий газ подают в технологическую камеру (10) с постоянным известным расходом. ! 3. Способ по п.1, в котором содержание газового компонента измеряют в об.%. ! 4. Способ по п.1, в котором в качестве несущего газа используют инертный газ и/или измеряют содержание кислорода. ! 5. Способ по п.1, в котором в зависимости от установленного верхнего предела совокупной утечки не происходит запуск установки для производства при превышении верхнего предела. ! 6. Способ по п.5, в котором при установке верхнего предела совокупной утечки или при определении совокупной утечки учитывают составные части технологического газа и/или выделяющиеся при процессе газы. ! 7. Способ по п.6, в котором учтенные технологические газы являются кислородом и/или горючими газами. ! 8. Способ по п.1, в котором способ выполняют с регулярными интервалами и/или, прежде всего, перед каждым стартом процесса. ! 9. Способ непрерывного определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами: ! -

Claims (18)

1. Способ определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами:
- прекращение подачи технологического газа к технологической камере (10),
- подача несущего газа в технологическую камеру (10), перекачивание несущего газа и газа утечки посредством насосного устройства (16),
- измерение содержания газового компонента перекачиваемого газа и
- определение совокупной утечки вакуумной установки на основании измеренного содержания газового компонента.
2. Способ по п.1, в котором несущий газ подают в технологическую камеру (10) с постоянным известным расходом.
3. Способ по п.1, в котором содержание газового компонента измеряют в об.%.
4. Способ по п.1, в котором в качестве несущего газа используют инертный газ и/или измеряют содержание кислорода.
5. Способ по п.1, в котором в зависимости от установленного верхнего предела совокупной утечки не происходит запуск установки для производства при превышении верхнего предела.
6. Способ по п.5, в котором при установке верхнего предела совокупной утечки или при определении совокупной утечки учитывают составные части технологического газа и/или выделяющиеся при процессе газы.
7. Способ по п.6, в котором учтенные технологические газы являются кислородом и/или горючими газами.
8. Способ по п.1, в котором способ выполняют с регулярными интервалами и/или, прежде всего, перед каждым стартом процесса.
9. Способ непрерывного определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами:
- измерение содержания газового компонента во время рабочего процесса и
- определение совокупной утечки вакуумной установки на основе измеренного содержания газового компонента и расхода технологического газа.
10. Способ по п.9, в котором измеряют газовый компонент кислород и/или содержание водорода в технологическом газе известно.
11. Способ по п.9, в котором содержание кислорода измеряют в об.% и/или содержание водорода измеряют в об.%.
12. Способ по п.9, в котором при превышении первого предельного значения генерируют предупредительный сигнал и/или при превышении второго предельного значения происходит автоматическое выключение вакуумной установки.
13. Способ по п.9, в котором содержание газового компонента определяют за насосным устройством (16) по направлению потока.
14. Способ цикличного определения совокупной утечки вакуумной установки по одному из пп.1-8, в котором во время производственного процесса дополнительно выполняют способ непрерывного определения совокупной утечки вакуумной установки по одному из пп.9-13.
15. Вакуумная установка, в которой предусмотрена возможность выполнения способа по одному из пп.1-14, с
- технологической камерой (10),
- соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16).
- расположенным после технологической камеры (10) по направлению потока датчиком (22) для определения содержания газового компонента и
- соединенным с датчиком (22) анализирующим устройством (26) для определения совокупной утечки (16).
16. Вакуумная установка по п.15, отличающаяся тем, что датчик расположен в отводе (20), прежде всего в байпасе соединенного с выпуском насосного устройства (16) трубопровода (18).
17. Вакуумная установка по п.15 или 16, отличающаяся расположенным за насосным устройством (16) по направлению потока устройством (19) очистки отходящих газов, перед которым установлен датчик (22).
18. Вакуумная установка по п.15, отличающаяся соединенным с насосной камерой устройством (28, 30) подачи несущего газа.
RU2011108222/28A 2008-08-08 2009-08-05 Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка RU2011108222A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008037058.4 2008-08-08
DE102008037058A DE102008037058A1 (de) 2008-08-08 2008-08-08 Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage sowie eine Vakuumanlage

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2011108222A true RU2011108222A (ru) 2012-09-20

Family

ID=41262295

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011108222/28A RU2011108222A (ru) 2008-08-08 2009-08-05 Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20110197659A1 (ru)
EP (1) EP2310823A1 (ru)
JP (1) JP2011530693A (ru)
KR (1) KR20110038736A (ru)
CN (1) CN102105770A (ru)
DE (1) DE102008037058A1 (ru)
RU (1) RU2011108222A (ru)
TW (1) TW201011272A (ru)
WO (1) WO2010015663A1 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2969287B1 (fr) * 2010-12-17 2013-10-25 Alcatel Lucent Dispositif de detection de fuite utilisant l'hydrogene comme gaz traceur
CN103512708A (zh) * 2012-06-25 2014-01-15 威格高纯气体设备科技（苏州工业园区）有限公司 一种手套箱泄漏检测装置
KR101446029B1 (ko) * 2012-12-17 2014-10-01 주식회사 포스코 휴대용 부압 안전밸브 테스트 장치
US10067027B2 (en) 2016-03-04 2018-09-04 Robert Bosch Gmbh Test methodology to reduce false rejections and increase number of containers tested for tightness
DE102019006343A1 (de) * 2018-09-24 2020-03-26 Merck Patent Gmbh Messkammer und Messstand
KR102169200B1 (ko) * 2020-06-03 2020-10-22 주식회사 아이이씨티 챔버 내부 누출률 계산 방법

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4754638A (en) * 1986-05-23 1988-07-05 Antares Engineering, Inc. Apparatus and method for leak testing automotive wheel rims
US5009835A (en) * 1989-01-25 1991-04-23 Westinghouse Electric Corp. Nuclear fuel rod helium leak inspection apparatus and method
JP3138827B2 (ja) * 1991-04-25 2001-02-26 富士通株式会社 プロセスチャンバーの異常解析装置
DE4140366A1 (de) * 1991-12-07 1993-06-09 Leybold Ag, 6450 Hanau, De Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen
US5317900A (en) * 1992-10-02 1994-06-07 The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust Ultrasensitive helium leak detector for large systems
JPH07176515A (ja) * 1993-12-17 1995-07-14 Nec Kyushu Ltd プラズマ真空処理装置
FR2728072B1 (fr) * 1994-12-07 1997-01-10 Cit Alcatel Detecteur de fuite
US5553483A (en) * 1995-08-15 1996-09-10 Pilot Industries, Inc. Leak detection system
US5979225A (en) * 1997-08-26 1999-11-09 Applied Materials, Inc. Diagnosis process of vacuum failure in a vacuum chamber
US6286362B1 (en) * 1999-03-31 2001-09-11 Applied Materials, Inc. Dual mode leak detector
JP2001126994A (ja) * 1999-10-29 2001-05-11 Applied Materials Inc 基板処理装置及びガス漏洩検知方法
DE19960174A1 (de) * 1999-12-14 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Lecksuche und Lecklokalisierung sowie zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Vorrichtungen
US6530264B1 (en) * 2000-11-16 2003-03-11 Autoliv Asp, Inc. Detection systems and methods
US6964187B2 (en) * 2001-03-20 2005-11-15 Mykrolis Corporation Vacuum sensor
GB2376744A (en) * 2001-06-21 2002-12-24 Stephen Daniel Hoath Air leak detection in a vacuum system
DK175691B1 (da) * 2002-09-11 2005-01-17 Bactoforce As Fremgangsmåde til at undersøge en varmeveksler for lækage
US7331248B2 (en) * 2003-10-06 2008-02-19 Vista Engineering Technologies, Inc. Method and apparatus for detecting and locating explosives, biological, and chemical substances in ducts and structures using tracers
KR100549946B1 (ko) * 2003-10-20 2006-02-07 삼성전자주식회사 반도체 제조설비의 진공누설 검출장치
ATE392606T1 (de) * 2003-12-05 2008-05-15 Adixen Sensistor Ab System und verfahren zur bestimmung der lecksicherheit eines objekts
DE602004008869T2 (de) * 2004-01-13 2008-06-12 Varian S.P.A., Leini Leckdetektor
DE102004045803A1 (de) * 2004-09-22 2006-04-06 Inficon Gmbh Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung
DE102004050762A1 (de) * 2004-10-16 2006-04-20 Inficon Gmbh Verfahren zur Lecksuche
US7174772B2 (en) * 2005-02-12 2007-02-13 Giuseppe Sacca System and method for leak detection
JP4475224B2 (ja) * 2005-11-15 2010-06-09 株式会社デンソー 気密漏れ検査装置
DE102005055746A1 (de) * 2005-11-23 2007-05-24 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der hydraulischen Leckrate von flüssigkeitsführenden Teilen, insbesondere Einspritzventilen für Brennkraftmaschinen
DE102006017958A1 (de) * 2006-04-13 2007-10-25 Volker Dahm Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes
JP4909929B2 (ja) * 2007-04-18 2012-04-04 パナソニック株式会社 分圧測定方法および分圧測定装置
US7707871B2 (en) * 2007-09-24 2010-05-04 Raytheon Company Leak detection system with controlled differential pressure
US8201438B1 (en) * 2008-04-18 2012-06-19 Sandia Corporation Detection of gas leakage
US8555704B2 (en) * 2008-10-20 2013-10-15 Agilent Technologies, Inc. Calibration systems and methods for tracer gas leak detection

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110038736A (ko) 2011-04-14
DE102008037058A1 (de) 2010-02-11
EP2310823A1 (de) 2011-04-20
US20110197659A1 (en) 2011-08-18
TW201011272A (en) 2010-03-16
WO2010015663A1 (de) 2010-02-11
CN102105770A (zh) 2011-06-22
JP2011530693A (ja) 2011-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2011108222A (ru) Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка
RU2009104915A (ru) Система улавливания диоксида углерода из отработанного газа
TW200611320A (en) Film formation apparatus and method of using the same
MY163654A (en) Apparatus and method for analysis of a fluid sample
FR2808098B1 (fr) Procede et dispositif de conditionnement de l'atmosphere dans une chambre de procedes
NO20080586L (no) Et system og fremgangsmate for a optimalisere en gass-/vaeskeseparasjonsprosess
TW200746294A (en) Processing apparatus and processing method
EA201071026A1 (ru) Способ измерения частиц и устройство
HK1070123A1 (en) Control system for a waste processing apparatus
RU2009110263A (ru) Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве
TW200632240A (en) Apparatus including 4-way valve for fabricating semiconductor device, method of controlling valve, and method of fabricating semiconductor device using the apparatus
RU2015105818A (ru) Способ и устройство для обнаружения утечки в зоне по меньшей мере одного охлаждающего приспособления печи, а также печь
TW200637629A (en) Apparatus for inhibiting the propagation of a flame front
ATE555843T1 (de) Verfahren zum behandeln eines gasstroms
ATE358272T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur leistungsmessung eines kompressors
JP2015500944A (ja) チャンバを空にして該チャンバから取り出されたガスを浄化するための装置及び方法
CN202673459U (zh) 内燃式燃气发电机组燃气数控系统及自动保护装置
RU2012153250A (ru) Система создания вакуума
DE602006020348D1 (de) Brennstoffzellensystem und steuerverfahren dafür
JP2016514825A (ja) 真空ポンピング・除害システム
PL2054129T3 (pl) Ulepszony sposób i aparatura do zawracania do obiegu atmosfery ochronnej
CN104624040A (zh) 一种实时控制的嵌入式酸雾净化装置
CN216696059U (zh) 一种可生物降解红外气体检测系统
CN204582975U (zh) 一种检测甲烷和硫化氢气体膜组件性能的装置
RU2011102271A (ru) Способ управления восстановлением дизельного сажевого фильтра (дсф) в системе дизельного двигателя

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20121001