RU2009110263A - Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве - Google Patents
Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве Download PDFInfo
- Publication number
- RU2009110263A RU2009110263A RU2009110263/06A RU2009110263A RU2009110263A RU 2009110263 A RU2009110263 A RU 2009110263A RU 2009110263/06 A RU2009110263/06 A RU 2009110263/06A RU 2009110263 A RU2009110263 A RU 2009110263A RU 2009110263 A RU2009110263 A RU 2009110263A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- oxygen
- pumping device
- supply
- dust
- vacuum pump
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D3/00—Axial-flow pumps
- F04D3/02—Axial-flow pumps of screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2280/00—Arrangements for preventing or removing deposits or corrosion
- F04C2280/02—Preventing solid deposits in pumps, e.g. in vacuum pumps with chemical vapour deposition [CVD] processes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/85978—With pump
- Y10T137/85986—Pumped fluid control
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
1. Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве сухого хода, отличающийся тем, что во время работы к вакуумному насосному устройству непрерывно, дозированно подают кислород, посредством чего обуславливают окисление пыли (40). ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на входе (20) вакуумного насосного устройства или в подводящих трубопроводах вакуумного насоса. ! 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на протяжении камеры (24) сжатия вакуумного насосного устройства. ! 4. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на протяжении по меньшей мере двух камер сжатия или между по меньшей мере двумя камерами сжатия. ! 5. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на выходе (22) или в выпускных трубопроводах вакуумного насосного устройства. ! 6. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит через настраиваемый или же регулируемый дроссельный клапан (28). ! 7. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что для очистки насосного устройства, а также подводящих трубопроводов от пыли и для полной нейтрализации пыли заканчивают подачу подлежащего сжатию технологического газа (38), а затем через насосное устройство подают кислородосодержащую газовую смесь, например, воздух. ! 8. Вакуумное насосное устройство сухого хода с по меньшей мере одним приводимым в действие компрессионным органом и корпусом (10) с входным отверстием (20) насоса и выходным отверстием (22) насоса, отличающееся тем, что корпус (10) или один из подключенных к нему трубопроводов имеет по меньшей мере одно впускное отв
Claims (9)
1. Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве сухого хода, отличающийся тем, что во время работы к вакуумному насосному устройству непрерывно, дозированно подают кислород, посредством чего обуславливают окисление пыли (40).
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на входе (20) вакуумного насосного устройства или в подводящих трубопроводах вакуумного насоса.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на протяжении камеры (24) сжатия вакуумного насосного устройства.
4. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на протяжении по меньшей мере двух камер сжатия или между по меньшей мере двумя камерами сжатия.
5. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на выходе (22) или в выпускных трубопроводах вакуумного насосного устройства.
6. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит через настраиваемый или же регулируемый дроссельный клапан (28).
7. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что для очистки насосного устройства, а также подводящих трубопроводов от пыли и для полной нейтрализации пыли заканчивают подачу подлежащего сжатию технологического газа (38), а затем через насосное устройство подают кислородосодержащую газовую смесь, например, воздух.
8. Вакуумное насосное устройство сухого хода с по меньшей мере одним приводимым в действие компрессионным органом и корпусом (10) с входным отверстием (20) насоса и выходным отверстием (22) насоса, отличающееся тем, что корпус (10) или один из подключенных к нему трубопроводов имеет по меньшей мере одно впускное отверстие (26, 26а, 26b) для газа или же кислорода с дроссельным клапаном (28) для регулировки впускного поперечного сечения.
9. Вакуумное насосное устройство по п.8, отличающееся тем, что предусмотрены устройства для контроля реакции окисления, прежде всего, в форме датчиков температуры или же датчиков давления в том же самом пространстве, в котором происходит окисление.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006039529.8 | 2006-08-23 | ||
DE200610039529 DE102006039529A1 (de) | 2006-08-23 | 2006-08-23 | Verfahren zur Abreaktion selbstentzündlicher Stäube in einer Vakuumpumpvorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2009110263A true RU2009110263A (ru) | 2010-09-27 |
Family
ID=38792066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2009110263/06A RU2009110263A (ru) | 2006-08-23 | 2007-08-07 | Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100086883A1 (ru) |
EP (1) | EP2054626B1 (ru) |
JP (1) | JP2010501766A (ru) |
CN (1) | CN101535651B (ru) |
DE (1) | DE102006039529A1 (ru) |
RU (1) | RU2009110263A (ru) |
WO (1) | WO2008022916A1 (ru) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0406748D0 (en) * | 2004-03-26 | 2004-04-28 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
DE102007043350B3 (de) * | 2007-09-12 | 2009-05-28 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe sowie Verfahren zur Steuerung einer Gasballastzufuhr zu einer Vakuumpumpe |
DE102008030788A1 (de) * | 2008-06-28 | 2009-12-31 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen |
DE102008053522A1 (de) * | 2008-10-28 | 2010-04-29 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe |
DE102011005464B4 (de) * | 2011-03-11 | 2014-07-17 | Fmp Technology Gmbh Fluid Measurements & Projects | Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks |
JP6100038B2 (ja) * | 2013-03-14 | 2017-03-22 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ |
DE102015118022B4 (de) * | 2015-10-22 | 2024-05-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Rotationsverdrängervakuumpumpe |
DE102015121143B4 (de) * | 2015-12-04 | 2023-02-02 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Mehrwellige Vakuumpumpe |
DE102016216279A1 (de) | 2016-08-30 | 2018-03-01 | Leybold Gmbh | Vakuumpumpen-Schraubenrotor |
DE202016005209U1 (de) | 2016-08-30 | 2017-12-01 | Leybold Gmbh | Schraubenvakuumpumpe |
JP7072417B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2022-05-20 | 株式会社日立産機システム | スクリュー圧縮機 |
CN108775286A (zh) * | 2018-08-03 | 2018-11-09 | 深圳市石金科技股份有限公司 | 一种干式真空泵的清洁装置 |
KR102119071B1 (ko) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | (주)엘오티베큠 | 마모 발생을 방지하는 진공펌프 |
JP2021060003A (ja) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | 株式会社日立産機システム | スクリュー圧縮機 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2835260A1 (de) * | 1978-08-11 | 1980-02-14 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Verfahren und einrichtung zum schutz der vakuumpumpe gegen reaktionsprodukte beim lpcvd-verfahren |
DD143172A1 (de) * | 1979-05-17 | 1980-08-06 | Rainer Moeller | Verfahren zum abpumpen von hochreaktiven oder toxischen gasen oder daempfen mittels drehschiebervakuumpumpen |
DE3865012D1 (de) * | 1988-06-01 | 1991-10-24 | Leybold Ag | Pumpsystem fuer ein lecksuchgeraet. |
NL9200076A (nl) * | 1992-01-16 | 1993-08-16 | Leybold B V | Werkwijze, droge meertrapspomp en plasmascrubber voor het omvormen van reactieve gassen. |
JP3402039B2 (ja) * | 1995-12-25 | 2003-04-28 | 信越半導体株式会社 | 単結晶製造装置 |
JP3603578B2 (ja) * | 1997-12-27 | 2004-12-22 | 信越半導体株式会社 | 単結晶引上げ装置の不活性ガス回収装置 |
FR2783883B1 (fr) | 1998-09-10 | 2000-11-10 | Cit Alcatel | Procede et dispositif pour eviter les depots dans une pompe turbomoleculaire a palier magnetique ou gazeux |
DE19854235A1 (de) * | 1998-11-24 | 2000-05-25 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Oxidationsvorrichtung und Verfahren zur Passivierung von Stäuben |
DE29904411U1 (de) * | 1999-03-10 | 2000-07-20 | Ghh Rand Schraubenkompressoren | Schraubenkompressor |
JP2002316889A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-31 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 排ガス配管内付着物の除去方法、及び単結晶引き上げ装置 |
US6685803B2 (en) * | 2001-06-22 | 2004-02-03 | Applied Materials, Inc. | Plasma treatment of processing gases |
WO2004036047A1 (en) * | 2002-10-14 | 2004-04-29 | The Boc Group Plc | Rotary piston vacuum pump with washing installation |
TW200525086A (en) | 2003-10-21 | 2005-08-01 | Nabtesco Corp | Rotary dry vacuum pump |
FR2863103B1 (fr) * | 2003-12-01 | 2006-07-14 | Cit Alcatel | Systeme de traitement des gaz par plasma integre dans une pompe a vide |
GB0406748D0 (en) * | 2004-03-26 | 2004-04-28 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
DE102004063058A1 (de) * | 2004-12-22 | 2006-07-13 | Leybold Vacuum Gmbh | Verfahren zum Reinigen einer Vakuum-Schraubenpumpe |
GB0525136D0 (en) * | 2005-12-09 | 2006-01-18 | Boc Group Plc | Method of inhibiting a deflagration in a vacuum pump |
-
2006
- 2006-08-23 DE DE200610039529 patent/DE102006039529A1/de not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-08-07 US US12/438,220 patent/US20100086883A1/en not_active Abandoned
- 2007-08-07 JP JP2009525006A patent/JP2010501766A/ja active Pending
- 2007-08-07 CN CN200780031239.3A patent/CN101535651B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-08-07 EP EP20070788296 patent/EP2054626B1/de not_active Not-in-force
- 2007-08-07 RU RU2009110263/06A patent/RU2009110263A/ru not_active Application Discontinuation
- 2007-08-07 WO PCT/EP2007/058199 patent/WO2008022916A1/de active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010501766A (ja) | 2010-01-21 |
WO2008022916A1 (de) | 2008-02-28 |
EP2054626B1 (de) | 2012-12-05 |
CN101535651A (zh) | 2009-09-16 |
EP2054626A1 (de) | 2009-05-06 |
CN101535651B (zh) | 2014-05-14 |
DE102006039529A1 (de) | 2008-03-06 |
US20100086883A1 (en) | 2010-04-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2009110263A (ru) | Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве | |
MX2017013615A (es) | Instalacion de compresor con dispositivo secador para gas comprimido y metodo para secar gas comprimido. | |
TW200719945A (en) | Method of treating gas | |
WO2008036260A3 (en) | Pressure washer with heat transfer unit for hot water discharge | |
WO2008042558A3 (en) | System and method to vent gas from a body cavity | |
ATE484660T1 (de) | Dosiervorrichtung für flüssig-reduktionsmittel | |
TWD203444S (zh) | 基板處理裝置用氣體導入管 | |
TW200632240A (en) | Apparatus including 4-way valve for fabricating semiconductor device, method of controlling valve, and method of fabricating semiconductor device using the apparatus | |
RU2012132000A (ru) | Многотрубное устройство для разложения угля с внешним нагреванием | |
WO2007011247A3 (en) | Refrigeration compressor with flexible discharge conduit | |
WO2009037564A8 (en) | Improved device for transporting powders along pipes | |
DE602004026594D1 (de) | Adsorptionsverfahren zur erzeugung von wasserstoff | |
RU2010130366A (ru) | Устройство для приготовления многокомпонентных газовых смесей | |
TWD187805S (zh) | Part of the substrate processing component | |
WO2010101386A3 (ko) | 압축공기 분사장치 및 그 제조방법 | |
CN207316463U (zh) | 一种煤富氧气化供氧装置 | |
RU2016141339A (ru) | Способ откачки в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов | |
DE602006010588D1 (de) | Verfahren zum behandeln eines gasstroms | |
CN203852997U (zh) | 一种在生产氯甲烷中利用文丘里管的防污染装置 | |
CN207727033U (zh) | 一种煤富氧气化供氧装置 | |
CN219272603U (zh) | 一种便捷组合式空气净化装置 | |
ATE456757T1 (de) | Dichtungssystem zur abdichtung eines prozessgasraumes gegen einen dichtraum | |
JP2010100506A5 (ru) | ||
ATE409607T1 (de) | Fahrzeugheizgerät | |
RU2011143007A (ru) | Способ и устройство для определения характеристик и границы устойчивой работы компрессора в составе гтд |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA94 | Acknowledgement of application withdrawn (non-payment of fees) |
Effective date: 20130513 |