DE102011005464B4 - Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks in einer Kammer (10) mit einer ölgeschmierten Vakuumpumpe (12), einer die Vakuumpumpe (12) mit der Kammer (10) verbindenden Saugleitung (14) und mindestens einem einen Gasstrom (15) in der Saugleitung (14) in Richtung (20) der Vakuumpumpe (12) erlaubenden Einwegeventil (16) in der Saugleitung (14) oder an/in der Vakuumpumpe (12), wobei an/in der Saugleitung (14) stromaufwärts des Einwegeventils (16) eine Einlassöffnung (27) angeordnet ist, welche einen Gaseintritt von außen in die Saugleitung (14) erlaubt, wobei der Gaseintritt so gehemmt ist, dass der in der Kammer (10) ohne den Gaseintritt maximal erreichbare Unterdruck durch den Gaseintritt höchstens um 10% reduziert ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung eines Unterdrucks in einer Kammer mit einer ölgeschmierten Vakuumpumpe, einer die Vakuumpumpe mit der Kammer verbindenden Saugleitung und mindestens einem einen Gasstrom in der Saugleitung in Richtung der Vakuumpumpe erlaubenden Einwegeventil in der Saugleitung oder an/in der Vakuumpumpe. Eine derartige Vorrichtung ist im Stand der Technik bekannt. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Verwendung der Vorrichtung.
  • Ölgeschmierte und damit auch durch Öl abgedichtete Vakuumpumpen, insbesondere in Form von Drehschieberpumpen, finden in der Automobiltechnik als Teil von Bremskraftverstärkungssystemen Anwendung. Die Kammer, in welcher der Unterdruck zu erzeugen ist, ist dabei jeweils ein Teil des Bremskraftverstärkers. Ein dabei auftretendes Problem besteht darin, dass beim Betrieb der ölgeschmierten Vakuumpumpe Öl in die Saugleitung gelangt. Es hat sich gezeigt, dass das Öl an der Wandung der Saugleitung als Film entgegen der Saugrichtung der Pumpe entlangwandert. Wenn das Öl von der Saugleitung in die zu evakuierende Kammer gelangt, können dort Funktionsstörungen auftreten.
  • Das Öl kann durch zwei Mechanismen in die Saugleitung gelangen. Zum einen wird durch den Mechanismus der Pumpe bei jedem Vorbeigleiten eines Drehschiebers an einer Ansaugöffnung der Pumpe eine kleine Menge Öl in die Ansaugöffnung gedrückt. Zum anderen entsteht in der Vakuumpumpe durch den erzeugten Unterdruck vermehrt Öldampf, welcher nach Erreichen des maximal erzeugbaren Unterdrucks in die Saugleitung und auch in die zu evakuierende Kammer gelangen kann. Der Druck des Öldampfs ist durch den Dampfdruck des Öls in der Vakuumpumpe gegeben. Der Dampfdruck des Öls steigt beim Betrieb der Vakuumpumpe durch die Erwärmung des Öls stark an. Um das Eindringen des Öldampfs in die Saugleitung zu vermeiden, ist üblicherweise in der Saugleitung in der Nähe der Vakuumpumpe ein Einwegeventil vorgesehen, welches einen Gasstrom in der Saugleitung in Richtung der Vakuumpumpe erlaubt, eine Strömung in die Gegenrichtung aber verhindern soll. Es hat sich jedoch gezeigt, dass ein solches Einwegeventil das Eindringen von Öldampf in die Saugleitung nicht wirksam verhindern kann. Weiterhin hat sich gezeigt, dass ein solches Einwegeventil durch die Einwirkung des Öls sehr schnell verschleißen kann. Insbesondere nach dem Abschalten der Vakuumpumpe kommt es in der Pumpe zu einem Druckanstieg, weil nach Abschalten der Pumpe so viel Öl verdampft bis in der Pumpe ein Sättigungsdruck erreicht ist. Dieser Druck breitet sich dann über die Saugleitung bis hin zur angeschlossenen Kammer aus. Es hat sich gezeigt, dass die dadurch bedingte diffusive Strömung von Öldampf durch Einwegeventile nur sehr unvollständig zurückzuhalten ist.
  • Aus der DE 10 2008 032 242 A1 ist eine Vorrichtung zum Erzeugen und Bereitstellen eines Unterdrucks für einen Unterdruckverbraucher, wie beispielsweise einen Bremskraftverstärker, bekannt. Die Vorrichtung weist ein Belüftungsventil auf, das so gesteuert ist, dass es eine Leitung zwischen der Unterdruckquelle und dem Unterdruckverbraucher belüftet sobald die Erzeugung des Unterdrucks durch die Unterdruckquelle endet. Dadurch wird erreicht, dass ein auf Seiten des Unterdruckverbrauchers angeordnetes Rückschlagventil eine Schließlage einnimmt, beispielsweise bei einem Stillstand des Motors eines Fahrzeugs. Dadurch wird ein allmähliches Belüften des Bremskraftverstärkers und dadurch die Unbeweglichkeit des Bremspedals des Fahrzeugs nach Stillstand des Motors vermieden.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks der genannten Art bereitzustellen, bei welcher das Eindringen von Öl in die Kammer vermieden wird. Weiterhin sollen eine Verwendung einer solchen Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung eines Unterdrucks mit einer ölgeschmierten Vakuumpumpe angegeben werden, bei welchem das Eindringen von Öl in die Kammer vermieden wird.
  • Die Aufgabe der Erfindung wird durch die Merkmale der Ansprüche 1, 9 und 10 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 8 und 11 bis 17.
  • Erfindungsgemäß ist eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks in einer Kammer mit einer ölgeschmierten Vakuumpumpe, einer die Vakuumpumpe mit der Kammer verbindenden Saugleitung und mindestens einem einen Gasstrom in der Saugleitung in Richtung der Vakuumpumpe erlaubenden Einwegeventil in der Saugleitung oder an/in der Vakuumpumpe vorgesehen. Dabei ist an oder in der Saugleitung stromaufwärts des Einwegeventils eine Einlassöffnung angeordnet, welche einen Gaseintritt von außen in die Saugleitung erlaubt, wobei der zwischen der Einlassöffnung und der Vakuumpumpe erzeugte Gasstrom stetig ist. Dabei ist der Gaseintritt so gehemmt, dass der in der Saugleitung ohne den Gaseintritt maximal erreichbare Unterdruck durch den Gaseintritt höchstens um 10% reduziert ist. Der Druck in der Saugleitung ist dabei im Allgemeinen identisch mit dem Druck in der Kammer. ”Stromaufwärts” bezieht sich auf die Strömungsrichtung des durch das Saugen der Vakuumpumpe erzeugbaren Gasstroms in der Saugleitung.
  • Durch das Vorsehen der Einlassöffnung wird stets ein geringer Gasstrom zwischen der Einlassöffnung und der Pumpe erzeugt, welcher dem Eindringen von Öl und insbesondere dem Diffundieren von Öldampf in die Saugleitung entgegenwirkt. Durch die Hemmung des Gaseintritts, z. B. durch die Einlassöffnung, kann dennoch ein für die jeweilige Anwendung erforderlicher Unterdruck erzeugt werden. Außerdem wird ein Kontakt des Einwegeventils mit dem Öl, zumindest weitgehend, vermieden, so dass dessen Verschleiß deutlich reduziert ist und es nach Abschalten der Vakuumpumpe die Saugleitung zuverlässig gegenüber der Vakuumpumpe verschließen kann. Das Einwegeventil lässt bei ordnungsgemäßer Funktion Gas nur in Richtung der Vakuumpumpe, nicht jedoch in Richtung der Kammer strömen. Dazu ist üblicherweise ein mit einer Feder beaufschlagter Verschluss, z. B. in Form einer Kugel, vorgesehen, welcher durch einen seitens der Vakuumpumpe erzeugten Unterdruck geöffnet wird und welcher bei gleichem Druck auf beiden Seiten des Einwegeventils durch die Kraft der Feder geschlossen ist.
  • Die Erfinder haben erkannt, dass bei den bekannten Vorrichtungen zur Erzeugung eines Unterdrucks der Öleintrag in die Saugleitung im Wesentlichen nicht während des eigentlichen Saugbetriebs, sondern erst dann erfolgt, wenn die Vakuumpumpe den maximal möglichen Unterdruck in der Saugleitung und damit der Kammer erzeugt hat. In diesem Zustand herrscht in der gesamten Vorrichtung nahezu derselbe Druck, so dass der Gasstrom durch die Saugleitung zum Erliegen kommt. In diesem Zustand kann dann Öldampf durch Diffusion in die Saugleitung und in die Kammer eindringen. Durch das erfindungsgemäße Vorsehen der Einlassöffnung strömt stets eine geringe Gasmenge in Richtung der Vakuumpumpe, so dass kein Öldampf in die Saugleitung oder die Kammer gelangen kann.
  • Bei einer Ausgestaltung der Erfindung ist der in der Saugleitung ohne den Gaseintritt maximal erreichbare Unterdruck durch den Gaseintritt höchstens um 5%, insbesondere höchstens um 3%, insbesondere höchstens um 2%, insbesondere höchstens um 1%, reduziert. Bereits eine derart geringe Reduktion des höchstens zu erreichenden Unterdrucks bzw. ein damit einhergehender derart geringer Gasmassenstrom durch die Einlassöffnung kann ausreichen, um das Eindringen von Öl in die Saugleitung zu verhindern.
  • Vorzugsweise ist der Gaseintritt durch einen begrenzten Durchlass bzw. Durchmesser der Einlassöffnung, z. B. durch eine Blende, und/oder einen Porenkörper gehemmt. Ein Porenkörper hat gegenüber der Hemmung des Gaseintritts ausschließlich durch eine Blende den Vorteil, dass dieser sich nicht so leicht durch einzelne Schmutzpartikel zusetzen kann.
  • Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist ein weiteres Einwegeventil vorgesehen, welches einen Gasdurchtritt durch die Einlassöffnung in Richtung der Vakuumpumpe erst erlaubt, wenn mehr als 90%, insbesondere mehr als 95%, insbesondere mehr als 97%, insbesondere mehr als 98%, insbesondere mehr als 99%, des mit dem Gaseintritt maximal erreichbaren Unterdrucks in der Saugleitung vorliegen. Durch das weitere Einwegeventil kann erreicht werden, dass der Aufbau des maximal erreichbaren Unterdrucks deutlich schneller erfolgt als ohne das weitere Einwegeventil. Ein schneller Aufbau des Unterdrucks ist insbesondere aus Gründen der Fahrsicherheit bei der Anwendung in einem Bremskraftverstärkersystem von großer Bedeutung.
  • Weiterhin kann ein den Gasstrom in der Saugleitung in Richtung der Vakuumpumpe erlaubendes zusätzliches Einwegeventil vorgesehen sein, welches in der Saugleitung stromaufwärts der Einlassöffnung oder an/in der Kammer angeordnet ist. Dadurch wird die Sicherheit des Systems in Bezug auf die Verhinderung des Eindringens von Öl in die Kammer weiter erhöht. Diese Sicherheit kann noch weiter erhöht werden, wenn das zusätzliche Einwegeventil, etwa durch das Vorsehen eines entsprechenden Federdrucks, so eingerichtet ist, dass es bei dem in der Saugleitung mit dem Gaseintritt durch die Einlassöffnung maximal erreichbaren Unterdruck geschlossen ist. Die Einlassöffnung und das Einwegeventil sowie ggf. das weitere Einwegeventil und ggf. auch das zusätzliche Einwegeventil können als eine an der Kammer oder der Vakuumpumpe anzuordnende oder in die Saugleitung zu integrierende Einheit ausgebildet sein. Eine solche Einheit erlaubt bei einem Defekt eine einfache Instandsetzung durch Austausch dieser Einheit.
  • Bei der Vakuumpumpe kann es sich um eine Drehschieberpumpe, eine Sperrschieberpumpe oder eine Trochoidenpumpe handeln.
  • Die Kammer kann innerhalb eines Bremskraftverstärkers angeordnet sein.
  • Die Erfindung betrifft weiterhin die Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks in einem Bremskraftverstärker. Bei einer solchen Verwendung kommen die Vorteile der Vorrichtung besonders zur Geltung, weil hier aus Sicherheitsgründen ein Eindringen von Öl in den Bremskraftverstärker unbedingt zu vermeiden ist und die erfindungsgemäße Maßnahme zur Verhinderung dieses Eindringens von Öl sehr einfach und kostengünstig ist.
  • Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Erzeugung eines Unterdrucks in einer Kammer mit einer ölgeschmierten Vakuumpumpe, einer die Vakuumpumpe mit der Kammer verbindenden Saugleitung und mindestens einem einen Gasstrom in der Saugleitung in Richtung der Vakuumpumpe erlaubenden Einwegeventil in der Saugleitung oder an/in der Vakuumpumpe, wobei in der Saugleitung stromaufwärts des Einwegeventils eine Einlassöffnung angeordnet ist, welche einen Gaseintritt von außen in die Saugleitung erlaubt, wobei der zwischen der Einlassöffnung und der Vakuumpumpe erzeugte Gasstrom stetig ist, wobei der Gaseintritt, beispielsweise durch die Einlassöffnung, so gehemmt wird, dass der in der Saugleitung ohne den Gaseintritt maximal erreichbare Unterdruck durch den Gaseintritt höchstens um 10% reduziert wird.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen und Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks nach dem Stand der Technik,
  • 2 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 3 eine schematische Darstellung einer alternativen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Saugbetrieb,
  • 4 eine schematische Darstellung der in 3 dargestellten Vorrichtung nach Erreichen des maximal erreichbaren Unterdrucks,
  • 5 ein Diagramm des in der Saugleitung anliegenden Drucks mit und ohne Gaseintritt durch die Einlassöffnung und
  • 6 eine schematische dreidimensionale Darstellung einer die Einlassöffnung, das Einwegeventil, das weitere Einwegeventil und das zusätzliche Einwegeventil zusammenfassenden Baugruppe.
  • 1 zeigt eine bisher verwendete Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks in einer Kammer 10 eines Bremskraftverstärkers 31. Dabei saugt eine ölgeschmierte und durch Öl abgedichtete Vakuumpumpe 12 Gas aus der Kammer 10 durch die Saugleitung 14. Die Saugrichtung der Vakuumpumpe 12 ist durch den Pfeil 20 und die Wanderungsrichtung des Öls aus der Vakuumpumpe 12 durch den Pfeil 22 angedeutet.
  • 2 zeigt eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer Kammer 10, einer ölgeschmierten Vakuumpumpe 12 und einer Saugleitung 14. Der Gasstrom ist durch die Pfeile 15 angedeutet. Die Vorrichtung weist ein Einwegeventil 16, welches als Kugelventil mit einer durch die Feder 24 beaufschlagten Kugel 26 ausgebildet ist, auf. Darüber hinaus sind das zusätzliche Einwegeventil 18 und das weitere Einwegeventil 19, welche jeweils auch als Kugelventile ausgebildet sind, vorhanden. Das zusätzliche Einwegeventil 18 und das weitere Einwegeventil 19 ist für die grundsätzliche Funktion der Vorrichtung nicht zwingend erforderlich. Durch die Einlassöffnung 27 in der Blende 28 und den Porenkörper 30 gelangt ein Gasstrom 15 über das weitere Einwegeventil 19 in die Saugleitung 14 und zur Vakuumpumpe 12. Der Gasstrom 15 verhindert durch seine Strömung ein Eindringen von Öl in die Saugleitung 14. 2 zeigt den Zustand der Vorrichtung nach Erreichen des mit dem Gaseintritt maximal erreichbaren Unterdrucks. Dabei sind das Einwegeventil 16 und das weitere Einwegeventil 19 geöffnet, während das zusätzliche Einwegeventil 18 wegen des beidseits des zusätzlichen Einwegeventils 18 identischen Drucks geschlossen ist.
  • 3 zeigt den Zustand der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Saugbetrieb, d. h. bevor der maximale Unterdruck erreicht ist. Die Kammer 10 befindet sich dabei in einem schematisch angedeuteten Bremskraftverstärker 31. Das weitere Einwegeventil 19 ist hier durch die von der Feder 24 ausgeübte Kraft so eingerichtet, dass es bis kurz vor Erreichen des maximal erreichbaren Unterdrucks geschlossen bleibt. Sowohl das Einwegeventil 16 als auch das zusätzliche Einwegeventil 18 sind in diesem Betriebszustand geöffnet.
  • 4 zeigt die in 3 dargestellte Vorrichtung nach Erreichen des mit dem Gaseintritt durch das weitere Einwegeventil 19 maximal erreichbaren Unterdrucks. Dabei ist das weitere Einwegeventil 19 stets geöffnet und ermöglicht dadurch einen permanenten geringen Gasstrom 15 in der Saugleitung 14 in Saugrichtung 20 der Vakuumpumpe 12. Das Einwegeventil 16 ist dabei ebenfalls geöffnet während das zusätzliche Einwegeventil 18 geschlossen ist.
  • Aus dem in 5 dargestellten Diagramm ist der Druckverlauf in der Saugleitung vor dem Einschalten, während des Betriebs und nach dem Ausschalten der ölgeschmierten Vakuumpumpe 12 in einer Vorrichtung gemäß 2, jedoch ohne das optionale weitere Einwegeventil 19, mit und ohne Gaseintritt durch die Einlassöffnung 27 dargestellt. Dabei zeigt der Druckverlauf ohne Gaseintritt 32, der mit verschlossener Blende 28 erreicht worden ist, gegenüber dem Druckverlauf mit Gaseintritt 34, der mit geöffneter Blende 28 erreicht worden ist, dass durch den Gaseintritt der in der Saugleitung 14 maximal erreichbare Unterdruck lediglich um etwa 40 mbar reduziert ist.
  • 6 zeigt eine schematische dreidimensionale Darstellung eines Bauteils, welches beispielsweise in die Saugleitung 14 einer herkömmlichen Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks, wie sie in 1 dargestellt ist, integriert werden kann, um dadurch zu einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zu gelangen. Das Bauteil besteht aus einem T-Stück 13, in welches das jeweils als Kugelventil mit einer Kugel 26 und einer Feder 24 ausgebildete Einwegeventil 16, das zusätzliche Einwegeventil 18 und das weitere Einwegeventil 19 integriert sind. Auf der äußeren Seite des weiteren Einwegeventils 19 sind der Porenkörper 30 und die Blende 28 mit der Einlassöffnung 27 zur Reduktion der durch das weitere Einwegeventil 19 strömenden Gasmenge vorgesehen. Die Federkraft der Feder 24 ist dabei so eingestellt, dass das weitere Einwegeventil 19 erst kurz vor Erreichen des maximal erreichbaren Unterdrucks öffnet.

Claims (17)

  1. Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks in einer Kammer (10) mit einer ölgeschmierten Vakuumpumpe (12), einer die Vakuumpumpe (12) mit der Kammer (10) vorbindenden Saugleitung (14) und mindestens einem einen Gasstrom (15) in der Saugleitung (14) in Richtung (20) der Vakuumpumpe (12) erlaubenden Einwegeventil (16) in der Saugleitung (14) oder an/in der Vakuumpumpe (12), wobei an/in der Saugleitung (14) stromaufwärts des Einwegeventils (16) eine Einlassöffnung (27) angeordnet ist, welche einen Gaseintritt von außen in die Saugleitung (14) erlaubt, wobei der zwischen der Einlassöffnung (27) und der Vakuumpumpe (12) erzeugte Gasstrom (15) stetig ist, wobei der Gaseintritt so gehemmt ist, dass der in der Saugleitung (14) ohne den Gaseintritt maximal erreichbare Unterdruck durch den Gaseintritt höchstens um 10% reduziert ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei der in der Saugleitung (14) ohne den Gaseintritt maximal erreichbare Unterdruck durch den Gaseintritt höchstens um 5%, insbesondere höchstens um 3%, insbesondere höchstens um 2%, insbesondere höchstens um 1%, reduziert ist.
  3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Gaseintritt durch einen begrenzten Durchlass der Einlassöffnung (27) und/oder einen Porenkörper (30) gehemmt ist.
  4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein weiteres Einwegeventil (19) vorgesehen ist, welches einen Gasdurchtritt durch die Einlassöffnung (27) in Richtung (20) der Vakuumpumpe (12) erst erlaubt, wenn mehr als 90%, insbesondere mehr als 95%, insbesondere mehr als 97%, insbesondere mehr als 98%, insbesondere mehr als 99%, des mit dem Gaseintritt maximal erreichbaren Unterdrucks in der Saugleitung (14) vorliegen.
  5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein den Gasstrom (15) in der Saugleitung (14) in Richtung (20) der Vakuumpumpe (12) erlaubendes zusätzliches Einwegeventil (18) vorgesehen ist, welches in der Saugleitung (14) stromaufwärts der Einlassöffnung (27) oder an/in der Kammer (10) angeordnet ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei das zusätzliche Einwegeventil (18) so eingerichtet ist, dass es bei dem in der Saugleitung (14) mit dem Gaseintritt maximal erreichbaren Unterdruck geschlossen ist.
  7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Vakuumpumpe (12) eine Drehschieberpumpe, eine Sperrschieberpumpe oder eine Trochoidenpumpe ist.
  8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kammer (10) in einem Bremskraftverstärker (31) angeordnet ist.
  9. Verwendung einer Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche zur Erzeugung eines Unterdrucks in einem Bremskraftverstärker (31).
  10. Verfahren zur Erzeugung eines Unterdrucks in einer Kammer (10) mit einer ölgeschmierten Vakuumpumpe (12), einer die Vakuumpumpe (12) mit der Kammer (10) verbindenden Saugleitung (14) und mindestens einem einen Gasstrom (15) in der Saugleitung (14) in Richtung (20) der Vakuumpumpe (12) erlaubenden Einwegeventil (16) in der Saugleitung (14) oder an/in der Vakuumpumpe (12), wobei in der Saugleitung (14) stromaufwärts des Einwegeventils (16) eine Einlassöffnung (27) angeordnet ist, welche einen Gaseintritt von außen in die Saugleitung (14) erlaubt, wobei der zwischen der Einlassöffnung (27) und der Vakuumpumpe (12) erzeugte Gasstrom (15) stetig ist, wobei der Gaseintritt so gehemmt wird, dass der in der Saugleitung (14) ohne den Gaseintritt maximal erreichbare Unterdruck durch den Gaseintritt höchstens um 10% reduziert wird.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei der in der Saugleitung (14) ohne den Gaseintritt maximal erreichbare Unterdruck durch den Gaseintritt höchstens um 5%, insbesondere höchstens um 3%, insbesondere höchstens um 2%, insbesondere höchstens um 1%, reduziert wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, wobei der Gaseintritt durch einen begrenzten Durchlass der Einlassöffnung (27) und/oder einen Porenkörper (30) gehemmt wird.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei ein weiteres Einwegeventil (19) vorgesehen ist, welches einen Gasdurchtritt durch die Einlassöffnung (27) in Richtung (20) der Vakuumpumpe (12) erst erlaubt, wenn mehr als 90%, insbesondere mehr als 95%, insbesondere mehr als 97%, insbesondere mehr als 98%, insbesondere mehr als 99%, des mit dem Gaseintritt maximal erreichbaren Unterdrucks in der Saugleitung (14) vorliegen.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, wobei ein zusätzliches einen Gasstrom (15) in der Saugleitung (14) in Richtung (20) der Vakuumpumpe (12) erlaubendes Einwegeventil (16) vorgesehen ist, welches in der Saugleitung (14) stromaufwärts der Einlassöffnung (27) oder an/in der Kammer (10) angeordnet ist.
  15. Verfahren nach Anspruch 14, wobei das zusätzliche Einwegeventil (18) so eingerichtet ist, dass es bei dem in der Saugleitung (14) mit dem Gaseintritt maximal erreichbaren Unterdruck geschlossen ist.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 15, wobei die Vakuumpumpe (12) eine Drehschieberpumpe, eine Sperrschieberpumpe oder eine Trochoidenpumpe ist.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16, wobei der Unterdruck in einem Bremskraftverstärker (31) erzeugt wird.
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