DE102008030788A1 - Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen - Google Patents

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Abstract

Vakuumpumpen weisen in einem durch ein Gehäuse gebildeten Schöpfraum angeordnete Pumpelemente auf. An den Pumpelementen, sowie an den Wänden des Schöpfraums lagern sich Verschmutzungen an. Zum Reinigen der Vakuumpumpe ist ein ein Reinigungsfluid aufweisender Behälter mit dem Schöpfraum verbunden. Ferner ist eine Steuereinrichtung vorgesehen, die mit mindestens einem Sensorelement verbunden ist. Mit Hilfe des Sensorelements wird mindestens ein Pumpenparameter erfasst und zur Weiterverarbeitung an die Steuereinheit übertragen. Zur Weiterbearbeitung weist die Steuereinheit ein Überwachungsprogramm auf. Durch das Überwachungsprogramm wird ein Reinigungsprogramm in Abhängigkeit von mindestens einem in der Steuereinheit hinterlegten Auslöseparameter ausgelöst, wobei das Reinigungsprogramm insbesondere zeit- und/oder mengengesteuert Reinigungsfluid dem Schöpfraum zuführt und den Vorgang bei Bedarf automatisch wiederholt. Das Reinigungsfluid kann bis zu deren Erschöpfung verwendet werden. Ferner ist eine Filterung des Reinigungsfluids von Feststoffen möglich.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen.
  • Mit Hilfe von Vakuumpumpen werden beispielsweise zur Durchführung von Beschichtungs-, Trocknungs- und Sinterprozessen Gase, insbesondere Luft, aus Beschichtungskammern oder dergleichen abgesaugt. Die abgesaugten Gase enthalten je nach Anwendung eine unterschiedliche Menge an Partikeln. Derartige Verschmutzungen lagern sich in dem Schöpfraum der Vakuumpumpe an der Innenseite des den Schöpfraum bildenden Gehäuses und/oder an den Pumpelementen ab. In derartigen Prozessen werden üblicherweise trockene Vakuumpumpen eingesetzt. Hierbei handelt es sich beispielsweise um Schraubenpumpen, Drehschieberpumpen, Wälzkolben-Pumpen oder entsprechend geeignete, insbesondere trockene Vakuumpumpen. Die Vakuumpumpen weisen stets einen Schöpfraum auf, in dem die Pumpelemente wie die Schrauben, die Schieber oder die Wälzkolben angeordnet sind.
  • Um Beschädigungen der Vakuumpumpe durch Verschmutzungen zu vermeiden ist es erforderlich, die Verunreinigungen an den Schöpfraumwänden und an den Pumpelementen zu entfernen. Hierzu ist es häufig erforderlich, die Pumpe zu demontieren und die Pumpelemente aus dem Schöpfraum zu entfernen, um die Verunreinigungen sodann mechanisch zu beseitigen. Eine derartige Reinigung der Vakuumpumpe ist zeit- und kostenintensiv. Ferner ist es erforderlich, den Prozess für einen längeren Zeitraum zu unterbrechen oder die zu reinigende Pumpe durch eine entsprechende Pumpe zu ersetzen. Dies setzt voraus, dass eine entsprechende Anzahl an Ersatzpumpen vorhanden ist, wodurch die Kosten des Herstellungsprozesses erhöht werden.
  • Ferner ist es bekannt, den Schöpfraum mittels einer Reinigungsflüssigkeit zu reinigen. Hierzu wird die Vakuumpumpe vom Prozess getrennt und eine geringe Menge an Reinigungsflüssigkeit dem Schöpfraum zugeführt. Aufgrund des in dem Schöpfraum herrschenden geringen Drucks erfolgt und ein unmittelbares Verdampfen der Reinigungsflüssigkeit. Durch das Auftreten von Kavitation erfolgt ein Absprengen bzw. Entfernen der Verschmutzungen von der Innenwand des Schöpfraums bzw. von den Pumpelementen. Zur Durchführung dieses Reinigungsverfahrens ist es erforderlich, dass ein entsprechend geringer Druck im Schöpfraum herrscht.
  • Das Starten eines derartigen Reinigungsprozesses erfolgt manuell, wobei während des Reinigungsprozesses eine vorgegebene Reinigungsmittelmenge, von beispielsweise einem Liter pro Minute dem Schöpfraum zugeführt wird. Hierzu weist die mit einem Vorratsbehälter für die Reinigungsflüssigkeit verbundene Zuleitung, zu der Zuleitung der Reinigungsflüssigkeit zu dem Schöpfraum dient, eine Blende auf. Der Reinigungsprozess wird beispielsweise dann von einem Benutzer gestartet, wenn er ein entsprechendes Warnsignal von der Vakuumpumpe erhält. Hierzu ist die Vakuumpumpe üblicherweise mit einem Vibrationssensor versehen, der beim Überschreiten eines Grenzwertes ein Warnsignal erzeugt. Ferner erfolgt unabhängig von der tatsächlich auftretenden Verschmutzung stets der gleiche Reinigungsprozess. Dies führt dazu, dass um sicherzustellen, dass, die Vakuumpumpe tatsächlich von Verschmutzungen gereinigt ist, ein zeitlich häufig zu langer Reinigungsprozess durchgeführt wird. Dies führt zu einem relativ langen Stillstand der Produktion sowie zu einem erhöhten Verbrauch an Reinigungsmittel, verbunden mit den Entsorgungskosten für gebrauchte Reinigungsmittel.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen zu schaffen, das effektiver und somit wirtschaftlicher ist.
  • Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch ein Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen gemäß Anspruch 1.
  • Die mit dem erfindungsgemäßen Verfahren zu reinigende Vakuumpumpe weist in einem einen Schöpfraum ausbildenden Gehäuse Pumpelemente auf. Bei den zu reinigenden Pumpen handelt es sich insbesondere um Schraubenpumpen, Drehschieberpumpen, Wälzkolbenpumpen, oder entsprechend geeignete, insbesondere trockene Vakuumpumpen. Bei den Pumpelementen handelt es sich somit beispielsweise um schraubenförmigen Rotoren, Schieber oder Wälzkolben, die in dem Schöpfraum angeordnet sind. Der Schöpfraum ist mit mindestens einem Behälter zur Bereitstellung eines Reinigungsfluids verbunden. Hierbei kann es sich bei dem Reinigungsfluid um eine Reinigungsflüssigkeit, ein Reinigungsgas oder ein entsprechendes Gemisch handeln. Ferner ist die zu reinigende Vakuumpumpe mit mindestens einem Sensorelement verbunden, wobei das Sensorelement mit einer Steuereinrichtung verbunden ist.
  • Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren wird zunächst mindestens ein Pumpenparameter von dem mindestens einen Sensorelement erfasst und an die Steuereinrichtung übermittelt. In der Steuereinrichtung erfolgt in einem in der Steuereinrichtung gespeicherten Überwachungsprogramm eine Weiterverarbeitung des mindestens einen Pumpenparameters. Zusätzlich zu dem Überwachungsprogramm ist in der Steuereinrichtung mindestens ein Auslöseparameter hinterlegt. Das Überwachungsprogramm verarbeitet den mindestens einen Pumpenparameter und löst in Abhängigkeit des mindestens einen Auslöseparameters, bei dem es sich beispielsweise um einen Schwell- oder Grenzwert handelt, ein Reinigungsprogramm aus. Durch das Reinigungsprogramm erfolgt ein insbesondere zeit- und/oder mengengesteuertes Zuführen von Reinigungsfluid zu dem Schöpfraum.
  • Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Reinigen von Vakuumpumpen besteht darin, dass automatisch in Abhängigkeit von Pumpenparametern sowie Auslösparametern ein Reinigungsprogramm gestartet wird. Ein manuelles Zuführen von Reinigungsflüssigkeit, beispielsweise durch manuelles Öffnen eines Ventils, ist nicht erforderlich. Ferner ist es durch Vorsehen eines insbesondere durch Computer gesteuerten Reinigungsprogramms möglich, dieses individuell, insbesondere in Abhängigkeit des zu pumpenden Gases einzustellen und anzupassen. Hierbei erfolgt vorzugsweise das Einstellen und/oder das Anpassen des Reinigungsprogramms an die aktuelle Situation automatisch.
  • Über geeignete Sensoren kann als Pumpenparameter vorzugsweise die Temperatur einzelner Bauteile der Vakuumpumpe erfasst werden. Beispielsweise kann die Temperatur des Gehäuses, der Pumpelemente und/oder des Antriebsmotors erfasst werden. Ferner kann die Temperatur eines Kühlmittels, wie eines beispielsweise die Pumpelemente kühlenden Öls oder auch des die Pumpe insbesondere das Pumpengehäuse kühlenden Luftstroms, ermittelt werden. Durch das Vorsehen entsprechender Sensoren kann ferner auch die Temperatur des gepumpten Gases, insbesondere am Schöpfraum-Einlass und/oder am Schöpfraum-Auslass gemessen werden. Die von den entsprechenden Sensorelemente gemessenen Temperaturen werden der Steuereinrichtung zur Weiterverarbeitung übermittelt.
  • Durch eine weitere Sensoreinrichtung ist es möglich, die Vibrationen bzw. Schwingungen der einzelnen Bauteile der Vakuumpumpe mit Hilfe von Vibrationssensoren zu messen. Hierbei kann insbesondere wiederum die Vibration bzw. Schwingung des Gehäuses, der Pumpelemente und/oder des Antriebsmotors gemessen werden.
  • Des Weiteren ist es vorteilhaft als Pumpenparameter Gasdrücke zu messen. Hierbei kann es sich um Drücke des gepumpten Gases, insbesondere am Schöpfraum-Einlass und/oder am Schöpfraum-Auslass handeln. Des Weiteren ist es möglich, einen Sperrgasdruck zu messen, sofern bei der Vakuumpumpe zur Abdichtung beispielsweise des Schöpfraums gegenüber einem Getrieberaum Sperrgas verwendet wird. Ebenso ist es möglich, den Kühlmitteldruck zu messen.
  • Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform wird die Leistungsaufnahme des Pumpenmotors gemessen und als Pumpenparameter zur Weiterverarbeitung an die Steuereinrichtung übermittelt.
  • Die vorstehend erläuterten Parameter können einzeln verarbeitet werden. Bevorzugt ist eine Kombination der gemessenen Pumpenparameter, wobei insbesondere einzelne oder sämtliche der vorstehend aufgeführten Pumpenparameter bestimmt und mittels des Überwachungsprogramms in der Steuereinrichtung weiterverarbeitet werden. Insbesondere durch die Kombination ausgewählter Pumpenparameter kann eine äußerst genaue Diagnose des Grades und der Art der Verschmutzung in der Vakuumpumpe erfolgen. Hierbei ist es besonders bevorzugt, dass mehrere Pumpenparameter unter Zugrundelegung eines Diagnosemodells miteinander verknüpft werden. Hierbei kann das Diagnosemodell insbesondere einen mathematischen Algorithmus aufweisen.
  • In Abhängigkeit des Diagnoseergebnisses in Verbindung mit den hinerlegten Auslöseparametern ist es sodann in besonders bevorzugter Ausführungsform möglich, ein entsprechend geeignetes Reinigungsprogramm auszuwählen, um ein möglichst effektives Reinigen der Vakuumpumpe zu ermöglichen. Hierbei kann beispielsweise auch manuell eine Vorauswahl getroffen werden und/oder einzelne Programmbestandteile des Reinigungsprogramms vom Benutzer konfektioniert werden.
  • Bei einer weiteren, besonders bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt auch während des Ablaufs des Reinigungsprogramms ein Messen von mindestens einem Pumpenparameter, wobei es sich hierbei um die selben zur Diagnose gemessenen Pumpenparameter handeln kann. Möglich ist jedoch auch, das Messen anderer Pumpenparameter oder nur eines Teils der zur Diagnose verwendeten Pumpenparameter. Durch ein entsprechendes Messen von Pumpenparametern während des Ablaufs des Reinigungsprogramms und einer entsprechenden Weiterverarbeitung in dem Überwachungsprogramm ggf. auf Basis eines anderen oder abgewandelten Diagnoseprogramms kann ein Steuern des Reinigungsprozesses erfolgen. Hierzu ist ggf. ein gesondertes Überwachungsprogramm bzw. eine gesonderte Software hinterlegt. Es ist somit beispielsweise durch Hinterlegen eines Reinigungsmodells in der Steuereinrichtung möglich, unmittelbar während des Reinigungsprozesses bereits die Wirkung der Reinigung zu überprüfen. Hierdurch kann die Effektivität erheblich gesteigert werden. Insbesondere kann der Reinigungsprozess beendet werden, sobald festgestellt wird, dass die Verschmutzungen bereits entfernt sind. Hierdurch kann die mittlere Dauer der Reinigungsprozesse deutlich verringert werden. Ferner ist es möglich, während des Reinigungsprozesses in Abhängigkeit der ermittelten Pumpenparameter beispielsweise zusätzliche Reinigungsflüssigkeiten zuzuführen, um schwer zu entfernende Verunreinigungen entfernen zu können und/oder den Reinigungsprozess zu wiederholen.
  • Ferner ist es bevorzugt, dass eine Reinigungsflüssigkeit und zusätzlich ein Reinigungsgas verwendet wird. Die Reinigungsflüssigkeit wird mit dem Reinigungsgas vorzugsweise vor dem Eintritt in den Schöpfraum gemischt, wobei das Mischungsverhältnis vorzugsweise in Abhängigkeit der Ergebnisse des Überwachungsprogramms gesteuert wird.
  • Des Weiteren ist es bevorzugt, unterschiedliche Reinigungsflüssigkeiten bereit zu stellen, wobei die Reinigungsflüssigkeiten vorzugsweise in unterschiedlichen Behältern bereit gestellt werden. Dies hat den Vorteil, dass insbesondere während des Reinigungsprozesses einzelne Reinigungsflüssigkeiten zudosiert werden können, oder die Mischungsverhältnisse angepasst werden können. Insbesondere sind chemische, biologische und/oder organische Reinigungsflüssigkeiten bereit gestellt. Als Reinigungsflüssigkeiten für Vakuumpumpen sind in Abhängigkeit des geförderten Gases insbesondere Zitronensäure, basische, saure, o der neutrale Lösemittel geeignet. Besonders vorteilhaft ist es, wechselweise organische und wässrige Reinigungsflüssigkeiten zu verwenden. Dies hat insbesondere den Vorteil, dass beispielsweise beim Spülen mit gut reinigenden, nicht flüchtigen und ein anschließendes Spülen mit flüchtigem Reinigungsmittel möglich ist, um ein zuverlässiges und schnelles Trocknen zu gewährleisten.
  • Zusätzlich zu der Reinigungsflüssigkeit sind insbesondere mehrere Reinigungsgase vorgesehen, die wiederum in unterschiedlichen Behältnissen vorgehalten sein können. Bei den Reinigungsgasen kann es sich beispielsweise um Stickstoff handeln. Dies ist insbesondere vorteilhaft, da Stickstoff auch als Sperrgas verwendet wird und insofern an der entsprechenden Anlage bereits ein Stickstoffvorratsbehälter vorhanden ist. Dies liegt darin begründet, dass Stickstoff auch als Gasballast verwendet wird. Als Reinigungsgase können insbesondere auch Fluor und Fluorverbindungen sowie aktive Gase verwendet werden.
  • Insbesondere bei der erfindungsgemäßen Ermittlung und Berücksichtigung mehrerer Pumpenparameter bei der Weiterverarbeitung in dem Überwachungsprogramm kann eine gute Diagnose der aufgetretenen Verschmutzung realisiert werden. In Abhängigkeit des Diagnoseergebnisses und der entsprechenden in der Steuerung hinterlegten Auslöseparameter kann sodann ein verschmutzungsspezifisches Reinigungsprogramm gestartet werden. Durch die in bevorzugte Weiterbildung der Erfindung erfolgende Messung der selben, weiterer oder eines Teils der Pumpenparameter auch während des Reinigungsvorganges, kann dieser geregelt werden, so dass die Wirkung der Reinigung unmittelbar berücksichtigt wird. Hierdurch ist ein erheblich zuverlässigeres Reinigen der Vakuumpumpe bei geringerem Zeitaufwand möglich.
  • Besonders bevorzugt ist es, dass Reinigungsmedium mehrfach zu verwenden. Insbesondere kann ein Kreislauf für das Reinigungsfluid vorgesehen sein. Dies stellt ein erhebliches Kostensersparnis dar, da wirksame Reinigungsfluide häufig teuer sind. Besonders bevorzugt ist es hierbei, das Reinigungsfluid nach dem Durchströmen des Schöpfraums wieder dem Behälter zuzuführen. Vorzugsweise erfolgt vor dem Zurückführen des Reinigungsfluids in den Bereitstellungs-Behälter ein Reinigen des Reinigungsfluids insbesondere von Festkörpern, das heißt gelösten Verunreinigungen. Um den Automatisierungsgrad weiter zu erhöhen ist es vorteilhaft, das Filterelement zum Filtern der Festkörper mit einem Sensor zu versehen, durch den detektiert wird, wann ein Reinigen bzw. Austauschen des Filterelements erforderlich ist. Bei dem Sensor kann es sich beispielsweise um einen Drucksensor handeln, der den Druckabfall über dem Filterelement misst. In Abhängigkeit des Druckabfalls kann beispielsweise ein Signal erzeugt werden, sobald der Filter zugesetzt ist, bzw. verschmutzt ist.
  • Des Weiteren ist es bevorzugt, die Qualität des Reinigungsfluid durch einen Sensor insbesondere ununterbrochen zu überprüfen. Dies stellt eine weitere Erhöhung des Automatisierungsgrades dar, da wiederum ein Warnsignal erzeugt werden kann, wenn ein Austauschen des Reinigungsfluids erforderlich ist. Ein entsprechender Sensor könnte beispielsweise in dem Bereitstellungsbehälter angeordnet sein. Es kann sich hierbei um handelsübliche Sensoren, wie Infrarotsensoren zur Messung der Verunreinigung etc. handeln. Auch Sensoren die den Säure- oder Basegehalt messen, können je nach Anwendungsfall vorgesehen sein.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegende Zeichnung näher erläutert.
  • Die schematisch dargestellte Vakuumpumpeneinrichtung weist eine Vakuumpumpe 10 auf, bei der es sich im dargestellten Beispiel um eine Schraubenpumpe handelt. Ein Einlass 12 der Vakuumpumpe 10 ist über eine Rohrleitung 14 mit einem nicht-dargestellten zu evakuierenden Raum, wie einem Behandlungsraum verbunden. Ein Auslass 16 der Vakuumpumpe ist über eine Rohrleitung mit einem Gas-/Flüssigkeits-Abscheider 18 verbunden. Dieser ist mit einem Gasauslass 20, sowie mit einem Flüssigkeitsauslass 22 versehen. Das zu pumpende Gas strömt somit, wie durch die Pfeile 24 dargestellt, durch die Vakuumpumpe 10.
  • Im Betrieb der Vakuumpumpe 10 setzen sich Verunreinigungen an den Wänden des durch das Gehäuse gebildeten Schöpfraums ab. Ferner setzen sich Verunreinigungen an den in dem Schöpfraum angeordneten Pumpeelementen, wie den Schraubenrotoren ab.
  • Über eine Gaszuleitung 26 ist, zumindest ein Lager der Vakuumpumpe 10 zur Zuführung von Sperrgas mit einem Gastank 28 verbunden. In der Leitung 26 ist ein Sperrgasventil 30 angeordnet. Das Sperrgas wird üblicherweise einer Dichtung zwischen dem Schöpfraum und dem Getrieberaum bzw. dem Motorraum zugeführt, um ein Eindringen des geförderten Gases/Dampfes in den Getrieberaum und somit ein ungewolltes Austreten aus der Vakuumpumpe zu vermeiden. Dies ist insbesondere bei toxischen oder explosiven Gasen/Dämpfen erforderlich.
  • Ferner ist mit dem Schöpfraum der Vakuumpumpe 10 eine weitere Gaszuführleitung 32 verbunden. Über diese Zuführleitung, die ebenfalls mit dem Gasbehälter 28 verbunden ist, kann dem Schöpfraum Gasballast zugeführt werden. In der Zuführleitung 32 ist eine Gasballastventil 34 angeordnet.
  • Um das erfindungsgemäße Reinigungsverfahren durchführen zu können, sind mit der Vakuumpumpe vorzugsweise mehrere Sensorelemente verbunden.
  • Hierbei handelt es sich insbesondere um einen Vibrationssensor sowie einen oder mehrere Temperatursensoren. Ferner können Drucksensoren vorgesehen sein, die vorzugsweise den Gasdruck am Schöpfraum-Einlass 12 sowie am Schöpfraum-Auslass 16 messen. Ferner können weitere Sensorelemente zur Ermittlung weiterer Pumpenparameter vorgesehen sein.
  • Die gemessenen Pumpenparameter werden über elektrische Leitungen 36 an eine Steuereinrichtung 38 übermittelt. Ein weiterer Pumpenparameter, der in besonders bevorzugter Ausführungsform ermittelt wird, ist die Stromaufnahme eines die Pumpe antreibenden Motors 40. Die gemessene Stromaufnahme wird über eine elektrische Leitung 42 ebenfalls an die Steuereinrichtung übermittelt. Mit Hilfe eines in der Steuereinrichtung 38 vorgesehenen Überwachungsprogramms, dem insbesondere ein Diagnosemodell zugrunde liegt, erfolgt ein Weiterbearbeiten der Pumpenparameter. In Abhängigkeit von mindestens einem der Steuereinrichtung hinterlegten Auslöseparameter wird durch die Steuereinrichtung 38 ein Reinigungsprogramm ausgelöst. In Abhängigkeit des ausgelösten Reinigungsprogramms werden ein Flüssigkeitszuführventil 44 sowie ein Gasventil 46 geregelt. Das Flüssigkeitszuführventil ist in einer Flüssigkeitsleitung 48 angeordnet, die mit einem Flüssigkeitsbehälter 50 verbunden ist. Über die Flüssigkeitsleitung 48 und über die Rohrleitung 14 wird dem Schöpfraum der Pumpe Reinigungsflüssigkeit zugeführt. Der Flüssigkeit wird zusätzlich über das Gasventil 46 Gas beigemischt. Hierzu ist das Gasventil 46 über eine Leitung 52 mit dem Gasbehälter 28 verbunden.
  • Bevorzugt ist es, zusätzlich zu dem dargestellten Flüssigkeitsbehälter 50 mehrere Flüssigkeitsbehälter mit unterschiedlichen Reinigungsflüssigkeiten vorzusehen. Auch das Vorsehen mehrerer Gasbehälter ist bevorzugt. Über die Steuereinrichtung 38 kann sodann ein eventuelles Mischen der einzelnen Fluide und ein individuelles Ansteuern der Ventile in Abhängigkeit eines Reinigungsprogramms erfolgen. Bevorzugt ist es ferner, dass während des Reinigungsprozesses weiterhin Pumpenparameter erfasst werden, so dass der Reinigungsprozess dem Reinigungsfortschritt angepasst werden kann.
  • Das während des Reinigungsprozesses durch die Vakuumpumpe 10 geförderte Medium wird in dem Gas-/Flüssigkeits-Abscheider 18 voneinander getrennt, so dass das Gas durch den Gasauslass 20 und die Flüssigkeit durch den Auslass 22 in eine Leitung 54 strömt. Mittels einer Förderpumpe 56 wird die abgeschiedene Flüssigkeit wieder in den Flüssigkeitsbehälter 50 zurückgefördert. Hierdurch kann eine wirtschaftliche Kreislaufführung der Reinigungsflüssigkeit realisiert werden. Es ist möglich, die Reinigungsflüssigkeit zu verwenden, bis eine Reinigungswirkung aufgrund Veränderungen in der Reinigungsflüssigkeit nicht mehr erzielt werden kann. Zum Messen der Qualität der Reinigungsflüssigkeit kann innerhalb des Behälters 50 ein entsprechender Sensor vorgesehen sein.
  • In Strömungsrichtung vor oder nach der Pumpe 56 kann ein Filterelement 57 angeordnet sein, um Feststoffe, wie gelöste Verunreinigungen auszufiltern. Mit Hilfe eines über dem Filterelement angeordneten Drucksensors 59 kann ein Druckabfall über den Filterelement 57 gemessen werden. Hierdurch kann auf einfache Weise beispielsweise ein Warnsignal erzeugt werden, sobald das Filterelement 57 ausgetauscht oder gereinigt werden muss.
  • Zum Starten der in der anliegenden Figur skizzierten Vorrichtung erfolgt zunächst ein Betätigen des Hauptschalters, um die entsprechenden Bauteile mit Strom zu versorgen und sodann ein Öffnen des Ventils 30. Anschließend werden alle vorhandenen Sensoren aktiviert. Ein an der Pumpe 12 saugseitig (nicht dargestelltes) vorgesehenes Ventil bleibt geschlossen, wohingegen das druckseitige Ventil, sofern dieses vorhanden ist, geöffnet wird. Anschließend wird die Pumpe 10 gestartet und gleichzeitig das Ventil 34 geöffnet. Die eingestellten Sensorwerte, die entsprechend einer ggf. hinterlegten Tabelle vorgenommen werden, liegen im Normal-Bereich bei ordnungsgemäß laufender Vorrichtung. Anschließend erfolgt ein Warmlaufen der Pumpe 10 über einen Bereich von etwa 15 bis 30 Minuten.
  • Nach dem Warmlaufen kann der Prozess zugeschaltet werden. Dies erfolgt, indem das saugseitige Ventil der Pumpe 10 geöffnet wird.
  • Ein planmäßiges oder auf Grund einer erforderlichen Reinigung kurzfristiges Abschalten der Pumpe erfolgt zunächst durch Schließen des saugseitigen Ventils der Pumpe. Die Pumpe 10 läuft bei geöffneten Ventilen 34, 30 für ca. 15 bis 30 Minuten weiter. Nach ca. 30 bis 40 Minuten erfolgt je nach Bauart ein Abschalten der Pumpe 10. Gleichzeitig wird, sofern vorhanden, auch ein Abgasventil verschlossen. Während das saugseitige Ventil verschlossen bleibt, erfolgt ein Schließen der Ventile 30, 34. Die Pumpe befindet sich nunmehr wieder in einer Startposition.
  • Alternativ kann beim Abschalten der Pumpe bzw. beim Beenden eines Prozesses auch ein Spülen über das Ventil 44 erfolgen. Hierbei wird entsprechend dem vorstehenden Prozedere beim Abschalten das saugseitige Ventil geschlossen und die beiden Ventile 30, 34 werden geöffnet. Zusätzlich werden die Ventile 44, 46 geöffnet. Ein entsprechendes Spülen erfolgt über einen Zeitraum von zwei bis fünf Minuten. Danach werden die Ventile 44, 46 wieder geschlossen. In dem Flüssigkeitsabscheider 18 sammelt sich die Spülflüssigkeit, die über einen Sensor, wie einen Liquifant, der mit dem Flüssigkeitsabscheider verbunden ist, angezeigt werden kann. Ein in der Leitung 54 angeordnetes Ventil kann geöffnet werden, um die Flüssigkeit mittels der Pumpe 56 abzupumpen. Anschließend wird das in der Leitung 54 vorhandene Ventil wieder geschlossen und die Pumpe 56 wieder abgestellt. Sollte sich in dem Flüssigkeitsabscheider 80 keine Flüssigkeit sammeln, ist es vorteilhaft, ein Warnsignal zu erzeugen und/oder eine Überprüfung des Füllstands des Tanks 50 vorzunehmen.
  • Anschließend erfolgt ein Trockenlaufen der Pumpe 10, wobei das saugseitige Ventil weiterhin geschlossen bleibt und die Ventile 30, 34 über einen Zeitraum von 15 bis 30 Minuten geöffnet sind. Anschließend kann die Pumpe 10 ausgeschaltet werden, wobei gleichzeitig auch ein Abgasventil, sofern dies vorhanden ist, geschlossen werden kann. Des Weiteren werden nunmehr die Ventile 30, 34 geschlossen. Die Pumpe befindet sich nunmehr wieder in Startposition.
  • Ferner ist es möglich, während oder nach dem Reinigungsprozess Überwachungsparameter abzufragen. Sollte ein Wert weiterhin über dem zulässigen Wert liegen, kann automatisch ein erneuter Reinigungszyklus durchgeführt werden.

Claims (17)

  1. Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen, mit in einem durch ein Gehäuse gebildeten Schöpfraum angeordneten Pumpelementen, einem mit dem Schöpfraum verbundenen Behälter (50) zur Bereitstellung eines Reinigungsfluids, und mindestens einem mit einer Steuereinrichtung (38) verbundenen Sensorelement, mit den Schritten: Erfassen mindestens eines Pumpenparameters durch das mindestens eine Sensorelement, Übertragen des Pumpenparameters an die Steuereinrichtung (38) zur Weiterverarbeitung in einem Überwachungsprogramm, und Auslösen eines Reinigungsprogramms bei dem insbesondere zeit- und/oder mengengesteuert Reinigungsfluid dem Schöpfraum zugeführt wird, in Abhängigkeit von mindestens einem, in der Steuereinrichtung (38) hinterlegten Auslöseparameter.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der mindestens eine Pumpenparameter die Temperatur einzelner Bauteile der Vakuumpumpe, insbesondere des Gehäuses, der Pumpeelemente, des Antriebsmotors (40) und/oder eines Kühlmittels der Vakuumpumpe, insbesondere der Pumpenelemente, und/oder des gepumpten Gases, insbesondere am Schöpfraumeinlass (12) und/oder am Schöpfraumauslass (16) umfasst.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem der mindestens eine Pumpenparameter Vibrationen bzw. Schwingungen einzelner Bauteile der Vakuumpumpe, insbesondere des Gehäuses, der Pumpeelemente, und/oder des Antriebsmotors (40) umfasst.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei welchem der mindestens eine Pumpenparameter einen Gasdruck des gepumpten Gases, insbesondere am Schöpfraumeinlass (12) und/oder am Schöpfraumauslass (14) umfasst.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei welchem der mindestens eine Pumpenparameter einen Sperrgasdruck und/oder einen Kühlmitteldruck umfasst.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei welchem der mindestens eine Pumpenparameter die Leistungsaufnahme des Pumpenmotors (40) umfasst.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei welchem in dem Überwachungsprogramm mehrere Pumpenparameter, insbesondere unter Zugrundelegung eines Diagnosemodells miteinander verknüpft werden.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei welchem unterschiedliche Reinigungsprogramme, insbesondere in Abhängigkeit des gepumpten Gases und/oder des Gasdurchsatzes wählbar und/oder konfektionierbar sind.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei welchem der Ablauf des Reinigungsprogramms in Abhängigkeit von während des Reinigungsvorgangs gemessenen Pumpenparametern variiert wird.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei welchem als Reinigungsfluid mindestens eine Reinigungsflüssigkeit und/oder mindestens ein Reinigungsgas verwendet wird, die bzw. das vorzugsweise vor dem Eintritt in den Schöpfraum gemischt werden.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei welchem die Reinigungsflüssigkeiten chemische, biologische und/oder organische Reinigungsflüssigkeiten aufweisen, wobei unterschiedliche Reinigungsflüssigkeiten vorzugsweise in unterschiedlichen Behältern bereitgestellt werden.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, bei welchem als Reinigungsgase trockenes Fluor, Fluorverbindungen, Stickstoff, Stickstoffverbindungen und/oder andere aktive Gase bzw. Gasgemische verwendet werden.
  13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, bei welchem das Mischverhältnis der unterschiedliche Reinigungsflüssigkeiten und/oder der unterschiedlichen Reinigungsgase in Abhängigkeit des von dem Überwachungsprogramm ausgelösten Reinigungsprogramms gewählt wird und vorzugsweise während des Ablaufs des Reinigungsprogramms insbesondere in Abhängigkeit gemessener Pumpenparameter geregelt wird.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, bei welchem das Reinigungsfluid mehrfach verwendet wird, insbesondere ein Reinigungsfluid-Kreislauf besteht.
  15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Reinigungsfluid nach dem Durchströmen des Schöpfraums wieder dem Bereitstellungs-Behälter (50) zugeführt wird.
  16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, bei welchem das Reinigungsfluid insbesondere von Festkörpern gereinigt wird.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, bei welchem die Qualität des Reinigungsfluids insbesondere mittels eines im Bereitstellungsbehälter (50) angeordneten Sensors überprüft wird.
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