NL9200076A - Werkwijze, droge meertrapspomp en plasmascrubber voor het omvormen van reactieve gassen. - Google Patents

Werkwijze, droge meertrapspomp en plasmascrubber voor het omvormen van reactieve gassen.

Info

Publication number
NL9200076A
NL9200076A NL9200076A NL9200076A NL9200076A NL 9200076 A NL9200076 A NL 9200076A NL 9200076 A NL9200076 A NL 9200076A NL 9200076 A NL9200076 A NL 9200076A NL 9200076 A NL9200076 A NL 9200076A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
conforming
reactive gases
stage pump
dry multi
plasma scrubber
Prior art date
Application number
NL9200076A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Leybold B V
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold B V filed Critical Leybold B V
Priority to NL9200076A priority Critical patent/NL9200076A/nl
Priority to JP5512354A priority patent/JPH07506289A/ja
Priority to EP93904389A priority patent/EP0642378B1/en
Priority to US08/256,604 priority patent/US5672322A/en
Priority to PCT/NL1993/000017 priority patent/WO1993013851A1/en
Priority to DE69325581T priority patent/DE69325581T2/de
Publication of NL9200076A publication Critical patent/NL9200076A/nl

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/32—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
NL9200076A 1992-01-16 1992-01-16 Werkwijze, droge meertrapspomp en plasmascrubber voor het omvormen van reactieve gassen. NL9200076A (nl)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL9200076A NL9200076A (nl) 1992-01-16 1992-01-16 Werkwijze, droge meertrapspomp en plasmascrubber voor het omvormen van reactieve gassen.
JP5512354A JPH07506289A (ja) 1992-01-16 1993-01-18 反応性ガスを転換するための方法，乾式多段ポンプ，プラズマスクラバー
EP93904389A EP0642378B1 (en) 1992-01-16 1993-01-18 Apparatus with a dry multi-stage pump and a plasma scrubber for converting reactive gases
US08/256,604 US5672322A (en) 1992-01-16 1993-01-18 Method, dry multi-stage pump and plasmascrubber for converting reactive gases
PCT/NL1993/000017 WO1993013851A1 (en) 1992-01-16 1993-01-18 Method, dry multi-stage pump and plasma scrubber for converting reactive gases
DE69325581T DE69325581T2 (de) 1992-01-16 1993-01-18 Verfahren mit einer trockenen mehrstufigen pumpe und einer plasmawäsche zur umwandlung reaktiver gase

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL9200076A NL9200076A (nl) 1992-01-16 1992-01-16 Werkwijze, droge meertrapspomp en plasmascrubber voor het omvormen van reactieve gassen.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL9200076A true NL9200076A (nl) 1993-08-16

Family

ID=19860304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL9200076A NL9200076A (nl) 1992-01-16 1992-01-16 Werkwijze, droge meertrapspomp en plasmascrubber voor het omvormen van reactieve gassen.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5672322A (nl)
EP (1) EP0642378B1 (nl)
JP (1) JPH07506289A (nl)
DE (1) DE69325581T2 (nl)
NL (1) NL9200076A (nl)
WO (1) WO1993013851A1 (nl)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9615859D0 (en) * 1996-07-29 1996-09-11 Boc Group Plc Processes and apparatus for the scrubbing of exhaust gas streams
JPH11230036A (ja) 1998-02-18 1999-08-24 Ebara Corp 真空排気システム
TW482871B (en) * 1999-03-05 2002-04-11 Tadahiro Ohmi Vacuum device
KR200206254Y1 (ko) * 2000-06-27 2000-12-01 최대규 플라즈마 건식 가스 세정기
KR100506506B1 (ko) * 2003-07-11 2005-08-05 위순임 플라즈마 건식 세정기
FR2863103B1 (fr) * 2003-12-01 2006-07-14 Cit Alcatel Systeme de traitement des gaz par plasma integre dans une pompe a vide
JP4633370B2 (ja) * 2004-02-17 2011-02-16 財団法人国際科学振興財団 真空装置
DE102006039529A1 (de) * 2006-08-23 2008-03-06 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zur Abreaktion selbstentzündlicher Stäube in einer Vakuumpumpvorrichtung
DE202013003819U1 (de) * 2013-04-24 2014-07-25 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpen-System
JP6472653B2 (ja) * 2014-03-17 2019-02-20 株式会社荏原製作所 除害機能付真空ポンプ
GB2540754A (en) 2015-07-22 2017-02-01 Edwards Ltd Abatement system

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD207157B1 (de) * 1982-04-07 1987-07-15 Mikroelektronik Zt Forsch Tech Verfahren und vorrichtung zur reinigung halogenhaltiger plasma-prozessabgase
DD237951A3 (de) * 1984-06-06 1986-08-06 Mikroelektronik Zt Forsch Tech Vorrichtung zum reinigen halogenhaltiger schadstoffe
US5137701A (en) * 1984-09-17 1992-08-11 Mundt Randall S Apparatus and method for eliminating unwanted materials from a gas flow line
DE3611429A1 (de) * 1985-02-15 1986-11-06 SKF Steel Engineering AB, Hofors Verfahren zur abfallzersetzung
US4735633A (en) * 1987-06-23 1988-04-05 Chiu Kin Chung R Method and system for vapor extraction from gases
US4845334A (en) * 1988-01-26 1989-07-04 Oregon Metallurgical Corporation Plasma furnace inert gas recycling system and process
GB2226552B (en) * 1988-11-10 1992-09-16 Jeol Ltd Method and apparatus for decomposing halogenated organic compound
EP0448750B1 (de) * 1990-03-27 1996-05-01 Leybold Aktiengesellschaft Mehrstufige trockenverdichtende Vakuumpumpe und Verfahren zu ihrem Betrieb

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07506289A (ja) 1995-07-13
DE69325581D1 (de) 1999-08-12
EP0642378B1 (en) 1999-07-07
WO1993013851A1 (en) 1993-07-22
DE69325581T2 (de) 2000-06-29
EP0642378A1 (en) 1995-03-15
US5672322A (en) 1997-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL190155C (nl) Werkwijze voor het winnen van zwavel uit een stroom toevoergas, alsmede inrichting voor de winning van zwavel uit een dergelijke stroom toevoergas.
NL7711646A (nl) Werkwijze voor het winnen van stikstofrijke gassen uit gassen die behalve stikstof ten- minste zuurstof bevatten, b.v. lucht.
NL9200076A (nl) Werkwijze, droge meertrapspomp en plasmascrubber voor het omvormen van reactieve gassen.
EP0955267A4 (en) ZIRCONIUM AND CERIUM COMPOUND OXIDE, CORRESPONDING PROCESS AND CO-CATALYST FOR GAS CLEANING
NO910333D0 (no) Fremgangsmaate for plasmasprengning.
EP0655103A4 (en) EXHAUST GAS PREHEATING SYSTEM.
NL1007439A1 (nl) Gereedschap voor gebruik bij boorhandelingen en werkwijze voor boorhandelingen.
NL7811183A (nl) Werkwijze en gas voor het behandelen van halfgeleiders.
DE69433285D1 (de) Hepatitis-b-virusmutanten, und verbindungen und verfahren für ihre bestimmung
NL7900684A (nl) Preparaat voor het behandelen van metaaloppervlakken, en werkwijze voor de bereiding daarvan.
NL9001405A (nl) Werkwijze voor het regelen van rondvoerverlies bij putboren.
EP1043065A4 (en) EXHAUST GAS PURIFICATION CATALYST, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND EXHAUST GAS PURIFICATION METHOD
NL7807184A (nl) Werkwijze en installatie voor het transporteren van reele gassen, in het bijzonder aardgas.
EP0667182A3 (en) Exhaust gas purifier and method for cleaning exhaust gas.
NL186377C (nl) Werkwijze voor het opwerken van zwavelwaterstof bevattende gassen.
ZA200000523B (en) Process for the treatment of steel work gases.
IL110454A (en) Process for plasma treatment of antiballistically effective materials
NL1001399A1 (nl) Metaalniobaten en of -tantalaten, werkwijze voor de bereiding daarvan, alsmede de verdere verwerking daarvan tot perovskieten.
DK0605719T3 (da) Fremgangsmåde til behandling af udstødsgas
NL189444C (nl) Werkwijze voor het behandelen van tabak.
NL194311B (nl) Kleurfilter, alsmede werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
NL7900825A (nl) Werkwijze voor het reinigen van meertrapsturbocompres- soren voor gassen.
GR3021369T3 (en) Method and apparatus for selective reduction of the no-content of exhaust gases from a kiln plant.
NL184916C (nl) Werkwijze voor het met damp ontvetten van werkstukken.
AU6942391A (en) Method and equipment for the removal of pitch- or tar-like harmful substances, present in exhaust gases

Legal Events

Date Code Title Description
A1B A search report has been drawn up
BV The patent application has lapsed