RU2016141339A - Способ откачки в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов - Google Patents

Способ откачки в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов Download PDF

Info

Publication number
RU2016141339A
RU2016141339A RU2016141339A RU2016141339A RU2016141339A RU 2016141339 A RU2016141339 A RU 2016141339A RU 2016141339 A RU2016141339 A RU 2016141339A RU 2016141339 A RU2016141339 A RU 2016141339A RU 2016141339 A RU2016141339 A RU 2016141339A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum pump
ejector
dry screw
check valve
gas outlet
Prior art date
Application number
RU2016141339A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2660698C2 (ru
Inventor
Дидье МЮЛЛЕР
Жан-Эрик ЛЯРШЕ
Теодор ИЛЬЧЕВ
Original Assignee
Ателье Буш Са
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ателье Буш Са filed Critical Ателье Буш Са
Publication of RU2016141339A publication Critical patent/RU2016141339A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2660698C2 publication Critical patent/RU2660698C2/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
    • F04C28/065—Capacity control using a multiplicity of units or pumping capacities, e.g. multiple chambers, individually switchable or controllable
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/14—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
    • F04F5/16—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
    • F04F5/20—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/48—Control
    • F04F5/52—Control of evacuating pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/54—Installations characterised by use of jet pumps, e.g. combinations of two or more jet pumps of different type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2210/00—Fluid
    • F04C2210/22—Fluid gaseous, i.e. compressible
    • F04C2210/221—Air
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2210/00—Fluid
    • F04C2210/22—Fluid gaseous, i.e. compressible
    • F04C2210/225—Nitrogen (N2)
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/30—Use in a chemical vapor deposition [CVD] process or in a similar process

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Claims (42)

1. Способ откачки в системе (SP) вакуумных насосов, содержащей:
- первичный сухой винтовой вакуумный насос (3), имеющий отверстие (2) входа газов, соединенное с вакуумной камерой (1), и отверстие (4) выхода газов, сообщающееся с каналом (5) перед выходом (8) газов системы (SP) вакуумных насосов,
- обратный клапан (6), установленный в канале (5) между отверстием (4) выхода газов и выходом (8) газов, и
- эжектор (7), установленный параллельно с обратным клапаном (6),
при этом способ отличается тем, что
запускают первичный сухой винтовой вакуумный насос (3) для откачки газов, содержащихся в вакуумной камере (1), через отверстие (4) выхода газов;
одновременно подают рабочую текучую среду в эжектор; и
рабочую текучую среду продолжают подавать в эжектор (7) в течение всего времени, пока первичный сухой винтовой вакуумный насос (3) откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего времени, пока сухой винтовой вакуумный насос (3) поддерживает определенное давление в вакуумной камере (1).
2. Способ откачки по п. 1, отличающийся тем, что выход эжектора (7) соединен с каналом (5) после обратного клапана (6).
3. Способ откачки по п.1 или 2, отличающийся тем, что параметры эжектора (7) рассчитаны для минимального потребления рабочей текучей среды.
4. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что номинальный расход эжектора (7) выбирают в зависимости от объема выходного канала (5) первичного сухого винтового вакуумного насоса (3), который ограничен обратным клапаном (6).
5. Способ откачки по п. 4, отличающийся тем, что расход эжектора (7) составляет от 1/500 до 1/20 номинального расхода первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
6. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что рабочей текучей средой эжектора (7) является сжатый воздух и/или азот.
7. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что эжектор (7) является многоступенчатым или одноступенчатым.
8. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда давление всасывания первичного сухого винтового вакуумного насоса (3) находится в пределах от 500 миллибар абсолютного давления до значения конечного разрежения.
9. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что эжектор (7) выполнен из материала, обладающего повышенной химической стойкостью к веществам и газам, обычно применяемым в полупроводниковой промышленности.
10. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что эжектор (7) встроен в патрон, который содержит обратный клапан (6).
11. Способ откачки по п. 10, отличающийся тем, что патрон установлен в глушителе, закрепленном на отверстии (5) выхода газов первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
12. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что поток газов при давлении, необходимом для работы эжектора (7), обеспечивается компрессором (10).
13. Способ откачки по п. 12, отличающийся тем, что компрессор (10) приводится во вращение по меньшей мере одним из валов первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
14. Способ откачки по п. 12, отличающийся тем, что компрессор (10) вращается автономно, независимо от первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
15. Способ откачки по п.12, отличающийся тем, что компрессор (10) засасывает атмосферный воздух или газы в канале (8) выхода газов после обратного клапана (6).
16. Система (SP) вакуумных насосов, содержащая:
- первичный сухой винтовой вакуумный насос (3), имеющий отверстие (2) входа газов, соединенное с вакуумной камерой (1), и отверстие (4) выхода газов, сообщающееся с каналом (5) перед выходом (8) газов системы (SP) вакуумных насосов,
- обратный клапан (6), установленный в канале (5) между отверстием (4) выхода газов и выходом (8) газов, и
- эжектор (7), установленный параллельно с обратным клапаном (6),
при этом система (SP) вакуумных насосов отличается тем, что
эжектор (7) выполнен с возможностью получения питания рабочей текучей средой в течение всего времени, пока первичный сухой винтовой вакуумный насос (3) откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего времени, пока сухой винтовой вакуумный насос (3) поддерживает определенное давление в вакуумной камере (1).
17. Система вакуумных насосов по п.16, отличающаяся тем, что выход эжектора (7) соединен с каналом (5) после обратного клапана (6).
18. Система вакуумных насосов по п.16 или 17, отличающаяся тем, что параметры эжектора (7) рассчитаны для минимального потребления рабочей текучей среды.
19. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что номинальный расход эжектора (7) выбирают в зависимости от объема выходного канала (5) первичного сухого винтового вакуумного насоса (3), который ограничен обратным клапаном (6).
20. Система вакуумных насосов по п. 19, отличающаяся тем, что расход эжектора (7) составляет от 1/500 до 1/20 номинального расхода первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
21. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что рабочей текучей средой эжектора (7) является сжатый воздух и/или азот.
22. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что эжектор (7) является многоступенчатым или одноступенчатым.
23. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда давление всасывания первичного сухого винтового вакуумного насоса (3) находится в пределах от 500 миллибар абсолютного давления до значения конечного разрежения.
24. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что эжектор (7) выполнен из материала, обладающего повышенной химической стойкостью к веществам и газам, обычно применяемым в полупроводниковой промышленности.
25. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что эжектор (7) встроен в патрон, который содержит обратный клапан (6).
26. Система вакуумных насосов по п. 25, отличающаяся тем, что патрон установлен в глушителе, закрепленном на отверстии (5) выхода газов первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
27. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что содержит компрессор (10), который обеспечивает поток газов при давлении, необходимом для работы эжектора (7).
28. Система вакуумных насосов по п. 27, отличающаяся тем, что компрессор (10) приводится во вращение по меньшей мере одним из валов первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
29. Система вакуумных насосов по п. 27, отличающаяся тем, что компрессор (10) вращается автономно, независимо от первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
30. Система вакуумных насосов по п.27, отличающаяся тем, что компрессор (10) засасывает атмосферный воздух или газы в канале (8) выхода газов после обратного клапана (6).
RU2016141339A 2014-03-24 2014-04-07 Способ откачки в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов RU2660698C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EPPCT/EP2014/055822 2014-03-24
EP2014055822 2014-03-24
PCT/EP2014/056938 WO2015144254A1 (fr) 2014-03-24 2014-04-07 Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2016141339A true RU2016141339A (ru) 2018-04-24
RU2660698C2 RU2660698C2 (ru) 2018-07-09

Family

ID=50346017

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016141339A RU2660698C2 (ru) 2014-03-24 2014-04-07 Способ откачки в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов

Country Status (15)

Country Link
US (1) US10260502B2 (ru)
EP (1) EP3123030B1 (ru)
JP (1) JP6445041B2 (ru)
KR (1) KR102190221B1 (ru)
CN (1) CN106232992A (ru)
AU (1) AU2014388058B2 (ru)
BR (1) BR112016021735B1 (ru)
CA (1) CA2943315C (ru)
DK (1) DK3123030T3 (ru)
ES (1) ES2752762T3 (ru)
PL (1) PL3123030T3 (ru)
PT (1) PT3123030T (ru)
RU (1) RU2660698C2 (ru)
TW (1) TWI651471B (ru)
WO (1) WO2015144254A1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018178846A (ja) * 2017-04-12 2018-11-15 株式会社荏原製作所 真空ポンプ装置の運転制御装置、及び運転制御方法
DE102021107055A1 (de) * 2021-03-22 2022-09-22 Inficon Gmbh Funktionsprüfung einer Leckdetektionsvorrichtung für die Dichtheitsprüfung eines mit einer Flüssigkeit gefüllten Prüflings

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3536418A (en) * 1969-02-13 1970-10-27 Onezime P Breaux Cryogenic turbo-molecular vacuum pump
FR2822200B1 (fr) * 2001-03-19 2003-09-26 Cit Alcatel Systeme de pompage pour gaz a faible conductivite thermique
SE0201335L (sv) * 2002-05-03 2003-03-25 Piab Ab Vakuumpump och sätt att tillhandahålla undertryck
JP4745779B2 (ja) 2005-10-03 2011-08-10 神港精機株式会社 真空装置
FR2952683B1 (fr) 2009-11-18 2011-11-04 Alcatel Lucent Procede et dispositif de pompage a consommation d'energie reduite
US20120261011A1 (en) * 2011-04-14 2012-10-18 Young Man Cho Energy reduction module using a depressurizing vacuum apparatus for vacuum pump
FR2993614B1 (fr) * 2012-07-19 2018-06-15 Pfeiffer Vacuum Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
PL3137771T3 (pl) * 2014-05-01 2020-10-05 Ateliers Busch S.A. Sposób pompowania w układzie pompującym i układ pomp próżniowych
KR102330815B1 (ko) * 2014-10-02 2021-11-24 아뜰리에 부쉬 에스.아. 진공을 발생시키기 위한 펌핑 시스템 및 이 펌핑 시스템에 의한 펌핑 방법

Also Published As

Publication number Publication date
DK3123030T3 (da) 2019-10-14
PL3123030T3 (pl) 2020-03-31
TWI651471B (zh) 2019-02-21
EP3123030A1 (fr) 2017-02-01
KR102190221B1 (ko) 2020-12-14
US20170089339A1 (en) 2017-03-30
RU2660698C2 (ru) 2018-07-09
ES2752762T3 (es) 2020-04-06
PT3123030T (pt) 2019-10-25
JP2017519141A (ja) 2017-07-13
KR20160137596A (ko) 2016-11-30
EP3123030B1 (fr) 2019-08-07
WO2015144254A1 (fr) 2015-10-01
AU2014388058B2 (en) 2019-02-21
CN106232992A (zh) 2016-12-14
BR112016021735B1 (pt) 2022-07-05
AU2014388058A1 (en) 2016-10-13
CA2943315A1 (fr) 2015-10-01
CA2943315C (fr) 2021-09-21
JP6445041B2 (ja) 2018-12-26
US10260502B2 (en) 2019-04-16
TW201600723A (zh) 2016-01-01
BR112016021735A2 (pt) 2021-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2017114342A (ru) Система откачки для создания вакуума и способ откачки при помощи этой системы откачки
PE20181937A1 (es) Monitoreo de bomba
NO20190005A1 (en) Method and system for pumping a liquid containing particles, preferably fish in water
WO2011077105A3 (en) Dry vacuum pump with purge gas system and method of purging
EP2626562A3 (en) Pump
ECSP17074542A (es) Sistema de accionamiento para bombas de inyección de productos químicos y compresores de aire instrumental
WO2014186512A4 (en) Positive displacement pump
RU2017102492A (ru) Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов
RU2016142607A (ru) Способ откачки в насосной системе и система вакуумных насосов
RU2016141339A (ru) Способ откачки в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов
BR112017005927A2 (pt) sistema de bombeamento para gerar um vácuo e método de bombeamento por meio deste sistema de bombeamento
WO2018033790A3 (en) Pressure system
MX2014001964A (es) Aparato compresor con cabezal con multiples valvulas.
RU2018100476A (ru) Система добычи нефти
MX2021013915A (es) Bomba duplex submarina, sistema de bombeo submarino y metodo de bombeo submarino.
MX2019007655A (es) Sistemas de extraccion de hidrocarburos utilizando bomba de tubo flexible.
PL1698220T3 (pl) Przewoźne urządzenie do pompowania
AU2017903017A0 (en) A method for measuring and monitoring the energy efficiency of pumps and pump systems without the requirement for flow rate or power meters. The method is also applicable to some types of compressor, such as air blowers, as in principle it can be employed for any fluid (liquid or gas).
MY178297A (en) A gas compressor
TH68712B (th) คอมเพรสเซอร์เเบบสกรูที่ระบายความร้อนด้วยน้ำมัน
TH142205A (th) คอมเพรสเซอร์เเบบสกรูที่ระบายความร้อนด้วยน้ำมัน
RU2014123325A (ru) Способ работы поршневого насос-компрессора и устройство для его осуществления