EP3123030A1 - Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide - Google Patents

Méthode de pompage dans un système de pompes à vide et système de pompes à vide

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EP3123030A1
EP3123030A1 EP14715334.0A EP14715334A EP3123030A1 EP 3123030 A1 EP3123030 A1 EP 3123030A1 EP 14715334 A EP14715334 A EP 14715334A EP 3123030 A1 EP3123030 A1 EP 3123030A1
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EP
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vacuum pump
ejector
primary
screw
dry
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EP14715334.0A
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Didier MÜLLER
Jean-Eric Larcher
Théodore ILTCHEV
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Ateliers Busch SA
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Definitions

  • the present invention relates to a pumping method for improving flow and final vacuum performance in a vacuum pump system whose main pump is a screw-type dry vacuum pump, while reducing the output gas temperature and its electrical energy consumption. Also, the present invention relates to a vacuum pump system that can be used to perform the method of the present invention.
  • the speed of rotation of the pump plays a very important role which defines the operation of the pump in the different phases of emptying the speakers.
  • the electrical power required in the pumping phases at suction pressures between atmospheric pressure and 100 mbar about or otherwise said to mass flow strong would be very high.
  • the trivial solution is to use a speed variator which allows the reduction or the increase of the speed and consequently of the power according to the different criteria of the pressure type, maximum current, limit torque, temperature, etc. But during the periods of operation in reduced speed of rotation there are drops of flow at high pressure, the flow rate being proportional to the speed of rotation. Variation in speed by frequency converter imposes a cost and a
  • Another object of the present invention is to propose a pumping method in a vacuum pump system making it possible to obtain a flow rate higher at low pressure than that which can be obtained by means of a dry type vacuum pump alone when pumping a vacuum chamber.
  • the present invention also aims to propose a method of pumping in a vacuum pump system to reduce the electrical energy required for the vacuum of a vacuum chamber and its maintenance, as well as the drop in temperature exhaust gases.
  • a pumping method which is carried out in the context of a pumping system whose configuration consists essentially of a dry screw-type primary vacuum pump provided with an orifice. a gas inlet connected to a vacuum chamber and a gas outlet opening in a conduit which is provided with a check valve before opening into the atmosphere or other devices.
  • the suction of an ejector is connected in parallel with the non-return valve, its outlet going to the atmosphere or joining the conduit of the primary pump after the non-return valve.
  • the method essentially consists in supplying the driving fluid and operating the ejector continuously all the time that the primary vacuum pump dries screw pumps the gases contained in the vacuum chamber by the gas inlet orifice, but as long as the primary dry screw vacuum pump maintains a defined pressure (eg the final vacuum) in the chamber by pushing up the gases through its outlet.
  • a defined pressure eg the final vacuum
  • the invention resides in the fact that the coupling of the dry screw primary vacuum pump and the ejector does not require specific measurements and devices (eg pressure sensors, temperature sensors, current, etc.), servocontrols or data and calculation management. Therefore, the vacuum pump system adapted for carrying out the pumping method according to the present invention comprises a minimal number of components, is very simple and costs significantly less than existing systems.
  • the invention lies in the fact that, thanks to the new pumping method, the primary dry screw vacuum pump can operate at a single constant speed, that of the electrical network, or rotate at variable speeds according to its own mode of operation. Therefore, the complexity and cost of the vacuum pump system adapted for carrying out the pumping method according to the present invention can be further reduced.
  • the ejector built into the vacuum pump system can still operate without damage according to this method of pumping. Its dimensioning is conditioned by a minimum motor fluid consumption for the operation of the device. It is normally single-storey. Its nominal flow rate is chosen as a function of the volume of the outlet duct of the dry primary vacuum pump with screw limited by the non-return valve. This flow rate may be 1/500 to 1/20 of the nominal flow rate of the dry primary screw vacuum pump, but may also be lower or higher than these values.
  • the driving fluid for the ejector may be compressed air, but also other gases, for example nitrogen.
  • the non-return valve placed in the duct at the outlet of the dry primary screw vacuum pump, may be a standard item available commercially. It is dimensioned according to the nominal flow rate of the dry primary screw vacuum pump. In particular, it is expected that the check valve closes when the suction pressure of the primary dry screw vacuum pump is between 500 mbar absolute and the final vacuum (eg 100 mbar).
  • the ejector is multi-stage.
  • the ejector may be made of high chemical resistance material substances and gas commonly used in the semiconductor industry, both in the single-stage ejector variant as in that of the multi ejector -floor.
  • the ejector is preferably small.
  • the ejector is integrated in a cartridge which incorporates the non-return valve.
  • the ejector is integrated in a cartridge which incorporates the check valve and this cartridge itself is housed in an exhaust silencer, fixed to the gas outlet port of the vacuum pump. primary dry screw.
  • the ejector still pumps in the volume between the gas outlet of the dry primary vacuum pump screw and the check valve.
  • the flow of gas at the pressure necessary for the operation of the ejector is provided by a compressor.
  • this compressor can be driven by at least one of the shafts of the primary dry screw pump or, alternatively or additionally, independently, independent of the primary dry screw pump.
  • This compressor can draw atmospheric air or gases into the gas outlet duct after the non-return valve. The presence of such a compressor makes the screw pump system independent of a source of compressed gas, which can meet certain industrial environments.
  • the pressure is high, for example equal to the atmospheric pressure. Due to the compression in the dry primary screw vacuum pump, the pressure of the gases discharged at its outlet is higher than the atmospheric pressure (if the gases at the outlet of the primary pump are discharged directly to the atmosphere) or higher. than the pressure at the input of another device connected downstream. This causes the non-return valve to open.
  • the screw-type primary vacuum pump consumes less and less energy for compression and produces less and less compression heat.
  • FIG. 1 schematically shows a vacuum pump system adapted for performing a pumping method according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 schematically shows a vacuum pump system adapted for carrying out a pumping method according to a second embodiment of the present invention.
  • Figure 1 shows a vacuum pump system SP adapted for implementing a pumping method according to a first embodiment of the present invention.
  • This vacuum pump system SP comprises an enclosure 1, which is connected to the suction port 2 of a dry primary screw vacuum pump 3.
  • the gas outlet orifice of the primary vacuum pump dries at 3 is connected to the duct 5.
  • a discharge non-return valve 6 is placed in the duct 5, which after this non-return valve continues in gas outlet duct 8.
  • the non-return valve 6, when it is closed, allows the formation of a volume 4, between the gas outlet port of the primary vacuum pump 3 and itself.
  • the vacuum pump system SP also comprises an ejector 7, connected in parallel with the non-return valve 6.
  • the suction orifice of the ejector is connected to the volume 4 of the duct 5 and its discharge orifice is connected to the duct 8.
  • the supply duct 9 provides the driving fluid for the ejector 7.
  • the driving fluid for the ejector 7 is injected through the feed duct 9.
  • the dry screw-type primary vacuum pump 3 draws the gases into the enclosure 1 through the duct 2 connected to its inlet and compresses them to discharge thereafter at its exit in the duct 5 by the non-return valve 6.
  • the closing pressure of the non-return valve 6 is reached, it closes . From this moment the pumping of the ejector 7 gradually lowers the pressure in the volume 4 to the value of its limit pressure.
  • the power consumed by the screw-type 3 dry primary vacuum pump drops
  • Figure 2 shows a vacuum pump system SP adapted for the implementation of a pumping method according to a second embodiment of the present invention.
  • the system represented in FIG. 2 furthermore comprises a compressor 10 which supplies the gas flow rate at the pressure necessary for the operation of the ejector 7.
  • this compressor 10 can aspire atmospheric air or gases in the gas outlet duct 8 after the non-return valve 6. Its presence makes the vacuum pump system independent of a source of compressed gas, which can respond to certain industrial environments.
  • the compressor 10 can be driven by at least one shaft of the primary dry screw pump 3 or by its own electric motor, so completely

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Abstract

Système et méthode de pompage comprenant : une pompe à vide primaire sèche à vis (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompage (SP), un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et un éjecteur (7) branché en parallèle au clapet anti-retour (6). La pompe à vide primaire sèche à vis (3) est mise en marche afin de pomper les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) par l'orifice de sortie des gaz (4). De manière simultanée, l'éjecteur (7) est alimenté en fluide moteur, et l'éjecteur (7) continue d'être alimenté en fluide moteur tout le temps que la pompe à vide primaire sèche à vis (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1) et/ou tout le temps que la pompe à vide primaire sèche à vis (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide (1).

Description

Méthode de pompage dans un système de pompes à vide
et système de pompes à vide
Domaine technique de l'invention
La présente invention se rapporte à une méthode de pompage permettant d'améliorer les performances en termes de débit et de vide final dans un système de pompes à vide dont la pompe principale est une pompe à vide sèche de type à vis, tout en réduisant la température des gaz de sortie et sa consommation d'énergie électrique. Egalement, la présente invention se rapporte à un système de pompes à vide qui peut être utilisé pour réaliser la méthode selon la présente invention.
Art antérieur
Les tendances générales d'augmentation des performances des pompes à vide, de réduction des coûts des installations et de la consommation d'énergie dans les industries comme la chimie, la pharmaceutique, les dépositions sous vide, les semi-conducteurs, etc. ont apporté des évolutions significatives en termes de performances, d'économie d'énergie,
d'encombrement, dans les entraînements, etc.
L'état de la technique montre que pour améliorer le vide final il faut rajouter des étages supplémentaires dans les pompes à vide de type Roots multi-étagées ou Claws multi-étagées. Pour les pompes à vide sèches de type à vis il faut mettre des tours supplémentaires aux vis, et/ou augmenter le taux de compression interne.
La vitesse de rotation de la pompe joue un rôle très important qui définit le fonctionnement de la pompe dans les différentes phases de vidage des enceintes. Avec les taux de compression interne des pompes disponibles sur le marché (dont l'ordre de grandeur se situe par exemple entre 2 et 20), la puissance électrique requise dans les phases de pompage à des pressions d'aspiration entre la pression atmosphérique et 100 mbar environ ou autrement dit à débit massique fort, serait très élevée. La solution triviale est d'utiliser un variateur de vitesse qui permet la réduction ou l'augmentation de la vitesse et par conséquent de la puissance en fonction des différents critères de type pression, courant maximal, couple limite, température, etc. Mais durant les périodes de fonctionnement en vitesse de rotation réduite il y a des baisses de débit à haute pression, le débit étant proportionnel à la vitesse de rotation. La variation de vitesse par variateur de fréquence impose un coût et un
encombrement supplémentaires. Une autre solution triviale est l'utilisation des clapets de type by-pass à certains étages dans les pompes à vide multi- étagées de type Roots ou Claws, respectivement à certaines positions bien définies le long des vis dans les pompes à vide sèches de type à vis. Cette solution nécessite de nombreuses pièces et présente des problèmes de fiabilité.
L'état de la technique concernant les systèmes de pompes à vide qui visent l'amélioration du vide final et l'augmentation du débit montre des pompes booster de type Roots agencées en amont des pompes primaires sèches. Ce type de systèmes est encombrant, fonctionne soit avec des clapets by-pass présentant des problèmes de fiabilité, soit en employant des moyens de mesure, contrôle, réglage ou asservissement. Cependant, ces moyens de contrôle, réglage ou asservissement doivent être pilotés d'une manière active, ce qui résulte forcément en une augmentation du nombre de composants du système, de sa complexité et de son coût.
Résumé de l'invention
La présente invention a pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant d'obtenir un meilleur vide que celui qui peut être obtenu à l'aide d'une pompe à vide sèche de type à vis seule (de l'ordre de 0.0001 mbar) dans une enceinte à vide.
La présente invention a aussi pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant d'obtenir un débit supérieur à basse pression à celui qui peut être obtenu à l'aide d'une pompe à vide sèche de type à vis seule lors du pompage d'une enceinte à vide.
La présente invention a également pour but de proposer une méthode de pompage dans un système de pompes à vide permettant de réduire l'énergie électrique nécessaire pour la mise sous vide d'une enceinte à vide et son maintien, ainsi que la baisse de la température des gaz de sortie.
Ces buts de la présente invention sont atteints à l'aide d'une méthode de pompage qui est réalisée dans le cadre d'un système de pompage dont la configuration consiste essentiellement en une pompe à vide primaire sèche à vis munie d'un orifice d'entrée des gaz relié à une enceinte à vide et d'un orifice de sortie des gaz donnant dans un conduit qui est muni d'un clapet anti-retour avant de déboucher dans l'atmosphère ou dans d'autres appareils. L'aspiration d'un éjecteur est branchée en parallèle à ce clapet anti-retour, sa sortie allant à l'atmosphère ou rejoignant le conduit de la pompe primaire après le clapet anti-retour.
Une telle méthode de pompage est notamment l'objet de la revendication indépendante 1 . Des différents modes de réalisation préférés de l'invention sont en outre l'objet des revendications dépendantes.
La méthode consiste essentiellement à alimenter en fluide moteur et faire fonctionner l'éjecteur en continu tout le temps que la pompe à vide primaire sèche à vis pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide par l'orifice d'entrée de gaz, mais aussi tout le temps que la pompe à vide primaire sèche à vis maintient une pression définie (p. ex. le vide final) dans l'enceinte en refoulant les gaz remontant par sa sortie.
Selon un premier aspect, l'invention réside dans le fait que le couplage de la pompe à vide primaire sèche à vis et de l'éjecteur ne nécessite pas de mesures et appareils spécifiques (p. ex. de capteurs de pression, de température, de courant, etc.), d'asservissements ou de gestion de données et calcul. Par conséquent, le système de pompes à vide adapté pour la mise en œuvre de la méthode de pompage selon la présente invention comprend un nombre minimal de composants, présente une grande simplicité et coûte nettement moins cher par rapport aux systèmes existants.
Selon un deuxième aspect, l'invention réside dans le fait que, grâce à la nouvelle méthode de pompage, la pompe à vide primaire sèche à vis peut fonctionner à une seule vitesse constante, celle du réseau électrique, ou tourner à des vitesses variables suivant son propre mode de fonctionnement. Par conséquent, la complexité et le coût du système de pompes à vide adapté pour la mise en œuvre de la méthode de pompage selon la présente invention peuvent être réduits davantage.
Par sa nature, l'éjecteur intégré dans le système de pompes à vide peut toujours fonctionner sans dommages suivant la présente méthode de pompage. Son dimensionnement est conditionné par une consommation de fluide moteur minimale pour le fonctionnement du dispositif. Il est normalement mono-étagé. Son débit nominal est choisi en fonction du volume du conduit de sortie de la pompe à vide primaire sèche à vis limité par le clapet anti-retour. Ce débit peut être de 1/500 à 1/20 du débit nominal de la pompe à vide primaire sèche à vis, mais peut aussi être inférieur ou supérieur à ces valeurs. Le fluide moteur pour l'éjecteur peut être de l'air comprimé, mais aussi d'autres gaz, par exemple l'azote.
Le clapet anti-retour, placé dans le conduit à la sortie de la pompe à vide primaire sèche à vis peut être un élément standard disponible dans le commerce. Il est dimensionné suivant le débit nominal de la pompe à vide primaire sèche à vis. En particulier, il est prévu que le clapet anti-retour se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide primaire sèche à vis se situe entre 500 mbar absolu et le vide final (p. ex. 100 mbar).
Selon une autre variante, l'éjecteur est multi-étagé.
Selon encore une autre variante, l'éjecteur peut être réalisé en matière à résistance chimique élevée aux substances et gaz communément utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, aussi bien dans la variante éjecteur mono-étagé que dans celle de l'éjecteur multi-étagé. L'éjecteur est de préférence de petite taille.
Selon une autre variante, l'éjecteur est intégré dans une cartouche qui incorpore le clapet anti-retour.
Selon encore une autre variante, l'éjecteur est intégré dans une cartouche qui incorpore le clapet anti-retour et cette cartouche elle-même est logée dans un silencieux d'échappement, fixé à l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide primaire sèche à vis.
Suivant la méthode de fonctionnement du système de pompes à vide selon l'invention, l'éjecteur pompe toujours dans le volume entre l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide primaire sèche à vis et le clapet anti-retour.
Selon encore une autre variante de la présente invention, le débit de gaz à la pression nécessaire pour le fonctionnement de l'éjecteur est fourni par un compresseur. De manière notable, ce compresseur peut être entraîné par au moins un des arbres de la pompe primaire sèche à vis ou, alternativement ou en addition, de manière autonome, indépendante de la pompe primaire sèche à vis. Ce compresseur peut aspirer l'air atmosphérique ou des gaz dans le conduit de sortie de gaz après le clapet anti-retour. La présence d'un tel compresseur rend le système de pompes à vis indépendant d'une source de gaz comprimé, ce qui peut répondre à certains environnements industriels.
Au départ d'un cycle de vidage de l'enceinte, la pression y est élevée, par exemple égale à la pression atmosphérique. Vu la compression dans la pompe à vide primaire sèche à vis, la pression des gaz refoulés à sa sortie est plus haute que la pression atmosphérique (si les gaz à la sortie de la pompe primaire sont refoulés directement à l'atmosphère) ou plus haute que la pression à l'entrée d'un autre appareil connecté en aval. Cela provoque l'ouverture du clapet anti-retour.
Quand ce clapet anti-retour est ouvert, l'action de l'éjecteur est très faiblement ressentie, comme la pression de son entrée est presque égale à celle de sa sortie. En revanche, quand le clapet anti-retour se ferme à une certaine pression (parce que la pression dans l'enceinte a entretemps baissé), l'action de l'éjecteur provoque une réduction progressive de la différence de pression entre l'enceinte et le conduit après le clapet. La pression à la sortie de la pompe à vide primaire sèche à vis devient celle à l'entrée de l'éjecteur, celle de sa sortie étant toujours la pression dans le conduit après le clapet antiretour. Plus l'éjecteur pompe, plus la pression à la sortie de la pompe à vide primaire sèche à vis, dans le volume limité par le clapet anti-retour fermé, se réduit et par conséquent la différence de pression entre l'enceinte et la sortie de la pompe à vide primaire sèche à vis baisse. Cette faible différence réduit les fuites internes dans la pompe à vide primaire sèche à vis et engendre une baisse de la pression dans l'enceinte ce qui améliore le vide final. En plus la pompe à vide primaire sèche à vis consomme de moins en moins d'énergie pour la compression et produit de moins en moins de chaleur de compression.
D'un autre côté, il est aussi évident que l'étude du concept mécanique cherche à réduire le volume entre l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide primaire sèche à vis et le clapet anti-retour dans le but d'y descendre la pression plus vite.
Brève description des dessins
Les particularités et les avantages de la présente invention apparaîtront avec plus de détails dans le cadre de la description qui suit avec des exemples de réalisation donnés à titre illustratif et non limitatif en référence aux dessins ci-annexés qui représentent :
- la figure 1 représente de manière schématique un système de pompes à vide adapté pour la réalisation d'une méthode de pompage selon un premier mode de réalisation de la présente invention ; et
- la figure 2 représente de manière schématique un système de pompes à vide adapté pour la réalisation d'une méthode de pompage selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention. Description détaillée des modes de réalisation de l'invention
Figure 1 représente un système de pompes à vide SP adapté pour la mise en œuvre d'une méthode de pompage selon un premier mode de réalisation de la présente invention.
Ce système de pompes à vide SP comporte une enceinte 1 , laquelle est reliée à l'orifice d'aspiration 2 d'une pompe à vide primaire sèche à vis 3. L'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide primaire sèche à vis 3 est relié au conduit 5. Un clapet anti-retour de refoulement 6 est placé dans le conduit 5, qui après ce clapet anti-retour continue en conduit de sortie des gaz 8. Le clapet anti-retour 6, lorsqu'il est fermé, permet la formation d'un volume 4, compris entre l'orifice de sortie des gaz de la pompe à vide primaire 3 et lui- même. Le système de pompes à vide SP comporte aussi un éjecteur 7, branché en parallèle au clapet anti-retour 6. L'orifice d'aspiration de l'éjecteur est relié au volume 4 du conduit 5 et son orifice de refoulement est relié au conduit 8. Le conduit d'alimentation 9 fournit le fluide moteur pour l'éjecteur 7.
Dès la mise en route de la pompe à vide primaire sèche à vis 3, le fluide moteur pour l'éjecteur 7 est injecté par le conduit d'alimentation 9. La pompe à vide primaire sèche à vis 3 aspire les gaz dans l'enceinte 1 par le conduit 2 branché à son entrée et les comprime pour les refouler par la suite à sa sortie dans le conduit 5 par le clapet anti-retour 6. Lorsque la pression de fermeture du clapet anti-retour 6 est atteinte, il se ferme. A partir de ce moment le pompage de l'éjecteur 7 fait baisser progressivement la pression dans le volume 4 jusqu'à la valeur de sa pression limite. En parallèle, la puissance consommée par la pompe à vide primaire sèche à vis 3 baisse
progressivement. Cela se produit en un court laps de temps, par exemple pour un certain cycle en 5 à 10 secondes.
Avec un ajustement judicieux du débit de l'éjecteur 7 et de la pression de fermeture du clapet anti-retour 6 en fonction du débit de la pompe à vide primaire sèche à vis 3 et le volume de l'enceinte 1 , il est en outre possible de réduire le temps avant la fermeture du clapet anti-retour 6 par rapport à la durée du cycle de vidage et donc réduire les pertes en fluide moteur pendant ce temps de fonctionnement de l'éjecteur 7 sans effet sur le pompage. Par ailleurs, ces « pertes » qui sont infimes, sont prises en compte dans le bilan de la consommation d'énergie. En revanche, l'avantage de la simplicité crédite une excellente fiabilité du système ainsi qu'un prix inférieur de 10% à 20% en comparaison avec des pompes similaires équipées d'automate programmable et ou de variateur, vannes pilotées, capteurs, etc.
Figure 2 représente un système de pompes à vide SP adapté pour la mise en œuvre d'une méthode de pompage selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention.
Par rapport au système représenté à la figure 1 , le système représenté à la figure 2 comprend en outre un compresseur 10 qui fournit le débit de gaz à la pression nécessaire pour le fonctionnement de l'éjecteur 7. En effet, ce compresseur 10 peut aspirer l'air atmosphérique ou des gaz dans le conduit de sortie des gaz 8 après le clapet anti-retour 6. Sa présence rend le système de pompes à vide indépendant d'une source de gaz comprimé, ce qui peut répondre à certains environnements industriels. Le compresseur 10 peut être entraîné par au moins un arbre de la pompe primaire sèche à vis 3 ou bien par son propre moteur électrique, donc de manière complètement
indépendante de la pompe 3. Dans tous les cas sa consommation d'énergie pour qu'il puisse fournir le débit de gaz à la pression nécessaire afin de faire fonctionner l'éjecteur 7 est largement plus petite (p. ex. de l'ordre de 3% à 5%) par rapport au gain réalisé sur la consommation d'énergie de la pompe principale 3.
Certainement, la présente invention est sujette à de nombreuses variations quant à sa mise en œuvre. Bien que divers modes de réalisation aient été décrits, on comprend bien qu'il n'est pas concevable d'identifier de manière exhaustive tous les modes possibles. Il est bien sûr envisageable de remplacer un moyen décrit par un moyen équivalent sans sortir du cadre de la présente invention. Toutes ces modifications font partie des connaissances communes d'un homme du métier dans le domaine de la technologie du vide.

Claims

Revendications
1 . Méthode de pompage dans un système de pompes à vide (SP) comprenant:
- une pompe à vide primaire sèche à vis (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1 ) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompes à vide (SP),
- un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et
- un éjecteur (7) branché en parallèle au clapet anti-retour (6), la méthode étant caractérisée en ce que la pompe à vide primaire sèche à vis (3) est mise en marche afin de pomper les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1 ) par l'orifice de sortie des gaz (4) ; de manière simultanée, l'éjecteur (7) est alimenté en fluide moteur ; et l'éjecteur (7) continue d'être alimenté en fluide moteur tout le temps que la pompe à vide primaire sèche à vis (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1 ) et/ou tout le temps que la pompe à vide primaire sèche à vis (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide (1 ).
2. Méthode de pompage selon la revendication 1 , caractérisée en ce que la sortie de l'éjecteur (7) rejoint le conduit (5) après le clapet anti-retour (6).
3. Méthode de pompage selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que l'éjecteur (7) est dimensionné afin d'avoir une consommation de fluide moteur minimale.
4. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que le débit nominal de l'éjecteur (7) est choisi en fonction du volume du conduit de sortie (5) de la pompe à vide primaire sèche à vis (3) qui est limité par le clapet anti-retour (6).
5. Méthode de pompage selon la revendication 4, caractérisée en ce que le débit de l'éjecteur est de 1/500 à 1/20 du débit nominal de la pompe à vide primaire sèche à vis (3).
6. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que le fluide moteur de l'éjecteur (7) est de l'air comprimé et/ou de l'azote.
7. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que l'éjecteur (7) est mono-étagé ou multi-étagé.
8. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que le clapet anti-retour (6) se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide primaire sèche à vis (3) se situe entre 500 mbar absolu et le vide final.
9. Méthode de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que l'éjecteur (7) est fabriqué en matière à résistance chimique élevée aux substances et gaz communément utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs.
10. Méthode de pompage selon l'une quelconque des
revendications 1 à 9, caractérisée en ce que l'éjecteur (7) est intégré dans une cartouche qui incorpore le clapet anti-retour (6).
1 1 . Méthode de pompage selon la revendication 10, caractérisée en ce que la cartouche est logée dans un silencieux d'échappement, fixé à l'orifice de sortie des gaz (5) de la pompe à vide primaire sèche à vis (3).
12. Méthode de pompage selon l'une quelconque des
revendications 1 à 1 1 , caractérisée en ce que le débit de gaz à la pression nécessaire pour le fonctionnement de l'éjecteur (7) est fourni par un
compresseur (10).
13. Méthode de pompage selon la revendication 12, caractérisée en ce que le compresseur (10) est entraîné par au moins un des arbres de la pompe primaire sèche à vis (3).
14. Méthode de pompage selon la revendication 12, caractérisée en ce que le compresseur (10) est entraîné de manière autonome, indépendante de la pompe primaire sèche à vis (3).
15. Méthode de pompage selon l'une quelconque des
revendications 12 à 14, caractérisée en ce que le compresseur (10) aspire l'air atmosphérique ou des gaz dans le conduit de sortie de gaz (8) après le clapet anti-retour (6).
16. Système de pompes à vide (SP) comprenant :
- une pompe à vide primaire sèche à vis (3) avec un orifice d'entrée des gaz (2) relié à une enceinte à vide (1 ) et un orifice de sortie des gaz (4) donnant dans un conduit (5) avant de déboucher dans la sortie des gaz (8) du système de pompes à vide (SP),
- un clapet anti-retour (6) positionné dans le conduit (5) entre l'orifice de sortie des gaz (4) et la sortie des gaz (8), et
- un éjecteur (7) branché en parallèle au clapet anti-retour (6), le système de pompes à vide (SP) étant caractérisée en ce que l'éjecteur (7) est agencé pour pouvoir être alimenté en fluide moteur tout le temps que la pompe à vide primaire sèche à vis (3) pompe les gaz contenus dans l'enceinte à vide (1 ) et/ou tout le temps que la pompe à vide primaire sèche à vis (3) maintient une pression définie dans l'enceinte à vide
(1 )-
17. Système de pompes à vide selon la revendication 16, caractérisée en ce que la sortie de l'éjecteur (7) rejoint le conduit (5) après le clapet anti-retour (6).
18. Système de pompes à vide selon la revendication 16 ou 17, caractérisée en ce que l'éjecteur (7) est dimensionné afin d'avoir une
consommation de fluide moteur minimale.
19. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 16 à 18, caractérisée en ce que le débit nominal de l'éjecteur (7) est choisi en fonction du volume du conduit de sortie (5) de la pompe à vide primaire sèche à vis (3) qui est limité par le clapet anti-retour (6).
20. Système de pompes à vide selon la revendication 19, caractérisée en ce que le débit de l'éjecteur est de 1/500 à 1/20 du débit nominal de la pompe à vide primaire sèche à vis (3).
21 . Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 16 à 20, caractérisée en ce que le fluide moteur de l'éjecteur (7) est de l'air comprimé et/ou de l'azote.
22. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 16 à 21 , caractérisée en ce que l'éjecteur (7) est mono-étagé ou multi-étagé.
23. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 16 à 22, caractérisée en ce que le clapet anti-retour (6) se ferme quand la pression à l'aspiration de la pompe à vide primaire sèche à vis (3) se situe entre 500 mbar absolu et le vide final.
24. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 16 à 23, caractérisée en ce que l'éjecteur (7) est fabriqué en matière à résistance chimique élevée aux substances et gaz communément utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs.
25. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 16 à 24, caractérisée en ce que l'éjecteur (7) est intégré dans une cartouche qui incorpore le clapet anti-retour (6).
26. Système de pompes à vide selon la revendication 25, caractérisée en ce que la cartouche est logée dans un silencieux
d'échappement, fixé à l'orifice de sortie des gaz (5) de la pompe à vide primaire sèche à vis (3).
27. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 16 à 26, caractérisée en ce que le système comprend un compresseur (1 ) qui fournit le débit de gaz à la pression nécessaire pour le fonctionnement de l'éjecteur (7).
28. Système de pompes à vide selon la revendication 27, caractérisée en ce que le compresseur (10) est entraîné par au moins un des arbres de la pompe primaire sèche à vis (3).
29. Système de pompes à vide selon la revendication 27, caractérisée en ce que le compresseur (10) est entraîné de manière autonome, indépendante de la pompe primaire sèche à vis (3).
30. Système de pompes à vide selon l'une quelconque des revendications 27 à 29, caractérisée en ce que le compresseur (10) aspire l'air atmosphérique ou des gaz dans le conduit de sortie de gaz (8) après le clapet anti-retour (6).
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