EP2823182B1 - Installation de pompage amelioree et le procede de controle d'une telle installation de pompage - Google Patents

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EP2823182B1
EP2823182B1 EP13707630.3A EP13707630A EP2823182B1 EP 2823182 B1 EP2823182 B1 EP 2823182B1 EP 13707630 A EP13707630 A EP 13707630A EP 2823182 B1 EP2823182 B1 EP 2823182B1
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gas
pumping
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Definitions

  • this invention relates to the technical field of volumetric machines and installations comprising such volumetric machines.
  • This invention is of particular interest to volumetric machines intended to receive compressible fluids (such as air) and which can be used as pumping machines.
  • this invention relates to the field of groups or pumping facilities comprising at least a first volumetric machine and a second volumetric machine, and the field of control methods pumping facilities of this type.
  • vacuum pumps that is to say, volumetric machines capable of extracting more or less completely the air (or another gas, or also a mixture of gas) contained in an enclosed volume or enclosure (eg in a "white room” used for the production of printed circuits).
  • Vacuum pumps Different types are known at this time. Among the best known and most widespread include pallet pumps, liquid ring pumps, screw pumps, scroll pumps (or Scroll) or lobe pumps (or Roots). Each of these different types Vacuum pumps have certain advantages (and disadvantages) that make them especially suitable for use in particular applications. As the characteristics of the different types of vacuum pumps are well known to those skilled in this technical field, a long elaboration of the various properties does not seem necessary to us.
  • Such a configuration typically consists of a so-called “primary” pump which is connected to the enclosure which must be evacuated and which first carries out a so-called “primary” vacuum, therefore pressures lying approximately in the range between 1 bar (10 3 mbar) and 1 mbar. Subsequently, the primary vacuum created by this primary pump is taken up by a so-called “secondary” pump, connected in series to the primary pump, which produces a larger vacuum.
  • the pressures at the outlet of a secondary pump are typically between 1 and 10 -4 mbar, although lower pressures are also possible.
  • a typical installation with two pumps is a combination of a Roots pump with another pump, eg a screw pump.
  • another pump eg a screw pump.
  • three (or more) pumps are also possible, as well as installations with pumps connected in parallel or with a combination of serial and parallel connections.
  • such a pumping unit typically comprises one or more valves (or valves), as well as an electronic and / or mechanical control module for controlling the flow of gas between the inlet and the outlet of the system.
  • valves or valves
  • electronic and / or mechanical control module for controlling the flow of gas between the inlet and the outlet of the system.
  • Elevated temperature within a pumping group is undesirable. It can in particular cause severe operating problems of the volumetric machines due for example to the chemical and / or physical reactions of the pumped gases. Some gases contain elements that can sublime or condense at high temperatures, producing residues inside the pumps. Over time, these residues can result in seizure or other malfunction of the pumps. Also, a temperature too high inside the pumps is very unfavorable for an optimal efficiency of the pumps, because of the fact that it is capable of causing a significant expansion of the metallic elements.
  • Cooling fluids typically have to be filtered, purified and / or changed from time to time, making the handling of the pumps also more complicated and costly.
  • Another result that the present invention aims to achieve is a pumping installation whose performance is maintained over time.
  • the present invention relates to a pumping installation comprising at least a first volumetric machine and a second volumetric machine, as well as a control module, in which a pumping installation a gas is evacuated from a volume enclosed by means of the first volumetric machine and / or the second volumetric machine, and wherein the pumping installation further comprises at least one control valve which is controlled by the control module to regulate the flow of gas between the enclosed volume and the output of the pumping system.
  • the main advantage of the present invention lies in the fact that the proposed pumping installation has means capable of controlling precisely the flow of gas to be pumped between the inlet and the outlet of the system. In this way, the collaboration between the volumetric machines can be adapted to the concrete needs of the situation, which makes it very easy to control the performance of the system. Therefore, it is also possible and easy to control the heating of the volumetric machines.
  • the present invention does not only concern a pumping installation according to the aforementioned embodiments but also a method of controlling such a pumping installation.
  • the figure 1 represents a block diagram of an IP pump installation according to an embodiment of the present invention.
  • a first volumetric machine is represented in a simplified manner by a rectangle bearing the reference sign 10 and a second volumetric machine is represented by another rectangle bearing the reference sign 20.
  • an enclosed VE volume that is evacuated using the IP pumping facility.
  • This enclosed volume VE can correspond to a clean room (therefore a room in which temperature, humidity and / or pressure are controlled with the aim of creating and maintaining the environmental conditions necessary for various industrial or research applications), a production enclosure (eg in a machine tool) or any other volume in which pressure must be precisely controlled.
  • the first volumetric machine 10 may in particular be a screw pump.
  • a screw pump consists essentially of two parallel screws which are rotated in opposite directions. With this rotation, the gases inside the pump can be transported between the inlet and the output of the pump. Screw pumps are dry pumps, so pumps in which the pumped gases never come into contact with lubricating liquids that could result in contamination. Thanks to this feature, screw pumps can be used in applications requiring a high degree of hygiene (eg in the food industry).
  • the volumetric machine 10 can be made by any other type of suitable pump.
  • This first volumetric machine 10 is connected to the enclosed volume VE through a conduit (or pressure line) LP1.
  • This conduit LP1 may in particular correspond to a conventional pipe, metal or any other suitable material. Of course, other types of conduit LP1 are also possible.
  • the first volumetric machine 10 is thus arranged and arranged to directly evacuate the air (or any other gas inside the enclosed volume VE) and to release it at its outlet which is typically made by an exhaust port.
  • conduit LP2 is connected to the exhaust port of the first volumetric machine 10. Like the conduit LP1 which connects the enclosed volume VE to the first volumetric machine 10, the conduit LP2 can be a conventional pipe, but also made of another appropriate way. The conduit LP2 thus takes the gases at the output of the volumetric machine 10 and subsequently channels them to the second volumetric machine 20 via a third conduit LP3.
  • the second volumetric machine 20 which receives the stream of gases that have been evacuated from the volume enclosed by the first volumetric machine 10 via the conduit LP3 may in particular be a vane pump.
  • Pallet pumps consist of a stator and a rotor with sliding vanes which rotates tangentially to the stator. During rotation, the pallets stay in contact with the stator walls.
  • the stator walls in an area are covered with an oil bath that provides both pump sealing and lubrication for moving parts.
  • the vane pumps are therefore not dry pumps, and the pumped gases can come into contact with the lubricants. These pumps are therefore typically not used in applications having higher hygiene standards.
  • the volumetric machine 20 is not necessarily a vane pump and it can also be performed by another type of suitable pump.
  • the outlet (the exhaust port) of the second volumetric machine 20 is connected to a fourth conduit LP4 which serves to evacuate the gases pumped by the second volumetric machine 20 at the output of the IP pump installation.
  • the LP4 conduit may also be a conventional pipe made of metal or any other suitable material.
  • other types of ducts are also conceivable, as well as a solution in which the LP4 duct is not provided and the gases leaving the volumetric machine 20 are directly directed to the output of the pumping installation. IP.
  • a control valve VC is connected between the conduits LP2 and LP3, thus between the first volumetric machine 10 and the second volumetric machine 20.
  • This control valve VC serves essentially to control the flow of gases and particularly to prevent the flow of gas pumped in the direction "back", that is to say to the volumetric machine 10.
  • Such control valves are already known in the art and their operating principle can especially be based on a check valve. Of course, any other type of control valve can be used if these other valves meet the above conditions.
  • the control valve VC can itself be controlled by an external control module MC.
  • the control module MC is an electronic and / or mechanical device that makes it possible to direct the operation of the control valve VC in order to regulate the flow of gases between the conduit LP1 and the conduit LP2 and thus between the enclosed volume VE and the outlet of the IP pumping system.
  • a fifth LP5 conduit leading directly to the output of the IP pumping system is also connected to the VC control valve.
  • the IP pumping system operates in the following way: When the first volumetric machine 10 is started up, the gases are pumped from the enclosed volume VE.
  • Figure 2 schematically represents a diagram with the evolution of the pumping capacity (which is also called "flow" of the pump) in the enclosed volume VE which is evacuated only with this first volumetric machine 10.
  • figure 3 represents the evolution of the temperature in the first volumetric machine 10 which corresponds directly to the pumping capacity of the first volumetric machine as represented in FIG. figure 2 .
  • the figure 4 also shows a schematic diagram with the evolution of the pumping capacity in the enclosed volume VE, but in the case where this volume is evacuated only with the second volumetric machine 20.
  • this second volumetric machine 20 shows a rather constant evolution.
  • the temperature in the second volumetric machine 20 evolves similarly to that in the volumetric machine 10, so shows a net increase in temperature above a limit pressure.
  • the present invention proposes to adjust the control valve VC through the control module MC to switch the flow of gas between a first path in which the gas is pumped only by the first volumetric machine 10 and a second path in which the gas is pumped by both the first volumetric machine 10 and the second volumetric machine 20.
  • the gas evacuated from the enclosed volume VE passes through the conduit LP1 and the first volumetric machine 10, arrives at the valve of VC control through the LP2 conduit and is then directly directed to the output of the IP pumping installation through the LP5 conduit.
  • the gas evacuated from the enclosed volume VE in the second case passes first through the conduit LP1, the first volumetric machine 10 and the second conduit LP2 to arrive at the control valve VC which directs it not to the outlet but to the second volumetric machine 20. Thereafter, the gas pumped by the second volumetric machine 20 out of the IP pumping installation through the LP4 conduit.
  • this switching is controlled temporally.
  • the IP pumping installation can in a first operating phase operate as in the first case described above, so with the gases that are pumped by the first path. Subsequently, after a certain period of time, the IP pump installation can operate as in the second case described above, so with the gases that are pumped by the second course.
  • Switching between the first and second paths can be programmed "static". It would be possible, for example, to program a switchover after operation in the first operating mode (run VE -> LP1 -> 10 -> LP2 -> VC -> LP5) of 20 or 30 seconds. In this case, the control module would count the time elapsed since the start of the pumping installation and instruct the control valve after reaching the preprogrammed time to change the gas flow path.
  • FIGS. 6 and 7 show schematically the evolution of the pumping capacity in the enclosed volume VE as it is evacuated both with the first volumetric machine 10 and the second volumetric machine 20, and the evolution of the corresponding temperature.
  • FIG 8 illustrates a second embodiment of the present invention schematically.
  • this second embodiment of the present invention comprises a third volumetric machine 30 which is interposed between the enclosed volume VE and the first volumetric machine 10.
  • the conduit LP1 is divided into two parts, namely the LP1 'conduits. and LP1. "Of course, other options for interconnection are quite conceivable.
  • This third volumetric machine 30 may typically be a Roots pump. Its function corresponds to the function of a "booster" pump which is used in a conventional manner in pumping installations known today. It would of course also be possible to use another type of volumetric machines or to add advantages, without departing from the spirit of the present invention.
  • the figures 9 and 10 illustrate respectively a third and a fourth embodiment of the present invention. These two embodiments of the present invention differ from the first and second embodiments of the present invention at a significant point which will be explained below.
  • the IP pumping installation also comprises a first volumetric machine 10 and a second volumetric machine 20 which are used to evacuate the enclosed volume VE (in particular a clean room, a production chamber or any other volume in which the pressure must be controlled in a precise way).
  • the first volumetric machine 10 may be a dry pump, eg a screw pump, but also any other suitable volumetric machine.
  • the second volumetric machine 20 it may in particular be a vane pump, but it is of course possible to make this second volumetric machine 20 by means of another suitable volumetric machine.
  • a pipe or pressure line LP1 connects this first volumetric machine 10 to the enclosed volume VE.
  • the output of the first volumetric machine 10 (then normally an exhaust port of the pump) is on its side connected to another conduit LP2 which can also be a conventional pipe, but also another suitable conduit.
  • This second duct LP2 takes the gases at the outlet of the volumetric machine 10 and channels them via a control valve VC to the second volumetric machine 20.
  • a third duct LP3 is also provided to connect the control valve VC to the second volumetric machine 20.
  • the output of the second volumetric machine 20 is connected to a fourth conduit LP4 which serves to evacuate the gases pumped by the second volumetric machine 20 at the exit of the pumping installation.
  • this LP4 conduit can also be a conventional pipe, made of metal or any other suitable material.
  • other types of ducts are also conceivable, as well as a solution in which the LP4 duct is not provided and the gases leaving the volumetric machine 20 are directly directed to the output of the pumping installation. IP.
  • the control valve VC is connected between the first volumetric machine 10 and the second volumetric machine 20.
  • the function of this control valve VC is also in this third embodiment of the present invention, first of all. control the flow of gases and particularly to prevent the flow of pumped gases in the "backward" direction, therefore to the volumetric machine 10.
  • the IP pump installation according to this third embodiment of the present invention also comprises a control module MC. It is this control module MC which directs the operation of the control valve VC so that it can regulate the flow of gases between the conduit LP1 and the conduit LP2 and thus between the enclosed volume VE and the output of the installation IP pumping.
  • a fifth conduit LP5 leading directly to the outlet of the IP pump installation can also be provided at the outlet of the VC control valve.
  • the IP pumping system according to this third embodiment of the present invention essentially corresponds to the IP pump installation of the first embodiment of the present invention, shown in FIG. figure 1 .
  • the operation of the IP pump installation according to this third embodiment differs significantly from the operation of the IP pump installation according to the first embodiment of the present invention.
  • the control valve VC is closed, that is to say, it is arranged not to allow the flow of gas between the first volumetric machine 10 and the second volumetric machine 20 through the conduit LP3.
  • the volumetric machine 10 and the volumetric machine 20 can be started according to the known procedures. Therefore, thanks to the fact that the volumetric machine 10 is connected directly to the enclosed volume VE, the entrapped gases in the enclosed volume VE can be evacuated through the volumetric machine 10. During this time, all these pumped gases come out of the IP pumping system through the LP5 conduit.
  • the diagram shown in figure 2 illustrates the evolution of the pumping capacity (or the "flow" of the pump) in the enclosed volume VE which is evacuated only with the first volumetric machine 10, and a schematic representation of the evolution of the temperature in the first volumetric machine 10 which corresponds to the pumping capacity of this first volumetric machine 10 of the figure 2 is illustrated in the figure 3 .
  • These two diagrams therefore also correspond to the data that is obtained in the case that has been described with respect to the first embodiment of the present invention.
  • the third embodiment of the present invention like the first embodiment of the present invention, also proposes to adjust the control valve VC through the control module MC for switching the flow of gas between a first path in which the gas is pumped only by the first volumetric machine 10 and a second path in which the gas is pumped by both the first volumetric machine 10 and the second volumetric machine 20.
  • the manner in which this setting is realized in the IP pump installation according to the third embodiment of the present invention differs from the manner used in the IP pump installation according to the first embodiment of the present invention.
  • the IP pump installation according to the third embodiment of the present invention uses a temperature sensor TP placed at the output of the first volumetric machine 10.
  • This temperature sensor is capable of the temperature of the gases at the outlet of the first volumetric machine 10 and transmit this thermal information to the control module MC so that it can control the control valve VC.
  • the control of the VC control valve works as follows: While the sensible temperature at the output of the first machine 10 remains below a predetermined value, the control valve VC remains in the initial position, that is to say with the conduit LP3 closed, and with the release of the gases pumped from the enclosed volume VE by the leads LP5.
  • the limit temperature can be chosen in a "dynamic" manner, that is to say according to the pumped gases, to ensure that the temperature at the outlet of the first volumetric machine 10 does not exceed the critical value that This would result in chemical and / or physical reactions of the pumped gases and residues inside the volumetric machine 10.
  • This limit temperature can in particular be determined in a practical manner for each concrete application and stored in the control module MC in order to be able to be used in the setting of the VC control valve.
  • the second volumetric machine 20 also works, even if it is connected to the LP3 conduit which does not contain gas to be pumped (since the control valve VC closes this duct). Therefore, this second volumetric machine 20 tends to heat up.
  • the control module MC can set the control valve VC to open the door. leads LP3 to the passage of gases leaving the first volumetric machine 10 and passing through the conduit LP2. At the same time, the conduit LP5 is closed. From this moment, the gas is pumped by both the first volumetric machine 10 and the second volumetric machine 20. This second volumetric machine 20 stops pumping against an empty conduit LP3 and its temperature tends to drop to wait for the temperature optimal work.
  • the second volumetric machine 20 in such a configuration is susceptible to overheating, especially since it is normally desirable to use a "small" machine with dimensions that are reduced to a minimum.
  • this second volumetric machine 20 may comprise a cooling mechanism more or less sophisticated.
  • this cooling mechanism can also be dynamic, so be controlled by a temperature sensor (independent of the TP sensor) to start the cooling only if the temperature of the second volumetric machine exceeds a predetermined value.
  • this fourth embodiment of the present invention is shown in FIG. figure 10 .
  • this fourth embodiment of the present invention like the second embodiment of the present invention (cf. figure 8 ), also comprises a third volumetric machine 30 (typically a Roots pump) which is interposed between the enclosed volume VE and the first volumetric machine 10.
  • the function of the third volumetric machine 30 corresponds to the function of a booster pump which is used in a conventional manner in pumping installations known today. It would of course also be possible to use another type of volumetric machines or to add advantages, without departing from the spirit of the present invention.
  • the present invention is subject to many variations as to its implementation. Although several embodiments have been described, it is clear that it is not conceivable to exhaustively identify all the possible modes. It is of course conceivable to replace a means described by equivalent means without departing from the scope of the present invention. Also, it is quite possible to combine the elements described with respect to the particular embodiments to thereby create new embodiments of the present invention. We also wish to clarify that the various embodiments of the present invention can probably be combined to create other suitable embodiments. In particular, it is not possible to realize a new pumping installation which comprises both the main characteristic of the first two embodiments (ie a pressure sensor) with a temperature sensor as proposed. by the third and fourth embodiments of the present invention.

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Description

    Domaine technique de l'invention
  • De manière générale, cette invention se rapporte au domaine technique des machines volumétriques et des installations comprenant de telles machines volumétriques. Cette invention intéresse particulièrement les machines volumétriques destinées à recevoir des fluides compressibles (tels que l'air) et pouvant être utilisées comme machines de pompage.
  • Concrètement, mais non exclusivement, cette invention concerne le domaine des groupes ou installations de pompage comprenant au moins une première machine volumétrique et une deuxième machine volumétrique, ainsi que le domaine des procédés de contrôle des installations de pompage de ce type.
    • Etat de la technique
  • Une multitude de procès industriels ou de recherche (p.ex. dans le domaine de l'alimentation, de la chimie, pharmaceutique, etc.) ont aujourd'hui besoin d'un vide plus ou moins vigoureux (typiquement dans le domaine entre 1 et 10-4 mbar).
  • Pour réaliser ce vide, on utilise depuis de nombreuses années déjà des « pompes à vide », c'est-à-dire des machines volumétriques capables d'extraire plus ou moins complètement l'air (ou un autre gaz, ou également un mélange de gaz) contenu dans un volume ou enceinte enfermé (p.ex. dans une « chambre blanche » utilisée pour la production des circuits imprimés).
  • Différents types de pompes à vide sont connus à cette date. Parmi les plus connus et plus répandus, on peut notamment citer les pompes à palettes, les pompes à anneau liquide, les pompes à vis, les pompes à spirale (ou Scroll) ou aussi les pompes à lobes (ou Roots). Chacun de ces différents types de pompes à vide possède certains avantages (et inconvénients) qui le rendent spécialement adapté à l'utilisation dans des applications particulières. Comme les caractéristiques des différents types de pompes à vide sont bien connues des hommes de métier dans ce domaine technique, une longue élaboration des différentes propriétés ne nous semble pas nécessaire.
  • Pour améliorer certaines performances des pompes à vide, la création de groupes ou installations de pompage est également connue de longue date, notamment en combinant deux ou plusieurs pompes à vide. Une telle configuration consiste typiquement en une pompe dite « primaire » qui est connectée à l'enceinte qui doit être évacuée et qui réalise d'abord un vide dit « primaire », donc des pressions comprises approximativement dans la plage entre 1 bar (103 mbar) et 1 mbar. Par la suite, le vide primaire créé par cette pompe primaire est repris par une pompe dite « secondaire », connectée en série à la pompe primaire, qui réalise un vide plus important. Les pressions à la sortie d'une pompe secondaire sont typiquement comprises entre 1 et 10-4 mbar, même si des pressions plus basses sont également possibles.
  • Une installation typique comprenant deux pompes est une combinaison d'une pompe Roots avec une autre pompe, p.ex. une pompe à vis. Bien entendu, des arrangements avec trois pompes (ou plus) sont également possibles, de même que les installations avec des pompes connectées en parallèle ou avec une combinaison des connexions en série et en parallèle.
  • Outre les pompes, un tel groupe de pompage comprend typiquement une ou plusieurs soupapes (ou valves), ainsi qu'un module de contrôle électronique et/ou mécanique pour contrôler le flux de gaz entre l'entrée et la sortie du système. Les particularités d'installation et de collaboration des différents éléments dans un groupe de pompage classique font également partie des connaissances typiques d'un homme du métier dans le domaine de la technologie du vide de façon qu'une description détaillée ne semble pas être nécessaire à cet endroit.
  • Or, toutes les machines volumétriques utilisées comme pompes à vide ont la caractéristique de se réchauffer pendant leur fonctionnement. D'un côté, le principe de fonctionnement de la plupart des pompes à vide fait que les gaz pompés se réchauffent entre l'entrée et la sortie du système grâce à la réduction forcée du volume et une augmentation conséquente de leur pression. Cette augmentation de la température des gaz résulte directement des lois de la physique et elle ne peut pas être complètement éliminée. D'un autre côté, les effets secondaires, tels que la friction entre les pièces rotatives dans la pompe, résultent également en une augmentation de la température de la pompe même. Ce réchauffement résulte de nouveau en une augmentation de la température des gaz à l'intérieur des pompes.
  • Une température surélevée au sein d'un groupe de pompage n'est pas souhaitable. Elle peut notamment causer des problèmes sévères de fonctionnement des machines volumétriques dû par exemple aux réactions chimiques et/ou physiques des gaz pompés. Certains gaz contiennent notamment des éléments qui peuvent sublimer ou se condenser aux températures élevées, produisant ainsi des résidus à l'intérieur des pompes. Avec le temps, ces résidus peuvent résulter en un grippage ou un autre mauvais fonctionnement des pompes. Aussi, une température trop élevée à l'intérieur des pompes est très défavorable pour un rendement optimal des pompes, à cause du fait qu'elle est capable de causer une dilatation importante des éléments métalliques.
  • Pour pallier ces inconvénients, différents modes de refroidissement ont déjà été mis en oeuvre dans les différentes pompes à vide. Ainsi, il existe des pompes refroidies à l'air, notamment avec les nervures ou autres éléments similaires sur leur surface extérieure afin d'augmenter l'aire de la surface exposée à l'air et afin de favoriser le refroidissement du mécanisme de la pompe par l'air environnemental. D'autres pompes possèdent un refroidissement à liquide, notamment à l'eau ou à l'huile. Par exemple, dans une pompe à palettes lubrifiée, les palettes glissent sur une surface lubrifiée à l'huile. Cette huile sert à la fois à la lubrification de la surface de contact afin de réaliser un glissement plus facile et au refroidissement de la pompe.
  • Cependant, tous ces mécanismes de refroidissement présentent un désavantage majeur, notamment du fait qu'ils rendent les pompes à la fois plus complexes, plus chères et plus susceptibles de tomber en panne. En outre, les fluides de refroidissement doivent typiquement être filtrés, purifiés et/ou changés de temps à autre, ce qui rend la manutention des pompes également plus compliquée et plus coûteuse.
  • Dans le brevet US 4 699 570 , il est décrit une installation de pompage dans laquelle des valves de contrôle sont commandées entre plusieurs parcours pour le flux de gaz, en fonction de la pression au niveau du refoulement d'une pompe aval.
    • Exposé sommaire de l'invention
  • La présente invention a donc pour but de proposer une solution à ce problème de températures surélevées dans des pompes à vide et/ou dans des groupes de pompage, sans l'utilisation des systèmes de refroidissement complexes.
  • Un autre résultat que la présente invention vise à obtenir est une installation de pompage dont les performances sont maintenues dans le temps.
  • A cet effet, l'invention a pour objet une installation de pompage conforme à la revendication 1, ainsi qu'un procédé de contrôle conforme à la revendication 9. Les modes de réalisations plus détaillés sont définis dans les revendications dépendantes et dans la description.
  • Plus concrètement, la présente invention concerne une installation de pompage comprenant au moins une première machine volumétrique et une deuxième machine volumétrique, ainsi qu'un module de contrôle, dans laquelle installation de pompage un gaz est évacué d'un volume enfermé par le biais de la première machine volumétrique et/ou de la deuxième machine volumétrique, et où l'installation de pompage comprend en outre au moins une valve de contrôle qui est contrôlée par le module de contrôle afin de régler le flux de gaz entre le volume enfermé et la sortie de l'installation de pompage.
  • L'avantage principal de la présente invention réside dans le fait que l'installation de pompage proposée possède des moyens aptes à contrôler de manière précise le flux de gaz à pomper entre l'entrée et la sortie du système. De cette manière, la collaboration entre les machines volumétriques peut être adaptée aux besoins concrets de la situation, ce qui rend très facile le contrôle des performances du système. Par conséquent, il est également possible et facile de contrôler le réchauffement des machines volumétriques.
  • A cet endroit, il faut souligner que la présente invention ne concerne pas seulement une installation de pompage selon les modes de réalisation précités mais aussi un procédé de contrôle d'une telle installation de pompage.
    • Brève description des dessins
  • L'invention sera bien comprise à la lecture de la description ci-après faite à titre d'exemple non limitatif en regard des dessins ci-annexés qui représentent schématiquement :
    • figure 1 : un schéma synoptique d'une installation de pompage selon un premier mode de réalisation de la présente invention ;
    • figure 2 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la capacité de pompage (également nommée « débit ») dans le volume enfermé, évacué uniquement avec une première machine volumétrique ;
    • figure 3 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la température de la première machine volumétrique, correspondant à l'évolution de la capacité de pompage dans la figure 2 ;
    • figure 4 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé, évacué uniquement avec une deuxième machine volumétrique ;
    • figure 5 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la température de la deuxième machine volumétrique, correspondant à l'évolution de la capacité de pompage dans la figure 4 ;
    • figure 6 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé selon la présente invention, évacué à la fois avec la première et la deuxième machine volumétrique ;
    • figure 7 : un diagramme schématique représentant l'évolution de la température de la première et de la deuxième machine volumétrique, correspondant à l'évolution de la capacité de pompage dans la figure 6 ;
    • figure 8 : un schéma synoptique d'une installation de pompage selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention ;
    • figure 9 : un schéma synoptique d'une installation de pompage selon un troisième mode de réalisation de la présente invention ; et
    • figure 10 : un schéma synoptique d'une installation de pompage selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention.
    Description détaillée de l'invention
  • La figure 1 représente un schéma synoptique d'une installation de pompage IP selon un mode de réalisation de la présente invention. Dans la figure 1, une première machine volumétrique est représentée d'une manière simplifié par un rectangle portant le signe de référence 10 et une deuxième machine volumétrique est représentée par un autre rectangle portant le signe de référence 20. Egalement représenté d'une manière schématique dans la figure 1 est un volume enfermé VE qui est évacué à l'aide de l'installation de pompage IP. Ce volume enfermé VE peut correspondre à une salle blanche (donc une pièce dans laquelle on contrôle la température, l'humidité et/ou la pression avec le but de créer et maintenir les conditions environnementales nécessaires pour des diverses applications industrielles ou de recherche), une enceinte de production (p.ex. dans une machine-outil) ou tout autre volume dans lequel la pression doit être contrôlée d'une manière précise.
  • Dans l'installation de pompage IP selon la présente invention, la première machine volumétrique 10 peut notamment être une pompe à vis. Une pompe à vis est composée essentiellement de deux vis parallèles qui sont entrainées en rotation dans les sens opposé. Grâce à cette rotation, les gaz qui se trouvent à l'intérieur de la pompe peuvent être transportés entre l'entrée et la sortie de la pompe. Des pompes à vis sont des pompes sèches, donc les pompes dans lequel les gaz pompés n'entrent jamais en contact avec les liquides de lubrification qui pourrait résulter en une contamination. Grâce à cette caractéristique, les pompes à vis peuvent être utilisées dans les applications nécessitant un degré d'hygiène élevé (p.ex. dans l'industrie alimentaire). Bien entendu, la machine volumétrique 10 peut être réalisée part tout autre type de pompe approprié.
  • Cette première machine volumétrique 10 est connecté au volume enfermé VE par le biais d'un conduit (ou ligne de pression) LP1. Ce conduit LP1 peut notamment correspondre à un tuyau classique, en métal ou tout autre matériau approprié. Bien entendu, d'autres types de conduit LP1 sont également possibles. La première machine volumétrique 10 est donc disposée et arrangée pour évacuer directement l'air (ou tout autre gaz à l'intérieur du volume enfermé VE) et le dégager à sa sortie qui est typiquement réalisée par un orifice d'échappement.
  • Un autre conduit LP2 est connecté à l'orifice d'échappement de la première machine volumétrique 10. Comme le conduit LP1 qui connecte le volume enfermé VE à la première machine volumétrique 10, le conduit LP2 peut être un tuyau classique, mais également réalisé d'une autre façon appropriée. Le conduit LP2 prend donc les gaz à la sortie de la machine volumétrique 10 et les canalise par la suite vers la deuxième machine volumétrique 20 via un troisième conduit LP3.
  • La deuxième machine volumétrique 20 qui reçoit le flux des gaz qui ont été évacué du volume enfermé par la première machine volumétrique 10 via le conduit LP3 peut notamment être une pompe à palettes. Des pompes à palettes sont composées d'un stator et un rotor avec des palettes coulissantes qui tourne tangentiellement au stator. Pendant la rotation, les palettes restent en contact avec les parois du stator. Les parois du stator dans une zone sont recouverte d'un bain d'huile qui assure à la fois l'étanchéité de la pompe et la lubrification des pièces mobiles. Les pompes à palettes ne sont donc pas des pompes sèches, et les gaz pompés peuvent entrer en contact avec les lubrifiants. Ces pompes ne sont donc typiquement pas utilisées dans des applications ayant des normes d'hygiène plus élevées. Egalement ici, la machine volumétrique 20 n'est pas forcement une pompe à palettes et elle peut aussi être réalisée part un autre type de pompe approprié.
  • La sortie (l'orifice d'échappement) de la deuxième machine volumétrique 20 est connectée à un quatrième conduit LP4 qui sert à évacuer les gaz pompées par la deuxième machine volumétrique 20 à la sortie de l'installation du pompage IP. Le conduit LP4 peut aussi correspondre à un tuyau classique, en métal ou tout autre matériau approprié. Bien évidemment, d'autres types de conduit sont également imaginables, de même qu'une solution dans laquelle le conduit LP4 n'est pas prévu et les gaz sortant de la machine volumétrique 20 sont directement dirigés ver la sortie de l'installation de pompage IP.
  • Dans l'installation de pompage IP selon la présente invention, une valve de contrôle VC est connectée entre les conduits LP2 et LP3, donc entre la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20. Cette valve de contrôle VC sert essentiellement à contrôler le flux des gaz et particulièrement à empêcher le flux des gaz pompés dans la direction « en arrière », c'est-à-dire vers la machine volumétrique 10. De telles valves de contrôle sont déjà connues dans la technique et leur principe de fonctionnement peut notamment être basé sur un clapet anti-retour. Bien entendu, tout autre type de valves de contrôle peut être utilisé si ces autres valves satisfont aux conditions précitées.
  • La valve de contrôle VC peut de sa part être contrôlée par un module de contrôle MC externe. Le module de contrôle MC est un dispositif électronique et/ou mécanique qui permet de diriger le fonctionnement de la valve de contrôle VC afin de régler le flux des gaz entre le conduit LP1 et le conduit LP2 et donc entre le volume enfermé VE et la sortie de l'installation de pompage IP. A cette fin, un cinquième conduit LP5 menant directement à la sortie de l'installation de pompage IP est aussi connecté à la valve de contrôle VC
  • L'installation de pompage IP selon la présente invention, telle que représentée à la figure 1, fonctionne de la manière suivante : Lors de la mise en marche de la première machine volumétrique 10, les gaz sont pompés du volume enfermé VE. Figure 2 représente d'une manière schématique un diagramme avec l'évolution de la capacité de pompage (qui est également nommée « débit » de la pompe) dans le volume enfermé VE qui est évacué uniquement avec cette première machine volumétrique 10.
  • On peut facilement s'apercevoir que la capacité de pompage augmente dans une première plage de fonctionnement pour diminuer dans une deuxième plage de fonctionnement et finalement reste constante après avoir atteint une pression limite. En parallèle, figure 3 représente l'évolution de la température dans la première machine volumétrique 10 qui correspond directement à la capacité de pompage de la première machine volumétrique telle que représentée à la figure 2. En analysant ce diagramme, il est facile de se rendre compte d'une augmentation franche de la température de la machine volumétrique 10 à partir d'une pression limite. Comme déjà mentionné dans l'introduction, une grande augmentation de la température est généralement désavantageuse.
  • La figure 4 montre également un diagramme schématique avec l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé VE, mais dans le cas où ce volume est évacué uniquement avec la deuxième machine volumétrique 20. Typiquement, cette deuxième machine volumétrique 20 montre une évolution plutôt constante. Cependant, la température dans la deuxième machine volumétrique 20 évolue de manière similaire à celle dans la machine volumétrique 10, donc montre une augmentation nette de la température au-delà d'une pression limite.
  • Pour palier complètement à ce problème, la présente invention propose de régler la valve de contrôle VC par le biais du module de contrôle MC afin de commuter le flux de gaz entre un premier parcours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volumétrique 10 et un deuxième parcours dans lequel le gaz est pompé par à la fois par la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20.
  • Dans le premier cas, le gaz évacué du volume enfermé VE passe par le conduit LP1 et la première machine volumétrique 10, arrive à la valve de contrôle VC par le conduit LP2 et est ensuite directement dirigé vers la sortie de l'installation du pompage IP par le biais du conduit LP5. Contrairement à ceci, le gaz évacué du volume enfermé VE dans le deuxième cas passe d'abord par le conduit LP1, la première machine volumétrique 10 et le deuxième conduit LP2 pour arriver à la valve de contrôle VC qui le dirige non pas vers la sortie mais vers la deuxième machine volumétrique 20. Par la suite, le gaz pompé par la deuxième machine volumétrique 20 sort de l'installation du pompage IP par le biais du conduit LP4.
  • Normalement, cette commutation est contrôlée de manière temporelle. Par exemple, l'installation de pompage IP peut dans une première phase d'opération fonctionner comme dans le premier cas décrit ci-dessus, donc avec les gaz qui sont pompés par le premier parcours. Par la suite, après un certain intervalle de temps, l'installation de pompage IP peut fonctionner comme dans le deuxième cas décrit ci-dessus, donc avec les gaz qui sont pompés par le deuxième parcours.
  • La commutation entre le premier parcours et le deuxième parcours peut être programmée de manière « statique ». Il serait p.ex. possible de programmer une commutation après un fonctionnement dans le premier mode de fonctionnement (parcours VE -> LP1 -> 10 -> LP2 -> VC -> LP5) de 20 ou 30 secondes. Dans ce cas, le module de contrôle compterait le temps écoulé depuis la mise en marche de l'installation de pompage et donnerait l'instruction à la valve de contrôle après avoir atteint le temps préprogrammé de changer le parcours de passage des gaz.
  • Néanmoins, plutôt que d'utiliser une commutation statique, il serait également possible d'utiliser un capteur de pression CP à la sortie de la première machine volumétrique 10 et de commuter le flux de gaz après qu'une certaine pression à la sortie de la première machine volumétrique 10 ait été détectée. Cette pression limite pourrait être déterminée de manière pratique pour chaque application concrète et stockée dans le module de contrôle MC afin de pouvoir être utilisée dans le réglage de la valve de contrôle VC.
  • Les figures 6 et 7 montrent d'une manière schématique l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé VE quant il est évacué à la fois avec la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20, ainsi que l'évolution de la température correspondante.
  • Finalement, la figure 8 illustre un deuxième mode de réalisation de la présente invention de manière schématique. Par rapport au premier mode de réalisation qui a été représenté à la figure 1, ce deuxième mode de réalisation de la présente invention comprend une troisième machine volumétrique 30 qui est intercalée entre le volume enfermé VE et la première machine volumétrique 10. A cette fin, le conduit LP1 est divisé en deux partie, à savoir les conduits LP1' et LP1". Bien entendu, d'autres options pour l'interconnexion sont tout à fait imaginables.
  • Cette troisième machine volumétrique 30 peut typiquement être une pompe Roots. Sa fonction correspond à la fonction d'une pompe « booster » qui est utilisée da manière classique dans les installations de pompages connues de ce jour. Il serait bien entendu également possible d'utiliser un autre type de machines volumétriques ou d'en ajouter d'avantages, sans partir de l'esprit de la présente invention.
  • Les figures 9 et 10 illustrent respectivement un troisième et un quatrième mode de réalisation de la présente invention. Ces deux modes de réalisation de la présente invention diffèrent du premier et du deuxième mode de réalisation de la présente invention en un point significatif qui sera explicité plus bas.
  • Dans le troisième mode de réalisation de la présente invention, représenté à la figure 9, l'installation de pompage IP comprend aussi une première machine volumétrique 10 et une deuxième machine volumétrique 20 qui sont utilisées pour évacuer le volume enfermé VE (notamment une salle blanche, une enceinte de production ou tout autre volume dans lequel la pression doit être contrôlée d'une manière précise). Comme déjà mentionné par rapport au premier mode de réalisation de la présente invention (représenté à la figure 1), la première machine volumétrique 10 peut être une pompe sèche, p.ex. une pompe à vis, mais également tout autre machine volumétrique appropriée. En ce qui concerne la deuxième machine volumétrique 20, elle peut notamment être une pompe à palettes, mais il est bien entendu possible de réaliser cette deuxième machine volumétrique 20 par le biais d'une autre machine volumétrique approprié.
  • Un conduit ou une ligne de pression LP1, p.ex. un tuyau classique, connecte cette première machine volumétrique 10 au volume enfermé VE. La sortie de la première machine volumétrique 10 (alors normalement un orifice d'échappement de la pompe) est de son côté connectée à un autre conduit LP2 qui peut également être un tuyau classique, mais aussi un autre conduit approprié. Ce deuxième conduit LP2 prend les gaz à la sortie de la machine volumétrique 10 et les canalise via une valve de contrôle VC vers la deuxième machine volumétrique 20. A cette fin, un troisième conduit LP3 est aussi prévu pour connecter la valve de contrôle VC à la deuxième machine volumétrique 20.
  • Tout comme dans les installations de pompage selon le premier ou selon le deuxième mode de réalisation de la présente invention, la sortie de la deuxième machine volumétrique 20 est connectée à un quatrième conduit LP4 qui sert à évacuer les gaz pompées par la deuxième machine volumétrique 20 à la sortie de l'installation du pompage. De nouveau, ce conduit LP4 peut aussi correspondre à un tuyau classique, en métal ou tout autre matériau approprié. Bien évidemment, d'autres types de conduit sont également imaginables, de même qu'une solution dans laquelle le conduit LP4 n'est pas prévu et les gaz sortant de la machine volumétrique 20 sont directement dirigés ver la sortie de l'installation de pompage IP.
  • Comme déjà mentionné, la valve de contrôle VC est connectée entre la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20. La fonction de cette valve de contrôle VC est, aussi dans ce troisième mode de réalisation de la présente invention, en premier lieu de contrôler le flux des gaz et particulièrement d'empêcher le flux des gaz pompés dans la direction « en arrière », donc vers la machine volumétrique 10. Pour contrôler cette valve de contrôle VC, l'installation de pompage IP selon ce troisième mode de réalisation de la présente invention comprend également un module de contrôle MC. C'est ce module de contrôle MC qui dirige le fonctionnement de la valve de contrôle VC pour qu'elle puisse régler le flux des gaz entre le conduit LP1 et le conduit LP2 et donc entre le volume enfermé VE et la sortie de l'installation de pompage IP. A cette fin, un cinquième conduit LP5 menant directement à la sortie de l'installation de pompage IP peut également être prévu à la sortie de la valve de contrôle VC
  • Il est donc manifeste que l'installation de pompage IP selon ce troisième mode de réalisation de la présente invention correspond par sa structure essentiellement à l'installation de pompage IP du premier mode de réalisation de la présente invention, représenté à la figure 1. Cependant, le fonctionnement de l'installation de pompage IP selon ce troisième mode de réalisation diffère significativement du fonctionnement de l'installation de pompage IP selon le premier mode de réalisation e la présente invention.
  • En effet, lors de la mise en marche de l'installation de pompage IP selon ce troisième mode de réalisation de la présente invention, représenté à la figure 9, la valve de contrôle VC est fermée, c'est-à-dire, elle est arrangée pour ne pas permettre le flux des gaz entre la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20 par le conduit LP3. En ce moment, la machine volumétrique 10 et la machine volumétrique 20 peuvent être démarrées selon les procédures connues. Par conséquent, grâce au fait que la machine volumétrique 10 est reliée directement au volume enfermé VE, les gaz enfermés dans le volume enfermés VE peuvent être évacués par le biais de la machine volumétrique 10. Pendant ce temps, tous ces gaz pompés sortent de l'installation de pompage IP par le biais du conduit LP5.
  • Le diagramme représenté à la figure 2 illustre l'évolution de la capacité de pompage (ou bien du « débit » de la pompe) dans le volume enfermé VE qui est évacué uniquement avec la première machine volumétrique 10, et une représentation schématique de l'évolution de la température dans la première machine volumétrique 10 qui correspond à la capacité de pompage de cette première machine volumétrique 10 de la figure 2 est illustrée à la figure 3. Ces deux diagrammes correspondent donc également aux données qui sont obtenues dans le cas qui a été décrit par rapport au premier mode de réalisation de la présente invention.
  • Pour revenir à ces deux diagrammes, on peut s'apercevoir que la capacité de pompage augmente dans une première plage de fonctionnement, qu'elle diminue dans une deuxième plage de fonctionnement, et qu'elle reste constante après avoir atteint une pression limite. En ce qui concerne la figure 3 et l'évolution de la température dans la première machine volumétrique 10, on peut facilement se rendre compte d'une augmentation franche de la température de la machine volumétrique 10 à partir d'une pression limite. Comme déjà mentionné dans l'introduction, une grande augmentation de la température est généralement désavantageuse.
  • Pour palier à ce problème de température, le troisième mode de réalisation de la présente invention, à l'instar du premier mode de réalisation de la présente invention, propose aussi de régler la valve de contrôle VC par le biais du module de contrôle MC pour commuter le flux de gaz entre un premier parcours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volumétrique 10 et un deuxième parcours dans lequel le gaz est pompé par à la fois par la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20. Néanmoins, la manière de concrétiser ce réglage dans l'installation de pompage IP selon le troisième mode de réalisation de la présente invention diffère de la manière utilisée dans l'installation de pompage IP selon le premier mode de réalisation de la présente invention.
  • Néanmoins, en lieu d'un capteur de pression, l'installation de pompage IP selon le troisième mode de réalisation de la présente invention utilise un capteur de température TP placé à la sortie de la première machine volumétrique 10. Ce capteur de température est capable à mesure la température des gaz à la sortie de la première machine volumétrique 10 et de transmettre cette information thermique au module de contrôle MC pour qu'il puisse contrôler la valve de contrôle VC.
  • Le contrôle de la valve de contrôle VC fonctionne de la manière suivante : Pendant que la température sensée à la sortie de la première machine volumétrique 10 reste au-dessous d'une valeur prédéterminée, la valve de contrôle VC reste dans la position initiale, c'est-à-dire avec le conduit LP3 fermé, et avec le dégagement des gaz pompés depuis le volume enfermé VE par le conduit LP5. Bien entendu, la température limite peut être choisie d'une manière « dynamique », c'est-à-dire en fonction des gaz pompés, pour garantir que la température à la sortie de la première machine volumétrique 10 ne dépasse la valeur critique qui résulterait en des réactions chimiques et/ou physiques des gaz pompés et des résidus à l'intérieur de la machine volumétrique 10. Cette température limite peut notamment être déterminée de manière pratique pour chaque application concrète et stockée dans le module de contrôle MC afin de pouvoir être utilisée dans le réglage de la valve de contrôle VC.
  • Il faut remarquer à cet endroit que, pendant cette première phase du fonctionnement de l'installation de pompage IP, la deuxième machine volumétrique 20 marche également, même si elle est connecté au conduit LP3 qui ne contient pas de gaz à pomper (étant donné que la valve de contrôle VC ferme ce conduit-ci). Par conséquent, cette deuxième machine volumétrique 20 tend à se réchauffer.
  • Lorsqu'une température au-dessus de la température limite prédéterminée est détectée par le biais du capteur de température TP à la sortie de la première machine volumétrique 10, le module de contrôle MC peut régler la valve de contrôle VC pour qu'elle ouvre le conduit LP3 au passage des gaz sortant de la première machine volumétrique 10 et passant par le conduit LP2. Au même temps, le conduit LP5 est fermé. A partir de ce moment, le gaz est pompé à la fois par la première machine volumétrique 10 et la deuxième machine volumétrique 20. Cette deuxième machine volumétrique 20 arrête donc à pomper contre un conduit LP3 vide et sa température tend à baisser pour attendre la température de travail optimale.
  • Bien entendu, la deuxième machine volumétrique 20 dans une telle configuration est susceptible de surchauffage, d'autant plus qu'il est normalement souhaitable d'utiliser une machine « petite » avec les dimensions qui sont réduites au maximum. Pour éviter ce problème, cette deuxième machine volumétrique 20 peut comprendre un mécanisme de refroidissement plus ou moins sophistiqué. Il est notamment possible d'utiliser un système de refroidissement « classique » à l'air, un système de refroidissement à l'eau (ou un autre liquide approprié), ou tout autre système connu. Aussi, ce mécanisme de refroidissement peut également être dynamique, donc être piloté par un capteur de température (indépendant du capteur TP) pour démarrer le refroidissement seulement si la température de la deuxième machine volumétrique dépasse une valeur prédéterminée.
  • Le résultat de ce réglage en ce qui concerne l'évolution de la capacité de pompage dans le volume enfermé VE peut être observé aux figures 6 et 7 (qui correspondent également au comportement de l'installation de pompage IP selon le premier mode de réalisation de la présente invention).
  • Pour compléter cette description, il faut remarque qu'un quatrième mode de réalisation de la présente invention est représenté à la figure 10. Par rapport au troisième mode de réalisation de la présente invention, ce quatrième mode de réalisation de la présente invention, à l'instar du deuxième mode de réalisation de la présente invention (cf. figure 8), comprend aussi une troisième machine volumétrique 30 (typiquement une pompe Roots) qui est intercalée entre le volume enfermé VE et la première machine volumétrique 10. La fonction de la troisième machine volumétrique 30 correspond à la fonction d'une pompe « booster » qui est utilisée da manière classique dans les installations de pompages connues de ce jour. Il serait bien entendu également possible d'utiliser un autre type de machines volumétriques ou d'en ajouter d'avantages, sans partir de l'esprit de la présente invention.
  • Naturellement, la présente invention est sujette à de nombreuses variations quant à sa mise en oeuvre. Bien que plusieurs modes de réalisations aient été décrits, on comprend bien qu'il n'est pas concevable d'identifier de manière exhaustive tous les modes possibles. Il est bien sûr envisageable de remplacer un moyen décrit par un moyen équivalent sans sortir du cadre de la présente invention. Egalement, il est tout à fait possible de combiner les éléments décrits par rapport aux modes de réalisation particuliers pour créer ainsi des nouveaux modes de réalisation de la présente invention. Nous tenons également à préciser que les différents modes de réalisation de la présente invention peuvent sans doute être combinés pour créer d'autres modes de réalisation appropriés. En particulier, il est sans autre possible de réaliser une nouvelle installation de pompage qui comprend à la fois la caractéristique principale des deux premiers modes de réalisation (c'est-à-dire un capteur de pression) avec un capteur de température tel que proposé par les troisième et quatrième modes de réalisation de la présente invention.

Claims (13)

  1. Installation de pompage (IP) comprenant au moins une première machine volumétrique (10) et une deuxième machine volumétrique (20), ainsi qu'un module de contrôle (MC), dans laquelle installation de pompage (IP) un gaz est évacué d'un volume enfermé (VE) par le biais de la première machine volumétrique (10) et/ou de la deuxième machine volumétrique (20), l'installation de pompage (IP) comprenant en outre au moins une valve de contrôle (VC) qui est contrôlée par le module de contrôle (MC) et un capteur de température (TP) pour capter la valeur de la température à la sortie de la première machine volumétrique (10) afin de régler le flux de gaz entre le volume enfermé (VE) et la sortie de l'installation de pompage (IP),
    caractérisée en ce que le module de contrôle (MC) est configuré pour commander la valve de contrôle (VC) de manière que, lors d'un démarrage de la première machine volumétrique (10) et de la deuxième machine volumétrique (20) de l'installation de pompage (IP), pendant que la température détectée à la sortie de la première machine volumétrique (10) par le capteur de température (TP) est au-dessous d'une valeur prédéterminée, la valve de contrôle (VC) dirige le flux de gaz entre le volume enfermé (VE) et la sortie de l'installation de pompage (IP) selon un premier parcours parmi deux parcours qui sont ce premier parcours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volumétrique (10) et un deuxième parcours dans lequel le gaz est pompé par la première machine volumétrique (10) et la deuxième machine volumétrique (20).
  2. Installation de pompage selon la revendication 1, caractérisée en ce que le module de contrôle (MC) est configuré pour commander la valve de contrôle (VC) de manière que, lorsqu'une température au-dessus d'une température prédéterminée est détectée par le biais du capteur de température (TP) à la sortie de la première machine volumétrique (10), la valve de contrôle (VC) dirige le flux de gaz selon le deuxième parcours.
  3. Installation de pompage selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisée en ce que la première machine volumétrique (10) est une pompe sèche.
  4. Installation de pompage selon la revendication 3, caractérisée en ce que la première machine volumétrique (10) est une pompe à vis.
  5. Installation de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que la deuxième machine volumétrique (20) est une pompe à palettes.
  6. Installation de pompage selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que l'installation de pompage comprend en outre une troisième machine volumétrique (30), connectée en série entre le volume enfermé (VE) et la première machine volumétrique (10).
  7. Installation de pompage selon la revendication 6, caractérisée en ce que la troisième machine volumétrique (30) est une pompe Roots.
  8. Installation de pompage selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que la deuxième machine volumétrique (20) comprend un mécanisme de refroidissement.
  9. Procédé de contrôle d'une installation de pompage (IP) comprenant au moins une première machine volumétrique (10) et une deuxième machine volumétrique (20), ainsi qu'un module de contrôle (MC), dans laquelle installation de pompage (IP) un gaz est évacué d'un volume enfermé (VE) par le biais de la première machine volumétrique (10) et/ou de la deuxième machine volumétrique (20), une valve de contrôle (VC) étant contrôlée par le module de contrôle (MC) qui reçoit des informations d'un capteur de température (TP) captant la valeur de la température à la sortie de la première machine volumétrique (10),
    caractérisée en ce que, lors d'un démarrage de la première machine volumétrique (10) et de la deuxième machine volumétrique (20) de l'installation de pompage (IP), pendant que la température détectée à la sortie de la première machine volumétrique (10) par le capteur de température (TP) est au-dessous d'une valeur prédéterminée, la valve de contrôle (VC) dirige le flux de gaz entre le volume enfermé (VE) et la sortie de l'installation de pompage (IP) selon un premier parcours parmi deux parcours qui sont ce premier parcours dans lequel le gaz est pompé uniquement par la première machine volumétrique (10) et un deuxième parcours dans lequel le gaz est pompé par la première machine volumétrique (10) et la deuxième machine volumétrique (20).
  10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que une troisième machine volumétrique (30), connectée en série entre le volume enfermé (VE) et la première machine volumétrique (10) est prévue dans l'installation de pompage (IP).
  11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 et 10, caractérisé en ce que, lorsqu'une température au-dessus d'une température prédéterminée est détectée par le biais du capteur de température (TP) à la sortie de la première machine volumétrique (10), la valve de contrôle (VC) dirige le flux de gaz selon le deuxième parcours.
  12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, caractérisé en ce que la température prédéterminée est choisie en fonction des gaz pompés.
  13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 12, caractérisé en ce que la température prédéterminée est déterminée de manière pratique pour chaque application concrète et stockée dans le module de contrôle (MC) afin de pouvoir être utilisée dans le réglage de la valve de contrôle (VC).
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