RU2017114342A - Система откачки для создания вакуума и способ откачки при помощи этой системы откачки - Google Patents
Система откачки для создания вакуума и способ откачки при помощи этой системы откачки Download PDFInfo
- Publication number
- RU2017114342A RU2017114342A RU2017114342A RU2017114342A RU2017114342A RU 2017114342 A RU2017114342 A RU 2017114342A RU 2017114342 A RU2017114342 A RU 2017114342A RU 2017114342 A RU2017114342 A RU 2017114342A RU 2017114342 A RU2017114342 A RU 2017114342A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pump
- vacuum pump
- pumping system
- pumping
- main
- Prior art date
Links
- 238000005086 pumping Methods 0.000 title claims 36
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 17
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
- F04B41/06—Combinations of two or more pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/123—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially or approximately radially from the rotor body extending tooth-like elements, co-operating with recesses in the other rotor, e.g. one tooth
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/02—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for several pumps connected in series or in parallel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/14—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
- F04F5/16—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
- F04F5/20—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Claims (33)
1. Система (SP) откачки для создания вакуума, содержащая главный вакуумный насос, который является кулачковым насосом (3), содержащим всасывающий вход (2) газов, соединенный с вакуумной камерой (1), и выход (4) для выдува газов, сообщающийся с каналом (5) удаления газов в направлении выхода (8) для выпуска газов из системы откачки,
при этом система откачки отличается тем, что содержит
- обратный клапан (6), расположенный между выходом (4) для выдува газов и выходом (8) для выпуска газов, и
- вспомогательный вакуумный насос (7), установленный параллельно с обратным клапаном.
2. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос выбран из группы, в которую входят кулачковый насос, безмасляный винтовой насос, многоступенчатый насос Рутса, диафрагменный насос, безмасляный лопастной насос, лопастной насос смазываемого типа и газовый эжектор.
3. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является безмасляным винтовым насосом.
4. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является кулачковым насосом.
5. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является многоступенчатым насосом Рутса.
6. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является диафрагменным насосом.
7. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является безмасляным лопастным насосом.
8. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является лопастным насосом смазываемого типа.
9. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является эжектором.
10. Система откачки по п. 9, отличающаяся тем, что рабочей текучей средой эжектора (7) является сжатый воздух и/или азот.
11. Система откачки по п. 9, отличающаяся тем, что поток газа под давлением, необходимый для работы эжектора (7), поступает из компрессора.
12. Система откачки по п. 11, отличающаяся тем, что компрессор выполнен с возможностью приведения в действие главным насосом (3).
13. Система откачки по п. 11, отличающаяся тем, что компрессор приводится в действие автономно, независимо от главного насоса.
14. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) выполнен с возможностью производить откачку в течение всего периода откачки главным вакуумным насосом (3) газов, содержащихся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего периода поддержания главным вакуумным насосом (3) заданного давления в вакуумной камере (1).
15. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) содержит выход для выдува, который соединен по потоку ниже обратного клапана (6) с каналом (5) удаления газов.
16. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что номинальная производительность вспомогательного вакуумного насоса (7) задана в зависимости от объема канала (5) удаления газов, занимаемого между главным вакуумным насосом (3) и обратным клапаном (6).
17. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что номинальная производительность вспомогательного вакуумного насоса (7) составляет от 1/500 до 1/5 номинального расхода главного вакуумного насоса (3).
18. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является одноступенчатым или многоступенчатым.
19. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что обратный клапан (6) выполнен с возможностью закрытия, когда давление на всасывающем входе главного вакуумного насоса (3) становится ниже 500 абсолютных миллибар.
20. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) изготовлен из материалов, обладающих высокой химической стойкостью к веществам и газам, обычно используемым в промышленности полупроводников.
21. Способ откачки при помощи системы (SP) откачки по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что:
- запускают главный вакуумный насос (3)для откачивания газов, содержащихся в вакуумной камере (1), и выдува этих газов через его выход (4) для выдува газов;
- одновременно запускают вспомогательный вакуумный насос (7); и
- вспомогательный вакуумный насос (7) продолжает откачку в течение всего периода откачивания главным вакуумным насосом (3) газов, содержащихся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего периода поддерживания главным вакуумным насосом (3) заданного давления в вакуумной камере (1).
22. Способ откачки по п. 21, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) производит откачку с производительностью примерно от 1/500 до 1/20 номинальной производительности главного вакуумного насоса (3).
23. Способ откачки по любому из пп. 21 и 22, отличающийся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда давление на всасывающем входе главного вакуумного насоса (3) становится ниже 500 абсолютных миллибар.
24. Способ откачки по любому из пп. 21 и 22, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является эжектором.
25. Способ откачки по п. 24, отличающийся тем, что поток газа под давлением, необходимый для работы эжектора (7), поступает из компрессора.
26. Способ откачки по п. 25, отличающийся тем, что компрессор приводится в действие главным насосом (3).
27. Способ откачки по п. 25, отличающийся тем, что компрессор приводится в действие автономно, независимо от главного насоса.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/EP2014/071197 WO2016050313A1 (fr) | 2014-10-02 | 2014-10-02 | Systeme de pompage pour generer un vide et procede de pompage au moyen de ce systeme de pompage |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2017114342A true RU2017114342A (ru) | 2018-11-07 |
| RU2017114342A3 RU2017114342A3 (ru) | 2018-11-07 |
| RU2674297C2 RU2674297C2 (ru) | 2018-12-06 |
Family
ID=51662095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017114342A RU2674297C2 (ru) | 2014-10-02 | 2014-10-02 | Система откачки для создания вакуума и способ откачки при помощи этой системы откачки |
Country Status (15)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10808730B2 (ru) |
| EP (1) | EP3201469B1 (ru) |
| JP (1) | JP6512674B2 (ru) |
| KR (1) | KR102330815B1 (ru) |
| CN (1) | CN107002681A (ru) |
| AU (1) | AU2014407987B2 (ru) |
| BR (1) | BR112017006572B1 (ru) |
| CA (1) | CA2961979A1 (ru) |
| DK (1) | DK3201469T3 (ru) |
| ES (1) | ES2785202T3 (ru) |
| PL (1) | PL3201469T3 (ru) |
| PT (1) | PT3201469T (ru) |
| RU (1) | RU2674297C2 (ru) |
| TW (1) | TWI696760B (ru) |
| WO (1) | WO2016050313A1 (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| PL3123030T3 (pl) * | 2014-03-24 | 2020-03-31 | Ateliers Busch S.A. | Sposób pompowania w układzie pomp próżniowych i układ pomp próżniowych |
| US10041495B2 (en) * | 2015-12-04 | 2018-08-07 | Clay Valley Holdings Inc. | High volume vacuum pump for continuous operation |
| CN108533494B (zh) * | 2018-06-19 | 2024-02-20 | 浙江维朋制冷设备有限公司 | 一种真空泵 |
| FR3097599B1 (fr) * | 2019-06-18 | 2021-06-25 | Pfeiffer Vacuum | Pompe à vide primaire de type sèche et procédé de contrôle de l’injection d’un gaz de purge |
| CN112901450A (zh) * | 2019-11-19 | 2021-06-04 | 核工业西南物理研究院 | 可移动式快速高真空抽气系统 |
| JP2023511645A (ja) * | 2019-12-04 | 2023-03-22 | アテリエ ビスク ソシエテ アノニム | 冗長ポンプシステム及びこのポンプシステムによる圧送方法 |
| JP2021110315A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | 株式会社アルバック | 補助ポンプ制御装置、および、真空ポンプシステム |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE8816875U1 (ru) * | 1987-12-21 | 1991-04-11 | Werner Rietschle Maschinen- Und Apparatebau Gmbh, 7860 Schopfheim, De | |
| DE3842886A1 (de) * | 1987-12-21 | 1989-07-06 | Rietschle Masch App | Vakuumpumpstand |
| FR2647853A1 (fr) * | 1989-06-05 | 1990-12-07 | Cit Alcatel | Pompe primaire seche a deux etages |
| SU1756637A1 (ru) * | 1990-12-14 | 1992-08-23 | Сморгонский завод оптического станкостроения | Вакуумна откачна система |
| FR2822200B1 (fr) | 2001-03-19 | 2003-09-26 | Cit Alcatel | Systeme de pompage pour gaz a faible conductivite thermique |
| WO2003023229A1 (fr) * | 2001-09-06 | 2003-03-20 | Ulvac, Inc. | Systeme de pompe a vide et procede de fonctionnement d'un systeme de pompe a vide |
| US6589023B2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-07-08 | Applied Materials, Inc. | Device and method for reducing vacuum pump energy consumption |
| JP4365059B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2009-11-18 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の運転方法 |
| SE519647C2 (sv) * | 2002-05-03 | 2003-03-25 | Piab Ab | Vakuumpump och sätt att tillhandahålla undertryck |
| JP2004263635A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Tadahiro Omi | 真空装置および真空ポンプ |
| WO2007010851A1 (ja) * | 2005-07-21 | 2007-01-25 | Nabtesco Corporation | 真空システム及びその運転方法 |
| JP4745779B2 (ja) * | 2005-10-03 | 2011-08-10 | 神港精機株式会社 | 真空装置 |
| TWI467092B (zh) * | 2008-09-10 | 2015-01-01 | Ulvac Inc | 真空排氣裝置 |
| FR2952683B1 (fr) * | 2009-11-18 | 2011-11-04 | Alcatel Lucent | Procede et dispositif de pompage a consommation d'energie reduite |
| FR2993614B1 (fr) * | 2012-07-19 | 2018-06-15 | Pfeiffer Vacuum | Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes |
| DE102012220442A1 (de) * | 2012-11-09 | 2014-05-15 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpensystem zur Evakuierung einer Kammer sowie Verfahren zur Steuerung eines Vakuumpumpensystems |
-
2014
- 2014-10-02 ES ES14781160T patent/ES2785202T3/es active Active
- 2014-10-02 AU AU2014407987A patent/AU2014407987B2/en active Active
- 2014-10-02 WO PCT/EP2014/071197 patent/WO2016050313A1/fr active Application Filing
- 2014-10-02 EP EP14781160.8A patent/EP3201469B1/fr not_active Revoked
- 2014-10-02 KR KR1020177011440A patent/KR102330815B1/ko active IP Right Grant
- 2014-10-02 BR BR112017006572-0A patent/BR112017006572B1/pt active IP Right Grant
- 2014-10-02 PL PL14781160T patent/PL3201469T3/pl unknown
- 2014-10-02 JP JP2017516049A patent/JP6512674B2/ja active Active
- 2014-10-02 PT PT147811608T patent/PT3201469T/pt unknown
- 2014-10-02 US US15/513,574 patent/US10808730B2/en active Active
- 2014-10-02 CN CN201480082418.XA patent/CN107002681A/zh active Pending
- 2014-10-02 RU RU2017114342A patent/RU2674297C2/ru active
- 2014-10-02 CA CA2961979A patent/CA2961979A1/fr active Pending
- 2014-10-02 DK DK14781160.8T patent/DK3201469T3/da active
-
2015
- 2015-09-23 TW TW104131478A patent/TWI696760B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2017531754A (ja) | 2017-10-26 |
| TW201623798A (zh) | 2016-07-01 |
| BR112017006572A2 (pt) | 2017-12-19 |
| CN107002681A (zh) | 2017-08-01 |
| EP3201469A1 (fr) | 2017-08-09 |
| JP6512674B2 (ja) | 2019-05-15 |
| PT3201469T (pt) | 2020-04-23 |
| TWI696760B (zh) | 2020-06-21 |
| RU2017114342A3 (ru) | 2018-11-07 |
| CA2961979A1 (fr) | 2016-04-07 |
| EP3201469B1 (fr) | 2020-03-25 |
| BR112017006572B1 (pt) | 2022-08-23 |
| US20170284394A1 (en) | 2017-10-05 |
| KR102330815B1 (ko) | 2021-11-24 |
| KR20170062513A (ko) | 2017-06-07 |
| ES2785202T3 (es) | 2020-10-06 |
| PL3201469T3 (pl) | 2020-07-27 |
| DK3201469T3 (da) | 2020-04-27 |
| AU2014407987B2 (en) | 2019-10-31 |
| WO2016050313A1 (fr) | 2016-04-07 |
| RU2674297C2 (ru) | 2018-12-06 |
| US10808730B2 (en) | 2020-10-20 |
| AU2014407987A1 (en) | 2017-04-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2017114342A (ru) | Система откачки для создания вакуума и способ откачки при помощи этой системы откачки | |
| RU2017102492A (ru) | Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов | |
| GB2459233B (en) | Vacuum pump or vacuum apparatus having a vacuum pump | |
| NO20190005A1 (en) | Method and system for pumping a liquid containing particles, preferably fish in water | |
| EP2626562A3 (en) | Pump | |
| WO2011082942A3 (de) | Turboverdichter | |
| AU2020244894A8 (en) | Hydrogen gas supply device and hydrogen gas supply method | |
| JP2020097902A5 (ru) | ||
| RU2016142607A (ru) | Способ откачки в насосной системе и система вакуумных насосов | |
| TWI725943B (zh) | 用於產生真空的泵送系統及利用此泵送系統的泵送方法 | |
| RU2016141339A (ru) | Способ откачки в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов | |
| JP2007247971A (ja) | 排水処理装置 | |
| RU2018101700A (ru) | Способ и устройство для сжатия и сушки газа | |
| WO2018033790A3 (en) | Pressure system | |
| GB2506785A (en) | Scroll Pump | |
| RU2012134597A (ru) | Способ удаления газа из участка газопровода, подлежащего ремонту | |
| JP2020084919A (ja) | 多段高圧ガス圧縮装置の運転方法、多段高圧ガス圧縮装置 | |
| RU2018100476A (ru) | Система добычи нефти | |
| MX2021013915A (es) | Bomba duplex submarina, sistema de bombeo submarino y metodo de bombeo submarino. | |
| EP2891801A3 (en) | Compressor and valve assembly thereof for reducing pulsation and/or noise | |
| JP2017031892A5 (ru) | ||
| RU2542739C2 (ru) | Система обеспечения буферным газом "сухих" газодинамических уплотнений | |
| MX2019007655A (es) | Sistemas de extraccion de hidrocarburos utilizando bomba de tubo flexible. | |
| RU2014123325A (ru) | Способ работы поршневого насос-компрессора и устройство для его осуществления |