JP2017531754A - 真空を生成するための圧送システムおよびこの圧送システムによる圧送方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、低圧において、真空チャンバ内で真空を達成する圧送中に単一のクローポンプの助けにより得ることのできる排出または真空排気速度より大きな排出または真空排気速度を得ることをも目的とする。
本発明は、同様に、真空チャンバを真空排気し、真空を維持するために必要な電気エネルギーの低減を可能にするとともに流出ガスの温度低下を達成することをも目的とする。
補助真空ポンプは、好ましくは小形である。
好ましくは、本発明による圧送システムを使用する圧送方法によれば、補助真空ポンプは、主クロー真空ポンプのガスディスチャージ出口と逆止め弁との間のボリュームにおいて常時圧送する。
さらに、主クロー真空ポンプは圧縮のためにより少ないエネルギーを消費し、より少ない圧縮熱を生じさせる。
Claims (27)
- 真空チャンバ(1)に連結されたガス吸い込み入口(2)と、圧送システムの外側のガスエグゾースト出口(8)の方向においてガス真空排気導管(5)内に至るガスディスチャージ出口(4)とを有するクローポンプ(3)である主真空ポンプを備えることを特徴とする真空を生成するための圧送システム(SP)であって、
前記ガスディスチャージ出口(4)と前記ガスエグゾースト出口(8)との間に位置する逆止め弁(6)と、
前記逆止め弁に並列に連結された補助真空ポンプ(7)と、
を備えることをさらに特徴とする圧送システム。 - 請求項1記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、乾式スクリューポンプ、クローポンプ、多段ルーツポンプ、ダイヤフラムポンプ、乾式回転羽根ポンプ、潤滑回転羽根ポンプおよびガスエゼクタの中から選択されることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1または2記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、乾式スクリューポンプであることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1または2記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、クローポンプであることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1または2記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、多段ルーツポンプであることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1または2記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、ダイヤフラムポンプであることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1または2記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、乾式回転羽根ポンプであることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1または2記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、潤滑回転羽根ポンプであることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1または2記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、エゼクタであることを特徴とする圧送システム。 - 請求項9記載の圧送システムにおいて、
前記エゼクタの作動流体は、圧縮された空気または窒素であることを特徴とする圧送システム。 - 請求項9または10記載の圧送システムにおいて、
前記エゼクタの稼働に必要な圧力のガスの流れは、コンプレッサにより提供されることを特徴とする圧送システム。 - 請求項11記載の圧送システムにおいて、
前記コンプレッサは、前記主真空ポンプ(3)により駆動されることを特徴とする圧送システム。 - 請求項11記載の圧送システムにおいて、
前記コンプレッサは、前記主真空ポンプ(3)とは無関係に独立して駆動されることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1〜13のいずれか記載の圧送システムにおいて、
前記主真空ポンプ(3)が前記真空チャンバ(1)に含まれるガスを圧送している間じゅうおよび/または前記主真空ポンプ(3)が前記真空チャンバ(1)内の所定の圧力を維持している間じゅう、前記補助真空ポンプ(7)が圧送し得るように設計されることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1〜14のいずれか記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、前記逆止め弁(6)の下流側で前記ガス真空排気導管(5)に連結されるディスチャージ端部を含むことを特徴とする圧送システム。 - 請求項1〜15のいずれか記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)の公称流量は、前記ガス真空排気導管(5)が前記主真空ポンプ(3)と前記逆止め弁(6)との間に画定する容積の関数として選択されることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1〜16のいずれか記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)の公称流量は、前記主真空ポンプ(3)の公称流量の1/
500〜1/5であることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1〜17のいずれか記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、単段式または多段式であることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1〜18のいずれか記載の圧送システムにおいて、
前記逆止め弁(6)は、前記主真空ポンプ(3)の吸い込み端部における圧力が500mbar絶対圧より低いときに閉じるように構成されることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1〜19のいずれか記載の圧送システムにおいて、
前記補助真空ポンプ(7)は、半導体工業で一般的に使われる物質およびガスに対して大きな耐薬品性を有する材料から作られることを特徴とする圧送システム。 - 請求項1〜20のいずれか記載の圧送システム(SP)による圧送方法であって、
前記真空チャンバ(1)に含まれるガスを圧送してこれらのガスをそのガスディスチャージ出口(4)を通して排出するために前記主真空ポンプ(3)を始動するステップと、
前記補助真空ポンプ(7)を同時に始動するステップと、
前記主真空ポンプ(3)が前記真空チャンバ(1)に含まれるガスを圧送している間じゅうおよび/または前記主真空ポンプ(3)が前記真空チャンバ(1)内の所定の圧力を維持している間じゅう、前記補助真空ポンプ(7)が圧送し続けるステップと、
を含むことを特徴とする圧送方法。 - 請求項21記載の圧送方法において、
前記補助真空ポンプ(7)は、前記主真空ポンプ(3)の公称流量の1/500〜1/20のオーダの流量で圧送することを特徴とする圧送方法。 - 請求項21または22記載の圧送方法において、
前記逆止め弁(6)は、前記主真空ポンプ(3)の吸い込み端部における圧力が500mbar絶対圧より低いときに閉じることを特徴とする圧送方法。 - 請求項21〜23のいずれか記載の圧送方法において、
前記補助真空ポンプ(7)は、エゼクタであることを特徴とする圧送システム。 - 請求項24記載の圧送方法において、
前記エゼクタの稼働に必要な圧力のガスの流れは、コンプレッサにより提供されることを特徴とする圧送方法。 - 請求項25記載の圧送方法において、
前記コンプレッサは、前記主真空ポンプ(3)により駆動されることを特徴とする圧送方法。 - 請求項25記載の圧送方法において、
前記コンプレッサは、前記主真空ポンプ(3)とは無関係に独立して駆動されることを特徴とする圧送方法。
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