JP2003139055A

JP2003139055A - 真空排気装置

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Publication number: JP2003139055A
Application number: JP2001334587A
Authority: JP
Inventors: Yuji Fukaura; 裕治深浦; Koichi Mizushima; 浩一水島; Mitsuru Yahagi; 充矢作; Koji Shibayama; 浩司柴山; Junichi Aikawa; 純一相川
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2001-10-31
Filing date: 2001-10-31
Publication date: 2003-05-14
Anticipated expiration: 2021-10-31
Also published as: JP4365059B2

Abstract

(57)【要約】【課題】補助ポンプの低消費電力化を図ることによっ
て装置全体の効率の良い省エネ化を図ることができる真
空排気装置を提供する。【解決手段】ドライ真空ポンプ２０と、ドライ真空ポ
ンプ２０の吐出側を大気へ解放する逆止弁２８と、逆止
弁２８と並列的に配置されドライ真空ポンプ２０の吐出
側を排気する補助ポンプ３０とを備えた真空排気装置で
あって、ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力を検出する
圧力センサ３５の出力に基づいて、補助ポンプ３０の運
転状態を制御する制御装置３３を設けることにより、ド
ライ真空ポンプ２０の吐出側圧力が所定以下の場合に
は、補助ポンプ３０の回転数を低減しあるいは補助ポン
プ３０の運転を停止させて、補助ポンプ３０の消費電力
を削減する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
工程に用いられるドライ真空ポンプの省電力化を図った
真空排気装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造装置用の真空排気装置
としては油回転真空ポンプが用いられていたが、近年、
作動油を使用しないクリーンなドライ真空ポンプが利用
されている。ここでいうドライ真空ポンプとは、大気圧
からの真空排気が可能であり、吸入室にシール油（作動
油）を有しない機械的真空ポンプ（以下、同じ。）であ
って、容積移動型のルーツ型、クロー型、スクリュー型
が多く使用されている。これらのポンプはいずれも２軸
構造で、一対のロータは互いに僅かの隙間を保って反対
方向に回転することで真空排気を行うもので、接触部分
をもたないことから寿命が長く、製造装置から流入する
ガス中に含まれる固形成分も排気でき、腐食性ガスに対
しても耐食性を容易に持たせることができる。

【０００３】しかし、ドライ真空ポンプは、油回転真空
ポンプに比べて消費電力が大きいという問題を有してい
る。特に、環境上の問題からエネルギー消費を抑える必
要が生じたことと、半導体製造のコストダウンが要求さ
れることから、ドライ真空ポンプの消費電力を５０％以
下に抑制したいとの要望が生じている。

【０００４】例えば、ルーツ型ドライ真空ポンプは、回
転軸に沿って複数のロータを備えた回転体を相隣接して
設け、相対向したロータが互いに僅かの隙間を保って逆
方向に回転してガスの吸入、排気を行うもので、３段か
ら６段のポンプ室から構成され、各段のポンプ室で順次
ポンプ作用を行うものである。このポンプでは、ロータ
の回転により排気ガスを前段部から後段部へと移送する
が、ロータ最終段においてガス移送空間が吐出側空間と
連通した瞬間に、吐出側気体がポンプ内に逆流して上記
ガス移送空間内の排気ガスを圧縮する。したがって、吸
入口側を真空に保つためには、圧縮行程で逆流ガスを押
し戻してやる必要があり、大気圧からの逆流を受け止め
るロータ最終段では、ガスを押し戻すためにポンプ全体
の所要動力の約７０％から８０％程度が費やされてい
る。

【０００５】そこで、特開平６−１２９３８４号公報に
は、図９に示すように真空処理室１を真空排気するドラ
イ真空ポンプ２の後段に、ドライ真空ポンプ２側から大
気側へのガスの流れのみを許容する逆止弁４を設けると
ともに、ドライ真空ポンプ２よりも排気容量の小さい補
助ポンプ３を上記逆止弁４をバイパスするようにドライ
真空ポンプ２の吐出側に設けることによって、ドライ真
空ポンプ２の吐出側を大気圧以下に排気しポンプ最終段
に逆流するガスの押し戻し仕事を低減する技術が開示さ
れている。

【０００６】この技術によれば、従来では大気圧とされ
ていたドライ真空ポンプ２の吐出側が補助ポンプ３によ
って大気圧以下の所定の真空度に排気、維持されるため
に、ドライ真空ポンプ２への逆流ガスが大幅に低減さ
れ、よって、逆流ガスの押し戻しに必要とされる動力を
確実に低減することが可能となるので、ドライ真空ポン
プ２の駆動電力の大幅な削減つまり省エネルギー（以
下、省エネともいう。）化を図ることが可能となる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の補助ポンプ３は
ドライ真空ポンプ２と連動して定常回転数で連続運転し
ているために、補助ポンプ３の運転時は常に定常回転時
の電力を必要とする。したがって、真空処理室１におけ
る真空処理（成膜処理）の待機時や、外部信号によりド
ライ真空ポンプ２の回転数を制御する場合でも補助ポン
プ３は常に定常回転で運転されるため、ドライ真空ポン
プ２の吐出圧が十分に下がった状態であるにもかかわら
ず、補助ポンプ３には定常回転時の電力が必要である。
つまり、従来の真空排気装置では、ドライ真空ポンプ２
の消費電力の低減分が補助ポンプ３の消費電力で減殺さ
れてしまい、真空排気装置全体としての省エネ効率が悪
いという問題を有している。

【０００８】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、補助
ポンプの低消費電力化を図ることによって装置全体の効
率の良い省エネ化を図ることができる真空排気装置を提
供することを課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するに
当たり、本発明の真空排気装置は、ドライ真空ポンプの
吸入圧及び／又は吐出圧を検出する圧力検出手段の出力
に基づいて、補助ポンプの運転状態を制御することを特
徴とする。補助ポンプの運転状態を制御する具体的態様
としては、吐出圧を検出する場合、圧力検出手段の検出
圧が所定値を超える場合には定常回転数で運転し、上記
所定値以下の場合には回転数を低減したり運転を停止さ
せる。これにより、補助ポンプの省エネ化を図ることが
できる。

【００１０】補助ポンプの運転制御を行う上で基準とな
るパラメータは、上述のドライ真空ポンプの吸入圧や吐
出圧といった圧力データに限られず、ほかにドライ真空
ポンプの駆動電流または消費電力、更にはドライ真空ポ
ンプの温度またはドライ真空ポンプの排気ガス温度に基
づいて、補助ポンプの運転状態を制御することも可能で
ある。これらのパラメータは、ドライ真空ポンプの最終
段における逆流ガスの押し戻し仕事量に関係する物理量
だからである。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。本実施の形態では、スパ
ッタリングや蒸着など、排気ガス中にポンプ内で析出堆
積する成分を含まないプロセス（ライトプロセス）にお
ける真空処理室用の真空排気装置を例に挙げて説明す
る。

【００１２】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１の実施の形態による真空排気装置の概略配管構成を示
している。真空処理室１０は、排気配管１１を介してド
ライ真空ポンプ２０の吸入口２３に連絡している。ドラ
イ真空ポンプ２０の吐出口２４には大気と連絡する吐出
配管２５が接続され、この吐出配管２５には上流側から
サイレンサ２６、第１バルブ３１ａ及び逆止弁２８が順
に設けられている。逆止弁２８は、ドライ真空ポンプ２
０側から大気側へのガスの流れを許容しその反対の流れ
を禁止する機能を有している。また、ドライ真空ポンプ
２の吐出側を排気する補助ポンプ３０が、逆止弁２８を
バイパスするバイパス配管２７に配置されている。

【００１３】なお、排気配管１１には、真空処理室１０
とドライ真空ポンプ２０との間を連通／遮断するメイン
バルブが図示せずとも配置されている。また、ドライ真
空ポンプ２の上流側にルーツ型ポンプやターボ分子ポン
プ等の高真空排気用ポンプが接続されていてもよい。

【００１４】さて、本実施の形態におけるドライ真空ポ
ンプ２０は、容積移送式のルーツ型ドライ真空ポンプで
構成されるが、勿論これに限られず、クロー型やスクリ
ュー型といった他の容積移送式あるいは容積移動型のド
ライ真空ポンプを用いることも可能である。

【００１５】ドライ真空ポンプ２０は公知の構成を有
し、ハウジング２１内に一対の回転軸ＲＡ（ここでは一
方側のみ図示。）が相隣接して収容され、各回転軸ＲＡ
にはその軸方向に沿って６段のロータＲ１〜Ｒ６が設け
られている。各段におけるロータＲ１〜Ｒ６間には互い
に僅かな隙間が形成され、ＤＣブラシレスモータ２２に
より図示しないタイミングギヤを介して各回転軸ＲＡを
互いに逆方向へ同期回転させることによって、吸入口２
３から吸入したガスを前段側のロータＲ１から後段側の
ロータＲ６へ順次移送し、吐出口２４から吐出配管２５
へガスを送り出すようになっている。これにより、真空
処理室１０が所定の真空度にまで真空排気される。

【００１６】一方、補助ポンプ３０は、ダイアフラムポ
ンプ、ベーンポンプ、ピストンポンプ、スクロールポン
プ、ネジ溝ポンプ、多段ルーツポンプ等の容積移送型ポ
ンプであって、ドライ真空ポンプ２０とは独立した駆動
源を有し、回転数により排気能力を調整することができ
るポンプであればよい。補助ポンプ３０の運転状態は、
制御装置３３によって制御される。

【００１７】制御装置３３は、ドライ真空ポンプ２０の
吐出口２４から排出されるガスの圧力を検出する圧力セ
ンサ（圧力検出手段）３５の出力に基づいて補助ポンプ
３０の回転数を制御する本発明の制御手段として構成さ
れる。本実施の形態では、圧力センサ３５として半導体
トランスジューサ式の圧力センサが用いられている。ま
た、補助ポンプ３０の駆動源としては起動電力の低いＤ
Ｃブラシレスモータが採用され、制御装置３３は当該モ
ータに供給する駆動電圧を調整することによって回転数
制御を行う一方、当該モータのＯＮ／ＯＦＦ制御によっ
て補助ポンプ３０の運転／停止操作が可能なように構成
されている。

【００１８】なお、ＤＣモータの制御方法は上記のよう
な電圧制御に限らず、例えばＰＷＭ制御なども採用可能
である。また、補助モータ３０の駆動源はＤＣモータに
限らず、ＡＣモータも適用可能である。この場合の回転
数制御方法としては、インバータ制御が代表的である。

【００１９】また、制御装置３３は、逆止弁２８の上流
側に配置される吐出配管２５上の第１バルブ３１ａと、
補助ポンプ３０の上流側に配置されるバイパス配管２７
上の第２バルブ３１ｂの開閉制御を行うように構成され
ている。第１、第２バルブ３１ａ，３１ｂはともに圧空
式、電磁式、電動式などの全開／全閉の２位置弁であっ
て、本発明に係る流路切替手段を構成する。

【００２０】次に、以上のように構成される本発明の第
１の実施の形態の作用について説明する。図２は、本実
施の形態の作用の結果得られるドライ真空ポンプ２０の
吸入側圧力および吐出側圧力、ならびに真空排気装置全
体の有効電力（消費電力）のタイムチャートの一例と、
このときの補助ポンプ３０の運転状態との関係を示して
いる。

【００２１】真空処理室１０は、ドライ真空ポンプ２０
によって大気圧から所定の真空度にまで粗引き排気され
る。真空処理室１０の圧力は図２Ａに示すように低下す
る。このとき、第１，第２バルブ３１ａ，３１ｂはとも
に開弁状態となっている。これにより、ドライ真空ポン
プ２０の吐出ガスは逆止弁２８を開弁して大気へ解放さ
れるとともに補助ポンプ３０の排気作用によって減圧さ
れる（図２Ｂ）。更に、ドライ真空ポンプ２０の消費電
力は、排気動作開始直後は最終段におけるガスの圧縮仕
事によって多少上昇するものの、補助ポンプ３０による
排気作用によって直ぐに低下するため、装置全体として
の消費電力は減少する（図２Ｃ）。

【００２２】ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力が大気
圧以下にまで低下されたことが圧力センサ３５によって
検出されると、制御装置３３は第１バルブ３１ａを閉弁
し、以後、ドライ真空ポンプ２０の吐出ガスは、第２バ
ルブ３１ｂおよび補助ポンプ３０を介して排出される。
これにより、逆止弁２８を介しての大気側からのガスの
逆流が確実に防止される。

【００２３】補助ポンプ３０は運転開始から定常回転数
で連続運転されるが、ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧
力が設定値Ｐ１（例えば１００Ｐａ）にまで低下する
と、制御装置３３は、補助ポンプ３０の駆動回転数を予
め設定された、定常回転数よりも低い回転数（以下、制
御回転数という。）に変更し、補助ポンプ３０の排気速
度を低下させる。変更後の回転数（排気速度）は適宜設
定可能であるが、圧力Ｐ１以下においてドライ真空ポン
プ２０の排気特性に影響を与えず、かつドライ真空ポン
プ２０の消費電力が悪化しない程度の排気速度が最低限
必要とされる。これにより、補助ポンプ３０の消費電力
を低減でき、真空排気装置全体の省エネ化を図ることが
できる。

【００２４】ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力が更に
低下しこれが設定値Ｐ２（例えば１Ｐａ）に到達する
と、制御装置３３は、補助ポンプ３０の運転を停止させ
るとともに、第２バルブ３１ｂを閉弁する。補助ポンプ
３０の停止中は補助ポンプ３０に費やされる消費電力は
ゼロであるので、真空排気装置全体としての消費電力は
瞬間的に大きく低下する（図２Ｃ）。これにより、装置
全体の消費電力を短時間ではあるが最小とすることがで
きる。

【００２５】また、第２バルブ３１ｂの閉弁制御によっ
て、補助ポンプ３０を介しての吐出配管２５へのガスの
逆流を防止することができる。特にこの制御は、ルーツ
型やスクリュー型（ネジ溝型）等の構造的に吐出弁をも
たない真空ポンプが補助ポンプ３０として用いられてい
る場合に必須のものとなり、一方、ベーン型やダイアフ
ラム型等の構造的に吐出弁をもつ真空ポンプが補助ポン
プ３０として用いられている場合には、上記逆流防止の
確実化を図ることができる。

【００２６】補助ポンプ３０の停止中、ドライ真空ポン
プ２０の内部の放出ガスやバラストガス（Ｎ₂）によ
り、ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力は徐々に上昇
し、これに伴う逆流ガスの押し戻し仕事が増大して装置
全体としての消費電力が僅かながらも増大し始める（図
２Ｂ，Ｃ）。そして、ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧
力が設定値Ｐ１にまで上昇すると、制御装置３３は第２
バルブ３１ｂを開弁するとともに補助ポンプ３０の運転
を再開させ、ドライ真空ポンプ２０の吐出側を排気す
る。このときの補助ポンプ３０の駆動回転数は、上記制
御回転数とされる。

【００２７】以後、上記の動作を繰り返すことによっ
て、ドライ真空ポンプ２０の吸入側を所定の真空度（例
えば１Ｐａ）に維持する。したがって、本実施の形態に
よれば、補助ポンプ３０の運転状態として、定常回転数
よりも低い制御回転数で運転される時間と運転が停止さ
れる時間とができるので、従来よりも補助ポンプ３０の
低消費電力化を図ることができ、もって、真空排気装置
全体の更なる省エネ化を図れる。

【００２８】（第２の実施の形態）図３は、本発明の第
２の実施の形態を示している。なお、図において上述の
第１の実施の形態と対応する部分については同一の符号
を付し、その詳細な説明は省略するものとする。

【００２９】本実施の形態では、第１の実施の形態で説
明した圧力センサ３５を設ける代わりに、ドライ真空ポ
ンプ２０のモータ２２への入力電流（駆動電流）または
消費電力を検出するセンサ３６を設けており、その出力
を制御装置３３に供給するようにしている。また、図示
せずとも補助ポンプ３０にも当該補助ポンプ３０の駆動
電流または消費電力を検出するセンサを設けており、そ
の出力を制御装置３３に供給するようにしている。本実
施の形態における制御装置３３は、これらセンサの出力
に基づいて検出される真空排気装置全体の消費電力（有
効電力）に基づいて、補助ポンプ３０の運転状態を制御
するようにしている。

【００３０】図４を参照して、定常回転数で運転する補
助ポンプ３０の作用によりドライ真空ポンプ２０の吐出
側圧力が低下することによって真空排気装置全体として
の消費電力が低下するのは上述の第１の実施の形態と同
様である。そして、制御装置３３は、当該消費電力が設
定値Ｗ１まで低下したときに補助ポンプ３０を上記制御
回転数にまで低下させ、補助ポンプ３０の消費電力を低
減する。一方、装置全体の消費電力が設定値Ｗ２（＜Ｗ
１）にまで低下すると、今度は補助ポンプ３０の運転を
停止させると同時に第２バルブ３１ｂを閉弁する。これ
により、装置全体の消費電力は大きく低下して省エネ化
が図られる。補助ポンプ３０の停止によりドライ真空ポ
ンプ２０の吐出側圧力が徐々に上昇し、装置全体の消費
電力が設定値Ｗ１にまで増大すると、制御装置３３は第
２バルブ３１ｂを開弁するとともに補助ポンプ３０の運
転を再開する。このときの補助ポンプ３０の駆動回転数
は上記制御回転数とされる。なお、これに限らず、定常
回転数で補助ポンプ３０を再起動させるようにしてもよ
い。

【００３１】以後、上記の動作を繰り返すことによっ
て、ドライ真空ポンプ２０の吸入側を所定の真空度（例
えば１Ｐａ）に維持する。したがって、本実施の形態に
よれば、補助ポンプ３０の運転状態として、定常回転数
よりも低い制御回転数で運転される時間と運転が停止さ
れる時間とができるので、従来よりも補助ポンプ３０の
低消費電力化を図ることができ、もって、真空排気装置
全体の更なる省エネ化を図れる。

【００３２】なお、上述の補助ポンプ３０の制御方法で
は、真空排気装置全体の消費電力が設定値Ｗ１に到達し
た際に定常回転数よりも低い制御回転数で駆動させ、設
定値Ｗ２に到達して初めて補助ポンプ３０の駆動を停止
させるようにしたが、これに限らず、上記制御回転数に
よる駆動モードを省略して、設定値Ｗ１にまで消費電力
が低下した時点で補助ポンプ３０の駆動を停止させるよ
うにしてもよい。

【００３３】（第３の実施の形態）図５は、本発明の第
３の実施の形態を示している。なお、図において上述の
第１の実施の形態と対応する部分については同一の符号
を付し、その詳細な説明は省略するものとする。

【００３４】すなわち、本実施の形態においては、ドラ
イ真空ポンプ２０の吸入側圧力を検出する圧力センサ３
４を設け、このセンサ３４の出力に基づいて制御装置３
３により補助ポンプ３０の運転状態を制御するようにし
ている。なお、図において圧力センサ３４は、ドライ真
空ポンプ２０の吸入口２３に設けられているが、真空処
理室１０内に設けられてもよい。圧力センサとしては、
ピラニ真空計や隔膜式真空計などを用いることができ
る。

【００３５】本実施の形態では、真空処理室１０にて所
定の処理が行われているか否かで補助ポンプ３０の運転
状態を制御するようにしており、例えば真空処理室にプ
ロセスガスが導入されて所定の成膜処理がなされている
ときには、当該プロセスガスの導入圧を圧力センサ３４
によって検出し補助ポンプ３０を運転させる。この場
合、プロセスガスの導入圧に応じて補助ポンプ３０の回
転数を調整するようにしてもよい。一方、真空処理室１
０が所定の真空度であり、かつプロセスガスが導入され
ていない場合（スタンバイ状態）は、補助ポンプ３０の
運転を停止させるようにしている。本実施の形態によっ
ても、補助ポンプ３０の消費電力が削減されることによ
って、真空排気装置の駆動電力の省エネ化を図ることが
できる。

【００３６】（第４の実施の形態）図６は、本発明の第
４の実施の形態を示している。なお、図において上述の
第１の実施の形態と対応する部分については同一の符号
を付し、その詳細な説明は省略するものとする。

【００３７】すなわち、本実施の形態においては、ドラ
イ真空ポンプ２０のハウジング温度を検出する温度セン
サ３７を設け、このセンサ３７の出力に基づいて制御装
置３３により補助ポンプ３０の運転状態を制御するよう
にしている。これは、ドライ真空ポンプ２０の吐出側に
おける逆流ガスの押し戻し仕事に対応して発生する熱
（圧縮熱）を検出して、ポンプ２０の吐出側圧力を読み
取る構成例であり、検出値が所定以下の場合には補助ポ
ンプ３０の運転を停止させ、あるいは回転数を低下させ
て、補助ポンプ３０の省エネ化を図るようにしている。

【００３８】なお、ハウジング２１の表面温度を検出す
る代わりに、吐出配管２５内の吐出ガス温度を検出する
ようにしてもよい。温度センサ３７としては、例えば熱
電対を使用することができる。なお、本実施の形態にお
いては、外気温度やドライ真空ポンプ２０のもつ熱容量
（あるいは吐出配管２５の熱容量）などの影響で、検出
感度あるいは応答性に難がある点に留意する必要があ
る。

【００３９】以上、本発明の各実施の形態について説明
したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、
本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能であ
る。

【００４０】例えば以上の各実施の形態では、本発明に
係る流路切替手段を第１，第２バルブ３１ａ，３１ｂの
２つの開閉弁で構成したが、これに代えて、例えば図７
に示すような三方弁３２で構成することも可能である。
なお、逆止弁２８のシール性および圧力変動（脈動）に
対する追従性に問題がなければ、第１バルブ３１ａを省
略することも可能である。

【００４１】また、以上の各実施の形態では、補助ポン
プ３０の運転状態を制御する上で基準とするパラメータ
に、ドライ真空ポンプ２０の吸入側または吐出側の圧
力、ドライ真空ポンプ２０の駆動電流あるいは消費電
力、更にはドライ真空ポンプ２０またはその吐出ガスの
温度の何れかを採用したが、これらを組み合わせて、例
えばドライ真空ポンプ２０の吸入側および吐出側の圧力
の２値を参照して、両者の論理積または論理和をとるこ
とによって補助ポンプ３０の運転状態をとるようにして
もよい。

【００４２】更に、以上の実施の形態では、補助ポンプ
３０を単一のドライ真空ポンプ２０の吐出側に接続する
構成について説明したが、例えば図８に示すように、複
数台（図では３台）並列的に配置されたドライ真空ポン
プ２０Ａ〜２０Ｃの吐出側を一台の補助ポンプ３０で排
気する構成も、本発明は適用可能である。図示する例
は、ドライ真空ポンプ２０Ａ〜２０Ｃ各々に対して逆止
弁２８Ａ〜２８Ｃを設けるとともに補助ポンプ３０との
間に開閉弁４０Ａ〜４０Ｃを設けている。各ドライ真空
ポンプ２０Ａ〜２０Ｃの動作台数によって補助ポンプ３
０の吸入ガス量が変化するので、例えばドライ真空ポン
プ２０Ａ〜２０Ｃの吐出側に設けた圧力センサ３５の出
力に基づいて、制御装置３３によりドライ真空ポンプ２
０Ａ〜２０Ｃの動作台数およびその吐出圧に対応した補
助ポンプ３０の回転数を調整し、補助ポンプ３０の運転
の省エネ化を図ることも可能である。

【００４３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の真空排気装
置によれば、ドライ真空ポンプの排気状態に応じて後段
側の補助ポンプの運転を制御するようにしているので、
補助ポンプの不必要な消費電力を削減でき、真空排気装
置全体の省エネ化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態による真空排気装置
の配管構成図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態による真空排気装置
の作用の一例を示す図であり、Ａはドライ真空ポンプの
吸入側圧力、Ｂはドライ真空ポンプの吐出側圧力、Ｃは
真空排気装置全体の消費電力、そしてＤは補助ポンプの
運転状態をそれぞれ示している。

【図３】本発明の第２の実施の形態による真空排気装置
の配管構成図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態による真空排気装置
の作用の一例を示す図であり、Ａはドライ真空ポンプの
吸入側圧力、Ｂはドライ真空ポンプの吐出側圧力、Ｃは
真空排気装置全体の消費電力、そしてＤは補助ポンプの
運転状態をそれぞれ示している。

【図５】本発明の第３の実施の形態による真空排気装置
の配管構成図である。

【図６】本発明の第４の実施の形態による真空排気装置
の配管構成図である。

【図７】本発明における流路切替手段の構成の変形例を
示す要部の配管構成図である。

【図８】本発明の真空排気装置の構成の変形例を示す要
部の配管構成図である。

【図９】従来の真空排気装置の配管構成図である。

【符号の説明】

１０真空処理室２０ドライ真空ポンプ２８逆止弁３０補助ポンプ３１ａ第１バルブ（流路切替手段）３１ｂ第２バルブ（流路切替手段）３２三方弁（流路切替手段）３３制御装置（制御手段）３４，３５圧力センサ（圧力検出手段）３６電流センサ（センサ手段）３７温度センサ（温度検出手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者矢作充神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地株式会社アルバック (72)発明者柴山浩司神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地株式会社アルバック (72)発明者相川純一神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地株式会社アルバックＦターム(参考） 3H045 AA02 AA09 AA16 AA26 AA38 BA32 CA03 CA21 DA04 DA07 DA08 DA15 DA19 DA37 DA42 DA48 EA13 EA20 EA26 EA45 3H076 AA21 BB21 CC07 CC43 CC44 CC82 CC84 CC95

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空処理室に連絡するドライ真空ポンプ
と、このドライ真空ポンプの吐出側に接続され前記ドラ
イ真空ポンプから大気側へのガスの流れのみを許容する
逆止弁と、前記ドライ真空ポンプの吐出側に前記逆止弁
に対して並列的に配置され前記ドライ真空ポンプの吐出
側を排気する補助ポンプとを備えた真空排気装置であっ
て、前記ドライ真空ポンプの吸入圧及び／又は吐出圧を検出
する圧力検出手段と、前記圧力検出手段の出力に基づい
て前記補助ポンプの運転状態を制御する制御手段とを備
えたことを特徴とする真空排気装置。
【請求項２】真空処理室に連絡するドライ真空ポンプ
と、このドライ真空ポンプの吐出側に接続され前記ドラ
イ真空ポンプから大気側へのガスの流れのみを許容する
逆止弁と、前記ドライ真空ポンプの吐出側に前記逆止弁
に対して並列的に配置され前記ドライ真空ポンプの吐出
側を排気する補助ポンプとを備えた真空排気装置であっ
て、前記ドライ真空ポンプの駆動電流または消費電力を検出
するセンサ手段と、前記センサ手段の出力に基づいて前
記補助ポンプの運転状態を制御する制御手段とを備えた
ことを特徴とする真空排気装置。
【請求項３】真空処理室に連絡するドライ真空ポンプ
と、このドライ真空ポンプの吐出側に接続され前記ドラ
イ真空ポンプから大気側へのガスの流れのみを許容する
逆止弁と、前記ドライ真空ポンプの吐出側に前記逆止弁
に対して並列的に配置され前記ドライ真空ポンプの吐出
側を排気する補助ポンプとを備えた真空排気装置であっ
て、前記ドライ真空ポンプの温度または前記ドライ真空ポン
プの排気ガス温度を検出する温度検出手段と、前記温度
検出手段の出力に基づいて前記補助ポンプの運転状態を
制御する制御手段とを備えたことを特徴とする真空排気
装置。
【請求項４】前記ドライ真空ポンプの吐出側には、少
なくとも前記ドライ真空ポンプと前記補助ポンプとの間
を連絡する流路を遮断可能な流路切替手段が設けられ、
前記流路切替手段の切替動作が前記制御手段により制御
されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれ
かに記載の真空排気装置。
【請求項５】前記ドライ真空ポンプが並列的に複数台
配置されるとともに、前記複数のドライ真空ポンプの各
々の吐出側を前記補助ポンプで共通に排気することを特
徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の真空
排気装置。