JP2020183738A - 真空排気装置及びその運転方法 - Google Patents
真空排気装置及びその運転方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020183738A JP2020183738A JP2019089023A JP2019089023A JP2020183738A JP 2020183738 A JP2020183738 A JP 2020183738A JP 2019089023 A JP2019089023 A JP 2019089023A JP 2019089023 A JP2019089023 A JP 2019089023A JP 2020183738 A JP2020183738 A JP 2020183738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation speed
- motor
- pump
- main pump
- power consumption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
Description
前記メインポンプは、回転数可変のモータを有する。
前記補助ポンプは、前記メインポンプの排気口に接続される。
前記逆止弁は、前記メインポンプの排気口に前記補助ポンプとは並列的に接続され、前記メインポンプ側から大気側への方向を順方向とする。
前記検出部は、前記モータの電流値を検出する。
前記制御部は、前記モータの消費電力が第1の閾値以下のとき、前記モータの回転数を第1の回転数から前記第1の回転数よりも低い第2の回転数へ低下させる。
これにより、外乱要因によって最大パフォーマンスが必要な状態を検出した場合には、モータを第1の回転数に上昇させてポンプ性能(排気速度)を低減させずに真空排気運転を継続させることができる。
回転数の低下により到達圧力の劣化が起こりやすいスクリューポンプがメインポンプとして採用される場合においても、真空排気装置としてポンプ性能(主に到達圧力)を低下させずに消費電力の低減を図ることができる。
これにより、補助ポンプの消費電力量(典型的には大気から目的とする真空度までの積算電力量に対して)の削減をも図りつつ、目的とするポンプ性能を確保することができる。
前記モータを第1の回転数で回転させ、
前記モータの電流値を検出し、
前記モータの消費電力が第1の閾値以下に減少したとき、前記モータの回転数を第1の回転数から前記第1の回転数よりも低い第2の回転数へ低下させる。
本実施形態の真空排気装置100は、メインポンプ10と、補助ポンプ20と、逆止弁30と、検出部40と、コントローラ50とを備える。
続いて、コントローラ50の詳細について、真空排気装置100の典型的な動作例とともに説明する。
Po2は、補助ポンプ及び逆止弁を備え、かつ、メインポンプの回転数が一定値(5000rpm)で固定された真空排気装置(比較例1)における消費電力の時間変化を示す。
Po3は、補助ポンプ及び逆止弁を備えていないメインポンプ(スクリューポンプ)のみからなる真空排気装置(比較例2)における消費電力の時間変化を示す。
Pr1は、実施例における真空チャンバ内の圧力の時間変化を示す。
Pr2は、比較例1における真空チャンバ内の圧力の時間変化を示す。
そして、Pr3は、比較例2における真空チャンバ内の圧力の時間変化を示す。
10…メインポンプ
12…モータ
20…補助ポンプ
30…逆止弁
40…検出部
50…コントローラ
100…真空排気装置
Claims (7)
- 回転数可変のモータを有するメインポンプと、
前記メインポンプの排気口に接続された補助ポンプと、
前記メインポンプの排気口に前記補助ポンプとは並列的に接続され、前記メインポンプ側から大気側への方向を順方向とする逆止弁と、
前記モータの電流値を検出する検出部と、
前記モータの消費電力が第1の閾値以下のとき、前記モータの回転数を第1の回転数から前記第1の回転数よりも低い第2の回転数へ低下させる制御部と
を具備する真空排気装置。 - 請求項1に記載の真空排気装置であって、
前記制御部は、前記モータの消費電力が第2の閾値以上のとき、前記モータの回転数を前記第2の回転数から前記第1の回転数へ上昇させる
真空排気装置。 - 請求項1又は2に記載の真空排気装置であって、
前記メインポンプは、スクリューポンプである
真空排気装置。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の真空排気装置であって、
前記第1の回転数は、前記モータの定格回転数である
真空排気装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の真空排気装置であって、
前記制御部は、前記モータの消費電力が前記第1の閾値以下のとき、前記補助ポンプを起動させる
真空排気装置。 - 回転数可変のモータを有するメインポンプと、前記メインポンプの排気口に接続された補助ポンプと、前記メインポンプの排気口に前記補助ポンプとは並列的に接続され、前記メインポンプ側から大気側への方向を順方向とする逆止弁と、を備えた真空排気装置の運転方法であって、
前記モータを第1の回転数で回転させ、
前記モータの電流値を検出し、
前記モータの消費電力が第1の閾値以下に減少したとき、前記モータの回転数を第1の回転数から前記第1の回転数よりも低い第2の回転数へ低下させる
真空排気装置の運転方法。 - 請求項6に記載の真空排気装置の運転方法であって、
前記モータの消費電力が第2の閾値以上に上昇したとき、前記モータの回転数を前記第2の回転数から前記第1の回転数へ上昇させる
真空排気装置の運転方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019089023A JP7430035B2 (ja) | 2019-05-09 | 2019-05-09 | 真空排気装置及びその運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019089023A JP7430035B2 (ja) | 2019-05-09 | 2019-05-09 | 真空排気装置及びその運転方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020183738A true JP2020183738A (ja) | 2020-11-12 |
JP7430035B2 JP7430035B2 (ja) | 2024-02-09 |
Family
ID=73044936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019089023A Active JP7430035B2 (ja) | 2019-05-09 | 2019-05-09 | 真空排気装置及びその運転方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7430035B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114635848A (zh) * | 2020-12-16 | 2022-06-17 | 莱斯特里兹泵吸有限责任公司 | 通过螺杆泵输送流体的方法及螺杆泵 |
CN114646168A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-06-21 | 海信(山东)冰箱有限公司 | 一种冰箱及其真空抽屉的控制方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000110735A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-18 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ポンプ保護装置、ポンプ保護方法及びポンプ装置 |
JP2003129957A (ja) * | 2001-10-26 | 2003-05-08 | Ulvac Japan Ltd | 真空排気方法および真空排気装置 |
JP2003139055A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Ulvac Japan Ltd | 真空排気装置 |
JP2003155981A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける運転制御方法及び運転制御装置 |
WO2012124277A1 (ja) * | 2011-03-11 | 2012-09-20 | アルバック機工株式会社 | 真空ポンプ、真空排気装置及び真空ポンプの運転方法 |
-
2019
- 2019-05-09 JP JP2019089023A patent/JP7430035B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000110735A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-18 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ポンプ保護装置、ポンプ保護方法及びポンプ装置 |
JP2003129957A (ja) * | 2001-10-26 | 2003-05-08 | Ulvac Japan Ltd | 真空排気方法および真空排気装置 |
JP2003139055A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Ulvac Japan Ltd | 真空排気装置 |
JP2003155981A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける運転制御方法及び運転制御装置 |
WO2012124277A1 (ja) * | 2011-03-11 | 2012-09-20 | アルバック機工株式会社 | 真空ポンプ、真空排気装置及び真空ポンプの運転方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114635848A (zh) * | 2020-12-16 | 2022-06-17 | 莱斯特里兹泵吸有限责任公司 | 通过螺杆泵输送流体的方法及螺杆泵 |
CN114646168A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-06-21 | 海信(山东)冰箱有限公司 | 一种冰箱及其真空抽屉的控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7430035B2 (ja) | 2024-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2421632C2 (ru) | Способ работы насосной системы | |
JP3837278B2 (ja) | 圧縮機の運転方法 | |
CN109477485B (zh) | 用于降低负载锁中的压力的方法和相关泵单元 | |
JP5221080B2 (ja) | モータ駆動式圧縮機の運転方法 | |
JP6050081B2 (ja) | ドライ真空ポンプ装置 | |
KR20010025035A (ko) | 진공배기장치 및 방법 | |
JP7430035B2 (ja) | 真空排気装置及びその運転方法 | |
JP2013024163A (ja) | 圧縮機台数制御システム | |
JP4365059B2 (ja) | 真空排気装置の運転方法 | |
JP4180265B2 (ja) | 真空排気装置の運転方法 | |
KR101253086B1 (ko) | 흡입 공기 제어장치를 통한 에너지 절감형 스크류 공기압축기 장치 | |
JP5822745B2 (ja) | 気体圧縮装置 | |
JP2003155981A (ja) | 真空ポンプにおける運転制御方法及び運転制御装置 | |
US9017040B2 (en) | Roughing pump method for a positive displacement pump | |
JP2017523339A (ja) | 真空ポンプシステムの圧送方法および真空ポンプシステム | |
JPH05231381A (ja) | ドライ真空ポンプの真空排気容量制御方法とその装置並びにドライ真空ポンプおよび半導体製造用真空処理装置 | |
JP2013167196A (ja) | 圧縮機システムおよびその運転制御方法 | |
JP6078748B2 (ja) | 吸引システムおよび吸引方法 | |
JP2017520715A (ja) | 真空ポンプシステム | |
JP3916418B2 (ja) | スクリュ圧縮機の制御方法 | |
JP4795977B2 (ja) | 圧縮機の運転方法 | |
JP5915931B2 (ja) | 圧縮機台数制御システム | |
KR20220152241A (ko) | 진공 시스템 작동 방법 | |
JP2009114984A (ja) | 真空ポンプ装置 | |
TWI707534B (zh) | 乾式真空泵浦裝置及其控制方法與控制程式 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220325 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20220325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230327 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230704 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230904 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240123 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7430035 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |