JP6050081B2 - ドライ真空ポンプ装置 - Google Patents
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Description
本発明の他の態様は、少なくとも1つのポンプユニットと、前記ポンプユニットを制御する制御装置とを備えたドライ真空ポンプ装置であって、前記ポンプユニットは、ドライ真空ポンプと、前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値が前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替えられた頻度が所定のしきい値を上回った場合は、警告を発することを特徴とすることを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、少なくとも1つのポンプユニットと、前記ポンプユニットを制御する制御装置とを備えたドライ真空ポンプ装置であって、前記ポンプユニットは、ドライ真空ポンプと、前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値が前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替わった回数の累積値をカウントし、該累積値が所定のしきい値を上回った場合、または、前記インバータの出力電流制限値が前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替わる頻度をカウントし、該頻度が所定のしきい値よりも高い場合、前記制御装置は、前記第2の電流制限値自体を引き下げることを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、少なくとも1つのポンプユニットと、前記ポンプユニットを制御する制御装置と、前記ポンプユニットに流入する気体の流量を測定する流量センサとを備えたドライ真空ポンプ装置であって、前記ポンプユニットは、ドライ真空ポンプと、前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、前記制御装置は、前記流量センサで測定された流量が所定のしきい値以下であって、かつ前記インバータの出力電流が所定のしきい値以上である場合は、前記インバータの出力電流制限値を前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替えることを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、少なくとも1つのポンプユニットと、前記ポンプユニットを制御する制御装置とを備えたドライ真空ポンプ装置であって、前記ポンプユニットは、ドライ真空ポンプと、前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、前記制御装置は、前記インバータの出力電力の累積値が所定のしきい値を超えた場合、前記インバータの出力電流制限値を前記第2の電流制限値から前記第1の電流制限値に切り替えることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記制御装置は、前記インバータが前記第1の電流制限値に相当する電流を出力しているときに、前記ドライ真空ポンプの回転速度が所定の目標回転速度から低下したら、前記インバータの出力電流制限値を前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替えることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記制御装置は、前記ポンプの回転速度が前記目標回転速度に復帰していることを検出すると、前記インバータの出力電流制限値を前記第2の電流制限値から前記第1の電流制限値に切り替えることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記少なくとも1つのポンプユニットは、大気圧の気体を排出するメインポンプユニットと真空圧の気体を排出するブースターポンプユニットであり、前記ドライ真空ポンプ装置に供給される電力が予め設定された値を超えないように、前記メインポンプと前記ブースターポンプとを運転することを特徴とする。
と考えられるので、インバータ4の出力電流制限値は第1の電流制限値に維持される。
2 ポンプ
3,103,107 モータ
4,104,108 インバータ
5 制御装置
7 商用電源
8,130 吸気管
9,131 排気管
11 真空チャンバ
12 連結配管
13 流量センサ
14,120 ポンプ温度センサ
20,121 ポンプケーシング
21 ポンプロータ
22 ロータケーシング
23 回転軸
24,25,123 軸受
27 タイミングギア
28 ギアケース
30 モータケーシング
35 モータロータ
36 永久磁石
37 ステータコア
39 磁極歯
40,126 コイル
41 上位コントローラ
42,122 軸受温度センサ
43,124 ロータ温度センサ
44,125 モータ温度センサ
45,127 吸気温度センサ
46,128 排気温度センサ
50 ロードロックチャンバ
51 連通管
52 ゲートバルブ
53 吸込バルブ
92 ブースターポンプユニット
93 メインポンプユニット
102 ブースターポンプ
106 メインポンプ
110 制御装置
111 吸気管
115 操作パネル
Claims (11)
- 少なくとも1つのポンプユニットと、
前記ポンプユニットを制御する制御装置と、
前記ポンプユニットの温度を測定する少なくとも1つの温度センサとを備えたドライ真空ポンプ装置であって、
前記ポンプユニットは、
ドライ真空ポンプと、
前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、
前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、
前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、
前記制御装置は、前記温度センサによって測定された前記温度が所定のしきい値を超えると、前記インバータの出力電流制限値を前記第2の電流制限値から前記第1の電流制限値に切り替えることを特徴とするドライ真空ポンプ装置。 - 少なくとも1つのポンプユニットと、
前記ポンプユニットを制御する制御装置とを備えたドライ真空ポンプ装置であって、
前記ポンプユニットは、
ドライ真空ポンプと、
前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、
前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、
前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、
前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値が前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替えられた頻度が所定のしきい値を上回った場合は、警告を発することを特徴とすることを特徴とするドライ真空ポンプ装置。 - 少なくとも1つのポンプユニットと、
前記ポンプユニットを制御する制御装置とを備えたドライ真空ポンプ装置であって、
前記ポンプユニットは、
ドライ真空ポンプと、
前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、
前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、
前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、
前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値が前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替わった回数の累積値をカウントし、該累積値が所定のしきい値を上回った場合、または、前記インバータの出力電流制限値が前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替わる頻度をカウントし、該頻度が所定のしきい値よりも高い場合、前記制御装置は、前記第2の電流制限値自体を引き下げることを特徴とするドライ真空ポンプ装置。 - 少なくとも1つのポンプユニットと、
前記ポンプユニットを制御する制御装置と、
前記ポンプユニットに流入する気体の流量を測定する流量センサとを備えたドライ真空ポンプ装置であって、
前記ポンプユニットは、
ドライ真空ポンプと、
前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、
前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、
前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、
前記制御装置は、前記流量センサで測定された流量が所定のしきい値以下であって、かつ前記インバータの出力電流が所定のしきい値以上である場合は、前記インバータの出力電流制限値を前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替えることを特徴とするドライ真空ポンプ装置。 - 少なくとも1つのポンプユニットと、
前記ポンプユニットを制御する制御装置とを備えたドライ真空ポンプ装置であって、
前記ポンプユニットは、
ドライ真空ポンプと、
前記ドライ真空ポンプを駆動するモータと、
前記モータの回転速度を制御するインバータとを備え、
前記制御装置は、前記インバータの出力電流制限値を第1の電流制限値から第2の電流制限値に切り替える機能を有し、前記第1の電流制限値は前記インバータが前記モータに連続的に流すことができる電流の最大値である連続定格電流値であり、前記第2の電流制限値は前記連続定格電流値を超える値であり、
前記制御装置は、前記インバータの出力電力の累積値が所定のしきい値を超えた場合、前記インバータの出力電流制限値を前記第2の電流制限値から前記第1の電流制限値に切り替えることを特徴とするドライ真空ポンプ装置。 - 前記制御装置は、前記インバータが前記第1の電流制限値に相当する電流を出力しているときに、前記ドライ真空ポンプの回転速度が所定の目標回転速度から低下したら、前記インバータの出力電流制限値を前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ装置。
- 前記制御装置は、前記ポンプの回転速度が前記目標回転速度に復帰していることを検出すると、前記インバータの出力電流制限値を前記第2の電流制限値から前記第1の電流制限値に切り替えることを特徴とする請求項6に記載のドライ真空ポンプ装置。
- 前記制御装置は、前記第2の電流制限値に相当する電流の出力時間が所定のしきい値を超えた場合、前記インバータの出力電流制限値を前記第2の電流制限値から前記第1の電流制限値に切り替えることを特徴とする請求項6に記載のドライ真空ポンプ装置。
- 前記少なくとも1つの温度センサは、前記ドライ真空ポンプのポンプケーシングの温度を測定する温度センサ、前記ドライ真空ポンプの軸受の温度を測定する温度センサ、前記モータの温度を測定する温度センサ、前記ドライ真空ポンプのポンプロータの温度を測定する温度センサ、前記ドライ真空ポンプの吸気ガスの温度を測定する温度センサ、および前記ドライ真空ポンプの排気ガスの温度を測定する温度センサから選択されることを特徴とする請求項1に記載のドライ真空ポンプ装置。
- 前記ドライ真空ポンプ装置の外部に設けられた外部指令装置からの指令に従って、前記インバータの出力電流制限値を前記第1の電流制限値から前記第2の電流制限値に切り替えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ装置。
- 前記少なくとも1つのポンプユニットは、大気圧の気体を排出するメインポンプユニットと真空圧の気体を排出するブースターポンプユニットであり、
前記ドライ真空ポンプ装置に供給される電力が予め設定された値を超えないように、前記メインポンプと前記ブースターポンプとを運転することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ装置。
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