CN109477485B - 用于降低负载锁中的压力的方法和相关泵单元 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种使用泵单元(1)降低用于在大气压下装载和卸载基板的锁中的压力的方法，所述泵单元包括初级真空泵(2)和在被泵送气体的流动方向上布置在所述初级真空泵(2)上游的次级真空泵(3)。在压力下降期间，并且直至该装载和卸载锁中的压力达到预定的低压阈值，根据次级真空泵(3)的操作参数来控制该次级真空泵(3)的旋转速度，以增大由该次级真空泵生成的流量(SoR)，使得由该次级真空泵生成的流量(SoR)保持在一范围内，该范围的上限值对应于初级真空泵生成的流量(So1)的六倍，下限值对应于初级真空泵生成的流量(So1)的1.3倍。本发明还涉及一种用于实施所述降低压力的方法的泵单元。

Description

用于降低负载锁中的压力的方法和相关泵单元
技术领域
本发明涉及一种用于将用于基板的负载锁(用于加载和卸载的隔舱，预真空锁，load lock)中的压力从大气压降低(减小)到低压的方法，以用于在保持处于低压的处理室中装载和卸载该基板，所述基板例如为平板显示器或光伏基板。本发明还涉及一种用于实现所述降低压力的方法的相关泵单元。
背景技术
在某些制造方法中，一个重要的步骤包括在处理室中的受控并且压力非常低的气氛中处理基板。为了保持可接受的产量并且避免出现杂质和污染物，首先使用与处理室连通的负载锁将基板周围的气氛降低到低压。
为此，该锁具有密封的外壳，该外壳具有第一门，该第一门使外壳内部与处于大气压下的区域、例如洁净室接合，该区域用于装载至少一个基板。该锁的外壳连接到泵单元，该泵单元设计成将外壳中的压力降低到与处理室内的压力相似的适当低压，以使基板能被传送到处理室。该锁还具有第二门，以用于在真空化之后将基板卸载到处理室中。该锁通常还用于在已经处理并且在大气压下卸载基板之后，使基板的压力上升。
然而，每次装载或卸载基板时，锁的外壳中的压力需要交替地下降然后升高，这涉及泵单元的频繁使用。另外，锁中不会立即产生真空，这限制了制造过程的总速度。如果基板很大，则该限制甚至更敏感。对于平板显示器或光伏基板的制造尤其如此，其中，锁的外壳必须足够大以容纳一个或多个平板。例如，目前，用于制造平板的锁的外壳通常具有约500-1000升的大体积，并且偶尔大于5000升，因此需要尽可能快地执行泵送。
特别地，当外壳中的压力是大气压时，为此使用动力泵单元，特别是在锁打开时提供泵送。
泵单元通常具有一个或多个粗真空泵和一个高真空泵，例如罗茨单级真空泵。高真空泵沿着被泵送气体流动的方向布置在粗真空泵的上游。所述泵的主要目的是在低压下提高泵单元的总泵送速度。
高真空泵的生成流量可以是粗真空泵的生成流量的约五倍。当锁打开时出现的高气流在高真空泵的排出口处产生显著的压力，该压力可达4巴(或相对的3巴)。这种高过压导致高真空泵的非常高的功率消耗和粗真空泵入口侧的阻塞，这对粗真空泵和高真空泵都构成了故障风险。
为防止这种情况，一种已知的解决方案涉及提供将粗真空泵的入口连接到高真空泵的入口的管道。该管道适配有旁通阀，该旁通阀被校准成在高压真空泵的进气侧和排放口之间的压力差太高时打开，并且通常被校准成在50和80mbar之间的最大压力差下打开。因此，旁通阀在压力下降开始时打开，以将剩余气流从排出口引导到高真空泵的入口侧。然后，当高真空泵的上游/下游的压力差小于50或80mbar时，旁通阀关闭。因此，在高压下，压力下降仅由粗真空泵执行，高真空泵的作用被限制成参与气流的“再循环”。
因此，旁通阀有助于通过转移剩余气流来保护粗真空泵。这种旁路还有助于通过防止高真空泵的排出压力过高来保护高真空泵。
锁中的压力下降导致高真空泵的排出口处的压力下降和旁通阀的关闭，从而使高真空泵能够从锁中的通常是约200mbar的压力开始压缩待泵送气体。
然而，该现有技术的装置可能具有某些缺点。
当压力下降开始时，泵单元的初始总泵送速度低，因为泵送仅由粗真空泵提供。
另外，高真空泵消耗的功率很高，直到锁中的压力达到几毫巴，并且该压力由于气流的分流而损失。
另一问题在于这样的事实，即旁通阀是脉冲操作式，循环地且非常快地打开和关闭，特别是由于容积式高真空泵的循环泵送原理。这可能导致旁通阀过早机械磨损的风险以及由此泄漏的风险。另外，旁通阀的脉冲操作可能导致寄生的噪声。
另外，由于高真空泵的压缩，流过旁通阀的管道的气体很热。这些回收的热气体也会使高真空泵过热。
发明内容
因此，本发明的一个目的是提出一种用于降低负载锁中的压力的方法和一种相关的泵单元，它们至少部分地解决现有技术中的问题，特别是通过在压力下降开始时允许较高的泵速(泵送速度)并且同时减小高真空泵(次级真空泵)所消耗的功率(能量)来解决现有技术中的问题。
本发明的另一目的是保护粗真空泵(低真空泵，初级真空泵)和高真空泵免受与在大气压下打开锁时出现的剩余气流有关的损坏的风险。
本发明的再一目的是限制旁通阀的磨损以及由“再循环的”热气体导致高真空泵过热的风险。
为此，本发明涉及一种用于使用泵单元来降低大气压下的基板的负载锁中的压力的方法，该泵单元具有粗真空泵和在被泵送气体的流动方向上布置在所述粗真空泵的上游的高真空泵，其特征在于，在压力下降期间，并且直至负载锁中的压力达到预定的低压阈值，根据高真空泵的操作(运行)参数(的变化)来控制该高真空泵的旋转速度，以增大由高真空泵生成的流量，使得该高真空泵的生成流量落入一范围内，该范围的上限值是由粗真空泵生成的流量的六倍，下限值是该粗真空泵的生成流量的1.3倍。
根据该压力降低方法的可以单独使用或组合使用的一个或多个特征：
-高真空泵的操作参数是该高真空泵的电机(马达)的参数，
-当检测到高真空泵的操作参数的值已经超过预定的触发阈值持续第一预定时间(时间段)时，根据高真空泵的操作参数(的变化)开始对高真空泵的旋转速度进行控制，
-如果高真空泵的操作参数的值大于预定的安全阈值持续超过第二预定时间，则强制该高真空泵的旋转速度下降，
-如果高真空泵的操作参数的值小于预定的等待阈值持续超过第三预定时间，则将高真空泵的旋转速度设定成待机旋转速度。
本发明还涉及一种泵单元，该泵单元包括粗真空泵和高真空泵，所述高真空泵在被泵送气体的流动方向上布置在所述粗真空泵的上游，并且具有变频驱动器，其特征在于，该高真空泵包括控制单元，该控制单元联接到该变频驱动器，并且构造成根据表征高真空泵的操作参数的信号(的变化)来控制该高真空泵的旋转速度，使得在压力下降期间，并且直至负载锁中的压力达到预定的低压阈值，由高真空泵生成的流量增大到落入一范围内，该范围的上限值是由粗真空泵生成的流量的六倍，下限值是粗真空泵的生成流量的1.3倍。
根据一个具体实施例，粗真空泵包括用于泵级的释放(卸压)模块。
所述表征高真空泵的操作参数的信号例如是该高真空泵的电机的参数，例如电流或功率。
根据一个示例实施例，该泵单元具有旁路管道，该旁路管道将粗真空泵的入口连接到高真空泵的入口，该旁路管道具有排出模块，该排出模块设计成当粗真空泵的吸入压力超过高真空泵的吸入压力达介于100和400mbar(毫巴)之间的预定的过量值时打开。
高真空泵例如是罗茨真空泵。
在压力下降期间并且直至负载锁中的压力达到预定的低压阈值，保持高真空泵的生成流量大于粗真空泵的生成流量的1.3倍并且小于粗真空泵的生成流量的六倍可以优化粗真空泵和高真空泵的生成流量之间的比率。更具体地，高真空泵的生成流量保持在适合于高初始气流的水平，即小于粗真空泵的生成流量的六倍。同时，生成流量对于粗真空泵是最佳的，即大于粗真空泵的生成流量的1.3倍，以保证尽可能快速地压缩气体。
高真空泵的吸入(进气)侧和排出口之间的压力差由此保持在介于150和300mbar之间的值以下。由此可以去除根据现有技术的装置的管道和旁通阀，这种管道和旁通阀被校准成在高真空泵中的压力差介于50和80mbar之间时打开。尽管如此，为安全起见，泵单元可以包括排出模块，该排出模块设计成根据机械安全设置并根据所使用的流量之间的比例的值，当高真空泵的进气侧和排出口之间的压力差超过介于100和400mbar之间的较高值时打开，以使得能保护这些真空泵，特别是在应用速度控制期间。
一旦控制高真空泵的旋转速度，该高真空泵就不再如同上述在根据现有技术的锁中具有200mbar的压力的情况那样被“短路”，而是用作粗真空泵的实际上的第一泵级。因此，高真空泵的操作特征适合于粗真空泵的容量，使得高真空泵对于大气压实际上是有效的。这显著减小了功率消耗，并且从压力下降开始就增加了泵单元的总泵速，从而减少了锁中的压力下降时间。例如，在从1000mbar至20mbar的压力范围内，与现有技术的装置的泵速相比，泵速增加20-50％。另外，500升锁的外壳从接近1000mbar的压力下降到约0.1mbar的传递压力的总压力下降时间从25秒减少到20秒，即减少约20％。
另外，考虑到排出模块在比现有技术的旁通阀更高的压力下打开，并且由此优化了粗真空泵和高真空泵的流量之比，高真空泵的排出压力快速下降，使得排出模块仅在非常短的时间内打开。排出模块经受有限的应力，因此磨损较慢并且噪声较小。另外，有限量的气体流经旁路管道，这防止了高真空泵被热的压缩气体过加热。
附图说明
在下文参考附图作为非限制性示例提供的描述中，给出了本发明的其它特征和优点，在附图中：
-图1是根据本发明的泵单元的示意图，
-图2是示出连接到图1中的泵单元的负载锁中的压降的曲线图，其中，x轴示出锁的外壳中的压力(以mbar为单位)，右侧的y轴示出高真空泵的旋转频率(以Hz为单位)，左侧的y轴示出高真空泵消耗的功率(以kW为单位)，
-图3是与图2相似的曲线图，其中，右侧的y轴是高真空泵的生成流量与粗真空泵的生成流量之比，和
-图4是仅示出根据本发明的泵单元和现有技术中的泵装置的粗真空泵的泵速(以m3/h为单位)的曲线图，其中，压降随着负载锁的外壳中的压力的变化而变化(以mbar为单位)。
在这些图中，使用相同的附图标记表示相同的元件。
“大气压力”是指基板的负载锁外的压力，例如进行洁净室工作的房间中的压力，即约105帕斯卡(1000mbar)或稍高的压力，以促进朝向外壳的外部的流动方向。
“生成流量”(或生成体积)是指与由真空泵的转子驱动的体积乘以每分钟的转数相对应的能力(容量)。
具体实施方式
图1示出示例性泵单元1，其设计成经由隔离阀(未示出)连接到负载锁的外壳。
以已知方式，该负载锁具有密封的外壳，该外壳具有第一门，该第一门使该外壳的内部与处于大气压下的区域、例如洁净室接合，以用于装载至少一个大基板，例如平板显示器或光伏基板。这种锁通常具有介于500和5000升之间的体积。
该锁还具有用于在真空化之后将基板卸载到处理室中的第二门，以及用于注入惰性气体的装置，特别地用于在基板已经转移之后恢复大气压。
该泵单元1包括粗真空泵2和高真空泵3，该高真空泵3沿着被泵送的气体的流动方向布置在粗真空泵2的上游。
粗真空泵2例如是具有旋转凸叶的多级干式真空泵，例如为具有两个或三个凸叶(双叶式、三叶式)的罗茨泵。根据未描述的其它实施例，粗真空泵包括多个串联或并联的泵。另外，其它传统的泵送原理可以用于粗真空泵。
图1中示意性示出的粗真空泵2例如具有五个彼此串联连接的泵级T1、T2、T3、T4、T5，其中，的生成流量随着串联的泵级的位置而减小，待泵送的气体在这些泵级之间并且在入口4和排出口5之间流动。
通常，旋转凸叶罗茨真空泵具有两个相同形状的转子，该转子支承在延伸穿过泵级T1、T2、T3、T4、T5的两个轴上，并且由粗真空泵2的电机(未示出)驱动成在定子内部沿着相反方向旋转。在旋转期间，吸入的气体在被排出之前被捕获在转子和定子之间的自由空间中。泵在粗真空泵2的转子和定子之间没有机械接触的情况下工作，这完全消除了泵级T1、T2、T3、T4、T5中对油(润滑油)的需要。
在所示的示例中，粗真空泵2的第一泵级T1具有约600m3/h的生成流量So1，第二泵级T2具有约400m3/h的生成流量So2，第三泵级T3具有约200m3/h的生成流量So3，两个最后的泵级T4和T5具有约100m3/h的生成流量So4、So5。由于生成流量根据压力范围的变化而变化，因此这些值对应于在恒定的泵送流量和粗真空泵2在稳定操作中以及约65Hz下的旋转速度的情况下的最大值。
粗真空泵2还在最后一个泵级T5的靠近排出口5的输出处具有止回阀6，以防止泵送的气体流回到粗真空泵2中。
与粗真空泵2一样，高真空泵3是容积式真空泵，即使用活塞、转子、凸叶和阀门来抽吸、转移然后排出被泵送的气体的真空泵。
高真空泵3例如是单级式基于转子的真空泵(仅具有一个泵级)，例如罗茨泵或类似物，例如爪型泵。
在操作中，高真空泵3的最大生成流量SoR例如在最佳的压力范围内在最大旋转速度(即约70Hz)下约为3000m3/h。
高真空泵3包括诸如异步电机的电机7、用于驱动该电机7以便驱动转子的变频驱动器8、以及连接到该变频驱动器8的控制单元9。
在大气压下的负载锁中的压力下降期间，并且直到锁中的压力达到预定的低压阈值，控制单元9构造成根据表示高真空泵3的操作参数的信号来控制高真空泵3的转子的旋转速度，以增加生成流量，使得高真空泵的生成流量SoR在一个范围内，在该范围中，上限值是粗真空泵的生成流量So1的六倍，下限值是粗真空泵的生成流量So1的1.3倍。
预定的低压阈值例如是20mbar。在该低压阈值之下，高真空泵3的旋转速度被设定为最大值，即，在本示例中是70Hz。
高真空泵的吸入侧和排出口之间的压力差则保持在150和300mbar之间的值以下。
表示操作参数的信号例如是高真空泵的排出压力P1或高真空泵3的电机7的参数。
在后一种情况下，高真空泵3的电机7的参数可以是表示消耗的功率的电流或直接是消耗的功率。可以从连接到电机7的变频驱动器8接收这些信号。因此，对高真空泵3的控制是自动的(自主的)，因为它既不需要来自负载锁的信息，也不需要在粗真空泵2的入口4处增加压力传感器。
根据表示高真空泵3的操作参数的信号对高真空泵3的转子的旋转速度的控制是闭环控制：当排出压力P1或电机7的电流或压力增加，并且生成流量接近或超过允许范围的上限值时，旋转速度减慢或减小。
泵单元1还包括管道10，该管道10将粗真空泵2的入口4连接到高真空泵3的入口11。
管道10具有排出模块，例如由处理单元9驱动的阀12，该阀12构造成在高真空泵3的吸入侧和排出口之间的压力差超过介于100和400mbar之间的预定的过量值ΔP时打开，该过量值ΔP是根据所选择的生成流量之比和根据机械安全设置来定义的。
例如，对于约4.5的最大生成流量之比，高真空泵3的压力差始终保持低于约250mbar的压力。因此，排出模块构造成在粗真空泵的吸入压力P1超过高真空泵的吸入压力Pasp达预定的过量值ΔP、例如300mbar时打开。
另外，为了吸收由大气压下的锁的真空处理产生的高初始气流，粗真空泵2设计成吸收和传递这种高气流，同时消耗尽可能少的功率。为此，粗真空泵2例如包括用于泵级的释放模块。
实际上，尽管高真空泵的生成流量SoR被调节为匹配粗真空泵的生成流量So1、即该粗真空泵2的第一泵级T1的生成流量，但第二或第三泵级T2、T3又限制了粗真空泵2的总生成流量。因此，为了使粗真空泵2能吸收显著的偶发泵流量—该偶发泵流量在本示例中对应于受排出模块的打开压力限制的吸入压力P1、即300mbar，释放模块连接到低压泵级的输出，例如连接到第二泵级T2的输出。
释放模块例如具有将低压级(T1或T2)的输出连接到粗真空泵2的排出口5的通道13。该通道13设置有阀14。
下面讨论图2、3和4中的曲线，其示出500升负载锁中的示例性压降。
在初始状态下，高真空泵3的旋转速度是待机旋转速度、例如约30Hz，以限制电力消耗。
当在大气压下将基板装载到负载锁的外壳中之后，该锁打开使大气压下的外壳与泵单元1隔离的隔离阀(t1)。
在较短的时间内、约数秒，高真空泵3压缩来自外壳的剩余气体，增加高真空泵的排出压力P1并且降低旋转速度(图2中的曲线V)。
当高真空泵3的吸入侧和排出口之间的压力差已经超过300mbar时，管道10的排出模块打开，从而限制高真空泵的排出压力P1的增加。气流被粗真空泵2的前两个泵级T1、T2吸收，然后通过释放模块从第二泵级T2输出到粗真空泵2的排出口5。
当高真空泵3的操作参数、例如由高真空泵3消耗的功率(图2中的曲线P)超过预定的触发阈值持续预定的第一时间时，处理单元9可以触发压降循环。然后，处理单元9根据高真空泵3的操作参数、例如电机7消耗的功率(图2和图3中的曲线P)来控制高真空泵3的旋转速度(图2中的曲线V)，以增加高真空泵的生成流量SoR，使得在图3所示的示例中，高真空泵的生成流量SoR保持大于粗真空泵的生成流量So1的1.3倍，并且小于粗真空泵的生成流量So1的4.5倍(曲线R)。
假设高真空泵3消耗的功率增加，但该高真空泵的生成流量SoR保持小于粗真空泵的生成流量So1的4.5倍，则处理单元9命令旋转速度增大(图2中t1和t2之间的曲线V)，导致生成流量之间的比率从1.3增加到4.5。所消耗的功率然后稳定在17kW左右(图3)。这种消耗的功率需要用于在高真空泵3的排出口处维持有效压缩，这对于粗真空泵2和高真空泵3而言在热学和机械学上是可接受的。
另外，出于安全目的，可以设定高真空泵3消耗的功率的上限。如果高真空泵3的电机7的参数值大于预定的安全阈值持续超过第二预定时间，则高真空泵3的旋转速度被迫下降。这种预防措施更具体地适用于大容量锁，例如超过100m3的锁，用于这种锁的泵单元已经定尺寸为约2m3至20m3的小体积。这防止高真空泵3过热。
可以看出，在大气压(t1)和预定的低压阈值、例如20mbar(t2)之间，高真空泵的生成流量SoR与粗真空泵的生成流量So1的比率保持在1.3和4.5之间。
将生成流量的比率保持在4.5以下保证了高真空泵的生成流量SoR对于粗真空泵2是可容许的。这限制了过度消耗，并且高真空泵3无论如何都提供压缩。高真空泵3的吸入侧和排出口之间的压力差由此保持在介于150和350mbar之间的值以下。
高真空泵3不再像根据现有技术的装置中那样被“短路”。
作为比较，图4示出针对泵单元1(曲线A)、针对仅粗真空泵2(曲线B)和针对现有技术的装置(曲线C)在锁中的压力下降期间的泵速，该现有技术的装置具有与本发明的泵单元1中的粗真空泵和高真空泵相似的粗真空泵和高真空泵，但具有校准到60mbar的旁通阀和高真空泵的固定旋转速度。
在根据现有技术的装置中，高真空泵在200mbar和大气压之间未改善总泵速，压力下降仅由粗真空泵提供。由此其旋转速度被设定成固定的最大速度的高真空泵的作用被限制为通过过度消耗来帮助旁通气流(t1和ta之间的曲线B和C)。
相反，由于生成流量SoR和So1的调节后的比率，根据本发明的泵单元1的高真空泵3被用作粗真空泵2的实际上的第一泵级。因此，高真空泵3对于大气压实际上是有效的(图4中从t1开始的曲线A)。现有技术的装置的高真空泵的效率仅在约5mbar(tb)处赶上该泵单元1的高真空泵3的效率。
这显著降低了泵单元1所消耗的功率，并且从压力下降开始就增加了总泵速，从而减少了锁中的压力下降时间。在该示例中，在200mbar处，与现有技术的装置相比，总泵速增加了40％。
另外，由于排出模块没有被施加高压力，因此该排出模块磨损地更慢并且噪声更小。另外，有限量的气体流过旁路管道10，这防止高真空泵3被先前已被压缩的热气体过加热。
当锁中的压力达到预定的低压阈值时(图4中的曲线B上的t2)，高真空泵3的旋转速度的设定点被设定为最大值，即70Hz。高真空泵的排出压力P1下降，减小了高真空泵所消耗的功率(图2和图3中的曲线P)。在锁中的这些低压值下，消耗的功率约为2kW。在锁中的这个预定的低压以下，粗高压泵2和高真空泵3的泵送可以按常规进行，而不需调整高真空泵3的旋转速度，因为泵送流量和消耗的功率非常低。
在非常低的压力下(t3之后)，例如当等待锁被打开到处理室以传送基板时，如果高真空泵3的电机的参数值小于第二预定阈值持续超过第二预定时间，例如小于2kW达数分钟，则高真空泵3的旋转速度可以设定为比70Hz的最大速度小的待机旋转速度，例如以限制电力消耗。

Claims (12)

1.用于降低负载锁中的压力的方法，该负载锁用于基板并处于大气压下，该方法使用泵单元(1)进行，该泵单元具有粗真空泵(2)和在被泵送气体的流动方向上布置在所述粗真空泵(2)的上游的高真空泵(3)，其特征在于，在压力下降期间并且直至负载锁中的压力达到预定的低压阈值，根据高真空泵(3)的操作参数来控制该高真空泵(3)的旋转速度，以增大该高真空泵的生成流量(SoR)，使得该高真空泵的生成流量(SoR)保持在这样一范围内，在该范围中，上限值是粗真空泵的生成流量(So1)的六倍，下限值是粗真空泵的生成流量(So1)的1.3倍。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，高真空泵(3)的操作参数是该高真空泵(3)的电机(7)的参数。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，当检测到高真空泵(3)的操作参数的值已经超过预定的触发阈值持续第一预定时间时，根据该高真空泵(3)的操作参数开始对高真空泵(3)的旋转速度的控制。
4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，如果高真空泵(3)的操作参数的值大于预定的安全阈值持续超过第二预定时间，则强制该高真空泵(3)的旋转速度下降。
5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，如果高真空泵(3)的操作参数的值小于预定的等待阈值持续超过第三预定时间，则将该高真空泵(3)的旋转速度设定成待机旋转速度。
6.泵单元，它包括粗真空泵(2)和高真空泵(3)，所述高真空泵(3)在被泵送气体的流动方向上布置在所述粗真空泵(2)的上游，并且具有变频驱动器(8)，其特征在于，该高真空泵(3)包括控制单元(9)，所述控制单元连接到所述变频驱动器(8)，并且构造成根据表示高真空泵(3)的操作参数的信号来控制该高真空泵(3)的旋转速度，使得在压力下降期间并且直至负载锁中的压力达到预定的低压阈值，该高真空泵的生成流量(SoR)增加到落入这样一范围内，在该范围中，上限值是粗真空泵的生成流量(So1)的六倍，下限值是粗真空泵的生成流量(So1)的1.3倍。
7.根据权利要求6所述的泵单元，其特征在于，粗真空泵(2)包括用于泵级(T1、T2)的释放模块。
8.根据权利要求6或7所述的泵单元，其特征在于，所述表示高真空泵(3)的操作参数的信号是该高真空泵(3)的电机(7)的参数。
9.根据权利要求8所述的泵单元，其特征在于，该高真空泵(3)的电机(7)的参数是电流。
10.根据权利要求8所述的泵单元，其特征在于，该高真空泵(3)的电机(7)的参数是功率。
11.根据权利要求6或7所述的泵单元，其特征在于，所述泵单元具有旁路管道(10)，该旁路管道将粗真空泵(2)的入口(4)连接到高真空泵(3)的入口(11)，该旁路管道(10)具有排出模块，所述排出模块设计成当粗真空泵的吸入压力(P1)超过高真空泵的吸入压力(Pasp)达到介于100和400mbar之间的预定的过量值(ΔP)时打开。
12.根据权利要求6或7所述的泵单元，其特征在于，该高真空泵(3)是罗茨真空泵。
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