FR3112171B1 - Procédé de contrôle d’une puissance de fonctionnement d’une pompe à vide et pompe à vide - Google Patents

Procédé de contrôle d’une puissance de fonctionnement d’une pompe à vide et pompe à vide Download PDF

Info

Publication number
FR3112171B1
FR3112171B1 FR2010668A FR2010668A FR3112171B1 FR 3112171 B1 FR3112171 B1 FR 3112171B1 FR 2010668 A FR2010668 A FR 2010668A FR 2010668 A FR2010668 A FR 2010668A FR 3112171 B1 FR3112171 B1 FR 3112171B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
vacuum pump
operating power
controlling
vacuum
pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
FR2010668A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3112171A1 (fr
Inventor
Paul Decorde
Yacine Saidi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum SAS
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum SAS filed Critical Pfeiffer Vacuum SAS
Priority to FR2010668A priority Critical patent/FR3112171B1/fr
Priority to KR1020237008505A priority patent/KR20230085133A/ko
Priority to PCT/EP2021/076405 priority patent/WO2022078738A1/fr
Priority to TW110136718A priority patent/TW202223239A/zh
Publication of FR3112171A1 publication Critical patent/FR3112171A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3112171B1 publication Critical patent/FR3112171B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/80—Other components
    • F04C2240/81—Sensor, e.g. electronic sensor for control or monitoring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
    • F04C2270/02—Power
    • F04C2270/025—Controlled or regulated
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
    • F04C2270/18—Pressure
    • F04C2270/185—Controlled or regulated

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)

Abstract

Procédé de contrôle d’une puissance de fonctionnement d’une pompe à vide et pompe à vide La présente invention concerne un procédé de contrôle d’une puissance de fonctionnement d’une pompe à vide (2) configurée pour être raccordée à un volume dans lequel on souhaite pomper les gaz caractérisé en ce que le procédé comprend :- une étape (102, 202) de détection d’un lancement d’une mise sous vide dans laquelle on compare l’évolution sur une première durée prédéterminée d’au moins un paramètre parmi les paramètres suivants : - une puissance de fonctionnement de la pompe à vide (2),- une pression mesurée au niveau d’un refoulement (10) de la pompe à vide (2),avec un premier seuil prédéterminé,et lorsqu’un lancement d’une mise sous vide est détecté,- une étape (103, 203) d’estimation d’un volume à pomper à partir de l’évolution, sur une deuxième durée prédéterminée, d’au moins un paramètre parmi les paramètres suivants : - une puissance de fonctionnement de la pompe à vide (2),- une pression mesurée au niveau du refoulement (10) de la pompe à vide (2)- une étape (104, 204) de limitation de la puissance de fonctionnement de la pompe à vide (2) dans laquelle on limite la puissance de fonctionnement de la pompe à vide (2) en fonction du volume estimé.
FR2010668A 2020-10-16 2020-10-16 Procédé de contrôle d’une puissance de fonctionnement d’une pompe à vide et pompe à vide Active FR3112171B1 (fr)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR2010668A FR3112171B1 (fr) 2020-10-16 2020-10-16 Procédé de contrôle d’une puissance de fonctionnement d’une pompe à vide et pompe à vide
KR1020237008505A KR20230085133A (ko) 2020-10-16 2021-09-24 진공 펌프의 작동 파워 제어 방법 및 진공 펌프
PCT/EP2021/076405 WO2022078738A1 (fr) 2020-10-16 2021-09-24 Procédé de commande d'une puissance de fonctionnement d'une pompe à vide et pompe à vide
TW110136718A TW202223239A (zh) 2020-10-16 2021-10-01 真空泵和用於控制真空泵之操作功率的方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR2010668 2020-10-16
FR2010668A FR3112171B1 (fr) 2020-10-16 2020-10-16 Procédé de contrôle d’une puissance de fonctionnement d’une pompe à vide et pompe à vide

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3112171A1 FR3112171A1 (fr) 2022-01-07
FR3112171B1 true FR3112171B1 (fr) 2022-07-08

Family

ID=73699109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR2010668A Active FR3112171B1 (fr) 2020-10-16 2020-10-16 Procédé de contrôle d’une puissance de fonctionnement d’une pompe à vide et pompe à vide

Country Status (4)

Country Link
KR (1) KR20230085133A (fr)
FR (1) FR3112171B1 (fr)
TW (1) TW202223239A (fr)
WO (1) WO2022078738A1 (fr)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10253005A (ja) * 1997-03-14 1998-09-25 Miura Co Ltd 脱気装置およびその運転方法
JP2001012379A (ja) * 1999-06-29 2001-01-16 Aisin Seiki Co Ltd メンテナンス判定機能付き真空ポンプ
BR112012018803B1 (pt) * 2009-12-24 2021-09-28 Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd. Aparelho de bomba de vácuo dupla e sistema de purificação de gás
US20160265532A1 (en) * 2015-03-09 2016-09-15 Ebara Corporation Vacuum pump
FR3054005B1 (fr) * 2016-07-13 2018-08-24 Pfeiffer Vacuum Procede de descente en pression dans un sas de chargement et de dechargement et groupe de pompage associe
FR3076582B1 (fr) * 2018-01-09 2020-01-24 Pfeiffer Vacuum Pompe a vide de type seche et procede de commande d'un moteur synchrone de pompe a vide

Also Published As

Publication number Publication date
TW202223239A (zh) 2022-06-16
FR3112171A1 (fr) 2022-01-07
WO2022078738A1 (fr) 2022-04-21
KR20230085133A (ko) 2023-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010102088A (ru) Устройство, способ и программный продукт для автоматического обнаружения и разрушения газовых пробок в электрическом погружном насосе
US20160373574A1 (en) Method and device for calling in mute mode
US9319783B1 (en) Attenuation of output audio based on residual echo
JP5447491B2 (ja) 燃圧センサ異常診断装置
EP1564395A3 (fr) Dispositif et méthode de commande de l'injection de carburant pour un moteur diesel
US5197478A (en) Automatic sphygmomanometer for predictively measuring pressure by sampling pulse wave signal
US8747326B2 (en) Electronic sphygmomanometer
FR3112171B1 (fr) Procédé de contrôle d’une puissance de fonctionnement d’une pompe à vide et pompe à vide
JP2702297B2 (ja) 自動血圧計
JP2000511262A (ja) 液体圧送システムにおける泡の検出及び回収
KR20170032422A (ko) 공기 압축 장치 및 제어 방법
US20210156376A1 (en) Liquid feeding device
US9521249B1 (en) Echo path change detector with robustness to double talk
US20180006319A1 (en) Fuel cell system and control method thereof
BRPI0408596A (pt) método e dispositivo para controlar a capacidade de um compressor
CN106534510B (zh) 一种基于移动终端的麦克风通话控制方法及移动终端
CN113556967B (zh) 用于控制真空清洁装置中的清理过程的方法、以及真空清洁装置
JP2011254182A (ja) 動き検出装置及び動き検出方法
CN111324154B (zh) 混合腔压力控制方法、呼吸机设备和计算机可读存储介质
EP1108880A3 (fr) Procédé et dispositif pour prédire une durée de temps stabilisée des courses de pompe de détection de fuites de vapeurs de carburant
JP4107184B2 (ja) 内燃機関の始動装置
EP3241623A3 (fr) Dispositif de nettoyage pour prothèses dentaires avec séchage intégré, cassette de stockage et procédé de nettoyage associés
JP2010075562A (ja) 電子血圧計及びその制御方法
US20240073516A1 (en) Electronic device and control method thereof
JP5529406B2 (ja) 電子血圧計及びその制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20220107

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4